JPH0980060A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0980060A JPH0980060A JP23691595A JP23691595A JPH0980060A JP H0980060 A JPH0980060 A JP H0980060A JP 23691595 A JP23691595 A JP 23691595A JP 23691595 A JP23691595 A JP 23691595A JP H0980060 A JPH0980060 A JP H0980060A
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- Japan
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- measured
- piezoelectric element
- sample
- displacement
- scanning probe
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】試料表面の高さ情報を正確に得る走査型プロー
ブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】円筒型圧電素子３６は鏡基４３に支持され
ており、その下端にはカンチレバー変位検出部３９が固
定され、カンチレバー変位検出３９には、先端に探針を
備えるカンチレバー４０が取り付けられている。円筒型
圧電素子３６の内側のカンチレバー変位検出部３９の上
面には凹面状の被測定面を持つ被測定部材３８が固定さ
れており、被測定部材３８の被測定面のｚ方向の変位を
検出するＺセンサー３７が鏡基４３に支持され、円筒型
圧電素子３６の内側に配置されている。試料４１は、鏡
基４３に取り付けられた試料ステージ４２の上に載置さ
れる。
ブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】円筒型圧電素子３６は鏡基４３に支持され
ており、その下端にはカンチレバー変位検出部３９が固
定され、カンチレバー変位検出３９には、先端に探針を
備えるカンチレバー４０が取り付けられている。円筒型
圧電素子３６の内側のカンチレバー変位検出部３９の上
面には凹面状の被測定面を持つ被測定部材３８が固定さ
れており、被測定部材３８の被測定面のｚ方向の変位を
検出するＺセンサー３７が鏡基４３に支持され、円筒型
圧電素子３６の内側に配置されている。試料４１は、鏡
基４３に取り付けられた試料ステージ４２の上に載置さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査型プローブ顕
微鏡に関する。
微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡では、試料表面の
高さ情報は、通常、圧電素子に印加した電圧から算出さ
れている。しかし、圧電素子は、その動作特性にヒステ
リシスを有し、またクリープ現象を示すため、印加電圧
は圧電素子の変位を正確に示してはいない。このため、
圧電素子のＺ方向の変位を検出する手段を設けた走査型
プローブ顕微鏡も考えられている。
高さ情報は、通常、圧電素子に印加した電圧から算出さ
れている。しかし、圧電素子は、その動作特性にヒステ
リシスを有し、またクリープ現象を示すため、印加電圧
は圧電素子の変位を正確に示してはいない。このため、
圧電素子のＺ方向の変位を検出する手段を設けた走査型
プローブ顕微鏡も考えられている。
【０００３】Ｚ変位検出機構を設けた走査型プローブ顕
微鏡の一例を図５に示す。Ｘ走査信号発生器１１から出
力されるｘ走査信号とＹ走査信号発生器１２から出力さ
れるｙ走査信号は高圧アンプ１３を介して円筒型圧電素
子２に供給され、円筒型圧電素子２は試料３をｘｙ方向
に走査する。走査中、レーザーダイオード５、ミラー
６、フォトダイオード７、差動アンプ８からなる光学系
によって、カンチレバー４の変位はモニターされ、サー
ボ回路９は差動アンプ８の出力に基づきカンチレバー４
の変位を一定に保つためのｚサーボ信号を出力する。ｚ
サーボ信号は高圧アンプ１３を介して円筒型圧電素子２
に供給され、円筒型圧電素子２はカンチレバー４の変位
を一定に保つようにｚ方向に伸縮する。
微鏡の一例を図５に示す。Ｘ走査信号発生器１１から出
力されるｘ走査信号とＹ走査信号発生器１２から出力さ
れるｙ走査信号は高圧アンプ１３を介して円筒型圧電素
子２に供給され、円筒型圧電素子２は試料３をｘｙ方向
に走査する。走査中、レーザーダイオード５、ミラー
６、フォトダイオード７、差動アンプ８からなる光学系
によって、カンチレバー４の変位はモニターされ、サー
