JPH10105914A

JPH10105914A - 磁気ヘッド及びその製造方法

Info

Publication number: JPH10105914A
Application number: JP25638296A
Authority: JP
Inventors: Norikatsu Fujisawa; 憲克藤澤
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-09-27
Filing date: 1996-09-27
Publication date: 1998-04-24

Abstract

(57)【要約】【課題】透磁率等の磁気的性能が良好であって記録再
生特性が良好である磁気ヘッド及びその製造方法を提供
する。【解決手段】磁気ヘッド１は、磁性体からなる一対の
磁気コア半体２Ａ，２Ｂが非磁性体を介して突き合わさ
れ、磁気ギャップ４が形成されるとともに、上記磁気コ
ア半体２Ａ，２Ｂにそれぞれトラック幅規制溝７Ａ，７
Ｂが研削形成され、このトラック幅規制溝７Ａ，７Ｂに
非磁性材料が充填されることにより上記磁気ギャップ４
のトラック幅が規制されてなり、上記トラック幅規制溝
７Ａ，７Ｂのトラック幅方向における研削領域が上記磁
気コア半体２Ａ，２Ｂの幅内にあり、上記磁気コア半体
２Ａ，２Ｂの側面にトラック幅規制溝が露出していない
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気テープ等の磁
気記録媒体の記録及び／又は再生に好適な磁気ヘッド及
びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気記録の分野において、磁気記
録媒体は、情報信号の高密度記録化が進められている。
これに伴い、磁気記録媒体では、磁気記録媒体上に記録
される信号の波長が短くなっている。そして、磁気ヘッ
ドは、この高密度記録化された磁気記録媒体を記録又は
再生するために、そのトラック幅も狭トラック化、高出
力化が進められている。

【０００３】磁気ヘッド１００は、図１０に示すよう
に、閉磁路を構成する一対の磁気コア半体１０２Ａ，１
０２Ｂと、この一対の磁気コア半体１０２Ａ，１０２Ｂ
の間に配される非磁性体からなるギャップ膜１０３と、
この一対の磁気コア半体１０２Ａ，１０２Ｂの側面に埋
め込まれたガラス部１０４とから構成されている。ま
た、この磁気ヘッド１００には、図示しないコイルが一
対の磁気コア半体１０２Ａ，１０２Ｂにそれぞれ巻装さ
れている。

【０００４】一対の磁気コア半体１０２Ａ，１０２Ｂ
は、強磁性酸化物からなり、ギャップ膜１０３を介して
接合されることにより閉磁路を形成する。そして、この
一対の磁気コア半体１０２Ａ，１０２Ｂには、突き合わ
された状態でその突合せ面にトラック幅規制溝１０５が
設けられている。このトラック幅規制溝１０５は、磁気
ヘッド１００のトラック幅を規制するものであり、磁気
ヘッド１００の両側面に一対設けられている。

【０００５】またギャップ膜１０３は、一対の磁気コア
半体１０２Ａ，１０２Ｂの間に配される。これよって、
ギャップ膜１０３は、一対の磁気コア半体１０２Ａ，１
０２Ｂにより形成される閉磁路を磁気的に遮断する磁気
ギャップを形成している。

【０００６】ガラス部１０４は、低融点ガラス材等から
なり、この低融点ガラス材が溶融した状態で一対の磁気
コア半体１０２Ａ，１０２Ｂの両側面に設けられたトラ
ック幅規制溝１０５に充填され、この低融点ガラス材が
固化することにより形成される。これによって、ガラス
部１０４は、一対の磁気コア半体１０２Ａ，１０２Ｂを
接合する。

【０００７】また、この磁気ヘッド１００には、図１０
中Ａで示す磁気記録媒体摺動面に、磁気記録媒体の進行
方向と平行に一対の当たり幅規制溝１０６が形成されて
いる。この当たり幅規制溝１０６は、磁気記録媒体と磁
気ヘッド１００との当たり幅を規制するためのものであ
る。これにより、磁気ヘッド１００は、磁気記録媒体に
対して良好な状態で当接することができる。

【０００８】以上のように構成された従来の磁気ヘッド
１００は、図１１に示すように、複数個の磁気ヘッド１
００が同時に形成されれ。この場合、磁気ヘッド１００
は、複数個の磁気ヘッド半体１０２Ａ，１０２Ｂが基板
１０９Ａ，１０９Ｂ上に形成され、これら基板１０９
Ａ，１０９Ｂを接合することにより磁気ヘッドブロック
１１０を形成し、その後、個々の磁気ヘッド１００に分
離されることにより形成される。このとき、磁気ヘッド
ブロック１１０では、磁気ヘッド１００の磁気記録媒体
摺動面Ａとなる側面Ｂに円筒加工が施される。

