JPH09877A - Ｎｆ３ガスの処理剤 - Google Patents
Ｎｆ３ガスの処理剤Info
- Publication number
- JPH09877A JPH09877A JP7155948A JP15594895A JPH09877A JP H09877 A JPH09877 A JP H09877A JP 7155948 A JP7155948 A JP 7155948A JP 15594895 A JP15594895 A JP 15594895A JP H09877 A JPH09877 A JP H09877A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- treatment
- soda lime
- cylinder
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 title claims description 29
- 239000007789 gas Substances 0.000 title description 82
- QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(dinaphthalen-2-ylamino)phenyl]phenyl]-n-naphthalen-2-ylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C3=CC4=CC=CC=C4C=C3)=CC=C21 QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 27
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 13
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 8
- 239000008187 granular material Substances 0.000 abstract 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 17
- 239000000047 product Substances 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 8
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 2
- 235000012255 calcium oxide Nutrition 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000007857 degradation product Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】空気成分を含んでいても異常昇温やＮＯx 等の
発生がなく安全に除害することができ、しかも、工程を
簡略化できて処理装置の小形化も実現できるＮＦ 3 ガス
の処理剤を提供する。 【構成】粒状もしくは粉状に形成されたソーダライムか
らなり、加熱状態でＮＦ 3 ガスもしくはＮＦ3 ガスを含
むガスと接触することにより、上記ＮＦ3 ガスを分解し
その分解生成物を吸着するようにしている。
発生がなく安全に除害することができ、しかも、工程を
簡略化できて処理装置の小形化も実現できるＮＦ 3 ガス
の処理剤を提供する。 【構成】粒状もしくは粉状に形成されたソーダライムか
らなり、加熱状態でＮＦ 3 ガスもしくはＮＦ3 ガスを含
むガスと接触することにより、上記ＮＦ3 ガスを分解し
その分解生成物を吸着するようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＮＦ3 ガスそのま
ま、もしくはそれを含有するガスを除害するＮＦ3 ガス
の処理剤に関するものである。
ま、もしくはそれを含有するガスを除害するＮＦ3 ガス
の処理剤に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体用のドライエッチングガスあるい
はクリーニングガスとして、一般に、ＮＦ3 ガスが使用
されるようになっている。すなわち、ＮＦ3 ガス雰囲気
中における放電においてイオン化したＮＦ3 ガスでシリ
コンをエッチングすると、反応生成物は揮発性物質とな
るため、従来のフロロカーボンプラズマ中でのエッチン
グに比べ、炭素（Ｃ）あるいはイオウ（Ｓ）によるウェ