ボ回路９は差動アンプ８の出力に基づきカンチレバー４
の変位を一定に保つためのｚサーボ信号を出力する。ｚ
サーボ信号は高圧アンプ１３を介して円筒型圧電素子２
に供給され、円筒型圧電素子２はカンチレバー４の変位
を一定に保つようにｚ方向に伸縮する。
【０００４】円筒型圧電素子２の自由端の下面にはミラ
ー１８が設けられ、このミラー１８に向けて光学干渉計
１５に接続された光ファイバー１４の端が配置されてお
り、ミラー１８の移動量すなわち円筒型圧電素子２のｚ
方向の変位が光学干渉計１５によって測定される。コン
ピューター１０は、光学干渉計１５により測定されるｚ
変位と、ｘ走査信号とｙ走査信号とに基づいて、試料３
の表面の像を形成する。
ー１８が設けられ、このミラー１８に向けて光学干渉計
１５に接続された光ファイバー１４の端が配置されてお
り、ミラー１８の移動量すなわち円筒型圧電素子２のｚ
方向の変位が光学干渉計１５によって測定される。コン
ピューター１０は、光学干渉計１５により測定されるｚ
変位と、ｘ走査信号とｙ走査信号とに基づいて、試料３
の表面の像を形成する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この走査型プローブ顕
微鏡では、ｚ方向にサーボをかけてｘｙ走査しながら、
光学干渉計１５によって、円筒型圧電素子２の自由端の
下面に設けたミラー１８のｚ変位を検出し、これを試料
３の表面の高さ情報としている。しかし、光学干渉計１
５で測定されるミラー１８のｚ変位は、ｘｙ走査時にミ
ラー１８が傾斜することによる誤差を含んでおり、これ
もまた試料３の高さ情報を正確に示してはいない。
微鏡では、ｚ方向にサーボをかけてｘｙ走査しながら、
光学干渉計１５によって、円筒型圧電素子２の自由端の
下面に設けたミラー１８のｚ変位を検出し、これを試料
３の表面の高さ情報としている。しかし、光学干渉計１
５で測定されるミラー１８のｚ変位は、ｘｙ走査時にミ
ラー１８が傾斜することによる誤差を含んでおり、これ
もまた試料３の高さ情報を正確に示してはいない。
【０００６】これは光学干渉計を用いた場合に限った話
ではなく、他の光学式センサーや、静電容量センサー等
の電気式センサーを用いた場合にも同様のことがいえ、
測定されるｚ変位はミラー１８に対応する被測定面の傾
斜による誤差を含んだものとなる。
ではなく、他の光学式センサーや、静電容量センサー等
の電気式センサーを用いた場合にも同様のことがいえ、
測定されるｚ変位はミラー１８に対応する被測定面の傾
斜による誤差を含んだものとなる。
【０００７】この辺の事情について図６を用いて詳しく
説明する。ここでは、後述する実施例との比較を行ない
易いように、前述した試料走査型の走査型プローブ顕微
鏡とは異なり探針走査型のものを例にあげて説明する。
説明する。ここでは、後述する実施例との比較を行ない
易いように、前述した試料走査型の走査型プローブ顕微
鏡とは異なり探針走査型のものを例にあげて説明する。
【０００８】図６（Ａ）に示すように、円筒型圧電素子
３６の下端にはカンチレバー変位検出部３９が固定され
ており、その下方にカンチレバー４０が取り付けられて
いる。円筒型圧電素子３６の内側にはＺセンサー３７が
配置され、その測定対象である平面ミラー等の被測定部
材１９はカンチレバー変位検出部３９の上面に固定され
ている。
３６の下端にはカンチレバー変位検出部３９が固定され
ており、その下方にカンチレバー４０が取り付けられて
いる。円筒型圧電素子３６の内側にはＺセンサー３７が
配置され、その測定対象である平面ミラー等の被測定部
材１９はカンチレバー変位検出部３９の上面に固定され
ている。
【０００９】図６（Ａ）は、平坦な試料４１をｚサーボ
をかけてｘ方向に走査して測定した様子を示している。
図から分かるように、円筒型圧電素子３６が湾曲する
と、被測定部材１９が傾くとともに、Ｚセンサー３７の
測定箇所が端へずれるため、Ｚセンサー３７で測定され
る被測定部材１９のｚ方向の位置はΔＺ＝Ｄ１の誤差を
含んだものとなる。このため、平坦な試料４１を測定し
ているにも拘らず、測定される表面形状は図６（Ｂ）に
示すように高さＤ１の丘陵状に湾曲したものになる。
をかけてｘ方向に走査して測定した様子を示している。
図から分かるように、円筒型圧電素子３６が湾曲する
と、被測定部材１９が傾くとともに、Ｚセンサー３７の
測定箇所が端へずれるため、Ｚセンサー３７で測定され
る被測定部材１９のｚ方向の位置はΔＺ＝Ｄ１の誤差を
含んだものとなる。このため、平坦な試料４１を測定し
ているにも拘らず、測定される表面形状は図６（Ｂ）に
示すように高さＤ１の丘陵状に湾曲したものになる。
【００１０】従って、図６（Ｃ）に示すような形状の試
料を測定した場合には、その表面形状は図６（Ｄ）に示