【０００９】その後、この磁気ヘッドブロック１１０で
は、各磁気ヘッド１００の当たり幅規制溝１０６に対応
する位置、すなわち、図１１中実線Ｃ１−Ｃ１線と点線
Ｄ１−Ｄ１線との間及び図１１中実線Ｃ２−Ｃ２線と点
線Ｄ２−Ｄ２線との間に研削加工が施される。これによ
り、磁気ヘッドブロック１１０には、各磁気ヘッド１０
０の当たり幅規制溝１０６となる段差が形成されること
となる。

【００１０】その後、磁気ヘッドブロック１１０では、
図１１中実線Ｃ１−Ｃ１線及び実線Ｃ２−Ｃ２線に切削
加工が施される。これにより、磁気ヘッドブロック１１
０からは、個々の磁気ヘッド１００が分離されることに
なる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の磁気ヘッド１００では、一対の磁気コア
半体１０２Ａ，１０２Ｂを構成する強磁性酸化物の透磁
率が低下していた。つまり、磁気ヘッド１００は、一対
の磁気コア半体１０２Ａ，１０２Ｂの透磁率が低下する
ために、電磁変換特性が劣化したものとなる。

【００１２】したがって、従来の磁気ヘッド１００で
は、磁気記録媒体に対する記録再生特性が劣化してしま
うといった問題点があった。

【００１３】そこで、本発明は、このような従来の磁気
ヘッド及びその製造方法の問題点を解決し、透磁率等の
磁気的性能が良好であって記録再生特性が良好である磁
気ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は、上
述の目的を達成せんものと鋭意検討した結果、一対の磁
気コア半体の透磁率の劣化は、磁性体に歪みが生じたた
めであることを見い出した。そして、本発明者は、磁性
体に歪みを発生させないことこそが一対の磁気コア半体
の透磁率を向上させることになるという結論に達した。

【００１５】また、本発明者は、磁性体に歪みを発生さ
せる原因が、磁性体と比較して研削レートの低い部材を
研削することによりこの部材に歪みが発生し、この歪み
が磁性体に影響することにあると着想するに至った。

【００１６】すなわち、上述した目的を達成した本発明
にかかる磁気ヘッドは、磁性体からなる一対の磁気コア
半体が非磁性体を介して突き合わされ、磁気ギャップが
形成されるとともに、上記磁気コア半体にそれぞれトラ
ック幅規制溝が研削形成され、このトラック幅規制溝に
非磁性材料が充填されることにより上記磁気ギャップの
トラック幅が規制されてなり、上記トラック幅規制溝の
トラック幅方向における研削領域が上記磁気コア半体の
幅内にあり、上記磁気コア半体の側面にトラック幅規制
溝が露出していないことを特徴とする。

【００１７】以上のように構成された本発明にかかる磁
気ヘッドでは、トラック幅規制溝は、磁気記録媒体と当
接する面に対して略直交する面に露出することなく形成
される。このため、この磁気ヘッドでは、その側面が均
一の材料からなるため、切削加工等により切削される際
の側面における切削レートが均一とされる。すなわち、
この磁気ヘッドでは、トラック幅規制溝に充填される非
磁性材料を切削する必要がない。したがって、この磁気
ヘッドは、切削加工等により磁気コアを構成する磁性体
に歪みが発生することなく形成される。これによって、
この磁気ヘッドは、磁性体内の歪みが小とされるため、
良好な透磁率を有するものとなる。

【００１８】また、本発明にかかる磁気ヘッドは、上記
磁気コア半体に磁気記録媒体に対する当たり幅を規制す
る当たり幅規制溝が形成され、上記トラック幅規制溝の
外側端部は、上記当たり幅規制溝の側縁部と一致又はこ
れを越えた位置とされているような構成であってもよ
い。

【００１９】このように構成された本発明にかかる磁気
ヘッドでは、当たり幅規制溝を形成する際の研削加工に
おいて、トラック幅規制溝に充填された非磁性材料の研
削量を小とすることができる。すなわち、この磁気ヘッ
ドは、ほぼ磁性体のみを研削することで磁気記録媒体と
の当たり幅を規制することができるような構成とされ
る。このため、この磁気ヘッドでは、当たり幅規制溝を
形成する際の研削加工により磁性体に歪みを発生するこ
とがない。したがって、この磁気ヘッドは、磁性体内の
歪みが小とされるため、さらに良好な透磁率を有するも
のとなる。