ハー表面の反応残渣汚染がなく、また反応残渣汚染がな
いためエッチング速度が速くなるという利点がある。こ
のような観点から、ＮＦ3 ガスが多用されるようになっ
てきているが、ＮＦ3 ガスは常温で非常に安定（したが
って、大気中に放出しても分解されず生物に対する悪影
響が懸念される）で、かつ、許容濃度１０ｐｐｍの猛毒
性ガスである。このことから、シリンダボックス等に格
納されたＮＦ3 ガスボンベからＮＦ 3 ガスが漏洩した場
合等に、排気ダクトを通じて、大気中に、ＮＦ3 ガスが
除害されずにそのまま放出されると、危険であり、ＮＦ
3 ガスの処理が大きな問題となる。
はクリーニングガスとして、一般に、ＮＦ3 ガスが使用
されるようになっている。すなわち、ＮＦ3 ガス雰囲気
中における放電においてイオン化したＮＦ3 ガスでシリ
コンをエッチングすると、反応生成物は揮発性物質とな
るため、従来のフロロカーボンプラズマ中でのエッチン
グに比べ、炭素（Ｃ）あるいはイオウ（Ｓ）によるウェ
ハー表面の反応残渣汚染がなく、また反応残渣汚染がな
いためエッチング速度が速くなるという利点がある。こ
のような観点から、ＮＦ3 ガスが多用されるようになっ
てきているが、ＮＦ3 ガスは常温で非常に安定（したが
って、大気中に放出しても分解されず生物に対する悪影
響が懸念される）で、かつ、許容濃度１０ｐｐｍの猛毒
性ガスである。このことから、シリンダボックス等に格
納されたＮＦ3 ガスボンベからＮＦ 3 ガスが漏洩した場
合等に、排気ダクトを通じて、大気中に、ＮＦ3 ガスが
除害されずにそのまま放出されると、危険であり、ＮＦ
3 ガスの処理が大きな問題となる。
【０００３】そこで、このようなＮＦ3 ガスを処理する
ため、一般に、つぎのような方法が行われている。すな
わち、まず、ＮＦ3 ガスを加熱処理（すなわち、熱分解
させることによりＦ2 やＨＦ等に変換するか、あるい
は、高温下で金属と接触させることにより反応させてガ
ス状の金属フッ化物に変換する）し、ついで、これらの
分解生成物等を含むガスを常温に冷却したのち、常温な
いし低温の吸着剤中に通し、上記分解生成物等を物理吸
着させて除害することが行われる。
ため、一般に、つぎのような方法が行われている。すな
わち、まず、ＮＦ3 ガスを加熱処理（すなわち、熱分解
させることによりＦ2 やＨＦ等に変換するか、あるい
は、高温下で金属と接触させることにより反応させてガ
ス状の金属フッ化物に変換する）し、ついで、これらの
分解生成物等を含むガスを常温に冷却したのち、常温な
いし低温の吸着剤中に通し、上記分解生成物等を物理吸
着させて除害することが行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では、加熱処理において、ＮＦ3 ガスを高温金属と反
応させる場合には、処理装置内に空気が混入すると、上
記高温金属が空気中の酸素と反応してしまい、ＮＦ3 ガ
スとの反応が進行しなくなるため、除害能力が早期に低
下したり、あるいは、過度の酸化反応による反応熱で装
置内が異常昇温して制御不能になったりするという問題
がある。さらに、上記異常昇温にともなう燃焼過程にお
いて、副生成物としてＮＯx 等の有害物質を生じること
もあり、安全性の点にも問題がある。また、ＮＦ3 ガス
を熱分解等させる加熱処理と、これによって生じた分解
生成物を吸着する吸着処理の二段階の処理が必要となる
うえ、上記吸着処理は、物理吸着であって、吸着能力を
発揮させるために常温ないし低温で行われるため、加熱
処理とは処理温度が大幅に異なり、それぞれに別個の処
理装置が必要となる。したがって、これにともない装置
全体が複雑化，大形化するという問題がある。
法では、加熱処理において、ＮＦ3 ガスを高温金属と反
応させる場合には、処理装置内に空気が混入すると、上
記高温金属が空気中の酸素と反応してしまい、ＮＦ3 ガ
スとの反応が進行しなくなるため、除害能力が早期に低
下したり、あるいは、過度の酸化反応による反応熱で装
置内が異常昇温して制御不能になったりするという問題
がある。さらに、上記異常昇温にともなう燃焼過程にお
いて、副生成物としてＮＯx 等の有害物質を生じること
もあり、安全性の点にも問題がある。また、ＮＦ3 ガス
を熱分解等させる加熱処理と、これによって生じた分解
生成物を吸着する吸着処理の二段階の処理が必要となる
うえ、上記吸着処理は、物理吸着であって、吸着能力を
発揮させるために常温ないし低温で行われるため、加熱
処理とは処理温度が大幅に異なり、それぞれに別個の処
理装置が必要となる。したがって、これにともない装置
