JPH0993474A - 撮像装置 - Google Patents
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- JPH0993474A JPH0993474A JP7246447A JP24644795A JPH0993474A JP H0993474 A JPH0993474 A JP H0993474A JP 7246447 A JP7246447 A JP 7246447A JP 24644795 A JP24644795 A JP 24644795A JP H0993474 A JPH0993474 A JP H0993474A
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- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定対象部を測定用容器内において撮像する
ことの可能な撮像装置を提供すること。 【構成】 内部に測定対象部２を収納した、真空の測定
用容器３もしくは大気と異なる雰囲気を充填した測定用
容器と、前記測定用容器中に配置される密閉容器４と、
密閉容器４に少なくとも光学系の構成部品１１，１２が
備えられるとともに、前記測定用容器３の外部に表示装
置１６又は記録回路部１５を備えた撮像機構と、を有す
る構成の撮像装置である。
ことの可能な撮像装置を提供すること。 【構成】 内部に測定対象部２を収納した、真空の測定
用容器３もしくは大気と異なる雰囲気を充填した測定用
容器と、前記測定用容器中に配置される密閉容器４と、
密閉容器４に少なくとも光学系の構成部品１１，１２が
備えられるとともに、前記測定用容器３の外部に表示装
置１６又は記録回路部１５を備えた撮像機構と、を有す
る構成の撮像装置である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空の測定用容器
や、大気と異なる雰囲気を充填した測定用容器の内部に
測定対象部を収納して、例えば蒸着、熱処理、Ｘ線放
射、電子ビーム照射等を行い、その過程ないしその終了
時における測定対象部を測定するにあたり、当該測定対
象部を測定用容器内において撮像することの可能な撮像
装置に関する。
や、大気と異なる雰囲気を充填した測定用容器の内部に
測定対象部を収納して、例えば蒸着、熱処理、Ｘ線放
射、電子ビーム照射等を行い、その過程ないしその終了
時における測定対象部を測定するにあたり、当該測定対
象部を測定用容器内において撮像することの可能な撮像
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、一定の測定対象物に蒸着、熱処
理、Ｘ線放射、電子ビーム照射等を行う場合に、酸化を
回避したり必要気圧を得るため、真空容器や大気と異な
る雰囲気を充填した容器の内部に測定対象部を収納して
行うことが知られている。
理、Ｘ線放射、電子ビーム照射等を行う場合に、酸化を
回避したり必要気圧を得るため、真空容器や大気と異な
る雰囲気を充填した容器の内部に測定対象部を収納して
行うことが知られている。
【０００３】前記測定用容器は、一般には内部を観察す
るための窓部を備えており、前記蒸着、熱処理、Ｘ線放
射、電子ビーム照射等を行った際、その過程ないしその
終了時における測定対象部を窓部から観察し、また、必
要によりＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ ｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅ
ｖｉｃｅ：電荷結合デバイス）カメラ等で測定対象部を
撮像することが行われている。尚、ＣＣＤカメラは、Ｃ
ＣＤを光検出素子と組み合わせて走査型の固体撮像デバ
イスとして用いるカメラである。
るための窓部を備えており、前記蒸着、熱処理、Ｘ線放
射、電子ビーム照射等を行った際、その過程ないしその
終了時における測定対象部を窓部から観察し、また、必
要によりＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ ｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅ
ｖｉｃｅ：電荷結合デバイス）カメラ等で測定対象部を
撮像することが行われている。尚、ＣＣＤカメラは、Ｃ
ＣＤを光検出素子と組み合わせて走査型の固体撮像デバ
イスとして用いるカメラである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】測定用容器内部の測定
対象物をＣＣＤカメラ等で撮像する場合は、前述したよ
