JPH0992134A - ノズル塗布方法及び装置 - Google Patents

ノズル塗布方法及び装置

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JPH0992134A
JPH0992134A JP7244436A JP24443695A JPH0992134A JP H0992134 A JPH0992134 A JP H0992134A JP 7244436 A JP7244436 A JP 7244436A JP 24443695 A JP24443695 A JP 24443695A JP H0992134 A JPH0992134 A JP H0992134A
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coating
nozzle
line
liquid
liquid container
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JP7244436A
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Hiroshi Yoshiba
洋 吉羽
Yoichiro Ohashi
洋一郎 大橋
Kazuo Watanabe
一生 渡辺
Kazuyuki Shiozaki
和之 塩崎
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
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    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマディスプレイパネルの障壁形成層等
の厚膜を一度の塗布工程により形成する。 【解決手段】 ノズル塗布装置１０は、塗工液が充填さ
れる液体容器１８下端のノズル２０先端から塗工液を吐
出しつつ、これをガラス基板１６に対してＸ方向に駆動
して塗布ライン２１Ａを形成し、次にＹ方向に塗布ライ
ンの幅よりも小さいピッチＰだけ移動して、次の塗布ラ
イン２１Ｂを形成し、順次隣接する塗布ラインが幅方向
に一部重なるようにして、ガラス基板１６上に塗工面２
２を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はノズルから吐出す
る塗工液を基板等に塗布する方法及び装置に関するもの
であり、特に、プラズマディスプレイパネルの障壁の形
成に用いて好適なノズル塗布方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガス放電パネルであるプラズマディスプ
レイパネルは、２枚の基板に挟まれた微小な放電空間と
してのセルを多数備え、セル毎に放電して発光するか、
生じた紫外線により蛍光体を発光させて、所定の色の画
素を構成するようにされている。
【０００３】前記微小なセル間には、各セル間における
光のクロストーク（混線）を防ぐため、及び同基板間の
間隔を一定に保つために障壁が設けられている。
【０００４】プラズマディスプレイパネルでは、放電空
間をできるだけ大きくし、高輝度の発光を得るために、
前記障壁が垂直に切り立ち、幅が狭く且つ高いことが要
求される。特に高精細のディスプレイでは、高さ１００
μｍに対して、幅３０〜５０μｍといった高アスペクト
比の障壁が必要とされている。
【０００５】前記のようなプラズマディスプレイパネル
における障壁の形成方法としては、従来、スクリーン印
刷によるパターン法がある。
【０００６】スクリーン印刷による場合は、１回の印刷
で形成できる膜厚が最大数十μｍであるために、印刷と
乾燥を多数回、一般には１０回程度繰り返して目的の膜
厚（障壁高さ）を得る必要があった。
【０００７】又、スクリーン印刷により形成される塗膜
は、周辺部が凹んで凸になるため、多数回重ね刷りした
場合に、断面形状のダレが蓄積されて底辺部が広がって
しまうという問題点があり、このため障壁のファインピ