全体が複雑化，大形化するという問題がある。
【０００５】この発明は、このような事情に鑑みなされ
たもので、空気成分を含んでいても異常昇温やＮＯx 等
の発生がなく安全に除害することができ、しかも、工程
を簡略化できて処理装置の小形化も実現できるＮＦ3 ガ
スの処理剤の提供をその目的とする。
たもので、空気成分を含んでいても異常昇温やＮＯx 等
の発生がなく安全に除害することができ、しかも、工程
を簡略化できて処理装置の小形化も実現できるＮＦ3 ガ
スの処理剤の提供をその目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明は、粒状もしくは粉状に形成されたソーダ
ライムからなり、加熱状態でＮＦ3 ガスもしくはＮＦ3
ガスを含むガスと接触することにより、上記ＮＦ3 ガス
を分解しその分解生成物を吸着するという構成をとる。
め、この発明は、粒状もしくは粉状に形成されたソーダ
ライムからなり、加熱状態でＮＦ3 ガスもしくはＮＦ3
ガスを含むガスと接触することにより、上記ＮＦ3 ガス
を分解しその分解生成物を吸着するという構成をとる。
【０００７】
【作用】すなわち、本発明者らは、ＮＦ3 ガスの安全で
簡易な除害を目的として一連の研究を重ねる過程で、一
般にＣＯ2 や水の吸収剤等に用いられているソーダライ
ムが、高温に加熱された状態において、ＮＦ3 ガスを分
解すると同時にその生成分解ガスを吸着（化学吸着と思
われる）するという特性を奏することを見いだし、この
発明に到達した。この発明によるＮＦ3 ガスの処理剤
は、粒状もしくは粉状に形成されたソーダライムからな
り、加熱状態でＮＦ3 ガスもしくはそれを含むガスと接
触することにより、上記ＮＦ3 ガスを分解しその分解生
成物を吸着するようにしている。このように、この処理
剤は、主として金属水酸化物からなる強塩基性のソーダ
ライムであり、酸素に対して不活性で、仮に処理装置内
に空気が混入しても、従来のように、除害能力が低下し
たり、装置内が異常昇温したりすることがない。さら
に、異常昇温が防止されることから、燃焼過程における
副生成物であるＮＯx 等の有害物質を生じることがな
く、安全性の点でも優れている。そのうえ、この処理剤
は、従来のような常温域ないし低温域でのみ効果を発揮
する物理吸着ではなく、分解生成物を加熱状態で吸着さ
せる一種の化学吸着作用を利用していることから、従来
は二段階で行っていた加熱処理と吸着処理とを同じ温度
で、しかも同時に行うことができるようになり、これに
ともない、処理工程を簡略化するとともに処理装置を単
純化，小形化することもできるようになる。
簡易な除害を目的として一連の研究を重ねる過程で、一
般にＣＯ2 や水の吸収剤等に用いられているソーダライ
ムが、高温に加熱された状態において、ＮＦ3 ガスを分
解すると同時にその生成分解ガスを吸着（化学吸着と思
われる）するという特性を奏することを見いだし、この
発明に到達した。この発明によるＮＦ3 ガスの処理剤
は、粒状もしくは粉状に形成されたソーダライムからな
り、加熱状態でＮＦ3 ガスもしくはそれを含むガスと接
触することにより、上記ＮＦ3 ガスを分解しその分解生
成物を吸着するようにしている。このように、この処理
剤は、主として金属水酸化物からなる強塩基性のソーダ
ライムであり、酸素に対して不活性で、仮に処理装置内
に空気が混入しても、従来のように、除害能力が低下し
たり、装置内が異常昇温したりすることがない。さら
に、異常昇温が防止されることから、燃焼過程における
副生成物であるＮＯx 等の有害物質を生じることがな
く、安全性の点でも優れている。そのうえ、この処理剤
は、従来のような常温域ないし低温域でのみ効果を発揮
する物理吸着ではなく、分解生成物を加熱状態で吸着さ
せる一種の化学吸着作用を利用していることから、従来
は二段階で行っていた加熱処理と吸着処理とを同じ温度
で、しかも同時に行うことができるようになり、これに
ともない、処理工程を簡略化するとともに処理装置を単
純化，小形化することもできるようになる。
【０００８】また、上記ソーダライムが、金属酸化物を
担持させたソーダライムである場合には、処理温度をよ
り低くできるという利点がある。さらに、加熱状態での
温度が３００℃〜６００℃である場合には、ＮＦ3 ガス
を効率的に分解するとともに、処理装置自体の腐食によ
る破損を防止することができる。
担持させたソーダライムである場合には、処理温度をよ
り低くできるという利点がある。さらに、加熱状態での
温度が３００℃〜６００℃である場合には、ＮＦ3 ガス