【００２０】一方、本発明にかかる磁気ヘッドの製造方
法は、磁性体からなる一対の磁気コア半体に、所定の間
隔を有するトラック幅規制溝を研削形成する工程と、一
対の磁気コア半体を非磁性体を介して突き合わせて磁気
ギャップを形成し、トラック幅規制溝に非磁性材料を充
填することにより一対の磁気コア半体を接合する工程と
を備える。この磁気ヘッドの製造方法は、上記トラック
幅規制溝のトラック幅方向における研削領域を上記磁気
コア半体の幅内とし、上記トラック幅規制溝を上記磁気
コア半体の側面に露出させないことを特徴とする。

【００２１】以上のように構成された本発明にかかる磁
気ヘッドの製造方法では、トラック幅規制溝は、磁気記
録媒体と当接する面に対して略直交する面に露出するこ
となく形成される。このため、この磁気ヘッドの製造方
法では、その側面が切削加工等により切削される際の側
面における切削レートが均一とされる。すなわち、この
磁気ヘッドの製造方法では、トラック幅規制溝に充填さ
れる非磁性材料を切削する必要がない。したがって、こ
の磁気ヘッドの製造方法は、切削加工等により磁性体に
歪みが発生することなく磁気コアを形成することができ
る。これによって、この磁気ヘッドの製造方法は、製造
される磁気ヘッドの磁性体内の歪みが小とされるため、
良好な透磁率を有する磁気ヘッドを製造することができ
る。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
磁気ヘッド及びその製造方法を図面を参照しながら詳細
に説明する。

【００２３】先ず、本実施の形態に係る磁気ヘッドは、
図１に示すように、磁気記録媒体等に対して用いられる
磁気ヘッド１である。この磁気ヘッド１は、閉磁路を構
成する一対の磁気コア半体２Ａ，２Ｂと、この一対の磁
気コア半体２Ａ，２Ｂの間に配されるギャップ膜４と、
このギャップ膜４の両脇に配されるガラス部５とから構
成されている。また、この磁気ヘッド１には、図示しな
いがコイルが巻装されている。

【００２４】この磁気ヘッド１は、図１中Ａで示す面が
磁気記録媒体と当接する面となり、この媒体当接面Ａの
幅寸法を規制する当たり幅規制溝６を有する。この当た
り幅規制溝６は、ギャップ膜４を挟み、磁気記録媒体が
摺動する方向に対して平行に設けられている。また、こ
の磁気ヘッド１において、媒体摺動面Ａは、円筒上に加
工されており、ギャップ膜４が露出する部分が最も高い
位置となるように形成されている。

【００２５】この磁気ヘッド１は、一対の磁気コア半体
２Ａ，２Ｂが突き合わされることにより閉磁路を形成す
るように構成される。この磁気コア半体２Ａ，２Ｂは、
断面略コ字状を呈し、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚ
ｎフェライト等の酸化物軟磁性体から形成されている。
磁気ヘッド１には、磁気コア半体２Ａ，２Ｂの突合せ面
に一対のトラック幅規制溝７Ａ，７Ｂが形成されてい
る。このトラック幅規制溝７Ａ，７Ｂには、後述するガ
ラス部５が形成される。また、磁気コア半体２Ａ，２Ｂ
には、このトラック幅規制溝７Ａ，７Ｂが形成されるこ
とによって、後述するギャップ膜４の幅寸法を規制して
いる。

【００２６】この一対の磁気コア半体２Ａ，２Ｂは、突
き合わされた際にコイルを巻装するための開口部を形成
するギャップデプス規制溝８を有している。このギャッ
プデプス規制溝８は、磁気コア半体２Ａ，２Ｂの突合せ
面に溝状に形成される。そして、ギャップデプス規制溝
８は、媒体摺動面Ａからのギャップ膜４の深さ寸法、す
なわちギャップデプスを規制している。

【００２７】ギャップ膜４は、磁気ヘッド１において磁
気ギャップとなるものであり、非磁性体、例えばＴａ₂
Ｏ₅からなる。そして、ギャップ膜４では、上述したト
ラック幅規制溝７Ａ，７Ｂにより幅寸法が規制されてい
る。したがって、この磁気ヘッド１では、一対のトラッ
ク幅規制溝７Ａ，７Ｂにより挟持される幅寸法がトラッ
ク幅となる。