ッチ化（高精細化）には限界があり、更に、スクリーン
印刷の印刷版の歪みのため、ピッチ精度にも限界があ
り、ディスプレイパネルの大型化が困難であった。
【０００８】このような問題を解決する方法として、例
えば、電子材料Ｎｏ．１１、Ｐ１３８（１９８３年出
版）にはサブトラクティブ法を用いた障壁形成方法が提
案されている。
【０００９】この方法は、基板上に障壁形成層を形成し
た後に、上面にサブトラクティブ用レジストパターン
を、印刷やフォトリソグラフィーにより形成し、レジス
ト開口部の障壁形成材料を除去するものである。
【００１０】この除去方法の１つとして、圧縮気体に混
合された微粒子を高速で噴射して、物理的にエッチング
を行う、いわゆるサンドブラスト加工法が好適とされて
いる。これは、障壁の壁面が垂直に切り立ち、その幅が
狭く、且つ高く、望ましい形状に障壁材を加工すること
が可能であり、更にレジストのパターニングにフォトリ
ソグラフィー工程を採用することにより、パターン精度
を高く且つパネルを大型化できるという利点がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記のようにサンドブ
ラスト法により障壁を加工する場合は、まず、基板の有
効表示エリア内全面にわたり均一な膜厚で未焼成の障壁
形成層を形成する必要がある。
【００１２】従来は、この障壁形成層は、ブレードコー
ティング法やスクリーン印刷多層刷りにより、インキ化
された障壁形成材料を、直接ガラス基板上に塗布して形
成するようにしていた。
【００１３】しかしながら、スクリーン印刷による多層
刷りは、通常５〜１０回のベタ印刷−乾燥の工程を繰り
返すので生産性が悪く、又、紗の目により塗膜表面に凹
凸が発生してしまうという問題点があった。
【００１４】又、通常、プラズマディスプレイパネルに
おけるガラス基板としては、フロート法により製造され
た未研磨のガラス板が使用されるため、２０μｍ以上の
板厚ムラがあり、これにブレードコーティングやロール
コーティング等のコーティング法で障壁形成材料を塗布
すると、塗膜厚さが板厚の影響を受けて、均一な膜厚の
障壁形成層を設けることが困難であった。
【００１５】更に、障壁形成層は乾燥後の膜厚が１５０
〜２００μｍで極めて大きいため、１回の塗布のみでは
乾燥工程での周辺部の起伏（フレーミング）を回避する
ことが困難であり、コーティング法でも複数回の塗布が
必要であるという問題点があった。
【００１６】更に又、パターニングには、レジスト露光
の位置合わせに必要なアライメントマークを、障壁形成
層で覆うことなく露出させておかなければならないの
で、ガラス基板の外周部に非塗工エリアを残して障壁形
成層を形成することが望ましいが、スクリーン印刷以外
の方法、例えばコーティング方法ではこのような塗布を
行うことは極めて困難であるという問題点があった。
【００１７】この発明は上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、必要とされるエリアのみに１回の塗
布により、必要厚さで、且つ表面に凹凸が少なく、周辺
部まで膜厚が均一な塗工面が得られるノズル塗布方法及
び装置を提供することを目的とする。
【００１８】又、基板等の大きさが変わる場合でも、１
台の装置によりそのまま塗布することができると共に、
基板等の一部分に、マスキング等を行うことなくパター
ン塗工をすることができるようにしたノズル塗布方法及
び装置を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本方法発明は、請求項１
に記載されるように、被塗工物の平面状の塗布面に対し
て離間した状態で、ノズル先端から塗工液を吐出しつ
つ、前記塗布面に対してこれと平行に、該ノズルを相対
的に移動させて、塗布面に塗工液をライン状に塗布し、
次の塗布ラインの幅方向の一部が先の塗布ラインに幅方
向に重なるように順次繰り返して塗布することにより塗
工面を形成することを特徴とするノズル塗布方法によ
り、上記目的を達成するものである。