うに、測定用容器の窓部から撮像するものであるため、
カメラを窓部に接近させても内部を撮影するには限界が
ある。すなわち、ＣＣＤカメラのレンズを窓部に当接さ
せて撮像する場合は勿論、レンズに広角のものを使用し
ても、容器の外側から撮影する点においては変りがな
く、また、広角レンズを使用する場合は、その広角の故
に正規の画像との間に不一致が生じるので、正確を期す
るにはこれを修正する等の事後処理を必要とする不都合
がある。
対象物をＣＣＤカメラ等で撮像する場合は、前述したよ
うに、測定用容器の窓部から撮像するものであるため、
カメラを窓部に接近させても内部を撮影するには限界が
ある。すなわち、ＣＣＤカメラのレンズを窓部に当接さ
せて撮像する場合は勿論、レンズに広角のものを使用し
ても、容器の外側から撮影する点においては変りがな
く、また、広角レンズを使用する場合は、その広角の故
に正規の画像との間に不一致が生じるので、正確を期す
るにはこれを修正する等の事後処理を必要とする不都合
がある。
【０００５】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、測定対象部を測定するにあたり、当該測定対象部を
測定用容器内において撮像することの可能な撮像装置を
提供することを目的とする。
で、測定対象部を測定するにあたり、当該測定対象部を
測定用容器内において撮像することの可能な撮像装置を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願第１請求項に記載し
た発明は、内部に測定対象部を収納した、真空の測定用
容器もしくは大気と異なる雰囲気を充填した測定用容器
と、前記測定用容器中に配置される密閉容器と、前記密
閉容器に少なくとも光学系の構成部品が備えられるとと
もに、前記測定用容器の外部に表示装置又は記録回路部
を備えた撮像機構と、を有する構成の撮像装置である。
た発明は、内部に測定対象部を収納した、真空の測定用
容器もしくは大気と異なる雰囲気を充填した測定用容器
と、前記測定用容器中に配置される密閉容器と、前記密
閉容器に少なくとも光学系の構成部品が備えられるとと
もに、前記測定用容器の外部に表示装置又は記録回路部
を備えた撮像機構と、を有する構成の撮像装置である。
【０００７】このように、測定用容器中に密閉容器を配
置して、測定用容器の内部において撮像するものであ
り、従って、従来の場合に比べ、測定対象部に対し接近
して撮像することができるので、高分解能の撮像を行う
ことができる。すなわち、当該密閉容器は密閉であるが
故に測定用容器内の真空あるいは所定雰囲気に影響され
ることがなく、そして、この密閉容器には少なくとも撮
像機構の光学系の構成部品が備えられており且つ測定用
容器の外部に表示装置又は記録装置を備えているので、
測定用容器内の測定対象物を測定容器内において撮像で
きるとともに、これを外部の表示装置で見ることができ
又は記録回路部で保存することができる。
置して、測定用容器の内部において撮像するものであ
り、従って、従来の場合に比べ、測定対象部に対し接近
して撮像することができるので、高分解能の撮像を行う
ことができる。すなわち、当該密閉容器は密閉であるが
故に測定用容器内の真空あるいは所定雰囲気に影響され
ることがなく、そして、この密閉容器には少なくとも撮
像機構の光学系の構成部品が備えられており且つ測定用
容器の外部に表示装置又は記録装置を備えているので、
測定用容器内の測定対象物を測定容器内において撮像で
きるとともに、これを外部の表示装置で見ることができ
又は記録回路部で保存することができる。
【０００８】本願第２請求項に記載した発明は、前記請
求項１の発明において、前記密閉容器と前記測定用容器
の外部とを連通する配管が設けられている構成の撮像装
置である。
求項１の発明において、前記密閉容器と前記測定用容器
の外部とを連通する配管が設けられている構成の撮像装
置である。
【０００９】このように構成すると、測定用容器内が高
温或いは低温である場合に、前記配管を通じて、冷却或
いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、冷却或いは
加温媒体を密閉容器内に送ることができ、これにより撮
像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温
性能の乏しい構成要素を保護することができる。
温或いは低温である場合に、前記配管を通じて、冷却或
いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、冷却或いは
加温媒体を密閉容器内に送ることができ、これにより撮
