JPH098077A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

ワイヤボンディング装置

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JPH098077A
JPH098077A JP7156012A JP15601295A JPH098077A JP H098077 A JPH098077 A JP H098077A JP 7156012 A JP7156012 A JP 7156012A JP 15601295 A JP15601295 A JP 15601295A JP H098077 A JPH098077 A JP H098077A
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Japan
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wire
clamp member
bonding
holding
bonding wire
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JP7156012A
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English (en)
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Yasushi Motonami
浪 康 司 本
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Toshiba Corp
Fukuoka Toshiba Electronics Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Fukuoka Toshiba Electronics Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 常に所定の把持力が得られ、クランプ部材の
挟持面の全面を有効に使用し得る構成のワイヤカットク
ランパ機構部を提供する。 【構成】 半導体装置の組立工程のうちワイヤボンディ
ング工程に用いられるワイヤボンディング装置を構成す
るワイヤカットクランパの、ボンディングワイヤを挟持
するクランプ部材の挟持面の形状を、ボンディングワイ
ヤの挟持される部分の方向に沿った距離が一定である周
縁部を有する形状とする。この構成により、クランプ部
材がボンディングワイヤを切断する際の把持力が常に一
定に維持され、ボンディングワイヤを所定の部位で切断
することができる。また、クランプ部材の挟持部位が磨
耗してきたときには、クランプ部材を水平方向にずらす
ことによって、クランプ部材の寿命を延ばすことができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンディング装置
に係り、特に半導体装置のワイヤボンディング工程に用
いられるワイヤボンディング装置におけるワイヤカット
クランパ機構部に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置においては、半導体ペレット
上に形成された集積回路への電源や電気信号を供給等す
るための、ペレット上のパッド部とリードフレームのイ
ンナーリードとを接続する方法の代表的なものにワイヤ
ボンディングがある。
【０００３】半導体装置の故障には様々な原因がある
が、このうち接続部位の不良に起因するものが大きな割
合を占め、ボンディングの不良による故障も少なくな
い。集積度の高い半導体装置では、ボンディング工程に
至るまでに製造コストの大部分が費やされているため、
ボンディング工程において製品を不良にしてしまった場
合の損失は大きく、ボンディングには高い信頼性が要求
される。
【０００４】以下、従来、ワイヤボンディング工程に用
いられていたワイヤボンディング装置におけるワイヤを
保持して切断するためのワイヤカットクランパ機構部に
ついて説明する。