【００２０】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記塗布面とノズル先端間の距離を、目標とする塗
工面の膜厚と略同一とするようにしたものである。
【００２１】請求項３の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記ノズルが、一の塗布ラインの終端から次
の塗布ラインの始端に移動する際、前記ノズル先端から
の塗工液の吐出を停止するようにしたものである。
【００２２】請求項４の発明は、前記請求項１、２又は
３の発明において、前記ノズルの吐出口の径、吐出圧
力、粘度及び表面張力を含む塗工液の性質により、前記
塗布ラインの幅方向ピッチを設定するようにしたもので
ある。
【００２３】請求項５の発明は、請求項１乃至４のいず
れかの発明において、前記ノズルを、前記塗布ラインの
幅方向に、該塗布ラインの幅方向ピッチの整数倍の定間
隔に離間して複数配置し、一のノズルによる初回塗布ラ
インと、該ノズルの幅方向ピッチ送り方向後方に隣接す
るノズルによる終回塗布ラインとが、幅方向一部で重な
るように、各ノズルを塗布面に対して相対移動させて塗
布するようにしたものである。
【００２４】請求項６の発明は、請求項１乃至４のいず
れかの発明において、前記塗工液が溶剤を含み、塗工面
形成後で、該塗工面に残る含有溶剤を蒸発させる本乾燥
の前に、該本乾燥よりも低温度で、且つ、塗装液の粘度
が低下する温度に一定時間塗工面をおくことにより、ノ
ズル塗出方式に伴う膜厚の不均一状態が次第に均一化す
るようにしたものである。
【００２５】請求項７の発明は、請求項１乃至６のいず
れかの発明において、前記被塗工物を、プラズマディス
プレイパネルのガラス基板とし、前記塗工面の少なくと
も一部を、プラズマディスプレイパネルの各放電セル間
を隔絶するために、前記ガラス基板に形成されるべき障
壁としたものである。
【００２６】装置発明は、請求項８に記載されるよう
に、被塗工物をその平面状塗布面を上向きにして支持す
るワーク支持台と、塗工液が充填されると共に、下端に
ノズルを備え、加圧されて、該ノズルから塗工液を吐出
する液体容器と、この液体容器を、前記ワーク支持台に
固定された被塗工物の塗布面に対して前記ノズルを上方
から接近させた状態で支持すると共に、該液体容器及び
ワーク支持台の少なくとも一方を、前記ノズルが前記塗
布面に対してライン状に相対移動するように駆動する駆
動装置と、を有してなり、前記駆動装置は、前記塗布面
に前記ノズルから吐出される塗工液の塗布ラインと隣接
する塗布ラインとが、その幅方向に一部重なるように相
対移動を制御する制御装置を含んで構成されたことを特
徴とするノズル塗布装置により、上記目的を達成するも
のである。
【００２７】請求項９の発明は、請求項８の発明におい
て、前記駆動装置を、前記被塗工物及び液体容器を、こ
れらの相対移動時に、塗布面とノズル先端との間隙が目
標とする塗工面の膜厚と略同一となるように支持するも
のである。
【００２８】請求項１０の発明は、請求項８又は９の発
明において、前記液体容器における前記ノズルの先端の
断面形状が、円形、楕円形及びスリット形のいずれかと
したものである。
【００２９】請求項１１の発明は、請求項８、９又は１
０の発明において、前記液体容器が、塗布ラインの幅方
向に離間して配置された同形の複数本のノズルを備える
ようにしたものである。
【００３０】請求項１２の発明は、請求項８乃至１１の
いずれかの発明において、前記駆動装置が、前記液体容
器を支持し、且つ、これを、前記被塗工物に対して移動
させるＸＹロボットを含んで構成されるようにしたもの
である。
【００３１】請求項１３の発明は、請求項８乃至１１の
いずれかの発明において、前記駆動装置が、前記液体容
器に対して、塗布面に沿ってＸＹ方向に該基板を移動さ
せるＸＹステージを含んで構成されるようにしたもので
ある。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例に係
るノズル塗布装置について図面を参照して詳細に説明す
る。
【００３３】この発明の実施の形態の例に係るノズル塗