を効率的に分解するとともに、処理装置自体の腐食によ
る破損を防止することができる。
【０００９】つぎに、この発明を詳しく説明する。
【００１０】この発明のＮＦ3 ガスの処理剤は、ＮＦ3
ガスの分解温度（３００℃〜６００℃）で酸素に対して
不活性で安定であり、しかも、この温度域で、ＮＦ3 ガ
スと接触してＮＦ3 ガスを分解しその分解生成物である
Ｆ2 やＨＦ等を化学吸着しうるもので、常温で粒状もし
くは粉状のソーダライム、あるいは、Ｆｅ2 Ｏ3 ，Ｃｕ
Ｏ等の金属酸化物を担持させたソーダライムが用いられ
る。
ガスの分解温度（３００℃〜６００℃）で酸素に対して
不活性で安定であり、しかも、この温度域で、ＮＦ3 ガ
スと接触してＮＦ3 ガスを分解しその分解生成物である
Ｆ2 やＨＦ等を化学吸着しうるもので、常温で粒状もし
くは粉状のソーダライム、あるいは、Ｆｅ2 Ｏ3 ，Ｃｕ
Ｏ等の金属酸化物を担持させたソーダライムが用いられ
る。
【００１１】上記ソーダライムは、例えば、つぎのよう
にして得ることができる。すなわち、まず、生石灰を水
酸化ナトリウム等のアルカリ溶液に浸漬し、ついで、こ
れを混練し、押出成形等により粒状もしくは粉状に形成
することにより、主として金属水酸化物からなるソーダ
ライムが得られる。また、金属酸化物を担持させたソー
ダライムは、金属酸化物と生石灰を水酸化ナトリウム等
のアルカリ溶液に浸漬し、ついで、上記と同様に混練し
て粒状もしくは粉状に形成することにより得られる。
にして得ることができる。すなわち、まず、生石灰を水
酸化ナトリウム等のアルカリ溶液に浸漬し、ついで、こ
れを混練し、押出成形等により粒状もしくは粉状に形成
することにより、主として金属水酸化物からなるソーダ
ライムが得られる。また、金属酸化物を担持させたソー
ダライムは、金属酸化物と生石灰を水酸化ナトリウム等
のアルカリ溶液に浸漬し、ついで、上記と同様に混練し
て粒状もしくは粉状に形成することにより得られる。
【００１２】このようにして得られたソーダライムの加
熱状態での温度は、３００℃〜６００℃に設定すること
が望ましく、さらに好適には、４００℃〜５００℃に設
定するのが望ましい。すなわち、上記温度範囲より温度
が低すぎると、ＮＦ3 ガスの分解が生じ難く、逆に温度
が高すぎると、処理装置自体の腐食が急激に進行するか
らである。
熱状態での温度は、３００℃〜６００℃に設定すること
が望ましく、さらに好適には、４００℃〜５００℃に設
定するのが望ましい。すなわち、上記温度範囲より温度
が低すぎると、ＮＦ3 ガスの分解が生じ難く、逆に温度
が高すぎると、処理装置自体の腐食が急激に進行するか
らである。
【００１３】なお、この発明の対象とするＮＦ3 ガスと
は、ＮＦ3 ガスのみからなるガスと、それに空気等が混
入したガス（ＮＦ3 ガスを含む排ガス）の双方をいう。
は、ＮＦ3 ガスのみからなるガスと、それに空気等が混
入したガス（ＮＦ3 ガスを含む排ガス）の双方をいう。
【００１４】この発明のＮＦ3 ガスの処理剤は、例え
ば、図１に示すような処理装置で用いられる。この処理
装置は、ソーダライム２と、内部に発熱筒４が配設され
た処理筒３とを用い、漏洩ＮＦ3 ガスを検知する検知器
１の検知信号にもとづいて上記発熱筒４を加熱するとと
もに、上記処理筒３内に漏洩ＮＦ3 ガスを導入し、加熱
状態の発熱筒４およびこの発熱筒４により加熱されたソ
ーダライム２にＮＦ3 ガスを接触させて熱分解させると
ともに、上記ソーダライム２に加熱状態で分解生成物を
吸着させるものである。
ば、図１に示すような処理装置で用いられる。この処理
装置は、ソーダライム２と、内部に発熱筒４が配設され
た処理筒３とを用い、漏洩ＮＦ3 ガスを検知する検知器
１の検知信号にもとづいて上記発熱筒４を加熱するとと
もに、上記処理筒３内に漏洩ＮＦ3 ガスを導入し、加熱
状態の発熱筒４およびこの発熱筒４により加熱されたソ
ーダライム２にＮＦ3 ガスを接触させて熱分解させると
ともに、上記ソーダライム２に加熱状態で分解生成物を
吸着させるものである。
【００１５】上記処理装置についてより詳しく説明する
と、図において、１０は内部にＮＦ 3 ガスボンベ１１が
格納される鋼鉄製の角筒状シリンダボックスである。３
はステンレス製の断面円形の処理筒であり、その一側
（図示の左側）の上側部に電気式の第１の制御弁７およ
び第１の送風機１６が設けられたステンレス製の排ガス
導入配管５が接続され、上記処理筒３は、この排ガス導
入配管５を介して、上記シリンダボックス１０の下部と
連通している。上記シリンダボックス１０の下側部に
は、ＮＦ3 ガスの漏洩が生じたときに、この漏洩ＮＦ3