す形状として測定される。
料を測定した場合には、その表面形状は図６（Ｄ）に示
す形状として測定される。
【００１１】本発明は、試料表面の高さ情報を正確に得
る走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。
る走査型プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の走査型プローブ
顕微鏡は、探針と、探針と試料の間に三方向に相対的な
移動を生じさせるための圧電素子と、試料の表面方向
（ｘｙ方向）に探針と試料の間の相対的な移動が生じる
ように圧電素子を駆動するＸＹ駆動手段と、試料の高さ
方向（ｚ方向）に探針と試料の間の相対的が移動が生じ
るように圧電素子を駆動するＺ駆動手段と、圧電素子に
固定された被測定部材で、被測定面を持つ被測定部材
と、被測定部材の被測定面のｚ方向の変位を検出するＺ
変位検出手段とを有し、被測定部材の被測定面は、Ｚ変
位検出手段による測定箇所が、圧電素子のｘｙ方向に関
する駆動とは無関係に、ｚ方向に関して常に同じ位置と
なる曲面である。
顕微鏡は、探針と、探針と試料の間に三方向に相対的な
移動を生じさせるための圧電素子と、試料の表面方向
（ｘｙ方向）に探針と試料の間の相対的な移動が生じる
ように圧電素子を駆動するＸＹ駆動手段と、試料の高さ
方向（ｚ方向）に探針と試料の間の相対的が移動が生じ
るように圧電素子を駆動するＺ駆動手段と、圧電素子に
固定された被測定部材で、被測定面を持つ被測定部材
と、被測定部材の被測定面のｚ方向の変位を検出するＺ
変位検出手段とを有し、被測定部材の被測定面は、Ｚ変
位検出手段による測定箇所が、圧電素子のｘｙ方向に関
する駆動とは無関係に、ｚ方向に関して常に同じ位置と
なる曲面である。
【００１３】さらに具体的には、圧電素子は円筒型圧電
素子で、被測定部材は円筒型圧電素子の内側の自由端に
固定され、被測定面は凹面である。
素子で、被測定部材は円筒型圧電素子の内側の自由端に
固定され、被測定面は凹面である。
【００１４】試料に対して探針をその表面方向（ｘｙ方
向）に走査した際、被測定部材の被測定面は、Ｚ変位検
出手段の測定箇所のｚ方向の位置は常に同じとなる。従
って、探針先端と試料表面の間の距離が常に一定となる
ように試料表面の高さ方向（ｚ方向）にサーボ制御すれ
ば、Ｚ変位検出手段によって検出される被測定面のｚ方
向の変位は、試料表面の凹凸を真に反映したものとな
る。
向）に走査した際、被測定部材の被測定面は、Ｚ変位検
出手段の測定箇所のｚ方向の位置は常に同じとなる。従
って、探針先端と試料表面の間の距離が常に一定となる
ように試料表面の高さ方向（ｚ方向）にサーボ制御すれ
ば、Ｚ変位検出手段によって検出される被測定面のｚ方
向の変位は、試料表面の凹凸を真に反映したものとな
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の走査
型プローブ顕微鏡について、図１〜図４を参照しながら
説明する。
型プローブ顕微鏡について、図１〜図４を参照しながら
説明する。
【００１６】図１に示すように、円筒型圧電素子３６は
鏡基４３に支持されており、その下端（自由端）にはカ
ンチレバー変位検出部３９が固定され、カンチレバー変
位検出３９には、先端に探針を備えるカンチレバー４０
が取り付けられている。円筒型圧電素子３６の内側のカ
ンチレバー変位検出部３９の上面には凹面状の被測定面
を持つ被測定部材３８が固定されており、被測定部材３
８の被測定面のｚ方向の変位を検出するＺセンサー３７
が鏡基４３に支持され、円筒型圧電素子３６の内側に配
置されている。
鏡基４３に支持されており、その下端（自由端）にはカ
ンチレバー変位検出部３９が固定され、カンチレバー変
位検出３９には、先端に探針を備えるカンチレバー４０
が取り付けられている。円筒型圧電素子３６の内側のカ
ンチレバー変位検出部３９の上面には凹面状の被測定面
を持つ被測定部材３８が固定されており、被測定部材３
８の被測定面のｚ方向の変位を検出するＺセンサー３７
が鏡基４３に支持され、円筒型圧電素子３６の内側に配
置されている。
【００１７】また、カンチレバー４０の下方には、試料
ステージ４２が鏡基４３に取り付けられており、その上
に試料４１が載置される。
ステージ４２が鏡基４３に取り付けられており、その上
に試料４１が載置される。
【００１８】カンチレバー変位検出部３９は、カンチレ
バー４０の変位を検出し、レバー変位信号Ｓ５をサーボ
回路３４へ出力する。サーボ回路３４はレバー変位信号
Ｓ５を一定に保つようにｚサーボ信号Ｓ４を円筒型圧電
素子３６に出力する。ＸＹ走査回路３３はＸ走査信号Ｓ
２とＹ走査信号Ｓ３を円筒型圧電素子３６に出力する。
これにより円筒型圧電素子３６は、カンチレバー４０の