【０００５】図４は、従来型ワイヤカットクランパ機構
部の構造の説明図、図５は、従来型ワイヤカットクラン
パ機構部の斜視図である。図４及び図５のワイヤカット
クランパ機構部には、セラミックとチタンとからなるサ
ーメット等の材料により形成された２個の丸型クランプ
部材１３が、一方のクランプ部材の挟持面と他方のクラ
ンプ部材の挟持面とが互いに対向して、板バネ２及び背
板６にそれぞれ備えられている。板バネ２は銀ペースト
によりホルダ７の先端部に接着され、背板６は、ホルダ
７の先端部との間に板バネ２を挟んで支点ブロック４に
取り付けられている。板バネ２の貫通孔には引張りコイ
ルばね３が挿入されて備えられ、引張りコイルばね３の
両端はホルダ７の先端部及び背板６の貫通孔に止め金で
取り付けられる。図６は、支点ブロック４のみの斜視図
であり、支点ブロック本体４ａ、ベアリング４ｂ、Ｅ型
止め輪４ｃからなる。背板６が取り付けられた支点ブロ
ック４は、支柱により回動自在にホルダ７に枢着され、
ソレノイド５への電源供給を接続／遮断することによ
り、２個の丸型クランプ部材１３間の開閉が行われる。
ホルダ７の末端部がワイヤボンディング装置の本体に固
定される。
【０００６】図７は、従来型ワイヤカットクランパ機構
部を用いたワイヤボンディングの説明図である。図７
（ａ）は、ワイヤボンディングが正常に行われた場合を
示している。アイランド１１上に載置された半導体ペレ
ット１０のパッド部に、キャピラリ８の貫通孔に通され
た金ワイヤ９がネイルヘッドボンディングにより圧着さ
れ、さらに、インナーリード１２にも圧着される。
【０００７】その後、キャピラリ８が所定の位置まで上
昇した時点で丸型クランプ部材１３が閉じてキャピラリ
８と共に上昇し、金ワイヤ９がインナーリード１２との
圧着部分から引きちぎられる形で切断されて、ワイヤカ
ット作業が終了する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クランプ部材１３は丸型であるため、クランプ部材１３
の挟持面の中心を含む位置（以下、「中心位置」とい
う。）で金ワイヤ９を挟んだときにのみ最大の把持力が
金ワイヤ９に加わるようになっている。したがって、高
速動作中に中心位置から僅かでもずれた位置で挟んだと
きは、所定の把持力が得られず、キャピラリ８の先端部
から金ワイヤ９の切断部位までの長さ（以下、「テール
長」という。）Ｌにばらつきが生ずる（図７（ｂ）にお
けるテール長Ｌ′）。また、挟持面が対向するように設
けられた２個のクランプ部材のいずれかが所定の位置か
らずれて、それぞれの中心位置が対向しなくなった場合
も、同様にテール長Ｌにばらつきが生ずる。
【０００９】さらに、クランプ部材１３が金ワイヤ９を
挟む所定位置は中心位置のみに限定されるため、クラン
プ部材１３の挟持面は中心位置を含む部分以外の他の部
分は使用できず、一定位置を使用することによる磨耗が
早く、寿命が短い。
【００１０】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、常に所定の把持力が得られ、クランプ
部材１３の挟持面の全面を有効に使用し得る構成のワイ
ヤカットクランパ機構部を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、半導体
装置の接続に用いられるボンディングワイヤを切断する
際に２つのクランプ部材の対向面でボンディングワイヤ
を挟持する保持機構を備えたワイヤボンディング装置に
おいて、各クランプ部材はその挟持面のボンディングワ
イヤに沿った挟持部分の距離が一定である周縁部を有す
ることを特徴とする。
【００１２】半導体装置の接続に用いられるボンディン
グワイヤを切断する際に２つのクランプ部材の対向面で
ボンディングワイヤを挟持する保持機構を備えたワイヤ
ボンディング装置において、各クランプ部材はその挟持
面のボンディングワイヤに沿った挟持部分の距離が一定
である少なくとも１組の２辺を有することを特徴とす
る。
【００１３】半導体装置の接続に用いられるボンディン
グワイヤを切断する際に２つのクランプ部材の対向面で
ボンディングワイヤを挟持する保持機構を備えたワイヤ
ボンディング装置において、各クランプ部材はその挟持
面のボンディングワイヤに沿った挟持部分と交差する少
なくとも１組の互いに平行な２辺を有することを特徴と
する。
【００１４】半導体装置の接続に用いられるボンディン
グワイヤを切断する際に２つのクランプ部材の対向面で
ボンディングワイヤを挟持する保持機構を備えたワイヤ
ボンディング装置において、各クランプ部材はその挟持
面のボンディングワイヤに沿った挟持部分と直交する１
組の互いに平行な２辺を有することを特徴とする。
【００１５】挟持面は、略台形をなすものとすると良
い。
【００１６】挟持面は、略長方形をなすものとすると良
い。
【００１７】挟持面は、略正方形をなすものとすると良
い。
【００１８】保持機構は、各挟持面をそれぞれ同一平面
上に維持しながらボンディングワイヤに対して垂直方向
に移動可能な調整機構を備えたものとすると良い。
【００１９】保持機構は、前記各挟持面をそれぞれ同一
平面上に維持しながら水平方向に移動可能な調整機構を
備えたものとすると良い。
【００２０】
【作用】各クランプ部材はその挟持面のボンディングワ
イヤに沿った挟持部分の距離が一定である周縁部を有す
るものとしたので、クランプ部材が水平方向にずれて
も、ボンディングワイヤのクランプ部材に挟持される部
分の長さは常に一定となり、クランプ部材がボンディン
グワイヤを切断する際の把持力が常に一定に維持され、
ボンディングワイヤを所定の部位で切断することができ
る。また、挟持面が対向するように設けられた２個のク
ランプ部材のいずれかが所定の位置からずれて、それぞ
れの中心位置が対向しなくなった場合でも、同様にテー
ル長を常に一定とすることができる。さらに、クランプ
部材の挟持部位が磨耗してきたときには、クランプ部材
の挟持部位を水平方向にずらすことによって、クランプ
部材の寿命を延ばすことができる。
【００２１】各クランプ部材はその挟持面のボンディン
グワイヤに沿った挟持部分の距離が一定である少なくと
も１組の２辺を有するものとしたので、クランプ部材が
水平方向にずれても、ボンディングワイヤのクランプ部
材に挟持される部分の長さは常に一定となり、クランプ
部材がボンディングワイヤを切断する際の把持力が常に
一定に維持され、ボンディングワイヤを所定の部位で切
断することができる。また、挟持面が対向するように設
けられた２個のクランプ部材のいずれかが所定の位置か
らずれて、それぞれの中心位置が対向しなくなった場合
でも、同様にテール長を常に一定とすることができる。
さらに、クランプ部材の挟持部位が磨耗してきたときに
は、クランプ部材の挟持部位を水平方向にずらすことに
よって、クランプ部材の寿命を延ばすことができる。
【００２２】各クランプ部材はその挟持面のボンディン
グワイヤに沿った挟持部分と交差する少なくとも１組の
互いに平行な２辺を有するものとしたので、クランプ部
材が水平方向にずれても、ボンディングワイヤのクラン
プ部材に挟持される部分の長さは常に一定となり、クラ
ンプ部材がボンディングワイヤを切断する際の把持力が
常に一定に維持され、ボンディングワイヤを所定の部位
で切断することができる。また、挟持面が対向するよう
に設けられた２個のクランプ部材のいずれかが所定の位
置からずれて、それぞれの中心位置が対向しなくなった
場合でも、同様にテール長を常に一定とすることができ
る。さらに、クランプ部材の挟持部位が磨耗してきたと
きには、クランプ部材の挟持部位を水平方向にずらすこ
とによって、クランプ部材の寿命を延ばすことができ
る。
【００２３】各クランプ部材はその挟持面のボンディン
グワイヤに沿った挟持部分と直交する１組の互いに平行
な２辺を有するものとしたので、クランプ部材が水平方
向にずれても、ボンディングワイヤのクランプ部材に挟
持される部分の長さは常に一定となり、クランプ部材が
ボンディングワイヤを切断する際の把持力が常に一定に
維持され、ボンディングワイヤを所定の部位で切断する
ことができる。また、挟持面が対向するように設けられ
た２個のクランプ部材のいずれかが所定の位置からずれ
て、それぞれの中心位置が対向しなくなった場合でも、
同様にテール長を常に一定とすることができる。さら
に、クランプ部材の挟持部位が磨耗してきたときには、
クランプ部材の挟持部位を水平方向にずらすことによっ
て、クランプ部材の寿命を延ばすことができる。
【００２４】挟持面の形状は、略台形であるものとした
ので、クランプ部材が水平方向にずれても、ボンディン
グワイヤのクランプ部材に挟持される部分の長さは常に
一定となり、クランプ部材がボンディングワイヤを切断
する際の把持力が常に一定に維持され、ボンディングワ
イヤを所定の部位で切断することができる。また、挟持
面が対向するように設けられた２個のクランプ部材のい
ずれかが所定の位置からずれて、それぞれの中心位置が
対向しなくなった場合でも、同様にテール長を常に一定
とすることができる。さらに、クランプ部材の挟持部位
が磨耗してきたときには、クランプ部材の挟持部位を水
平方向にずらすことによって、クランプ部材の寿命を延
ばすことができる。
【００２５】挟持面の形状は、略長方形であるものとし
たので、クランプ部材が水平方向にずれても、ボンディ
ングワイヤのクランプ部材に挟持される部分の長さは常
に一定となり、クランプ部材がボンディングワイヤを切
断する際の把持力が常に一定に維持され、ボンディング
ワイヤを所定の部位で切断することができる。また、挟
持面が対向するように設けられた２個のクランプ部材の
いずれかが所定の位置からずれて、それぞれの中心位置
が対向しなくなった場合でも、同様にテール長を常に一
定とすることができる。さらに、クランプ部材の挟持部
位が磨耗してきたときには、クランプ部材の挟持部位を
水平方向にずらすことによって、クランプ部材の寿命を
延ばすことができる。
【００２６】挟持面の形状は、略正方形であるものとし
たので、クランプ部材が水平方向にずれても、ボンディ
ングワイヤのクランプ部材に挟持される部分の長さは常
に一定となり、クランプ部材がボンディングワイヤを切
断する際の把持力が常に一定に維持され、ボンディング
ワイヤを所定の部位で切断することができる。また、挟
持面が対向するように設けられた２個のクランプ部材の
いずれかが所定の位置からずれて、それぞれの中心位置
が対向しなくなった場合でも、同様にテール長を常に一
定とすることができる。さらに、クランプ部材の挟持部
位が磨耗してきたときには、クランプ部材の挟持部位を
水平方向にずらすことによって、クランプ部材の寿命を
延ばすことができる。
【００２７】保持機構は、各挟持面をそれぞれ同一平面
上に維持しながらボンディングワイヤに対して垂直方向
に移動可能な調整機構を備えたものとしたので、クラン
プ部材の挟持部位が磨耗してきたときには、クランプ部
材の挟持部位を水平方向にずらすことによって、クラン
プ部材の寿命を延ばすことができる。
【００２８】保持機構は、ボンディングワイヤに対して
保持機構の先端部と末端部とを結ぶ方向に移動可能な調
整機構を備えたものとしたので、クランプ部材の挟持部
位が磨耗してきたときには、クランプ部材の挟持部位を
水平方向にずらすことによって、クランプ部材の寿命を
延ばすことができる。
【００２９】保持機構は、前記各挟持面をそれぞれ同一
平面上に維持しながら水平方向に移動可能な調整機構を
備えたものとしたので、クランプ部材の挟持部位が磨耗
してきたときには、クランプ部材の挟持部位を水平方向
にずらすことによって、クランプ部材の寿命を延ばすこ
とができる。
【００３０】
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明に係る一
実施例につき説明する。
【００３１】図１は、本発明の一実施例に係るワイヤカ
ットクランパ機構部の構造の説明図、図２は、本発明の
一実施例に係るワイヤカットクランパ機構部の斜視図で
ある。 図１及び図２のワイヤカットクランパ機構部に
は、セラミックとチタンとからなるサーメット等の材料
により形成された２個の角型クランプ部材１が、一方の
クランプ部材の挟持面と他方のクランプ部材の挟持面と
が互いに対向して、板バネ２及び背板６にそれぞれ備え
られている。板バネ２は銀ペーストによりホルダ７の先
端部に接着され、背板６は、ホルダ７の先端部との間に