布装置１０は、コーティング部１１と、移載装置２４
と、乾燥部２６とからなり、前記コーティング部１１
は、ＸＹロボット１２の水平の支持板１４上に載置され
たプラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰ）用のガラ
ス基板１６にディスペンサーと称される液体容器１８内
の塗工液をその下端のノズル２０から吐出しつつ、ガラ
ス基板１６の上面に沿ってＸＹ方向に液体容器１８を駆
動することによって、ガラス基板１６の上面に塗工液を
塗布して塗工面２２を形成するものである。
【００３４】塗工面２２が形成されたガラス基板１６
は、図１に示されるように移載装置２４を経て乾燥部２
６に送られ、ここで乾燥されて塗布を完了する。
【００３５】前記液体容器１８には、可撓性パイプ１８
Ａを介して塗工液タンク２８からコントローラ３０を経
て塗工液が供給されるようになっている。
【００３６】前記ＸＹロボット１２は、基台３２上をＹ
方向に往復動自在とされた前記支持板１４を含み、該基
台３２上を、支持板１４の上方を跨ぐようにして配置さ
れた門型フレーム１３に取り付けられ、Ｘ方向に往復動
自在であって且つ前記液体容器１８を支持するＸ方向駆
動装置１２Ａを含んで構成されている。
【００３７】前記支持板１４のＹ方向の移動、Ｘ方向駆
動装置１２ＡのＸ方向の移動及び前記塗工液のためのコ
ントローラ３０は、基台３２内に設けられた制御装置３
４によって制御されるようになっている。
【００３８】前記ノズル２０の下端吐出口は、図２及び
図３に示されるようにガラス基板１６の上面に接近して
配置され、両者の隙間３６は塗工液の塗布によって形成
される塗工面の目標塗膜厚さと一致するようにされてい
る。
【００３９】又、制御装置３４は、前記支持板１４のＹ
方向の送りとＸ方向駆動装置１２Ａの送りを次のように
制御する。
【００４０】例えば、図２及び図３（Ｂ）に示されるよ
うに、Ｘ方向駆動装置１２Ａによって液体容器１８（ノ
ズル２０）を、Ｘ方向にライン状に往復動させつつ、そ
の往復の片道毎に、支持板１４をＹ方向に所定ピッチＰ
だけ駆動するようにされている。
【００４１】ここで、前記ピッチＰは、ノズル２０によ
る塗工液の塗布ライン幅Ｗよりも小さくなるようにさ
れ、これによって、ノズル２０の塗布ライン２１は、Ｙ
方向に隣接する塗布ラインと、幅方向に重なって塗布さ
れるものである。
【００４２】ここで、前記塗布ライン２１の幅方向ピッ
チＰは、前記ノズル２０の吐出口の径、吐出圧力、塗工
液の粘度及び表面張力を含む性質により決定するものと
する。
【００４３】例えば、塗工液を、無機粉末とビヒクルを
主体とするペーストを溶剤の添加量を調整することによ
り粘度４０，０００ＣＰＳとし、ノズル２０の下端とガ
ラス基板１６の隙間３６を目標膜厚（乾燥前で２３０μ
ｍ）と同じ２３０μｍ、ノズル２０の先端形状は内径が
２ｍｍ、外径が３ｍｍの真円、ガラス基板１６は８イン
チサイズで、ノズル２０の移動速度はＸ方向に６０ｍｍ
／秒、Ｙ方向のピッチＰ＝１．６ｍｍとする。
【００４４】従って、塗布ライン幅Ｗ＝２ｍｍに対して
塗布ピッチＰ＝１．６ｍｍで、隣接する塗布ライン２１
の幅方向の重なり量は０．４ｍｍとする。
【００４５】又、前記制御装置３４は、ノズルがＸ方向
に駆動され、１本の塗布ライン２１を形成した後、Ｙ方
向に１ピッチＰだけ駆動される際に、コントローラ３０
を介して、液体容器１８への加圧を遮断し、ノズル２０
からの塗工液の吐出を中止させるように構成されてい
る。
【００４６】次に上記ノズル塗布装置１０により、ガラ
ス基板１６上に塗工液を塗布する過程について説明す
る。
【００４７】まず、支持板１４をＹ方向の原点位置に駆
動しておき、ここにガラス基板１６をセットして、液体
容器１８にコントローラ３０を介して塗工液タンク２８
から塗工液を加圧供給しつつ、Ｘ方向駆動装置１２Ａに
よって、液体容器１８（ノズル２０）をＸ方向に直線状
に移動させ、第１の塗布ライン２１Ａを形成する。な
お、液体容器１８への加圧は、１〜３kgf ／cm2 で、塗
布ライン形成中は一定圧力とし、ノズル２０のＸ方向の