探針が試料４１の表面をなぞるように変形する。
バー４０の変位を検出し、レバー変位信号Ｓ５をサーボ
回路３４へ出力する。サーボ回路３４はレバー変位信号
Ｓ５を一定に保つようにｚサーボ信号Ｓ４を円筒型圧電
素子３６に出力する。ＸＹ走査回路３３はＸ走査信号Ｓ
２とＹ走査信号Ｓ３を円筒型圧電素子３６に出力する。
これにより円筒型圧電素子３６は、カンチレバー４０の
探針が試料４１の表面をなぞるように変形する。
【００１９】Ｚセンサー３７は、円筒型圧電体３６の自
由端に設けられた被測定部材３８の被測定面のｚ方向の
変位を検出し、ｚ変位信号Ｓ１をＺ変位検出回路３２に
出力する。マイクロプロセッサー３０は、ＸＹ走査回路
３３からｘ走査信号とｙ走査信号をｘｙ位置データとし
て取り込むとともに、これに同期させてＺ変位検出回路
からｚ変位信号を試料表面の高さ情報であるｚ変位デー
タとして取り込む。マイクロプロセッサー３０はｘｙ位
置データとｚ変位データをホストコンピューター３１に
転送し、ホストコンピューター３１はｘｙ位置データと
ｚ変位データとに基づき、試料表面の凹凸の画像を形成
する。
由端に設けられた被測定部材３８の被測定面のｚ方向の
変位を検出し、ｚ変位信号Ｓ１をＺ変位検出回路３２に
出力する。マイクロプロセッサー３０は、ＸＹ走査回路
３３からｘ走査信号とｙ走査信号をｘｙ位置データとし
て取り込むとともに、これに同期させてＺ変位検出回路
からｚ変位信号を試料表面の高さ情報であるｚ変位デー
タとして取り込む。マイクロプロセッサー３０はｘｙ位
置データとｚ変位データをホストコンピューター３１に
転送し、ホストコンピューター３１はｘｙ位置データと
ｚ変位データとに基づき、試料表面の凹凸の画像を形成
する。
【００２０】次に、この実施の形態の装置によって得ら
れる測定結果について図２を参照しながら説明する。図
２（Ａ）は、平坦な試料４１をｚサーボをかけてｘ方向
に走査して測定した様子を示している。被測定部材３８
の被測定面のｚ方向の位置は、Ｚセンサー３７により測
定される部分が、円筒型圧電素子３６の曲がり加減に関
係無く、常に同じ位置にある。言い換えれば、被測定部
材３８の被測定面には、Ｚセンサー３７による測定箇所
のｚ位置が変わらない曲面を選ぶ。従って、円筒型圧電
素子３６の曲がりによる誤差ΔＺは、ΔＺ＝０となって
いる。
れる測定結果について図２を参照しながら説明する。図
２（Ａ）は、平坦な試料４１をｚサーボをかけてｘ方向
に走査して測定した様子を示している。被測定部材３８
の被測定面のｚ方向の位置は、Ｚセンサー３７により測
定される部分が、円筒型圧電素子３６の曲がり加減に関
係無く、常に同じ位置にある。言い換えれば、被測定部
材３８の被測定面には、Ｚセンサー３７による測定箇所
のｚ位置が変わらない曲面を選ぶ。従って、円筒型圧電
素子３６の曲がりによる誤差ΔＺは、ΔＺ＝０となって
いる。
【００２１】このため、図２（Ａ）に示すような平坦な
試料４１を測定した場合には、測定される表面形状は図
２（Ｂ）に示すような平坦なものとなる。また、図２
（Ｃ）に示すような形状の試料を測定した場合には、測
定される表面形状は図２（Ｄ）に示すものとなる。
試料４１を測定した場合には、測定される表面形状は図
２（Ｂ）に示すような平坦なものとなる。また、図２
（Ｃ）に示すような形状の試料を測定した場合には、測
定される表面形状は図２（Ｄ）に示すものとなる。
【００２２】このように、本発明によれば、試料表面の
形状を忠実に示した測定結果が得られる。本発明の利点
は、この実施の形態による測定結果である図２と従来例
による測定結果である図６とを比較すれば歴然である。
形状を忠実に示した測定結果が得られる。本発明の利点
は、この実施の形態による測定結果である図２と従来例
による測定結果である図６とを比較すれば歴然である。
【００２３】なお、上の説明では、Ｚセンサー３７の構
成については特に触れなかったが、Ｚセンサー３７とし
ては、例えば、図３に示す静電容量センサー等の電気式
変位検出センサー４４を用いることができる。この場
合、被測定部材３８の被測定面には導電膜が設けられ
る。また、図４に示す光学干渉計等の光学式変位検出セ
ンサー４７を用いることもできる。この場合、被測定部
材３８の被測定面には光学反射膜が設けられる。
成については特に触れなかったが、Ｚセンサー３７とし
ては、例えば、図３に示す静電容量センサー等の電気式
変位検出センサー４４を用いることができる。この場
合、被測定部材３８の被測定面には導電膜が設けられ
る。また、図４に示す光学干渉計等の光学式変位検出セ
ンサー４７を用いることもできる。この場合、被測定部
材３８の被測定面には光学反射膜が設けられる。
【００２４】また、被測定部材３８の被測定面の形状は
球面や非球面などが考えられ、このような被測定部材３
