JPH0992200A - プラズマイオン源質量分析装置 - Google Patents
プラズマイオン源質量分析装置Info
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- JPH0992200A JPH0992200A JP7249072A JP24907295A JPH0992200A JP H0992200 A JPH0992200 A JP H0992200A JP 7249072 A JP7249072 A JP 7249072A JP 24907295 A JP24907295 A JP 24907295A JP H0992200 A JPH0992200 A JP H0992200A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- measurement
- ion
- mass spectrometer
- detector
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- Pending
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】プラズマイオン源質量分析装置で、トーチでの
イオン化効率の変動，長期間の使用によるイオンレンズ
の汚れによるイオン収束効率の変動等装置的な変動を補
正することができる装置を提供する。 【解決手段】測定に使用する通常の検知器以外に１個の
イオンの検知手段もしくは光学的検知手段を持ち、測定
試料中に含まれる測定対象元素ではなくプラズマを生成
しているガスの分子または元素イオンピークもしくはプ
ラズマを生成しているガスの分子または元素の発光線を
用いて測定に使用する信号を補正する。
イオン化効率の変動，長期間の使用によるイオンレンズ
の汚れによるイオン収束効率の変動等装置的な変動を補
正することができる装置を提供する。 【解決手段】測定に使用する通常の検知器以外に１個の
イオンの検知手段もしくは光学的検知手段を持ち、測定
試料中に含まれる測定対象元素ではなくプラズマを生成
しているガスの分子または元素イオンピークもしくはプ
ラズマを生成しているガスの分子または元素の発光線を
用いて測定に使用する信号を補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種の方法によっ
て生成されるプラズマをイオン源とし、四重極質量分析
計または二重収束形の質量分析計を検出部とするプラズ
マイオン源極微量元素分析装置に関する。
て生成されるプラズマをイオン源とし、四重極質量分析
計または二重収束形の質量分析計を検出部とするプラズ
マイオン源極微量元素分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術は、例えば 河口広司・中原
武利編 日本分光学会 測定法シリーズ ２８ 『プラ
ズマイオン源質量分析』の１９項から４３項において論
じられる。すなわち、プラズマイオン源質量分析装置は
プラズマによって溶液サンプルをイオン化させ、その結
果生じたイオンをインターフェイスを介して真空中に引
き込み、質量分析計によって測定を行うに構成されてい
る。
武利編 日本分光学会 測定法シリーズ ２８ 『プラ
ズマイオン源質量分析』の１９項から４３項において論
じられる。すなわち、プラズマイオン源質量分析装置は
プラズマによって溶液サンプルをイオン化させ、その結
果生じたイオンをインターフェイスを介して真空中に引
き込み、質量分析計によって測定を行うに構成されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記従来技術で
は、測定対象は四重極質量分析計で質量分別された後検
知器に導かれたイオンであり、例えば、トーチでのイオ
ン化効率の変動，長期間の使用によるイオンレンズの汚
れによるイオン収束効率の変動等装置的な変動に対して
それを補正するという手段を持っていなかった。測定者
の立場で上記の問題を解決する一つの手段に内標準法が
ある。例えば 河口広司・中原武利編 日本分光学会
測定法シリーズ ２８ 『プラズマイオン源質量分析』
の１１０項から１１５項で論じられる。この方法は、測
定サンプルの中にあらかじめ一定の濃度の測定しない元
素（測定を必要としない元素）を添加しておき、その元
素を同時に測定することによって、装置的な変動に対し
てそれを補正しようという方法である。しかしこの内標
準法の使用では、測定サンプルの中に一定濃度のサンプ
ルを添加しなければならず、非常の手間がかかる方法で
あること、添加するサンプルの汚染に十分な考慮が必要
であること、多元素測定の場合には測定を必要としない
元素を探すこと自体が難しいこと、有機溶媒系試料中の
微量金属元素の測定では、安定な添加元素自体を探すこ
と自体が非常に難しいことなど、内標準法の使用には非
常に多くの問題点があった。
は、測定対象は四重極質量分析計で質量分別された後検
知器に導かれたイオンであり、例えば、トーチでのイオ
ン化効率の変動，長期間の使用によるイオンレンズの汚
れによるイオン収束効率の変動等装置的な変動に対して
それを補正するという手段を持っていなかった。測定者
の立場で上記の問題を解決する一つの手段に内標準法が
ある。例えば 河口広司・中原武利編 日本分光学会
測定法シリーズ ２８ 『プラズマイオン源質量分析』
の１１０項から１１５項で論じられる。この方法は、測
定サンプルの中にあらかじめ一定の濃度の測定しない元
素（測定を必要としない元素）を添加しておき、その元
素を同時に測定することによって、装置的な変動に対し
てそれを補正しようという方法である。しかしこの内標
準法の使用では、測定サンプルの中に一定濃度のサンプ
ルを添加しなければならず、非常の手間がかかる方法で
あること、添加するサンプルの汚染に十分な考慮が必要
であること、多元素測定の場合には測定を必要としない
元素を探すこと自体が難しいこと、有機溶媒系試料中の
微量金属元素の測定では、安定な添加元素自体を探すこ
と自体が非常に難しいことなど、内標準法の使用には非
常に多くの問題点があった。
【０００４】本発明の目的は、内標準法のような面倒な
処理を測定者に行わせることなく、例えばトーチでのイ
オン化効率の変動，長期間の使用によるイオンレンズの
汚れによるイオン収束効率の変動等装置的な変動を補正
することができるプラズマイオン源質量分析装置を提供
することにある。
処理を測定者に行わせることなく、例えばトーチでのイ
オン化効率の変動，長期間の使用によるイオンレンズの
汚れによるイオン収束効率の変動等装置的な変動を補正
することができるプラズマイオン源質量分析装置を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記のような問題点を解
決するための本発明の特長は、測定に使用する通常の検
知器以外にさらなる１個のイオンの検知手段もしくは光
学的検知手段を持ち、この検知手段は測定試料中に含ま
れる測定対象元素ではなくプラズマを生成しているガス
の分子または元素イオンピークもしくはプラズマを生成
しているガスの分子または元素の発光線を用いて測定に
使用する信号を補正するところにある。プラズマイオン
源質量分析装置に使用されるプラズマは、通常ＩＣＰ
（誘導結合プラズマ）もしくはＭＩＰ（マイクロ波誘導
プラズマ）が使用される。ＩＣＰではＡｒ（アルゴン）
ガス、ＭＩＰではＮ2 （窒素）ガスがプラズマ生成ガス
として使用されるため、アルゴンまたは窒素に起因する
分子または元素イオンがプラズマ中に生成される。これ
らの分子または元素イオンはプラズマを生成するメイン
の物質であるため、その数は測定対象となるイオンの数
とは比較にならないほど多く存在（通常、５〜６桁以上
大きい）し、測定に使用する通常の検知器では検出する
ことはできない。そのため、測定に使用する通常の検知
器以外のさらなる１個のイオンの検知手段もしくは光学
的検知手段（これらは一般には測定に使用する通常の検
知器と比較すると感度は格段に低い）を持つことによっ
て、プラズマを生成しているガスの分子または元素イオ
ンピークもしくはプラズマを生成しているガスの分子ま
たは元素の発光線を検出し、この信号を用いて測定に使
用する信号を補正するように作用する。
決するための本発明の特長は、測定に使用する通常の検
知器以外にさらなる１個のイオンの検知手段もしくは光
学的検知手段を持ち、この検知手段は測定試料中に含ま
れる測定対象元素ではなくプラズマを生成しているガス
の分子または元素イオンピークもしくはプラズマを生成
しているガスの分子または元素の発光線を用いて測定に
使用する信号を補正するところにある。プラズマイオン
源質量分析装置に使用されるプラズマは、通常ＩＣＰ
（誘導結合プラズマ）もしくはＭＩＰ（マイクロ波誘導
プラズマ）が使用される。ＩＣＰではＡｒ（アルゴン）
ガス、ＭＩＰではＮ2 （窒素）ガスがプラズマ生成ガス
として使用されるため、アルゴンまたは窒素に起因する
分子または元素イオンがプラズマ中に生成される。これ
らの分子または元素イオンはプラズマを生成するメイン
の物質であるため、その数は測定対象となるイオンの数
とは比較にならないほど多く存在（通常、５〜６桁以上
大きい）し、測定に使用する通常の検知器では検出する
ことはできない。そのため、測定に使用する通常の検知
器以外のさらなる１個のイオンの検知手段もしくは光学
的検知手段（これらは一般には測定に使用する通常の検
知器と比較すると感度は格段に低い）を持つことによっ
て、プラズマを生成しているガスの分子または元素イオ
ンピークもしくはプラズマを生成しているガスの分子ま
たは元素の発光線を検出し、この信号を用いて測定に使
用する信号を補正するように作用する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１を
用いて説明する。図１は一例としてマイクロ波プラズマ
極微量元素分析装置の全体の構成図を示したものであ
る。ここで１は測定対象となる試料である。通常２は液
体であり、キャピラリチューブ４を通してネブライザ等
の霧化器６に供給する。ネブライザ等の霧化器６にはキ
ャリアガス８が供給されておりここで試料の霧化が行わ
れる。２は液体であれば水溶液でも良いし、アルコール
等の有機溶媒でも良い。そしてこの霧状化されたサンプ
ルはマイクロ波により生成されたマイクロ波プラズマ１
８へと導かれ、マイクロ波プラズマ１８によって霧状化
されたサンプルは解離，原子化，イオン化されて大気中
へと放出される。ネブライザ等の霧化器６でサンプルを
適当な条件で霧状化し、さらにこの霧状化されたサンプ
ルをプラズマ１８へと導くためにガス制御部５０が設け
られており、ガス制御部５０によってサンプルはプラズ
マ１８へと送られる。このガス制御部５０は制御コンピ
ュータ５２によって制御されている。プラズマ生成部１
２でプラズマ１８を発生させるが、これにはマイクロ波
１４が用いられる。マイクロ波１４は、マイクロ波電源
５４によって２.４５Ｇｈｚ としてプラズマ生成部１２
へと供給される。このマイクロ波１４およびプラズマガ
ス１６によって大気中にプラズマ１８が生成され、その
プラズマ１８の温度は約５０００℃〜６０００℃に達す
る。マイクロ波電源５４は、制御コンピュータ５２によ
り最適条件となるように制御される。ここで大気中でプ
ラズマ１８によりイオン化されたサンプルを質量分析部
へと導いて質量分析を行うが、質量分析計２４は真空中
で動作するため、イオン化されたサンプルを効率良く真
空中に引き込むために、インターフェイス系(サンプリ
ングコーンおよびスキマーコーン)２０が設けられる。
インターフェイス系２０は、通常冷却が良くできる金属
である銅やニッケルで構成される。このインターフェイ
ス系２０により、プラズマ内でイオン化されたサンプル
を引き込む。質量分析計２４は真空中(約１０-6Torr)の
環境で動作するために、本装置は図１に示す様に３４，
３０，３２の３段階の真空引き、すなわち作動排気を行
う。真空引きは通常３４はロータリポンプ、３０，３２
はターボ分子ポンプ＋ロータリポンプの組み合わせ、ま
たは油拡散ポンプ＋ロータリポンプの組み合わせで行
う。これらの真空ポンプも制御コンピュータ５２により
制御され、真空引きは自動にて行われる。インターフェ
イス系（サンプリングコーンおよびスキマーコーン）２
０を通って真空中へと引き込まれたイオン化したサンプ
ルは、制御コンピュータ５２に制御されたイオンレンズ
２２によって四重極質量分析計２４へと収束される。イ
オンレンズ２２はイオンレンズ電源５６によって電圧を
供給されており、電気的性質を持ったイオンの流れの挙
動を制御することが可能である。四重極質量分析計２４
に導入されたイオンは、四重極質量分析計２４により元
素別に分類される。四重極質量分析計２４は制御コンピ
ュータ５２によって質量分析計駆動用電源５８を制御す
ることによって、任意の元素を取り出すことが可能であ
る。通常の測定では、四重極質量分析計２４によって元
素ごとに分別されたサンプルは、その後偏向電極２６に
よって９０度偏向され、イオン検知器２８に導かれて検
出される。この信号をパルスカウンテイングと呼ばれる
１個１個の入射イオンを検出できる方法を用いて増幅６
０し、データを得る。この方式によって、非常に高感度
な測定が可能となる。本発明では、偏向電極２６の後ろ
にもう１個のイオン検知器６２を設置し、イオン検知器
６２によって測定対象元素ではなくプラズマを生成して
いるガスの分子または元素イオンピークを検出する。通
常の場合、プラズマを生成しているガスの分子または元
素イオンの個数は測定対象となる元素イオンの個数に比
べると桁違いに大きい（５桁以上大きい）ため、イオン
検知器６２はイオン検知器２８よりも遥かに感度の悪い
ファラデーカップ等を使用するが、これはファラデーカ
ップにこだわらずどのような検出器であっても問題な
い。ファラデーカップからの信号をアンプ６４を用いて
増幅し、データを得る。ファラデーカップからの信号を
用いて、イオン検知器２８で測定される測定信号を補正
するが、四重極質量分析計２４を使用する場合には同時
に二つの質量数を測定することはできない。そのため図
２に示す様にピークを時間分割的に高速にスキャンし、
交互に測定対象元素の信号とプラズマを生成しているガ
スの分子イオン信号を取り込んで、その後補正の処理を
行う。図２で、７０は時間軸、７２は四重極質量分析計
がスキャンする（データを取り込む）質量数を表わす。
一例として７４は測定対象となる元素イオンのデータを
取り込む質量数であり、７６はプラズマを生成している
ガスの分子または元素イオンのデータを取り込む質量数
である。この両者の信号を例えば５０ｍsec 間隔７８で
取り込むが、もちろんこの取り込み間隔は任意の値で問
題ない。この様にピークを時間分割的に高速にスキャン
し、交互にデータを取り込むことで補正を行う信号を確
率し補正を行う。この様に補正を行うことによって、例
えば、トーチでのイオン化効率の変動，長期間の使用に
よるイオンレンズの汚れによるイオン収束効率の変動等
は、測定対象元素の信号もプラズマを生成しているガス
の分子または元素イオン信号にも同様に影響を与えるも
のであるから、その影響を補正することが可能となる。
用いて説明する。図１は一例としてマイクロ波プラズマ
極微量元素分析装置の全体の構成図を示したものであ
る。ここで１は測定対象となる試料である。通常２は液
体であり、キャピラリチューブ４を通してネブライザ等
の霧化器６に供給する。ネブライザ等の霧化器６にはキ
ャリアガス８が供給されておりここで試料の霧化が行わ
れる。２は液体であれば水溶液でも良いし、アルコール
等の有機溶媒でも良い。そしてこの霧状化されたサンプ
ルはマイクロ波により生成されたマイクロ波プラズマ１
８へと導かれ、マイクロ波プラズマ１８によって霧状化
されたサンプルは解離，原子化，イオン化されて大気中
へと放出される。ネブライザ等の霧化器６でサンプルを
適当な条件で霧状化し、さらにこの霧状化されたサンプ
ルをプラズマ１８へと導くためにガス制御部５０が設け
られており、ガス制御部５０によってサンプルはプラズ
マ１８へと送られる。このガス制御部５０は制御コンピ
ュータ５２によって制御されている。プラズマ生成部１
２でプラズマ１８を発生させるが、これにはマイクロ波
１４が用いられる。マイクロ波１４は、マイクロ波電源
５４によって２.４５Ｇｈｚ としてプラズマ生成部１２
へと供給される。このマイクロ波１４およびプラズマガ
ス１６によって大気中にプラズマ１８が生成され、その
プラズマ１８の温度は約５０００℃〜６０００℃に達す
る。マイクロ波電源５４は、制御コンピュータ５２によ
り最適条件となるように制御される。ここで大気中でプ
ラズマ１８によりイオン化されたサンプルを質量分析部
へと導いて質量分析を行うが、質量分析計２４は真空中
で動作するため、イオン化されたサンプルを効率良く真
空中に引き込むために、インターフェイス系(サンプリ
ングコーンおよびスキマーコーン)２０が設けられる。
インターフェイス系２０は、通常冷却が良くできる金属
である銅やニッケルで構成される。このインターフェイ
ス系２０により、プラズマ内でイオン化されたサンプル
を引き込む。質量分析計２４は真空中(約１０-6Torr)の
環境で動作するために、本装置は図１に示す様に３４，
３０，３２の３段階の真空引き、すなわち作動排気を行
う。真空引きは通常３４はロータリポンプ、３０，３２
はターボ分子ポンプ＋ロータリポンプの組み合わせ、ま
たは油拡散ポンプ＋ロータリポンプの組み合わせで行
う。これらの真空ポンプも制御コンピュータ５２により
制御され、真空引きは自動にて行われる。インターフェ
イス系（サンプリングコーンおよびスキマーコーン）２
０を通って真空中へと引き込まれたイオン化したサンプ
ルは、制御コンピュータ５２に制御されたイオンレンズ
２２によって四重極質量分析計２４へと収束される。イ
オンレンズ２２はイオンレンズ電源５６によって電圧を
供給されており、電気的性質を持ったイオンの流れの挙
動を制御することが可能である。四重極質量分析計２４
に導入されたイオンは、四重極質量分析計２４により元
素別に分類される。四重極質量分析計２４は制御コンピ
ュータ５２によって質量分析計駆動用電源５８を制御す
ることによって、任意の元素を取り出すことが可能であ
る。通常の測定では、四重極質量分析計２４によって元
素ごとに分別されたサンプルは、その後偏向電極２６に
よって９０度偏向され、イオン検知器２８に導かれて検
出される。この信号をパルスカウンテイングと呼ばれる
１個１個の入射イオンを検出できる方法を用いて増幅６
０し、データを得る。この方式によって、非常に高感度
な測定が可能となる。本発明では、偏向電極２６の後ろ
にもう１個のイオン検知器６２を設置し、イオン検知器
６２によって測定対象元素ではなくプラズマを生成して
いるガスの分子または元素イオンピークを検出する。通
常の場合、プラズマを生成しているガスの分子または元
素イオンの個数は測定対象となる元素イオンの個数に比
べると桁違いに大きい（５桁以上大きい）ため、イオン
検知器６２はイオン検知器２８よりも遥かに感度の悪い
ファラデーカップ等を使用するが、これはファラデーカ
ップにこだわらずどのような検出器であっても問題な
い。ファラデーカップからの信号をアンプ６４を用いて
増幅し、データを得る。ファラデーカップからの信号を
用いて、イオン検知器２８で測定される測定信号を補正
するが、四重極質量分析計２４を使用する場合には同時
に二つの質量数を測定することはできない。そのため図
２に示す様にピークを時間分割的に高速にスキャンし、
交互に測定対象元素の信号とプラズマを生成しているガ
スの分子イオン信号を取り込んで、その後補正の処理を
行う。図２で、７０は時間軸、７２は四重極質量分析計
がスキャンする（データを取り込む）質量数を表わす。
一例として７４は測定対象となる元素イオンのデータを
取り込む質量数であり、７６はプラズマを生成している
ガスの分子または元素イオンのデータを取り込む質量数
である。この両者の信号を例えば５０ｍsec 間隔７８で
取り込むが、もちろんこの取り込み間隔は任意の値で問
題ない。この様にピークを時間分割的に高速にスキャン
し、交互にデータを取り込むことで補正を行う信号を確
率し補正を行う。この様に補正を行うことによって、例
えば、トーチでのイオン化効率の変動，長期間の使用に
よるイオンレンズの汚れによるイオン収束効率の変動等
は、測定対象元素の信号もプラズマを生成しているガス
の分子または元素イオン信号にも同様に影響を与えるも
のであるから、その影響を補正することが可能となる。
【０００７】次にもう一つの実施例として、さらなる１
個の光学的検知手段を用いて測定に使用する信号を補正
する方法について図３を用いて説明する。図３は基本的
な構成は図１と同じであるが、インターフェイス系（サ
ンプリングコーンおよびスキマーコーン）２０の前に光
学的検知手段８０を設けてある。この光学的検知手段８
０は光ファイバーのようなもので分光器８２に光を伝達
できるものであれば手段は問わない。そして分光器８２
で分別された光を検知器８４に導く。このように構成す
ることによって、測定対象元素ではなくプラズマを生成
しているガスの分子または元素の発光線を検出する。通
常の場合、プラズマを生成しているガスの分子または元
素，イオンの発光は測定対象となる元素イオンに比べる
と桁違いに大きいが、通常発光による感度は質量分析装
置の感度よりも遥かに悪いため問題とはならない。この
発光信号をアンプ８６を用いて増幅し、データを得る。
この信号を用いて、イオン検知器２８で測定される測定
信号を補正するが、この手段は上記に述べたファラデー
カップからの信号による補正方法と同じである。但し、
この場合は光学的検知手段と測定対象元素は全く同時に
測定できることが可能であるため、図２に示す様な時間
分割的な測定は必要としない。
個の光学的検知手段を用いて測定に使用する信号を補正
する方法について図３を用いて説明する。図３は基本的
な構成は図１と同じであるが、インターフェイス系（サ
ンプリングコーンおよびスキマーコーン）２０の前に光
学的検知手段８０を設けてある。この光学的検知手段８
０は光ファイバーのようなもので分光器８２に光を伝達
できるものであれば手段は問わない。そして分光器８２
で分別された光を検知器８４に導く。このように構成す
ることによって、測定対象元素ではなくプラズマを生成
しているガスの分子または元素の発光線を検出する。通
常の場合、プラズマを生成しているガスの分子または元
素，イオンの発光は測定対象となる元素イオンに比べる
と桁違いに大きいが、通常発光による感度は質量分析装
置の感度よりも遥かに悪いため問題とはならない。この
発光信号をアンプ８６を用いて増幅し、データを得る。
この信号を用いて、イオン検知器２８で測定される測定
信号を補正するが、この手段は上記に述べたファラデー
カップからの信号による補正方法と同じである。但し、
この場合は光学的検知手段と測定対象元素は全く同時に
測定できることが可能であるため、図２に示す様な時間
分割的な測定は必要としない。
【０００８】本発明による効果を図４を用いて説明す
る。図４は実施例の前半の部分で述べた、ファラデーカ
ップからの信号による補正の効果を示したものである。
図４は横軸に時間を取り、縦軸に信号強度を取ったもの
である。横軸１０８，１１０，１１２は時間を示してお
り、測定の経過を表わしている。また、縦軸１０２は測
定に使用する通常の検知器による信号出力を示し、縦軸
１０４はファラデーカップからの信号出力を示し、縦軸
１０６は１０２の信号を１０４の信号で補正した結果を
示している。この図で領域（時間領域）１１４では、１
０２の信号は安定しており、この領域では補正の必要は
ない。しかし、領域１１６，１１８では、１０２の信号
が本来あるべき値から上または下にずれている。ここで
は模式的に示してあるが、実際の質量分析装置では、例
えば、トーチでのイオン化効率の変動，長期間の使用に
よるイオンレンズの汚れによるイオン収束効率の変動等
装置的な変動等によって本来あるべき値からずれて信号
値が得られることになる。１０６はこれらの変動を打ち
消すような働きを行い、具体的には、例えば、102の信
号を１０４の信号で除算を行い、その結果得られる比を
用いるというような方法を取る。
る。図４は実施例の前半の部分で述べた、ファラデーカ
ップからの信号による補正の効果を示したものである。
図４は横軸に時間を取り、縦軸に信号強度を取ったもの
である。横軸１０８，１１０，１１２は時間を示してお
り、測定の経過を表わしている。また、縦軸１０２は測
定に使用する通常の検知器による信号出力を示し、縦軸
１０４はファラデーカップからの信号出力を示し、縦軸
１０６は１０２の信号を１０４の信号で補正した結果を
示している。この図で領域（時間領域）１１４では、１
０２の信号は安定しており、この領域では補正の必要は
ない。しかし、領域１１６，１１８では、１０２の信号
が本来あるべき値から上または下にずれている。ここで
は模式的に示してあるが、実際の質量分析装置では、例
えば、トーチでのイオン化効率の変動，長期間の使用に
よるイオンレンズの汚れによるイオン収束効率の変動等
装置的な変動等によって本来あるべき値からずれて信号
値が得られることになる。１０６はこれらの変動を打ち
消すような働きを行い、具体的には、例えば、102の信
号を１０４の信号で除算を行い、その結果得られる比を
用いるというような方法を取る。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、内標準法のような面倒
な処理を測定者に行わせることなく、例えばトーチでの
イオン化効率の変動，長期間の使用によるイオンレンズ
の汚れによるイオン収束効率の変動等装置的な変動を補
正することができ、サンプル測定における測定精度を大
きく向上させることが可能となる。
な処理を測定者に行わせることなく、例えばトーチでの
イオン化効率の変動，長期間の使用によるイオンレンズ
の汚れによるイオン収束効率の変動等装置的な変動を補
正することができ、サンプル測定における測定精度を大
きく向上させることが可能となる。
【図１】本発明の一実施例のブロック図。
【図２】図１における実施例におけるデータ取り込みの
方法を示した説明図。
方法を示した説明図。
【図３】本発明の第二実施例のブロック図。
【図４】本発明の効果を示す説明図。
２４…四重極質量分析計、２６…偏向電極、２８…イオ
ン検知器、６２…ファラデーカップ、８０…光学的検知
手段。
ン検知器、６２…ファラデーカップ、８０…光学的検知
手段。
Claims (2)
- 【請求項１】プラズマ生成系，プラズマトーチ系，試料
導入系，イオン化系，インターフェイス系，質量分析系
を含むプラズマイオン源極微量元素分析装置において、
測定に使用する通常の検知器以外にさらなる１個のイオ
ンの検知手段を持ち、前記検知手段は測定試料中に含ま
れる測定対象元素ではなくプラズマを生成しているガス
の分子または元素イオンピークを用いて測定に使用する
信号を補正することを特徴とするプラズマイオン源質量
分析装置。 - 【請求項２】請求項１において、測定に使用する通常の
検知器以外にさらなる１個の光学的検知手段を持ち、前
記光学的検知手段は測定試料中に含まれる測定対象元素
ではなくプラズマを生成しているガスの分子または元素
の発光線を用いて測定に使用する信号を補正するプラズ
マイオン源極微量元素分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7249072A JPH0992200A (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | プラズマイオン源質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7249072A JPH0992200A (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | プラズマイオン源質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0992200A true JPH0992200A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17187594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7249072A Pending JPH0992200A (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | プラズマイオン源質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0992200A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013037815A (ja) * | 2011-08-04 | 2013-02-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 質量分析装置 |
| WO2014103100A1 (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-03 | キヤノンアネルバ株式会社 | 質量分析装置 |
| CN115825205A (zh) * | 2022-09-15 | 2023-03-21 | 核工业理化工程研究院 | 一种测量气体同位素质谱计离子检测器相对放大倍数的方法 |
| JPWO2023074480A1 (ja) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | ||
| US11667992B2 (en) | 2021-07-19 | 2023-06-06 | Agilent Technologies, Inc. | Tip for interface cones |
| US20240242954A1 (en) * | 2021-07-21 | 2024-07-18 | Shimadzu Corporation | Mass Spectrometer and Mass Spectrometry Method |
-
1995
- 1995-09-27 JP JP7249072A patent/JPH0992200A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013037815A (ja) * | 2011-08-04 | 2013-02-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 質量分析装置 |
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| JP5922256B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-05-24 | キヤノンアネルバ株式会社 | 質量分析装置 |
| US9373491B2 (en) | 2012-12-27 | 2016-06-21 | Canon Anelva Corporation | Mass spectrometer |
| US11667992B2 (en) | 2021-07-19 | 2023-06-06 | Agilent Technologies, Inc. | Tip for interface cones |
| US20240242954A1 (en) * | 2021-07-21 | 2024-07-18 | Shimadzu Corporation | Mass Spectrometer and Mass Spectrometry Method |
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| WO2023074480A1 (ja) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | アトナープ株式会社 | ガス分析装置および制御方法 |
| CN115825205A (zh) * | 2022-09-15 | 2023-03-21 | 核工业理化工程研究院 | 一种测量气体同位素质谱计离子检测器相对放大倍数的方法 |
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