ガスを検知する検知器（理研計器社製，定電位電解式検
知器）１が取り付けられている。この検知器１の検知信
号にもとづいて、上記第１の制御弁７が開弁するととも
に制御弁１８が閉弁し、上記シリンダボックス１０内の
漏洩ＮＦ3 ガスを含有する排ガスを処理筒３内に導入す
るようになっている。また、処理筒３の他側の下側部に
は、処理筒３内で処理された排ガスが排出される処理済
ガス排出配管６が接続されている。
と、図において、１０は内部にＮＦ 3 ガスボンベ１１が
格納される鋼鉄製の角筒状シリンダボックスである。３
はステンレス製の断面円形の処理筒であり、その一側
（図示の左側）の上側部に電気式の第１の制御弁７およ
び第１の送風機１６が設けられたステンレス製の排ガス
導入配管５が接続され、上記処理筒３は、この排ガス導
入配管５を介して、上記シリンダボックス１０の下部と
連通している。上記シリンダボックス１０の下側部に
は、ＮＦ3 ガスの漏洩が生じたときに、この漏洩ＮＦ3
ガスを検知する検知器（理研計器社製，定電位電解式検
知器）１が取り付けられている。この検知器１の検知信
号にもとづいて、上記第１の制御弁７が開弁するととも
に制御弁１８が閉弁し、上記シリンダボックス１０内の
漏洩ＮＦ3 ガスを含有する排ガスを処理筒３内に導入す
るようになっている。また、処理筒３の他側の下側部に
は、処理筒３内で処理された排ガスが排出される処理済
ガス排出配管６が接続されている。
【００１６】上記処理筒３には、図２に示すように、複
数のステンレス製の円筒状の発熱筒４が所定間隔を隔て
て挿通されており、これら発熱筒４の上下の端部は、処
理筒３の天井壁および底壁に、所定空間を保って、それ
ぞれ開口されている。また、上記発熱筒４の内部には、
空気との接触により発熱する粉末状の発熱剤（この実施
例では鉄粉が用いられている）８が充填されている。そ
して、上記処理筒３の内部には、粒状のソーダライム２
と、上記と同様の発熱剤８とが混合された状態で収容さ
れている。また、上記処理筒３の天井壁の上面には、そ
れ自身の上部に空気導入配管１３が設けられた円錐状の
ステンレス製蓋体１２ａが密封状態に冠着されていると
ともに、処理筒３の底壁の下面にも同様に、上記蓋体１
２ａと同様の、空気排出配管１４付きの底体１２ｂが取
り付けられている。そして、上記空気導入配管１３から
導入された空気は、上記各発熱筒４内を、図示の上から
下に向かって流通するようになっている。また、上記空
気導入配管１３には、検知器１の検知信号にもとづいて
開弁する第２の制御弁（第１の制御弁７と同じもの）１
５が設けられ、空気排出配管１４には、同じく検知器１
の検知信号にもとづいて作動する第２の送風機（第１の
送風機１６と同じもの）１７が設けられている。これに
より、ＮＦ3 ガスの漏洩が生じたときに、上記発熱筒４
内に空気を流通させ、内部の発熱剤８と接触させて発熱
させるようになっている。そして、上記処理筒３の内部
中央には、上記検知器１の検知信号にもとづいて加熱さ
れる電気式のヒーター９が配設されている。なお、上記
発熱剤８としては、酸素によって酸化されて発熱する還
元性の金属粉末が使用され、鉄粉のほか、ニッケル粉
末，チタン粉末等を用いてもよい。
数のステンレス製の円筒状の発熱筒４が所定間隔を隔て
て挿通されており、これら発熱筒４の上下の端部は、処
理筒３の天井壁および底壁に、所定空間を保って、それ
ぞれ開口されている。また、上記発熱筒４の内部には、
空気との接触により発熱する粉末状の発熱剤（この実施
例では鉄粉が用いられている）８が充填されている。そ
して、上記処理筒３の内部には、粒状のソーダライム２
と、上記と同様の発熱剤８とが混合された状態で収容さ
れている。また、上記処理筒３の天井壁の上面には、そ
れ自身の上部に空気導入配管１３が設けられた円錐状の
ステンレス製蓋体１２ａが密封状態に冠着されていると
ともに、処理筒３の底壁の下面にも同様に、上記蓋体１
２ａと同様の、空気排出配管１４付きの底体１２ｂが取
り付けられている。そして、上記空気導入配管１３から
導入された空気は、上記各発熱筒４内を、図示の上から
下に向かって流通するようになっている。また、上記空
気導入配管１３には、検知器１の検知信号にもとづいて
開弁する第２の制御弁（第１の制御弁７と同じもの）１
５が設けられ、空気排出配管１４には、同じく検知器１
の検知信号にもとづいて作動する第２の送風機（第１の
送風機１６と同じもの）１７が設けられている。これに
より、ＮＦ3 ガスの漏洩が生じたときに、上記発熱筒４
内に空気を流通させ、内部の発熱剤８と接触させて発熱