８は例えば凹レンズに光学反射膜や導電膜を施すことに
より作製される。
球面や非球面などが考えられ、このような被測定部材３
８は例えば凹レンズに光学反射膜や導電膜を施すことに
より作製される。
【００２５】実施の形態では、走査型プローブ顕微鏡と
して、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を例にあげて説明して
いるが、勿論、本発明は、カンチレバーを励振させて試
料表面形状を測定する励振モードＡＦＭ、試料表面の磁
気情報を検出する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、トンネル電
子顕微鏡（ＳＴＭ）などの他の種類の走査型プローブ顕
微鏡にも適用可能である。
して、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を例にあげて説明して
いるが、勿論、本発明は、カンチレバーを励振させて試
料表面形状を測定する励振モードＡＦＭ、試料表面の磁
気情報を検出する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、トンネル電
子顕微鏡（ＳＴＭ）などの他の種類の走査型プローブ顕
微鏡にも適用可能である。
【００２６】また、実施の形態では、被測定部材３８の
被測定面を凹面としたが、Ｚセンサー３７、円筒型圧電
体３６、カンチレバー４０、試料４１の配置によっては
凸面とすることも可能である。
被測定面を凹面としたが、Ｚセンサー３７、円筒型圧電
体３６、カンチレバー４０、試料４１の配置によっては
凸面とすることも可能である。
【００２７】
【発明の効果】本発明の走査型プローブ顕微鏡によれ
ば、被測定部材の傾斜による誤差を含まない試料表面の
高さ情報が得られるので、試料表面の真の凹凸を測定で
きる。
ば、被測定部材の傾斜による誤差を含まない試料表面の
高さ情報が得られるので、試料表面の真の凹凸を測定で
きる。
【図１】本発明の実施の形態の走査型プローブ顕微鏡の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図２】図１に示した走査型プローブ顕微鏡による測定
結果を説明するための図である。
結果を説明するための図である。
【図３】Ｚセンサーに電気式変位検出センサーを用いた
様子を示す図である。
様子を示す図である。
【図４】Ｚセンサーに光学式変位検出センサーを用いた
様子を示す図である。
様子を示す図である。
【図５】Ｚ変位検出機構を設けた走査型プローブ顕微鏡
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図６】Ｚ変位検出機構を有する従来の走査型プローブ
顕微鏡による測定結果を説明する図である。
顕微鏡による測定結果を説明する図である。
３２…Ｚ変位検出回路、３３…ＸＹ走査回路、３４…サ
ーボ回路、３６…円筒型圧電素子、３７…Ｚセンサー、
３８…被測定部材、４０…カンチレバー。
ーボ回路、３６…円筒型圧電素子、３７…Ｚセンサー、
３８…被測定部材、４０…カンチレバー。
Claims (2)
- 【請求項１】走査型プローブ顕微鏡において、 探針と、 探針と試料の間に三方向に相対的な移動を生じさせるた
めの圧電素子と、 試料の表面方向（ｘｙ方向）に探針と試料の間の相対的
な移動が生じるように圧電素子を駆動するＸＹ駆動手段
と、 試料の高さ方向（ｚ方向）に探針と試料の間の相対的が
移動が生じるように圧電素子を駆動するＺ駆動手段と、 圧電素子に固定された被測定部材で、被測定面を持つ被
測定部材と、 被測定部材の被測定面のｚ方向の変位を検出するＺ変位
検出手段とを有し、 被測定部材の被測定面は、Ｚ変位検出手段による測定箇
所が、圧電素子のｘｙ方向に関する駆動とは無関係に、
ｚ方向に関して常に同じ位置となる曲面である、走査型
プローブ顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、圧電素子は円筒型圧電
素子であり、被測定部材は円筒型圧電素子の内側の自由
端に固定されており、被測定面は凹面である、走査型プ
ローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23691595A JPH0980060A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23691595A JPH0980060A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0980060A true JPH0980060A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=17007643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23691595A Withdrawn JPH0980060A (ja) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0980060A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009029043A1 (en) * | 2007-08-24 | 2009-03-05 | Quantum Precision Instruments Asia Private Limited | Quantum tunnelling sensor device and method |
| CN104076826A (zh) * | 2013-03-28 | 2014-10-01 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 致动器的位置计算装置和位置计算方法 |
| WO2015140996A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-09-24 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JP2024520387A (ja) * | 2021-05-25 | 2024-05-24 | ブルカー ナノ インコーポレイテッド | クリープ補正を備えるａｆｍイメージング |
-
1995
- 1995-09-14 JP JP23691595A patent/JPH0980060A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009029043A1 (en) * | 2007-08-24 | 2009-03-05 | Quantum Precision Instruments Asia Private Limited | Quantum tunnelling sensor device and method |
| US8544324B2 (en) | 2007-08-24 | 2013-10-01 | Pilsne Research Co., L.L.C. | Quantum tunnelling sensor device and method |
| CN104076826A (zh) * | 2013-03-28 | 2014-10-01 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 致动器的位置计算装置和位置计算方法 |
| DE102014103829A1 (de) | 2013-03-28 | 2014-10-02 | Hitachi High-Tech Science Corp. | Berechnungsvorrichtung, Berechnungsverfahren und Berechnungsprogramm für eine Position eines Antriebselements |
| US9766267B2 (en) | 2013-03-28 | 2017-09-19 | Hitachi High-Tech Science Corporation | Actuator position calculation device, actuator position calculation method, and actuator position calculation program |
| WO2015140996A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-09-24 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| CN106104278A (zh) * | 2014-03-20 | 2016-11-09 | 株式会社岛津制作所 | 扫描探针显微镜 |
| JPWO2015140996A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2017-04-06 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JP2024520387A (ja) * | 2021-05-25 | 2024-05-24 | ブルカー ナノ インコーポレイテッド | クリープ補正を備えるａｆｍイメージング |
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