板バネ２を挟んで支点ブロック４に取り付けられてい
る。板バネ２の貫通孔には引張りコイルばね３が挿入さ
れて備えられ、引張りコイルばね３の両端はホルダ７の
先端部及び背板６の貫通孔に止め金で取り付けられる。
支点ブロック４は、図６に示したものと同様のものであ
り、背板６が取り付けられた支点ブロック４は、支柱に
より回動自在にホルダ７に枢着され、ソレノイド５への
電源供給を接続／遮断することにより、２個の角型クラ
ンプ部材１間の開閉が行われる。ホルダ７の末端部がワ
イヤボンディング装置の本体に固定されるが、ホルダ７
の末端部には丸孔ではなく長孔の貫通孔が設けられてお
り、ホルダ７全体を水平方向に移動できるようになって
いる。
【００３２】図３は、本発明の一実施例に係るワイヤカ
ットクランパ機構部を用いたワイヤボンディングの説明
図である。図３（ａ）は、ワイヤボンディングの際のワ
イヤカットクランパ機構部の動作を示している。アイラ
ンド１１上に載置された半導体ペレット１０のパッド部
に、キャピラリ８の貫通孔に通された金ワイヤ９がネイ
ルヘッドボンディングにより圧着され、さらに、インナ
ーリード１２にも圧着される。
【００３３】その後、キャピラリ８が所定の位置まで上
昇した時点で角型クランプ部材１が閉じてキャピラリ８
と共に上昇し、金ワイヤ９が切断されて、ワイヤカット
作業が終了する。
【００３４】本発明の一実施例に係るワイヤカットクラ
ンパ機構部においては、クランプ部材の形状が略長方形
となっているので、図３（ｂ）に示したように、ボンデ
ィングワイヤを挟持する位置が中心位置から水平方向に
ずれても、ボンディングワイヤのクランプ部材に挟持さ
れる部分の長さは常に一定となり、クランプ部材がボン
ディングワイヤを切断する際の把持力が常に一定に維持
される。したがって、ボンディングワイヤを所定の部位
で切断することができ、キャピラリ８の先端部から金ワ
イヤ９の切断部位までのテール長Ｌを常に一定とするこ
とができる。また、挟持面が対向するように設けられた
２個のクランプ部材のいずれかが所定の位置からずれ
て、それぞれの中心位置が対向しなくなった場合でも、
同様にテール長Ｌを常に一定とすることができる。さら
に、クランプ部材の挟持部位が磨耗してきたときには、
クランプ部材の挟持部位を水平方向にずらすことによっ
て、クランプ部材の寿命を延ばすことができる。
【００３５】クランプ部材の形状は、ボンディングワイ
ヤのクランプ部材に挟持される部分の長さが常に一定と
なるような、略台形、略正方形としてもよい。または、
ボンディングワイヤの挟持される部分の方向に直交する
１組の互いに平行な２辺を有する形状、ボンディングワ
イヤの挟持される部分と交差する少なくとも１組の互い
に平行な２辺を有する形状、ボンディングワイヤの挟持
される部分の方向に沿った距離が一定である少なくとも
１組の２辺を有する形状、ボンディングワイヤの挟持さ
れる部分の方向に沿った距離が一定である周縁部を有す
る形状のいずれであっても同様の効果が得られる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
各クランプ部材はその挟持面のボンディングワイヤに沿
った挟持部分の距離が一定である周縁部を有するものと
したので、クランプ部材が水平方向にずれても、ボンデ
ィングワイヤを所定の部位で切断することができる。ま
た、挟持面が対向するように設けられた２個のクランプ
部材のいずれかが所定の位置からずれて、それぞれの中
心位置が対向しなくなった場合でも、同様にテール長を
常に一定とすることができる。さらに、クランプ部材の
挟持部位が磨耗してきたときには、クランプ部材の挟持
部位を水平方向にずらすことによって、クランプ部材の
寿命を延ばすことができる。
【００３７】各クランプ部材はその挟持面のボンディン
グワイヤに沿った挟持部分の距離が一定である少なくと
も１組の２辺を有するものとしたので、クランプ部材が
水平方向にずれても、ボンディングワイヤを所定の部位
で切断することができる。また、挟持面が対向するよう
に設けられた２個のクランプ部材のいずれかが所定の位
置からずれて、それぞれの中心位置が対向しなくなった