移動速度、塗布ライン幅Ｗ、ピッチＰは前述の如くとす
る。
【００４８】第１の塗布ライン２１Ａの塗布が終了した
とき、ノズル２０からの塗工液の吐出がなされないの
で、塗布ライン２１Ａの終端で塗工面の膜厚が他の部分
よりも厚く形成されることがない。
【００４９】次に、支持板１４がＹ方向に１ピッチ１．
６ｍｍ駆動された後、前記第１の塗布ライン２１Ａと反
対方向にノズル２０が、Ｘ方向駆動装置１２Ａによって
駆動され、第２の塗布ライン２１Ｂが塗布、形成され
る。
【００５０】以上の繰り返しによって、例えば８インチ
サイズのガラス基板１６上に２００ｍｍ×１３０ｍｍの
塗工面２２を得る。
【００５１】前記塗工面２２の乾燥は、まず乾燥部２６
において、例えば１２０℃にて２０〜３０分で予備乾燥
し、次いで、１７０℃にて１０〜２０分間本乾燥を行う
ようにする。
【００５２】このように、本乾燥の前に、該本乾燥より
も低温度での予備乾燥をすると、例えば図３（Ａ）に示
されるように、第１〜第３の塗布ライン２１Ａ〜２１Ｃ
間の幅方向重なり部分における凹み２２Ａが平滑化し、
しかる後に本乾燥することによって、平滑化状態が固定
化される。
【００５３】もし、予備乾燥を省略して、最初から本乾
燥を行うと、前記凹み２２Ａが固定化したり、表面にひ
び割れが生じて、本乾燥後にレベリングされないという
問題点が生じる。
【００５４】上記のような条件で塗工液をガラス基板１
６に塗布乾燥後に塗工面をパリサーフによって表面粗さ
を測定したところ、塗工面の乾燥後の膜厚１４０μｍに
対して５μｍ以内の平面度を得ることができた。
【００５５】上記ノズル塗布装置１０におけるノズル２
０は、吐出口の断面が真円形であるが、本発明はこれに
限定されるものでなく、例えば図４に示される楕円形断
面の楕円形ノズル３８、スリット状の吐出口３８Ａを備
えたスリット状ノズル３８、あるいは図６、図７に示さ
れるように、複数の小ノズル４０Ａからなるマルチノズ
ル４０等としてもよい。
【００５６】前記楕円形ノズル３６及びスリット状ノズ
ル３８は塗布ラインの幅が広くなるので、塗工速度が向
上される。
【００５７】又、マルチノズル４０の場合は、特に、図
７（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、各小ノズル４０Ａ
から塗工液が吐出されたとき、塗布ラインが所望の重ね
量（例えば０．４ｍｍ）で形成されるように、小ノズル
４０Ａを配置することによって、前記楕円形ノズル３６
及びスリット状ノズル３８の場合と同効果を得ることが
できる。
【００５８】更に、図８に示されるように、ノズル塗布
装置において、ノズルは１本のみでなく、これをＹ方向
に、塗布ラインのピッチＰの整数倍の定間隔で複数設け
るようにしてもよい。
【００５９】この場合、Ｙ方向に先行するｎ本目のノズ
ル４２Ａと次のｎ＋１本目のノズル４２ＢとのＹ方向の
間隔、及びｎ＋２本目のノズル４２Ｃとｎ＋１本目のノ
ズル４２Ｂとの間隔が、前述の如くＹ方向ピッチＰの整
数倍で且つ等しくなるようにされている。又、各ノズル
４２Ａ〜４２Ｃは、Ｘ方向及びＹ方向に共に同期してあ
るいは非同期で駆動されるが、ｎ本目のノズル４２Ａの
最初の塗布ラインとｎ＋１本目のノズル４２Ｂの最終回
の塗布ラインが、前記図２及び３におけると同様に、塗
布ライン幅方向にその一部が重なるように、制御装置３
４によって駆動されるようになっている。
【００６０】この複数のノズル４２Ａ〜４２Ｃを用いる
場合も、該複数のノズルによって塗工面への塗工液の塗
布が分担されるので、塗布速度を向上させることができ
る。
【００６１】なお、上記ノズル塗布装置１０におけるＸ
Ｙロボットは、Ｙ方向に支持板１４を駆動し、且つ液体
容器１８をＸ方向駆動装置１２ＡによってＸ方向に駆動
することにより、ノズル２０で、ガラス基板１６の所定
領域に塗工液を塗布するものであるが、本発明はこれに
限定されるものでなく、支持板１４側を固定して、液体
容器１８をＸＹ方向に駆動するようにしてもよく、更
に、液体容器１８を固定して、支持板１４側をＸＹ方向
に駆動するようにしてもよい。更に、液体容器１８及び
支持板１４を共にＸＹ方向に駆動して、塗工液を塗布す
るようにしてもよい。
【００６２】又、上記ノズル塗布装置１０において、ノ
ズル２０とガラス基板１６の塗布面との間の隙間３６
は、目的とする塗工面２２の膜厚と等しくしたものであ
るが、本発明はこれに限定されるものでなく、ノズル２
０をガラス基板１６から大きく離間させて、ノズル２０
から糸状に垂れ下がる塗工液によって塗布ラインを形成
するようにしてもよい。
【００６３】又、ノズル２０とガラス基板１６との間隔
を目的とする塗工面２２の膜厚よりも小さくして、塗工
液を塗布するようにしてもよい。
【００６４】この場合、ノズル２０の先端によりガラス
基板１６上に吐出された塗工液の表面がＸ方向に攪拌さ
れるので、図２及び図３におけるような隣接する塗布ラ
イン２１、２１間の凹み２２Ａが小さくなり、従って、
塗工面２２の表面の凹凸がより小さくなる。
【００６５】更に、上記ノズル塗布装置は、プラズマデ
ィスプレイパネルのガラス基板１６に障壁の基礎となる
障壁形成層を、いわゆるベタ塗りによりその全面に形成
するものであるが、ノズル２０及び支持板１４を制御装
置３４によってＸＹ方向に制御することにより、ガラス
基板１６の所定領域にのみ塗工液を塗布することができ
る。即ち、塗工面のパターニングをすることができる。
【００６６】このようにすると、障壁形成層の焼成後の
不要部分の除去範囲を小さくすることができるのみなら
ず、場合によっては、ノズルの径を小さくし、且つこれ
をこのＸＹ方向の移動精度を向上させれば、塗布ライン
をそのまま障壁とすることも可能である。
【００６７】更に、本発明はプラズマディスプレイパネ
ルの障壁形成にのみ利用されるものではなく、液晶表示
装置、蛍光表示装置、混成集積回路等の製造工程におけ
る厚膜パターン形成過程に利用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るノズル塗布装置
を示す斜視図
【図２】同ノズル塗布装置の要部を拡大して示す斜視図
【図３】同ノズル塗布装置におけるノズルと塗布ライン
との関係を示す断面図及び平面図
【図４】ノズル塗布装置におけるノズルの変形例を示す
斜視図
【図５】ノズル塗布装置におけるノズルの他の変形例を
示す斜視図
【図６】ノズル塗布装置におけるノズルの更に他の変形
例を示す斜視図
【図７】ノズル塗布装置におけるノズルの更に他の変形
例を示す斜視図
【図８】ノズル塗布装置におけるノズルの他の配置例を
示す斜視図
【符号の説明】
１０…ノズル塗布装置 １１…コーティング部 １２…ＸＹロボット １２Ａ…Ｘ方向駆動装置 １４…支持板 １６…ガラス基板 １８…液体容器 ２０…ノズル ２１…塗布ライン ２１Ａ…第１の塗布ライン ２１Ｂ…第２の塗布ライン ２１Ｃ…第３の塗布ライン ２２…塗工面 ２６…乾燥部 ２８…塗工液タンク ３０…コントローラ ３４…制御装置 ３６…隙間 ３６…楕円形ノズル ３８…スリット状ノズル ３８Ａ…吐出口 ４０…マルチノズル ４０Ａ…小ノズル ４２Ａ…ノズル（ｎ本目） ４２Ｂ…ノズル（ｎ＋１本目） ４２Ｃ…ノズル（ｎ＋２本目） Ｐ…ピッチ Ｗ…塗布ライン幅
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塩崎 和之 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】被塗工物の平面状の塗布面に対して離間し
    た状態で、ノズル先端から塗工液を吐出しつつ、前記塗
    布面に対してこれと平行に、該ノズルを相対的に移動さ
    せて、塗布面に塗工液をライン状に塗布し、次の塗布ラ
    インの幅方向の一部が先の塗布ラインに幅方向に重なる
    ように順次繰り返して塗布することにより塗工面を形成
    することを特徴とするノズル塗布方法。
  2. 【請求項２】請求項１において、前記塗布面とノズル先
    端間の距離を、目標とする塗工面の膜厚と略同一とする
    ことを特徴とするノズル塗布方法。
  3. 【請求項３】請求項１又は２において、前記ノズルが、
    一の塗布ラインの終端から次の塗布ラインの始端に移動
    する際、前記ノズル先端からの塗工液の吐出を停止する
    ことを特徴とするノズル塗布方法。
  4. 【請求項４】請求項１、２又は３において、前記ノズル
    の吐出口の径、吐出圧力、粘度及び表面張力を含む塗工
    液の性質により、前記塗布ラインの幅方向ピッチを設定
    することを特徴とするノズル塗布方法。
  5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記
    ノズルを、前記塗布ラインの幅方向に、該塗布ラインの
    幅方向ピッチの整数倍の定間隔に離間して複数配置し、
    一のノズルによる初回塗布ラインと、該ノズルの幅方向
    ピッチ送り方向後方に隣接するノズルによる終回塗布ラ
    インとが、幅方向一部で重なるように、各ノズルを塗布
    面に対して相対移動させて塗布することを特徴とするノ
    ズル塗布方法。
  6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記
    塗工液は溶剤を含み、塗工面形成後で、該塗工面に残る
    含有溶剤を蒸発させる本乾燥の前に、該本乾燥よりも低
    温度で、且つ、塗装液の粘度が低下する温度に一定時間
    塗工面をおくことにより、塗工面の膜厚の均一化をする
    ことを特徴とするノズル塗布方法。
  7. 【請求項７】請求項１乃至６のいずれかにおいて、前記
    被塗工物は、プラズマディスプレイパネルの基板であ
    り、前記塗工面の少なくとも一部は、プラズマディスプ
    レイパネルの各放電セル間を隔絶するために、前記基板
    に形成されるべき障壁であることを特徴とするノズル塗
    布方法。
  8. 【請求項８】被塗工物をその平面状塗布面を上向きにし
    て支持するワーク支持台と、塗工液が充填されると共
    に、下端にノズルを備え、加圧されて、該ノズルから塗
    工液を吐出する液体容器と、この液体容器を、前記ワー
    ク支持台に固定された被塗工物の塗布面に対して前記ノ
    ズルを上方から接近させた状態で支持すると共に、該液
    体容器及びワーク支持台の少なくとも一方を、前記ノズ
    ルが前記塗布面に対してライン状に相対移動するように
    駆動する駆動装置とを有してなり、前記駆動装置は、前
    記塗布面に前記ノズルから吐出される塗工液の塗布ライ
    ンと隣接する塗布ラインとが、その幅方向に一部重なる
    ように相対移動を制御する制御装置を含んで構成された
    ことを特徴とするノズル塗布装置。
  9. 【請求項９】請求項８において、前記駆動装置は、前記
    被塗工物及び液体容器を、これらの相対移動時に、塗布
    面とノズル先端との間隙が、目標とする塗工面の膜厚と
    略同一となるように支持することを特徴とするノズル塗
    布装置。
  10. 【請求項１０】請求項８又は９において、前記液体容器
    における前記ノズルの先端の断面形状が、円形、楕円形
    及びスリット形のいずれかであることを特徴とするノズ
    ル塗布装置。
  11. 【請求項１１】請求項８、９又は１０において、前記液
    体容器は塗布ラインの幅方向に離間して配置された同形
    の複数本のノズルを備えたことを特徴とするノズル塗布
    装置。
  12. 【請求項１２】請求項８乃至１１のいずれかにおいて、
    前記駆動装置は、前記液体容器を支持し、且つ、これを
    前記被塗工物に対して移動させるＸＹロボットを含んで
    構成されていることを特徴とするノズル塗布装置。
  13. 【請求項１３】請求項８乃至１１のいずれかにおいて、
    前記駆動装置は、前記液体容器に対して、塗布面に沿っ
    てＸＹ方向に該基板を移動させるＸＹステージを含んで
    構成されたことを特徴とするノズル塗布装置。
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