【００２８】トラック幅規制溝７Ａ，７Ｂは、一対の磁
気コア半体２Ａ，２Ｂが突き合わされることによりそれ
ぞれ形成される。すなわち、トラック幅規制溝７Ａ，７
Ｂは、磁気コア半体２Ａ，２Ｂの突合せ面にそれぞれ形
成された一対の溝が突き合わされるように構成されてい
る。この磁気ヘッド１において、トラック幅規制溝７
Ａ，７Ｂは、媒体摺動面Ａに露出しており、磁気ヘッド
１の側面から露出することがないように形成されてい
る。

【００２９】そして、この一対のトラック幅規制溝７
Ａ，７Ｂには、後述するガラス部５が形成されている。
したがって、磁気ヘッド１では、媒体摺動面Ａに対して
略直交する面にガラス部５が露出することはない。ま
た、磁気ヘッド１では、当たり幅規制溝６内にガラス部
５がほぼ露出しないように構成される。

【００３０】この磁気ヘッド１において、一対のトラッ
ク幅規制溝７Ａ，７Ｂの外側端部は、上述した一対の当
たり幅規制溝６の側縁部と一致する位置に形成されるこ
とが好ましい。すなわち、一対のトラック幅規制溝７
Ａ，７Ｂは、一対の当たり幅規制溝６により形成される
凸部にのみ露出することが好ましい。このとき、磁気ヘ
ッド１では、トラック幅規制溝７Ａ，７Ｂに充填される
ガラス部５が当たり幅規制溝６に露出しないように構成
されることとなる。

【００３１】このガラス部５は、非磁性絶縁体、例えば
低融点ガラス材からなる。そしてこのガラス部５は、詳
細は後述するが、例えば溶融した低融点ガラス材がトラ
ック幅規制溝７Ａ，７Ｂに充填され、固化されることに
より形成される。

【００３２】以上のように構成された磁気ヘッド１は、
磁気記録媒体からの信号磁界を検出し、磁気記録媒体に
信号磁界を印加する。このとき、磁気ヘッド１では、一
対の磁気コア半体２Ａ、２Ｂがギャップ膜４を介して突
き合わされることによって、閉磁路を形成する。

【００３３】そして、この磁気ヘッド１では、図示しな
いコイルから発生する磁界がギャップ膜４で漏れ磁界と
なる。そして、この漏れ磁界を磁気記録媒体に印加する
ことによって、信号磁界を記録することができる。ま
た、磁気ヘッド１では、磁気記録媒体からの信号磁界が
ギャップ膜４付近に印加されることによって、信号磁界
を検出する。

【００３４】次に、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
について、図面を参照しながら詳細に説明する。このと
き、本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法の実施の形態
として、上述した磁気ヘッド１を製造する際の製造方法
を示す。

【００３５】上述した磁気ヘッド１を製造する際には、
先ず、図２に示すように、平板状のフェライト基板１０
を用意する。このフェライト基板１０は、Ｍｎ−Ｚｎフ
ェライトやＮｉ−Ｚｎフェライト等の酸化物軟磁性材料
からなる。そして、このフェライト基板１０は、その長
さ寸法が約３０ｍｍとされ、その幅寸法が約２．５ｍｍ
とされる。そして、このフェライト基板１０には、後述
するように、複数個の磁気コア半体２Ａが並列して形成
される。その後、一対のフェライト基板１０を突き合わ
せることによって、複数個の磁気ヘッド１が並列して形
成されることとなる。その後、並列して形成された複数
個の磁気ヘッド１を切削して個々の磁気ヘッド１に分離
する。

【００３６】次に、図３に示すように、フェライト基板
１０の一方主面１０Ａに、フェライト基板１０の幅方向
に対して平行な方向に複数のトラック幅規制溝７Ａ，７
Ｂを一定のピッチで形成する。このトラック幅規制溝７
Ａ，７Ｂは、その深さ寸法が約１６０μｍとされてい
る。また、このトラック幅規制溝７Ａ，７Ｂは、その一
方側面が傾斜面とされ、その傾斜角（図３中βで示
す。）が８度から４５度とされている。

【００３７】このとき、トラック幅規制溝７Ａとトラッ
ク幅規制溝７Ｂとの間には、所定の幅寸法を有する凸部
１１が形成される。この凸部１１の幅寸法は、磁気ヘッ
ド１のトラック幅の幅寸法となる。また、トラック幅規
制溝７Ａ，７Ｂは、１つの磁気ヘッド１に対応する凸部
１１を形成し、隣接して形成される磁気ヘッドのトラッ
ク幅規制溝７Ａ，７Ｂとは十分に離間して形成されてい
る。なお、ここで、トラック幅規制溝７Ａ，７Ｂは、溝
の断面形状に限定されるものではなく、磁気ヘッド１に
おけるトラック幅を規定するような形状であればよい。
しかしながら、トラック幅規制溝７Ａ，７Ｂは、一方主
面１０Ａに対して平行な面を有さない方が好ましい。こ
れは、磁気ヘッド１において、一方主面１０Ａと平行な
面が疑似ギャップを形成してしまう虞れがあるからであ
る。

【００３８】そして、このようにフェライト基板１０に
トラック幅規制溝７Ａ，７Ｂが形成された後、一方主面
１０Ａを平坦化するために一方主面１０Ａに対して研磨
加工を施す。このとき、一方主面１０Ａは、その表面粗
度（Ｒａ）が２００〜１０００オングストローム程度と
なるように研磨される。

【００３９】次に、図４に示すように、フェライト基板
１０の一方主面１０Ａに、上述したトラック幅規制溝７
Ａ，７Ｂに対して垂直な方向にギャップデプス規制溝１
２を形成する。このギャップデプス規制溝１２は、ギャ
ップデプスの大きさを規制するとともにコイルを巻装す
るためのものである。そして、フェライト基板１０の一
方主面１０Ａをいわゆる逆スパッタリングを施し、一方
主面１０Ａの表面粗さを少なくする。このように、複数
個の磁気コア半体が形成されたフェライト基板１０を磁
気コア半体ブロック１３とする。

【００４０】次に、磁気コア半体ブロック１３の一方主
面１０Ａ上に、スパッタ法を用いて非磁性体、例えばＴ
ａ₂Ｏ₅膜を成膜する。このＴａ₂Ｏ₅膜は、その膜厚が約
８５０オングストロームとされ、上述したように磁気ヘ
ッド１におけるギャップ膜４となるものである。

【００４１】次に、図５に示すように、一対の磁気コア
半体ブロック１３を、それぞれＴａ₂Ｏ₅膜が成膜された
面が対向するように突き合わされる。このとき、一対の
磁気コア半体ブロック１３は、上述したように形成され
たトラック幅規制溝７Ａ，７Ｂが正確に位置合わせさ
れ、各磁気コア半体ブロック１０に形成された凸部１１
が対向するように突き合わされる。

【００４２】このとき、一対の磁気コア半体ブロック１
３を接合するために、低融点ガラス材等の非磁性絶縁材
料をトラック幅規制溝７Ａ，７Ｂに充填する。この低融
点ガラス材としては、線径が０．１ｍｍとされる略円柱
状のガラスロット１４が用いられる。このガラスロット
１４は、ギャップデプス規制溝１２の磁気ギャップ側の
端部に、ギャップデプス規制溝１４と平行に配される。
この状態で、低融点ガラス材の粘度が０．４８〜０．６
（Ｐａ・ｓ）となるように加熱し、約１時間その温度を
保持することによって、図６に示すように、トラック幅
規制溝７Ａ，７Ｂに低融点ガラス材を充填する。その
後、低融点ガラス材が充填された一対のコア半体ブロッ
ク１３を冷却することによって、低融点ガラス材が固化
してガラス部５となり一対のコア半体ブロック１３を融
着する。

【００４３】次に、低融点ガラス材により融着された一
対の磁気コア半体ブロック１３の一側面Ｄに対して円筒
加工を施す。この一側面Ｄとは、磁気ヘッド１における
媒体摺動面Ａとなる面であり、ギャップ膜４が露出した
面である。そして、この一側面Ｄは、円筒加工により、
ギャップ膜４が露出している部分が最も高い位置となる
ように加工される。

【００４４】次に、融着された一対の磁気コア半体ブロ
ック１３の一側面Ｄに対して研削加工を施す。これによ
り、磁気ヘッド１における当たり幅規制溝を形成する。
このとき、研削加工は、図６中、実線Ｌ１−Ｌ１線と点
線Ｓ１−Ｓ１線とで挟まれる部分及び実線Ｌ２−Ｌ２線
と点線Ｓ２−Ｓ２線とで挟まれる部分に対して行われ
る。