させるようになっている。そして、上記処理筒３の内部
中央には、上記検知器１の検知信号にもとづいて加熱さ
れる電気式のヒーター９が配設されている。なお、上記
発熱剤８としては、酸素によって酸化されて発熱する還
元性の金属粉末が使用され、鉄粉のほか、ニッケル粉
末，チタン粉末等を用いてもよい。
【００１７】上記処理装置により、ＮＦ3 ガスを含有す
る排ガスの処理は、つぎのようにして行われる。すなわ
ち、まず、シリンダボックス１０内でＮＦ3 ガスボンベ
１１からＮＦ3 ガスの漏洩が生じると、この漏洩ＮＦ3
ガスが検知器１によって検知される。ついで、この検知
信号にもとづいて、ヒーター９の加熱が開始されるとと
もに、第２の制御弁１５が開弁され、さらに第２の送風
機１７が作動され、発熱筒４内に空気を流通させて内部
の発熱剤８を発熱させる。この発熱により、発熱筒４が
速やかに加熱される。さらに、上記発熱筒４の加熱と同
時に、上記検知器１の検知信号にもとづいて、第１の制
御弁７が開弁されるとともに制御弁１８が閉弁し、シリ
ンダボックス１０内の漏洩ＮＦ3 ガスを含む排ガスを、
排ガス導入配管５を通して処理筒３内に導入する。これ
により、処理筒３内の発熱剤８が排ガス中の空気と接触
して発熱し、この発熱剤８と混合されたソーダライム２
が速やかに加熱される。一方、排ガス中のＮＦ3 は、上
記加熱状態の発熱筒４およびソーダライム２と接触して
分解されるとともに、この分解生成物が加熱状態のソー
ダライム２に化学吸着されることにより除害される。ま
た、上記処理筒３内に収容された発熱剤８および発熱筒
４内に充填された発熱剤８の発熱反応が終了したのち
は、ヒーター９の加熱により、上記と同様の作用で除害
が行われる。
る排ガスの処理は、つぎのようにして行われる。すなわ
ち、まず、シリンダボックス１０内でＮＦ3 ガスボンベ
１１からＮＦ3 ガスの漏洩が生じると、この漏洩ＮＦ3
ガスが検知器１によって検知される。ついで、この検知
信号にもとづいて、ヒーター９の加熱が開始されるとと
もに、第２の制御弁１５が開弁され、さらに第２の送風
機１７が作動され、発熱筒４内に空気を流通させて内部
の発熱剤８を発熱させる。この発熱により、発熱筒４が
速やかに加熱される。さらに、上記発熱筒４の加熱と同
時に、上記検知器１の検知信号にもとづいて、第１の制
御弁７が開弁されるとともに制御弁１８が閉弁し、シリ
ンダボックス１０内の漏洩ＮＦ3 ガスを含む排ガスを、
排ガス導入配管５を通して処理筒３内に導入する。これ
により、処理筒３内の発熱剤８が排ガス中の空気と接触
して発熱し、この発熱剤８と混合されたソーダライム２
が速やかに加熱される。一方、排ガス中のＮＦ3 は、上
記加熱状態の発熱筒４およびソーダライム２と接触して
分解されるとともに、この分解生成物が加熱状態のソー
ダライム２に化学吸着されることにより除害される。ま
た、上記処理筒３内に収容された発熱剤８および発熱筒
４内に充填された発熱剤８の発熱反応が終了したのち
は、ヒーター９の加熱により、上記と同様の作用で除害
が行われる。
【００１８】上記のように、この発明のＮＦ3 ガスの処
理剤を、処理装置内において、空気との接触により発熱
する粉末状もしくは粒状の発熱剤８と混合使用した場合
には、ＮＦ3 ガスを含む排ガスを処理装置内に導入する
ことで、排ガス中の空気と接触して上記発熱剤８が発熱
し、ＮＦ3 ガスの分解とソーダライム２の加熱とが同時
に行われる。これにより、速やかに処理装置内およびソ
ーダライム２が加熱されて処理のスタートアップ時間が
短縮し、漏洩等に対して迅速に対応することができるよ
うになる。そのうえ、ＮＦ3 ガスの漏洩した際の、緊急
時の除害処理が必要な時だけ加熱することができるた
め、電力等の処理コストが節減できて経済的である。
理剤を、処理装置内において、空気との接触により発熱
する粉末状もしくは粒状の発熱剤８と混合使用した場合
には、ＮＦ3 ガスを含む排ガスを処理装置内に導入する
ことで、排ガス中の空気と接触して上記発熱剤８が発熱
し、ＮＦ3 ガスの分解とソーダライム２の加熱とが同時
に行われる。これにより、速やかに処理装置内およびソ
ーダライム２が加熱されて処理のスタートアップ時間が
短縮し、漏洩等に対して迅速に対応することができるよ
うになる。そのうえ、ＮＦ3 ガスの漏洩した際の、緊急
時の除害処理が必要な時だけ加熱することができるた
め、電力等の処理コストが節減できて経済的である。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、この発明のＮＦ3 ガスの