場合でも、同様にテール長を常に一定とすることができ
る。さらに、クランプ部材の挟持部位が磨耗してきたと
きには、クランプ部材の挟持部位を水平方向にずらすこ
とによって、クランプ部材の寿命を延ばすことができ
る。
【００３８】各クランプ部材はその挟持面のボンディン
グワイヤに沿った挟持部分と交差する少なくとも１組の
互いに平行な２辺を有するものとしたので、クランプ部
材が水平方向にずれても、ボンディングワイヤを所定の
部位で切断することができる。また、挟持面が対向する
ように設けられた２個のクランプ部材のいずれかが所定
の位置からずれて、それぞれの中心位置が対向しなくな
った場合でも、同様にテール長を常に一定とすることが
できる。さらに、クランプ部材の挟持部位が磨耗してき
たときには、クランプ部材の挟持部位を水平方向にずら
すことによって、クランプ部材の寿命を延ばすことがで
きる。
【００３９】各クランプ部材はその挟持面のボンディン
グワイヤに沿った挟持部分と直交する１組の互いに平行
な２辺を有するものとしたので、クランプ部材が水平方
向にずれても、ボンディングワイヤを所定の部位で切断
することができる。また、挟持面が対向するように設け
られた２個のクランプ部材のいずれかが所定の位置から
ずれて、それぞれの中心位置が対向しなくなった場合で
も、同様にテール長を常に一定とすることができる。さ
らに、クランプ部材の挟持部位が磨耗してきたときに
は、クランプ部材の挟持部位を水平方向にずらすことに
よって、クランプ部材の寿命を延ばすことができる。
【００４０】挟持面の形状は、略台形であるものとした
ので、クランプ部材が水平方向にずれても、ボンディン
グワイヤを所定の部位で切断することができる。また、
挟持面が対向するように設けられた２個のクランプ部材
のいずれかが所定の位置からずれて、それぞれの中心位
置が対向しなくなった場合でも、同様にテール長を常に
一定とすることができる。さらに、クランプ部材の挟持
部位が磨耗してきたときには、クランプ部材の挟持部位
を水平方向にずらすことによって、クランプ部材の寿命
を延ばすことができる。
【００４１】挟持面の形状は、略長方形であるものとし
たので、クランプ部材が水平方向にずれても、ボンディ
ングワイヤを所定の部位で切断することができる。ま
た、挟持面が対向するように設けられた２個のクランプ
部材のいずれかが所定の位置からずれて、それぞれの中
心位置が対向しなくなった場合でも、同様にテール長を
常に一定とすることができる。さらに、クランプ部材の
挟持部位が磨耗してきたときには、クランプ部材の挟持
部位を水平方向にずらすことによって、クランプ部材の
寿命を延ばすことができる。
【００４２】挟持面の形状は、略正方形であるものとし
たので、クランプ部材が水平方向にずれても、ボンディ
ングワイヤを所定の部位で切断することができる。ま
た、挟持面が対向するように設けられた２個のクランプ
部材のいずれかが所定の位置からずれて、それぞれの中
心位置が対向しなくなった場合でも、同様にテール長を
常に一定とすることができる。さらに、クランプ部材の
挟持部位が磨耗してきたときには、クランプ部材の挟持
部位を水平方向にずらすことによって、クランプ部材の
寿命を延ばすことができる。
【００４３】保持機構は、各挟持面をそれぞれ同一平面
上に維持しながらボンディングワイヤに対して垂直方向
に移動可能な調整機構を備えたものとしたので、クラン
プ部材の挟持部位が磨耗してきたときには、クランプ部
材の挟持部位を水平方向にずらすことによって、クラン
プ部材の寿命を延ばすことができる。
【００４４】保持機構は、前記各挟持面をそれぞれ同一
平面上に維持しながら水平方向に移動可能な調整機構を
備えたものとしたので、クランプ部材の挟持部位が磨耗
してきたときには、クランプ部材の挟持部位を水平方向
にずらすことによって、クランプ部材の寿命を延ばすこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係るワイヤボンディング装
置のワイヤカットクランパ機構部の構造の説明図。
【図２】本発明の一実施例に係るワイヤボンディング装
置のワイヤカットクランパ機構部の斜視図。
【図３】本発明の一実施例に係るワイヤカットクランパ
機構部を用いたワイヤボンディングの説明図。
【図４】従来型ワイヤカットクランパ機構部の構造の説
明図。
【図５】従来型ワイヤカットクランパ機構部の斜視図。
【図６】支点ブロック４の部品の構成図。
【図７】従来型ワイヤカットクランパ機構部を用いたワ
イヤボンディングの説明図。
【符号の説明】
１ 本発明に係るクランプ部材 ２ 板バネ ３ 引張りコイルばね ４ 支点ブロック ５ ソレノイド ６ 背板 ７ ホルダ ８ キャピラリ ９ 金ワイヤ １０ 半導体ペレット １１ アイランド １２ インナーリード １３ 従来のクランプ部材

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】半導体装置の接続に用いられるボンディン
    グワイヤを切断する際に２つのクランプ部材の対向面で
    前記ボンディングワイヤを挟持する保持機構を備えたワ
    イヤボンディング装置において、 前記各クランプ部材はその挟持面のボンディングワイヤ
    に沿った挟持部分の距離が一定である周縁部を有するこ
    とを特徴とするワイヤボンディング装置。
  2. 【請求項２】半導体装置の接続に用いられるボンディン
    グワイヤを切断する際に２つのクランプ部材の対向面で
    前記ボンディングワイヤを挟持する保持機構を備えたワ
    イヤボンディング装置において、 前記各クランプ部材はその挟持面のボンディングワイヤ
    に沿った挟持部分の距離が一定である少なくとも１組の
    ２辺を有することを特徴とするワイヤボンディング装
    置。
  3. 【請求項３】半導体装置の接続に用いられるボンディン
    グワイヤを切断する際に２つのクランプ部材の対向面で
    前記ボンディングワイヤを挟持する保持機構を備えたワ
    イヤボンディング装置において、 前記各クランプ部材はその挟持面のボンディングワイヤ
    に沿った挟持部分と交差する少なくとも１組の互いに平
    行な２辺を有することを特徴とするワイヤボンディング
    装置。
  4. 【請求項４】半導体装置の接続に用いられるボンディン
    グワイヤを切断する際に２つのクランプ部材の対向面で
    前記ボンディングワイヤを挟持する保持機構を備えたワ
    イヤボンディング装置において、 前記各クランプ部材はその挟持面のボンディングワイヤ
    に沿った挟持部分と直交する１組の互いに平行な２辺を
    有することを特徴とするワイヤボンディング装置。
  5. 【請求項５】請求項１ないし４のいずれかに記載のワイ
    ヤボンディング装置において、前記挟持面は、略台形を
    なすことを特徴とするワイヤボンディング装置。
  6. 【請求項６】請求項１ないし４のいずれかに記載のワイ
    ヤボンディング装置において、前記挟持面は、略長方形
    をなすことを特徴とするワイヤボンディング装置。
  7. 【請求項７】請求項１ないし４のいずれかに記載のワイ
    ヤボンディング装置において、前記挟持面は、略正方形
    をなすことを特徴とするワイヤボンディング装置。
  8. 【請求項８】請求項１ないし７のいずれかに記載のワイ
    ヤボンディング装置において、前記保持機構は、前記各
    挟持面をそれぞれ同一平面上に維持しながら前記ボンデ
    ィングワイヤに対して垂直方向に移動可能な調整機構を
    備えたものであることを特徴とするワイヤボンディング
    装置。
  9. 【請求項９】請求項１ないし７のいずれかに記載のワイ
    ヤボンディング装置において、前記保持機構は、前記各
    挟持面をそれぞれ同一平面上に維持しながら水平方向に
    移動可能な調整機構を備えたものであることを特徴とす
    るワイヤボンディング装置。
JP7156012A 1995-06-22 1995-06-22 ワイヤボンディング装置 Pending JPH098077A (ja)

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