【００４５】このとき、融着された一対の磁気コア半体
ブロック１３は、図７に示すように、一側面Ｄに凸部１
１が形成されることとなる。この凸部１１は、磁気ヘッ
ド１における媒体摺動面Ａとなる部分である。そして、
この手法では、当たり幅規制溝６を形成する際、トラッ
ク幅規制溝７Ａ，７Ｂに充填されたガラス部５をほぼ研
削することがない。

【００４６】次に、融着された一対のコア半体ブロック
１３は、図６中実線Ｌ１−Ｌ１線及び実線Ｌ２−Ｌ２線
で示す位置で切断される。これにより、融着された一対
の磁気コア半体ブロック１３は、個々の磁気ヘッド１に
分離される。

【００４７】以上のように製造された磁気ヘッド１の記
録再生特性を従来の磁気ヘッドと比較した。このときの
結果を表１に示す。

【００４８】

【表１】

【００４９】この表１からも明らかなように、本発明に
かかる磁気ヘッドは、従来のものと比較して出力の向上
が達成されている。なお、このとき、本発明にかかる磁
気１ヘッドは、縦方向の長さ寸法が１．９ｍｍとされ、
横方向の長さ寸法が１．５ｍｍとされ、トラック幅の幅
寸法が１５μｍとされてなるものが用いられた。また、
この磁気ヘッド１では、トラック幅規制溝７Ａ，７Ｂの
傾斜面の角度βが３０゜とされ、アジマス角度が２０゜
とされる。

【００５０】上述したように本発明にかかる磁気ヘッド
及びその製造方法では、トラック幅規制溝７Ａ，７Ｂが
磁気ヘッド１のコア幅よりも内側に位置する。このた
め、この手法では、磁気コア半体ブロックを図６中実線
Ｌ１−Ｌ１線及び実線Ｌ２−Ｌ２線で示す位置で切断す
る際、トラック幅規制溝７Ａ，７Ｂに充填されたガラス
部５を切断することがない。すなわち、この手法では、
個々の磁気ヘッド１を分離する際に磁気コアを構成する
磁性体のみを切断すればよい。

【００５１】このように、本発明にかかる磁気ヘッドの
製造方法では、切削加工において、低融点ガラス材と比
較して切削レートの低い磁性体のみを切削するため、磁
性体に歪みを生じることがない。このため、本発明にか
かる磁気ヘッド及びその製造方法では、磁気コアを構成
する磁性体が良好な磁気的性能を有するようなものとな
る。したがって、この磁気ヘッドは、磁気コアを構成す
る磁性体が高度な透磁率を有する磁気ヘッドとなり、記
録再生特性の向上が図られたものとなる。

【００５２】また、上述した本発明にかかる磁気ヘッド
及びその製造方法では、好ましくはトラック幅規制溝７
Ａ，７Ｂが当たり幅規制溝６により規制される媒体摺動
面Ａにのみ露出される。このとき、この手法では、研削
加工により当たり幅規制溝６を形成する際、トラック幅
規制溝７Ａ，７Ｂに充填されたガラス部５を研削する必
要がない。すなわち、この場合、研削加工は、磁気コア
を構成する磁性体に対してのみ行われることとなる。

【００５３】このように、本発明にかかる磁気ヘッド及
びその製造方法では、研削加工において、ガラス材と比
較して研削レートの低い磁性体のみを研削するため、磁
性体に歪みを生じることはない。このため、この場合、
この磁気ヘッド及びその製造方法では、磁気コアを構成
する磁性体がさらに良好な磁気的性能を有するようなも
のとなる。したがって、この磁気ヘッドは、磁気コアを
構成する磁性体がさらに高度な透磁率を有する磁気ヘッ
ドとなり、記録再生特性の向上がさらに図られたものと
なる。

【００５４】ここで、上述したような研削加工又は切削
加工により磁性体に歪みが生じないことを実証するため
に、以下のような実験を行った。

【００５５】この実験では、先ず、３５ｍｍ×２．５ｍ
ｍ×１ｍｍのフェライト基板上にＴａ₂Ｏ₅を８５０オン
グストロームの膜厚で成膜し、その上にスパッタリング
により低融点ガラス材を成膜する。