処理剤によれば、主として金属水酸化物からなる強塩基
性のソーダライムであることから、酸素に対して不活性
で、仮に処理装置内に空気が混入しても、従来のよう
に、除害能力が低下したり、装置内が異常昇温したりす
ることがない。さらに、異常昇温が防止されることか
ら、燃焼過程における副生成物であるＮＯx 等の有害物
質を生じることがなく、安全性の点でも優れている。そ
のうえ、この処理剤は、従来のような常温ないし低温域
でのみ効果を発揮する物理吸着ではなく、分解生成物を
加熱状態で吸着させる一種の化学吸着作用を利用してい
るため、従来は二段階で行っていた加熱処理と吸着処理
とを同じ温度で、しかも同時に行うことができるように
なり、これにともない、処理工程を簡略化するとともに
処理装置を単純化，小形化することもできるようにな
る。
処理剤によれば、主として金属水酸化物からなる強塩基
性のソーダライムであることから、酸素に対して不活性
で、仮に処理装置内に空気が混入しても、従来のよう
に、除害能力が低下したり、装置内が異常昇温したりす
ることがない。さらに、異常昇温が防止されることか
ら、燃焼過程における副生成物であるＮＯx 等の有害物
質を生じることがなく、安全性の点でも優れている。そ
のうえ、この処理剤は、従来のような常温ないし低温域
でのみ効果を発揮する物理吸着ではなく、分解生成物を
加熱状態で吸着させる一種の化学吸着作用を利用してい
るため、従来は二段階で行っていた加熱処理と吸着処理
とを同じ温度で、しかも同時に行うことができるように
なり、これにともない、処理工程を簡略化するとともに
処理装置を単純化，小形化することもできるようにな
る。
【００２０】つぎに、実施例について比較例と併せて説
明する。
明する。
【００２１】
【実施例１〜３】ＮＦ3 ガスを１．１％含む空気（実施
例１），２．０％含む空気（実施例２）および１．３％
含む空気（実施例３）を、それぞれこの発明の処理剤を
用いた図１に示す処理装置により、処理温度４００〜５
００℃，流量ＳＶ２５〜５１リットル／Ｈｒの処理条件
で除害処理を行った。これらの結果を下記の表１に示
す。
例１），２．０％含む空気（実施例２）および１．３％
含む空気（実施例３）を、それぞれこの発明の処理剤を
用いた図１に示す処理装置により、処理温度４００〜５
００℃，流量ＳＶ２５〜５１リットル／Ｈｒの処理条件
で除害処理を行った。これらの結果を下記の表１に示
す。
【００２２】
【表１】
【００２３】上記表１の結果から、この発明の処理剤に
より、ＮＦ3 ガスは、いずれの濃度であっても５ｐｐｍ
以下（ガスクロマトグラフィー検出限界）まで処理され
ていることがわかる。また、上記実施例１〜３では、処
理装置内の異常昇温を生じることなく、除害処理を行う
ことができた。
より、ＮＦ3 ガスは、いずれの濃度であっても５ｐｐｍ
以下（ガスクロマトグラフィー検出限界）まで処理され
ていることがわかる。また、上記実施例１〜３では、処
理装置内の異常昇温を生じることなく、除害処理を行う
ことができた。
【００２４】
【比較例】上記実施例１と同じ濃度のＮＦ3 ガスを含む
空気を、従来の、高温金属と接触させる２段階処理方法
で処理を行った。その結果、剤の酸化によると思われる
異常昇温を起こし、瞬時に処理不能となった。
空気を、従来の、高温金属と接触させる２段階処理方法
で処理を行った。その結果、剤の酸化によると思われる
異常昇温を起こし、瞬時に処理不能となった。
【図１】この発明のＮＦ3 ガスの処理剤が使用される処
理装置の一例を示す構成図である。
理装置の一例を示す構成図である。
【図２】処理筒を示す横断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 濱口 徹也 大阪府堺市築港新町２丁６番地40 大同ほ くさん株式会社技術本部堺研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 粒状もしくは粉状に形成されたソーダラ
イムからなり、加熱状態でＮＦ3 ガスもしくはＮＦ3 ガ
スを含むガスと接触することにより、上記ＮＦ3 ガスを
分解しその分解生成物を吸着することを特徴とするＮＦ
3 ガスの処理剤。 - 【請求項２】 ソーダライムが、金属酸化物を担持させ
たソーダライムである請求項１記載のＮＦ3 ガスの処理
剤。 - 【請求項３】 加熱状態での温度が３００℃〜６００℃