像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温
性能の乏しい構成要素を保護することができる。
【００１０】本願第３請求項に記載した発明は、前記請
求項１の発明において、前記密閉容器内に当該容器内の
温度を計測する温度計もしくは温度表示具が設けられて
いる構成の撮像装置である。
求項１の発明において、前記密閉容器内に当該容器内の
温度を計測する温度計もしくは温度表示具が設けられて
いる構成の撮像装置である。
【００１１】このように構成すると、測定用容器内が高
温或いは低温である場合に、前記温度計もしくは温度表
示具にて密閉容器内の温度を知ることができ、そして耐
熱温度を超えるような場合に測定を中止する等の処置を
講ずることにより、撮像機構の光学系の構成部品等で耐
高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護する
ことができる。また、温度表示具に例えばシール型のも
ので温度によりシール色彩が変化するものを用いると、
測定終了後において密閉容器を測定用容器から取り出し
たときに、その測定で当該密閉容器内がどの程度の温度
であったかが判明する。撮像機構を備えた密閉容器の製
造者が当該密閉容器のギャランティ温度を設定するよう
な場合に、これを超えたか否かがシール型温度表示具を
用いることにより一目瞭然となる。
温或いは低温である場合に、前記温度計もしくは温度表
示具にて密閉容器内の温度を知ることができ、そして耐
熱温度を超えるような場合に測定を中止する等の処置を
講ずることにより、撮像機構の光学系の構成部品等で耐
高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護する
ことができる。また、温度表示具に例えばシール型のも
ので温度によりシール色彩が変化するものを用いると、
測定終了後において密閉容器を測定用容器から取り出し
たときに、その測定で当該密閉容器内がどの程度の温度
であったかが判明する。撮像機構を備えた密閉容器の製
造者が当該密閉容器のギャランティ温度を設定するよう
な場合に、これを超えたか否かがシール型温度表示具を
用いることにより一目瞭然となる。
【００１２】本願第４請求項に記載した発明は、前記請
求項１の発明において、前記密閉容器が移動可能に設け
られている構成の撮像装置である。
求項１の発明において、前記密閉容器が移動可能に設け
られている構成の撮像装置である。
【００１３】密閉容器が移動可能に設けられている場合
は、これに備えられた撮像機構とりわけ光学系の構成部
品が移動でき、これにより測定対象物を異なる位置、異
なる角度から撮像することができ、更に、正確且つ高分
解能の撮像を行うことができる。
は、これに備えられた撮像機構とりわけ光学系の構成部
品が移動でき、これにより測定対象物を異なる位置、異
なる角度から撮像することができ、更に、正確且つ高分
解能の撮像を行うことができる。
【００１４】本願第５請求項に記載した発明は、前記請
求項１の発明において、前記密閉容器に備えられた光学
系の構成部品が移動可能に設けられている構成の撮像装
置である。
求項１の発明において、前記密閉容器に備えられた光学
系の構成部品が移動可能に設けられている構成の撮像装
置である。
【００１５】撮像機構の光学系の構成部品が移動可能に
設けられている場合は、密閉容器が固定のものであって
も、前記第４請求項の場合と同様に、測定対象物を異な
る位置、異なる角度から撮像することができる。
設けられている場合は、密閉容器が固定のものであって
も、前記第４請求項の場合と同様に、測定対象物を異な
る位置、異なる角度から撮像することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
【００１７】図１は、本発明の一具体例を示す撮像装置
である。この例の撮像装置１は、内部に測定対象部２を
収納した測定用容器３と、この測定用容器３の中に配置
される密閉容器４と、この密閉容器４に少なくとも光学
系の構成部品が具備されるとともに、前記測定用容器３
の外部に表示装置又は記録装置を備えた撮像機構１０
と、を有する構成の撮像装置である。
である。この例の撮像装置１は、内部に測定対象部２を
収納した測定用容器３と、この測定用容器３の中に配置
される密閉容器４と、この密閉容器４に少なくとも光学
系の構成部品が具備されるとともに、前記測定用容器３
の外部に表示装置又は記録装置を備えた撮像機構１０
と、を有する構成の撮像装置である。
【００１８】前記測定用容器３は、真空もしくは大気と
異なる雰囲気を充填した容器であり、複数の容器構成体
３ａ，３ｂはＯリング３ｃを介して密閉連結されてい
る。
異なる雰囲気を充填した容器であり、複数の容器構成体
３ａ，３ｂはＯリング３ｃを介して密閉連結されてい
る。
【００１９】同様に、測定用容器３の中に配置される密
閉容器４も、複数の容器構成体４ａ，４ｂがＯリング４
ｃを介して密閉連結されている。
閉容器４も、複数の容器構成体４ａ，４ｂがＯリング４
ｃを介して密閉連結されている。
【００２０】また、この例では、密閉容器４は、支持部
材５により測定用容器３に固定設置されている。
材５により測定用容器３に固定設置されている。
【００２１】撮像機構１０は、本例の場合、ＣＣＤカメ
ラを用いている。すなわち、レンズ１１、図示を省略し
た光学フィルタや防着シャッタ、イメージセンサ１２等
の光学系の構成部品と、イメージセンサ１２に駆動信号
を付与する駆動回路及び該イメージセンサ１２からアン
プを介して送出される出力信号を受ける信号処理回路等
を有する回路部１３と、電源回路部１４と、記録回路部
１５及びモニタを備えた表示装置１６を有している。
ラを用いている。すなわち、レンズ１１、図示を省略し
た光学フィルタや防着シャッタ、イメージセンサ１２等
の光学系の構成部品と、イメージセンサ１２に駆動信号
を付与する駆動回路及び該イメージセンサ１２からアン
プを介して送出される出力信号を受ける信号処理回路等
を有する回路部１３と、電源回路部１４と、記録回路部
１５及びモニタを備えた表示装置１６を有している。
【００２２】そして、前述したように、この例では、密
閉容器４に少なくともレンズ１１、イメージセンサ１２
等の光学系の構成部品が具備されるほか、更に、回路部
１３を密閉回路４内に設置している。また、回路部１３
からのリード線が測定用容器３に導出されて、容器外の
電源回路部１４、記録回路部１５及び表示装置１６に接
続されている。
閉容器４に少なくともレンズ１１、イメージセンサ１２
等の光学系の構成部品が具備されるほか、更に、回路部
１３を密閉回路４内に設置している。また、回路部１３
からのリード線が測定用容器３に導出されて、容器外の
電源回路部１４、記録回路部１５及び表示装置１６に接
続されている。
【００２３】このように、本例の撮像装置１において
は、測定用容器３中に密閉容器４を配置して、測定用容
器３の内部において撮像するものであり、従って、従来
の場合に比べ、測定対象部２に対し接近して撮像するこ
とができるので、高分解能の撮像を行うことができる。
すなわち、当該密閉容器４は密閉であるため測定用容器
３内の真空あるいは所定雰囲気に影響されることがな
く、そして、この密閉容器４には少なくとも撮像機構の
光学系の構成部品が備えられており、且つ測定用容器３
の外部に表示装置及び記録回路部を備えているので、測
定用容器内の測定対象物を測定容器内において撮像でき
るとともに、これを外部の表示装置１６で見たり記録回
路部１５で保存することができる。
は、測定用容器３中に密閉容器４を配置して、測定用容
器３の内部において撮像するものであり、従って、従来
の場合に比べ、測定対象部２に対し接近して撮像するこ
とができるので、高分解能の撮像を行うことができる。
すなわち、当該密閉容器４は密閉であるため測定用容器
３内の真空あるいは所定雰囲気に影響されることがな
く、そして、この密閉容器４には少なくとも撮像機構の
光学系の構成部品が備えられており、且つ測定用容器３
の外部に表示装置及び記録回路部を備えているので、測
定用容器内の測定対象物を測定容器内において撮像でき
るとともに、これを外部の表示装置１６で見たり記録回
路部１５で保存することができる。
【００２４】また、図１において、密閉容器４と測定用
容器３の外部との間には、密封容器４へ達する配管２
１，２２が設けられている。吸入用配管２１にはバルブ
２３が設けられており、排気用配管２２にも図示を省略
した排気用バルブが配置されている。
容器３の外部との間には、密封容器４へ達する配管２
１，２２が設けられている。吸入用配管２１にはバルブ
２３が設けられており、排気用配管２２にも図示を省略
した排気用バルブが配置されている。
【００２５】このように構成すると、測定用容器３内が
高温或いは低温である場合に、前記配管２１，２２を通
じて冷却或いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、
冷却或いは加温媒体を密閉容器４内に送ることができ、
これにより撮像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能
或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護することがで
きる。
高温或いは低温である場合に、前記配管２１，２２を通
じて冷却或いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、
冷却或いは加温媒体を密閉容器４内に送ることができ、
これにより撮像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能
或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護することがで
きる。
【００２６】更に、本例では、密閉容器４内に当該容器
内の温度を計測する温度計２４や温度表示具２６が設け
られている。温度計２４は、リード線２５を経由して回
路部１３や記録回路部１５に導通される。また、温度表
示具２６は、例えばシール型のもので温度によりシール
色彩が変化するものを用いるとよい。
内の温度を計測する温度計２４や温度表示具２６が設け
られている。温度計２４は、リード線２５を経由して回
路部１３や記録回路部１５に導通される。また、温度表
示具２６は、例えばシール型のもので温度によりシール
色彩が変化するものを用いるとよい。
【００２７】このように温度計２４や温度表示具２６を
用いると、測定用容器３内が高温或いは低温である場合
に、温度計２４や温度表示具２６にて密閉容器４内の温
度を知ることができ、そして耐熱温度を超えるような場
合に測定を中止する等の処置を講ずることにより、撮像
機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温性
能の乏しい構成要素を保護することができる。また、前
記シール型のもので温度によりシール色彩が変化する温
度表示具２６を用いると、測定終了後において密閉容器
４を測定用容器３から取り出したときに、その測定で当
該密閉容器内がどの程度の温度であったかが判明する。
撮像機構を備えた密閉容器の製造者が当該密閉容器のギ
ャランティ温度を設定するような場合に、これを超えた
か否かがシール型温度表示具を用いることにより一目瞭
然となる。
用いると、測定用容器３内が高温或いは低温である場合
に、温度計２４や温度表示具２６にて密閉容器４内の温
度を知ることができ、そして耐熱温度を超えるような場
合に測定を中止する等の処置を講ずることにより、撮像
機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温性
能の乏しい構成要素を保護することができる。また、前
記シール型のもので温度によりシール色彩が変化する温
度表示具２６を用いると、測定終了後において密閉容器
４を測定用容器３から取り出したときに、その測定で当
該密閉容器内がどの程度の温度であったかが判明する。
撮像機構を備えた密閉容器の製造者が当該密閉容器のギ
ャランティ温度を設定するような場合に、これを超えた
か否かがシール型温度表示具を用いることにより一目瞭
然となる。
【００２８】尚、図１において、密閉容器４は、支持部
材５により測定用容器３に固定設置されている場合を例
に採って説明したが、支持部材５に可動型のものを用い
ることにより、密閉容器４を移動可能に設けるように構
成してもよい。すなわち、密閉容器４が移動可能に設け
られている場合は、これに備えられた撮像機構とりわけ
光学系の構成部品が移動でき、これにより測定対象物２
を異なる位置、異なる角度から撮像することができ、更
に、正確且つ高分解能の撮像を行うことができる。
材５により測定用容器３に固定設置されている場合を例
に採って説明したが、支持部材５に可動型のものを用い
ることにより、密閉容器４を移動可能に設けるように構
成してもよい。すなわち、密閉容器４が移動可能に設け
られている場合は、これに備えられた撮像機構とりわけ
光学系の構成部品が移動でき、これにより測定対象物２
を異なる位置、異なる角度から撮像することができ、更
に、正確且つ高分解能の撮像を行うことができる。
【００２９】図２は、本発明の他の例に係る撮像装置を
示すもので、この例の場合は、密閉容器４に撮像機構の
光学系の構成部品（ここではレンズ１１、イメージセン
サ１２）を設置し、測定用容器３の容器構成体３ｂ，３
ｂにベローズ６を介して支持部材５を設けて構成したも
のである。支持部材５は、その基部５ａを外側から把持
することができ、そして、支持部材５はベローズ６に取
付けられているので、基部５ａを動かすことにより密閉
容器４従って撮像機構のレンズ１１等の光学系の構成部
品を測定用容器３内において自在に移動させることがで
きるものである。尚、アンプ１７は、配管１８を設けて
大気が通流できるように固定している。
示すもので、この例の場合は、密閉容器４に撮像機構の
光学系の構成部品（ここではレンズ１１、イメージセン
サ１２）を設置し、測定用容器３の容器構成体３ｂ，３
ｂにベローズ６を介して支持部材５を設けて構成したも
のである。支持部材５は、その基部５ａを外側から把持
することができ、そして、支持部材５はベローズ６に取
付けられているので、基部５ａを動かすことにより密閉
容器４従って撮像機構のレンズ１１等の光学系の構成部
品を測定用容器３内において自在に移動させることがで
きるものである。尚、アンプ１７は、配管１８を設けて
大気が通流できるように固定している。
【００３０】図２に示す例の場合は、前例同様、測定用
容器３の外部に表示装置及び記録回路部を備えている。
このようにして、測定用容器３内の測定対象物２を測定
用容器内において撮像できるとともに、これを外部の表
示装置１６で見たり記録回路部１５で保存することがで
きる。従って、従来の場合に比べ、測定対象部２に対し
接近して撮像することができるので、高分解能の撮像を
行うことができる。
容器３の外部に表示装置及び記録回路部を備えている。
このようにして、測定用容器３内の測定対象物２を測定
用容器内において撮像できるとともに、これを外部の表
示装置１６で見たり記録回路部１５で保存することがで
きる。従って、従来の場合に比べ、測定対象部２に対し
接近して撮像することができるので、高分解能の撮像を
行うことができる。
【００３１】尚、撮像機構の光学系の構成部品が移動可
能に設けられている場合は、密閉容器が固定のものであ
っても、測定対象物を異なる位置、異なる角度から撮像
することができるものである。
能に設けられている場合は、密閉容器が固定のものであ
っても、測定対象物を異なる位置、異なる角度から撮像
することができるものである。
【００３２】更に、本例のように、撮像機構の光学系の
構成部品を移動可能に設ける場合は、真空乃至所定雰囲
気に適合する適宜構成の搬送機構を用いることができ
る。
構成部品を移動可能に設ける場合は、真空乃至所定雰囲
気に適合する適宜構成の搬送機構を用いることができ
る。
【００３３】また、前述した各例では、撮像機構にＣＣ
Ｄカメラを用いて説明したが、カメラは密閉容器内に収
納できるので、これに限られることなく、他のＴＶ及び
ビデオカメラ、赤外線カメラ等、適宜のものを必要に応
じて用いることができるものである。
Ｄカメラを用いて説明したが、カメラは密閉容器内に収
納できるので、これに限られることなく、他のＴＶ及び
ビデオカメラ、赤外線カメラ等、適宜のものを必要に応
じて用いることができるものである。
【００３４】
【発明の効果】本願第１請求項に記載した発明は、内部
に測定対象部を収納した、真空の測定用容器もしくは大
気と異なる雰囲気を充填した測定用容器と、前記測定用
容器中に配置される密閉容器と、前記密閉容器に少なく
とも光学系の構成部品が備えられるとともに、前記測定
用容器の外部に表示装置又は記録回路部を備えた撮像機
構と、を有する構成の撮像装置である。
に測定対象部を収納した、真空の測定用容器もしくは大
気と異なる雰囲気を充填した測定用容器と、前記測定用
容器中に配置される密閉容器と、前記密閉容器に少なく
とも光学系の構成部品が備えられるとともに、前記測定
用容器の外部に表示装置又は記録回路部を備えた撮像機
構と、を有する構成の撮像装置である。
【００３５】このように、測定用容器中に密閉容器を配
置して、測定用容器の内部において撮像するものであ
り、従って、従来の場合に比べ、測定対象部に対し接近
して撮像することができるので、高分解能の撮像を行う
ことができる。すなわち、当該密閉容器は密閉であるが
故に測定用容器内の真空あるいは所定雰囲気に影響され
ることがなく、そして、この密閉容器には少なくとも撮
像機構の光学系の構成部品が備えられており且つ測定用
容器の外部に表示装置又は記録装置を備えているので、
測定用容器内の測定対象物を測定容器内において撮像で
きるとともに、これを外部の表示装置で見ることができ
又は記録回路部で保存することができる。
置して、測定用容器の内部において撮像するものであ
り、従って、従来の場合に比べ、測定対象部に対し接近
して撮像することができるので、高分解能の撮像を行う
ことができる。すなわち、当該密閉容器は密閉であるが
故に測定用容器内の真空あるいは所定雰囲気に影響され
ることがなく、そして、この密閉容器には少なくとも撮
像機構の光学系の構成部品が備えられており且つ測定用
容器の外部に表示装置又は記録装置を備えているので、
測定用容器内の測定対象物を測定容器内において撮像で
きるとともに、これを外部の表示装置で見ることができ
又は記録回路部で保存することができる。
【００３６】本願第２請求項に記載した発明は、前記請
求項１の発明において、前記密閉容器と前記測定用容器
の外部とを連通する配管が設けられている構成の撮像装
置である。
求項１の発明において、前記密閉容器と前記測定用容器
の外部とを連通する配管が設けられている構成の撮像装
置である。
【００３７】このように構成すると、測定用容器内が高
温或いは低温である場合に、前記配管を通じて、冷却或
いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、冷却或いは
加温媒体を密閉容器内に送ることができ、これにより撮
像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温
性能の乏しい構成要素を保護することができる。
温或いは低温である場合に、前記配管を通じて、冷却或
いは加温空気又は冷却或いは加温液体等の、冷却或いは
加温媒体を密閉容器内に送ることができ、これにより撮
像機構の光学系の構成部品等で耐高温性能或いは耐低温
性能の乏しい構成要素を保護することができる。
【００３８】本願第３請求項に記載した発明は、前記請
求項１の発明において、前記密閉容器内に当該容器内の
温度を計測する温度計もしくは温度表示具が設けられて
いる構成の撮像装置である。
求項１の発明において、前記密閉容器内に当該容器内の
温度を計測する温度計もしくは温度表示具が設けられて
いる構成の撮像装置である。
【００３９】このように構成すると、測定用容器内が高
温或いは低温である場合に、前記温度計もしくは温度表
示具にて密閉容器内の温度を知ることができ、そして耐
熱温度を超えるような場合に測定を中止する等の処置を
講ずることにより、撮像機構の光学系の構成部品等で耐
高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護する
ことができる。また、温度表示具に例えばシール型のも
ので温度によりシール色彩が変化するものを用いると、
測定終了後において密閉容器を測定用容器から取り出し
たときに、その測定で当該密閉容器内がどの程度の温度
であったかが判明する。撮像機構を備えた密閉容器の製
造者が当該密閉容器のギャランティ温度を設定するよう
な場合に、これを超えたか否かがシール型温度表示具を
用いることにより一目瞭然となる。
温或いは低温である場合に、前記温度計もしくは温度表
示具にて密閉容器内の温度を知ることができ、そして耐
熱温度を超えるような場合に測定を中止する等の処置を
講ずることにより、撮像機構の光学系の構成部品等で耐
高温性能或いは耐低温性能の乏しい構成要素を保護する
ことができる。また、温度表示具に例えばシール型のも
ので温度によりシール色彩が変化するものを用いると、
測定終了後において密閉容器を測定用容器から取り出し
たときに、その測定で当該密閉容器内がどの程度の温度
であったかが判明する。撮像機構を備えた密閉容器の製
造者が当該密閉容器のギャランティ温度を設定するよう
な場合に、これを超えたか否かがシール型温度表示具を
用いることにより一目瞭然となる。
【００４０】本願第４請求項に記載した発明は、前記請
求項１の発明において、前記密閉容器が移動可能に設け
られている構成の撮像装置である。
求項１の発明において、前記密閉容器が移動可能に設け
られている構成の撮像装置である。
【００４１】密閉容器が移動可能に設けられている場合
は、これに備えられた撮像機構とりわけ光学系の構成部
品が移動でき、これにより測定対象物を異なる位置、異
なる角度から撮像することができ、更に、正確且つ高分
解能の撮像を行うことができる。
は、これに備えられた撮像機構とりわけ光学系の構成部
品が移動でき、これにより測定対象物を異なる位置、異
なる角度から撮像することができ、更に、正確且つ高分
解能の撮像を行うことができる。
【００４２】本願第５請求項に記載した発明は、前記請
求項１の発明において、前記密閉容器に備えられた光学
系の構成部品が移動可能に設けられている構成の撮像装
置である。
求項１の発明において、前記密閉容器に備えられた光学
系の構成部品が移動可能に設けられている構成の撮像装
置である。
【００４３】撮像機構の光学系の構成部品が移動可能に
設けられている場合は、密閉容器が固定のものであって
も、前記第４請求項の場合と同様に、測定対象物を異な
る位置、異なる角度から撮像することができる。
設けられている場合は、密閉容器が固定のものであって
も、前記第４請求項の場合と同様に、測定対象物を異な
る位置、異なる角度から撮像することができる。
【００４４】このように、本発明によれば、測定対象部
を測定するにあたり、当該測定対象部を測定用容器内に
おいて撮像することの可能な撮像装置を得ることができ
るものである。
を測定するにあたり、当該測定対象部を測定用容器内に
おいて撮像することの可能な撮像装置を得ることができ
るものである。
【図１】本発明に係る撮像装置を示す構成図である。
【図２】本発明の他の例に係る撮像装置を示す構成図で
ある。
ある。
１ 撮像装置 ２ 測定対象部 ３ 測定用容器 ３ａ 容器構成体 ３ｂ 容器構成体 ３ｃ Ｏリング ４ 密閉容器 ４ａ 容器構成体 ４ｂ 容器構成体 ４ｃ Ｏリング ５ 支持部材 ５ａ 基部 ６ ベローズ １０ 撮像機構 １１ レンズ １２ イメージセンサ １３ 回路部 １４ 電源回路部 １５ 記録回路部 １６ 表示装置 １７ アンプ １８ 配管 ２１ 吸入用配管 ２２ 排出用配管 ２３ バルブ ２４ 温度計 ２５ リード線 ２６ 温度表示具
Claims (5)
- 【請求項１】 内部に測定対象部を収納した、真空の測
定用容器もしくは大気と異なる雰囲気を充填した測定用
容器と、 前記測定用容器中に配置される密閉容器と、 前記密閉容器に少なくとも光学系の構成部品が備えられ
るとともに、前記測定用容器の外部に表示装置又は記録
回路部を備えた撮像機構と、を有することを特徴とする
撮像装置。 - 【請求項２】 前記密閉容器と前記測定用容器の外部と
を連通する配管が設けられていることを特徴とする請求
項１記載の撮像装置。 - 【請求項３】 前記密閉容器内に当該容器内の温度を計
測する温度計もしくは温度表示具が設けられていること
を特徴とする請求項１記載の撮像装置。 - 【請求項４】 前記密閉容器が移動可能に設けられてい
ることを特徴とする請求項１記載の撮像装置。 - 【請求項５】 前記密閉容器に備えられた光学系の構成
部品が移動可能に設けられていることを特徴とする請求
項１記載の撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24644795A JP4161139B2 (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | 撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24644795A JP4161139B2 (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | 撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0993474A true JPH0993474A (ja) | 1997-04-04 |
| JP4161139B2 JP4161139B2 (ja) | 2008-10-08 |
Family
ID=17148587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24644795A Expired - Fee Related JP4161139B2 (ja) | 1995-09-25 | 1995-09-25 | 撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4161139B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018148410A (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-20 | 株式会社ムサシノエンジニアリング | 真空容器用の撮像装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20070233035A1 (en) | 2006-03-28 | 2007-10-04 | Hospira, Inc. | Medication administration and management system and method |
| KR102688941B1 (ko) * | 2023-06-19 | 2024-07-26 | 주식회사 에이치지에스 | 진공챔버의 비전검사장치 |
-
1995
- 1995-09-25 JP JP24644795A patent/JP4161139B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018148410A (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-20 | 株式会社ムサシノエンジニアリング | 真空容器用の撮像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4161139B2 (ja) | 2008-10-08 |
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