【００５６】このとき、フェライト基板の上面に対して
低融点ガラス材が全面に成膜されるようにしたものを試
料１とする。また、比較のために、フェライト基板の上
面にマスク処理を施し、フェライト基板の上面に対して
低融点ガラスが２００μｍ間隔で成膜されるようににし
たものを試料２とする。そして、これら試料１及び試料
２に対して、融着工程と同条件の５３０℃、１時間の熱
処理を行う。

【００５７】以上のように形成された試料１及び試料２
に対して幅寸法が２００μｍの砥石（砥粒：人工ダイ
ヤ、粒径：３〜８μｍ）を用いて研削加工を施した。こ
の研削加工は、各試料の表面に２００μｍの間隔で６０
μｍの深さ寸法を有する６０本の溝を研削することによ
り行われた。

【００５８】すなわち、この研削加工により、試料１で
は、フェライト基板と低融点ガラス材とが同時に研削さ
れることとなる。これに対して、試料２では、ほぼフェ
ライト基板のみが研削されることとなる。

【００５９】このときの実験結果を図８及び図９に示
す。この図８は、各試料における研削加工を施す前の反
りを表す特性図である。（Ａ）は、試料１の反りを表
し、（Ｂ）は、試料２の反りを表す。そして、図９は、
各試料における研削加工を施した後の反りを表す特性図
である。（Ａ）は試料１の反りを表し、（Ｂ）は、試料
２の反りを表す。これら図８及び図９から明かなよう
に、試料１では、反りが大きいことが判る。これに対し
て、試料２では、殆ど反りが発生していないことが判
る。

【００６０】すなわち、フェライト基板と低融点ガラス
材とに対して同時に研削加工を施した場合には、基板全
体に大きな反りが発生している。これに対して、ほぼフ
ェライト基板のみに対して研削加工を施した場合には、
殆ど反りが発生していない。

【００６１】この試料１に発生した反りとは、研削加工
で生じるフェライト内部の歪みを解放する結果としての
現象である。すなわち、この試料１では、研削レートの
高い低融点ガラス材からなる部分に発生する歪みがフェ
ライトからなる部分に加わり、その結果、フェライト基
板に歪みが伝わる。そして、フェライト基板では、伝達
された歪みを解放するために、図９に示すように、反り
が発生している。

【００６２】このような実験結果から、磁気ヘッド１で
は、研削加工及び切削加工による歪みが発生するような
ことはない。

【００６３】さらに、上述した本発明にかかる磁気ヘッ
ドの製造方法によれば、上述したように、トラック幅規
制溝７Ａ，７Ｂの形状が小とされてなる。これにより、
この手法では、トラック幅規制溝７Ａ，７Ｂに充填され
る低融点ガラス材の量を従来と比較して削減することが
できる。したがって、この手法では、低融点ガラス材等
のガラス部に要するコストを削減することが可能とな
る。

【００６４】さらにまた、上述した本発明にかかる磁気
ヘッドでは、その媒体摺動面及び磁気コアの接合方法が
従来の磁気ヘッドの場合と比較して同じとされる。した
がって、本発明にかかる磁気ヘッドでは、その摺動特性
及び接合強度が従来のものと比較して低下することはな
い。

【００６５】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る磁気ヘッド及びその製造方法によれば、トラック幅
規制溝に充填されたガラス部に対して研削加工及び切削
加工を施す必要がない。すなわち、研削加工及び切削加
工は、磁気コアを構成する磁性体にのみ施されればよい
こととなる。これにより、この磁気ヘッド及びその製造
方法では、磁気コアを構成する磁性体に歪みが生じるこ
とがない。したがって、この磁気ヘッド及びその製造方
法では、磁性体の磁気的性能が高度に維持される。そし
て、この磁気ヘッド及びその製造方法では、特に、磁性
体の透磁率が良好であるために、記録再生特性の向上が
図られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる磁気ヘッドの要部斜視図であ
る。

【図２】。本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法を説明
するためのフェライト基板の斜視図である。

【図３】本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法を説明す
るためのフェライト基板の斜視図である。

【図４】本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法を説明す
るためのフェライト基板の斜視図である。

【図５】本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための一対のフェライト基板の斜視図である。

【図６】本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための一対のフェライト基板の斜視図である。

【図７】本発明にかかる磁気ヘッドの製造方法を説明す
るための一対のフェライト基板の要部平面図である。

【図８】研削加工が施される前のフェライト基板に発生
する反りを示す特性図であり、（Ａ）は全面に低融点ガ
ラス材が成膜されたフェライト基板の場合の特性図であ
り、（Ｂ）は２００μｍ間隔で低融点ガラス材が成膜さ
れたフェライト基板の場合の特性図である。

【図９】研削加工が施された後のフェライト基板に発生
する反りを示す特性図であり、（Ａ）は全面に低融点ガ
ラス材が成膜されたフェライト基板の場合の特性図であ
り、（Ｂ）は２００μｍ間隔で低融点ガラス材が成膜さ
れたフェライト基板の場合の特性図でありる。

【図１０】従来の磁気ヘッドの要部斜視図である。

【図１１】従来の磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の一対のフェライト基板の斜視図である。

【符号の説明】

１磁気ヘッド、２磁気コア半体、４ギャップ膜、
５ガラス部、６当たり幅規制溝、７トラック幅規
制溝、８ギャップデプス規制溝、１０フェライト基
板、１１凸部、１２ギャップデプス規制溝、１３
コア半体ブロック

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成８年１２月９日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５９】このときの実験結果を図８及び図９に示
す。この図９は、各試料における研削加工を施す前の反
りを表す特性図である。（Ａ）は、試料１の反りを表
し、（Ｂ）は、試料２の反りを表す。そして、図８は、
各試料における研削加工を施した後の反りを表す特性図
である。（Ａ）は試料１の反りを表し、（Ｂ）は、試料
２の反りを表す。これら図８及び図９から明かなよう
に、試料１では、反りが大きいことが判る。これに対し
て、試料２では、殆ど反りが発生していないことが判
る。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６１】この試料１に発生した反りとは、研削加工
で生じるフェライト内部の歪みを解放する結果としての
現象である。すなわち、この試料１では、研削レートの
高い低融点ガラス材からなる部分に発生する歪みがフェ
ライトからなる部分に加わり、その結果、フェライト基
板に歪みが伝わる。そして、フェライト基板では、伝達
された歪みを解放するために、図８に示すように、反り
が発生している

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図８

【補正方法】変更

【補正内容】

【図８】研削加工が施された後のフェライト基板に発生
する反りを示す特性図であり、（Ａ）は全面に低融点ガ
ラス材が成膜されたフェライト基板の場合の特性図であ
り、（Ｂ）は２００μｍ間隔で低融点ガラス材が成膜さ
れたフェライト基板の場合の特性図である。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図９

【補正方法】変更

【補正内容】

【図９】研削加工が施される前のフェライト基板に発生
する反りを示す特性図であり、（Ａ）は全面に低融点ガ
ラス材が成膜されたフェライト基板の場合の特性図であ
り、（Ｂ）は２００μｍ間隔で低融点ガラス材が成膜さ
れたフェライト基板の場合の特性図である。

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図８

【補正方法】変更

【補正内容】

【図８】

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図９

【補正方法】変更

【補正内容】

【図９】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁性体からなる一対の磁気コア半体が非
磁性体を介して突き合わされ、磁気ギャップが形成され
るとともに、上記磁気コア半体にそれぞれトラック幅規制溝が研削形
成され、このトラック幅規制溝に非磁性材料が充填され
ることにより上記磁気ギャップのトラック幅が規制され
てなり、上記トラック幅規制溝のトラック幅方向における研削領
域が上記磁気コア半体の幅内にあり、上記磁気コア半体
の側面にトラック幅規制溝が露出していないことを特徴
とする磁気ヘッド。
【請求項２】上記磁気コア半体に磁気記録媒体に対す
る当たり幅を規制する当たり幅規制溝が形成され、上記トラック幅規制溝の外側端部は、上記当たり幅規制
溝の側縁部と一致又はこれを越えた位置とされているこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項３】磁性体からなる一対の磁気コア半体に、
所定の間隔を有するトラック幅規制溝を研削形成する工
程と、一対の磁気コア半体を非磁性体を介して突き合わせて磁
気ギャップを形成し、トラック幅規制溝に非磁性材料を
充填することにより一対の磁気コア半体を接合する工程
とを備え、上記トラック幅規制溝のトラック幅方向における研削領
域を上記磁気コア半体の幅内とし、上記トラック幅規制
溝を上記磁気コア半体の側面に露出させないことを特徴
とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項４】上記磁気コア半体が接合された後、上記
磁気コア半体に磁気記録媒体に対する当たり幅を規制す
る当たり幅規制溝を形成する工程を備え、上記トラック幅規制溝の外側端部を上記当たり幅規制溝
の側縁部と一致又はこれを越えた位置とすることを特徴
とする請求項３記載の磁気ヘッドの製造方法。