である請求項１または２記載のＮＦ3 ガスの処理剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7155948A JPH09877A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | Ｎｆ３ガスの処理剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7155948A JPH09877A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | Ｎｆ３ガスの処理剤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09877A true JPH09877A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=15617033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7155948A Withdrawn JPH09877A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | Ｎｆ３ガスの処理剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09877A (ja) |
-
1995
- 1995-06-22 JP JP7155948A patent/JPH09877A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH09103643A (ja) | オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を含むガスの清浄化装置および方法 | |
| EP0792681A1 (en) | Process for cleaning a halogen containing gas | |
| JPH08323133A (ja) | 高周波誘導熱プラズマを用いた有機ハロゲン化合物の高温加水分解により発生した排ガスの無害化処理方法 | |
| JPH09877A (ja) | Ｎｆ３ガスの処理剤 | |
| JPH02273511A (ja) | 窒素または炭素のハロゲン化物の無毒化方法 | |
| KR920007856B1 (ko) | 기체상태의 산성 할로겐 화합물의 제거방법 | |
| JP3490751B2 (ja) | 気体状フッ化物の分解方法 | |
| JP3871127B2 (ja) | ベントガスの除害方法及びその処理剤 | |
| JP2000140576A (ja) | フッ素系ガス含有混合物の無害化処理システム | |
| US6767513B1 (en) | Method of treating exhaust gases containing halogen based compound | |
| KR100684201B1 (ko) | 불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기위한 흡착 컬럼 장치 | |
| JP3260825B2 (ja) | 有害ガスの浄化方法 | |
| JPH03181316A (ja) | Ｎｆ↓３の除害方法 | |
| JPH08257357A (ja) | Ｎｆ３ガスの処理方法およびそれに用いる装置 | |
| JPH10216479A (ja) | 三弗化窒素ガスの除害方法 | |
| JP4459648B2 (ja) | フッ素含有化合物を含むガスの処理方法及び装置 | |
| JPH0710334B2 (ja) | Ｎｆ３ 排ガス処理方法および装置 | |
| JPS63291624A (ja) | ガリウム・ヒ素ウェハ−のドライエッチング排ガスの処理方法 | |
| JP2000058464A (ja) | 排気ガス処理方法および処理装置 | |
| JP3228459B2 (ja) | ハロゲン化物ガスの分解方法 | |
| JP6908820B2 (ja) | ギ酸の処理方法及びギ酸の処理装置 | |
| JP2004181300A (ja) | 酸化性ガス及び酸性ガスの処理剤並びに該処理剤を用いた無害化方法 | |
| JP2647723B2 (ja) | 有機系半導体排気ガスの無害化方法 | |
| JP2005185897A (ja) | 六フッ化硫黄ガスの処理方法 | |
| JPH07116466A (ja) | フッ素系エッチングガス又はクリーニングガスを分解する方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |