JPH10105917A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH10105917A JPH10105917A JP28039396A JP28039396A JPH10105917A JP H10105917 A JPH10105917 A JP H10105917A JP 28039396 A JP28039396 A JP 28039396A JP 28039396 A JP28039396 A JP 28039396A JP H10105917 A JPH10105917 A JP H10105917A
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Links
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- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 14
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 11
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 渦電流損失が少なく、透磁率劣化の少ない良
好な薄膜ヘッドを得る。 【解決手段】 少なくとも、下コア３と、上コア４と、
それらを接続する中間コア５と、磁気ギャップ７を有し
た中間コア６とにより形成された磁気回路からなる薄膜
磁気ヘッド１であって、前記中間コア５が磁束が通過す
る方向に対して平行に少なくとも２つ以上分割されてい
る。
好な薄膜ヘッドを得る。 【解決手段】 少なくとも、下コア３と、上コア４と、
それらを接続する中間コア５と、磁気ギャップ７を有し
た中間コア６とにより形成された磁気回路からなる薄膜
磁気ヘッド１であって、前記中間コア５が磁束が通過す
る方向に対して平行に少なくとも２つ以上分割されてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録再生装置
の薄膜磁気ヘッドに係わり、特に、高密度磁気記録用の
薄膜磁気ヘッドに関する。
の薄膜磁気ヘッドに係わり、特に、高密度磁気記録用の
薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の薄膜磁気ヘッドは、真空薄膜形成
技術等により、磁性層を形成し、フォトリソグラフィ−
法やエッチング等により、所定のコア形状に加工し、コ
イル、絶縁層等を介して磁性層を形成することにより磁
気回路を構成していた。
技術等により、磁性層を形成し、フォトリソグラフィ−
法やエッチング等により、所定のコア形状に加工し、コ
イル、絶縁層等を介して磁性層を形成することにより磁
気回路を構成していた。
【０００３】図３（ａ）は、従来の薄膜磁気ヘッド１８
を示す概略平面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）の
Ｂ−Ｂ切断線に沿った概略断面図である。図４は従来の
薄膜磁気ヘッド１８の中間コア５の平面拡大図である。
両図において、基板２上には、この溝Ｄ1を有した下部
絶縁層９ａが形成され、溝Ｄ1中には磁性体からなる下
コア３が下部絶縁層９ａと積層方向に段差を生じること
なく形成されている。中間絶縁層９ｂは下部絶縁層９ａ
及び下コア３上に跨って形成されている。中間絶縁層９
ｂの端部（記録媒体摺動面１５側部）には、凹部１４が
形成され、この凹部１４中に磁性体からなる中間コア６
が下コア３と接続するように埋設される。この結果、中
間コア６と下コア３との間に磁気ギャップ７が形成され
る。中間コア６と記録媒体摺動面１５に垂直方向にある
距離を隔てた内側に直径２ｄ1の半円状の貫通穴１２´
が形成され、この貫通穴１２´中には磁性体からなる中
間コア５が、下コア３と直接接続するように埋設されて
いる。なお、貫通穴１２´の底辺ｍは記録媒体摺動面１
５と平行に形成されている。中間コア５、６及び中間絶
縁層９ｂ上には上部絶縁層９ａが形成されている。下部
絶縁層９ａの溝Ｄ1と同一形状となるように形成された
上部絶縁層９ａの溝Ｄ2中には、磁性体からなる上コア
４が中間絶縁層９ｂ、中間コア５及び６上に形成されて
いる。下コア３及び上コア４の幅ｌ１は記録媒体摺動面
１５方向に向かって狭くなり、記録媒体摺動面１５では
高密度記録再生可能なように細く絞られ、トラック幅ｌ
０を形成している。また、中間絶縁層９ｂ中には平面的
なコイルパタ−ン８が中間コア５を取り巻いて螺旋状に
埋め込まれている。このコイルパタ−ン８の始端部と終
端部には接続用パタ−ン１６、１７が形成されている。
コイルパタ−ン８の一端部は上部絶縁層９ｃに埋設され
たスル−ホ−ル１０内に埋め込まれた導体を介して外部
リ−ド線１１と接続し、外部装置との電気的な接続を可
能としている。
を示す概略平面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）の
Ｂ−Ｂ切断線に沿った概略断面図である。図４は従来の
薄膜磁気ヘッド１８の中間コア５の平面拡大図である。
両図において、基板２上には、この溝Ｄ1を有した下部
絶縁層９ａが形成され、溝Ｄ1中には磁性体からなる下
コア３が下部絶縁層９ａと積層方向に段差を生じること
なく形成されている。中間絶縁層９ｂは下部絶縁層９ａ
及び下コア３上に跨って形成されている。中間絶縁層９
ｂの端部（記録媒体摺動面１５側部）には、凹部１４が
形成され、この凹部１４中に磁性体からなる中間コア６
が下コア３と接続するように埋設される。この結果、中
間コア６と下コア３との間に磁気ギャップ７が形成され
る。中間コア６と記録媒体摺動面１５に垂直方向にある
距離を隔てた内側に直径２ｄ1の半円状の貫通穴１２´
が形成され、この貫通穴１２´中には磁性体からなる中
間コア５が、下コア３と直接接続するように埋設されて
いる。なお、貫通穴１２´の底辺ｍは記録媒体摺動面１
５と平行に形成されている。中間コア５、６及び中間絶
縁層９ｂ上には上部絶縁層９ａが形成されている。下部
絶縁層９ａの溝Ｄ1と同一形状となるように形成された
上部絶縁層９ａの溝Ｄ2中には、磁性体からなる上コア
４が中間絶縁層９ｂ、中間コア５及び６上に形成されて
いる。下コア３及び上コア４の幅ｌ１は記録媒体摺動面
１５方向に向かって狭くなり、記録媒体摺動面１５では
高密度記録再生可能なように細く絞られ、トラック幅ｌ
０を形成している。また、中間絶縁層９ｂ中には平面的
なコイルパタ−ン８が中間コア５を取り巻いて螺旋状に
埋め込まれている。このコイルパタ−ン８の始端部と終
端部には接続用パタ−ン１６、１７が形成されている。
コイルパタ−ン８の一端部は上部絶縁層９ｃに埋設され
たスル−ホ−ル１０内に埋め込まれた導体を介して外部
リ−ド線１１と接続し、外部装置との電気的な接続を可
能としている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高周波
領域の信号においては、渦電流による磁性体内部の透磁
率劣化が生じ、この劣化は、磁気回路中を通過する信号
磁束方向と垂直方向の磁性体の表面から中心部までの距
離が深くなる程、顕著になる。即ち、信号磁束は、磁性
体の表面とその中心部を結ぶ長さを半径とする内接円の
うち、最大となる内接円（最大内接円）が大きくなる
程、透磁率劣化が大きくなる。通常、下コア３、上コア
４及び中間コア６では薄く設計されているので、問題な
いが、信号磁束の流れの進行方向に垂直方向の中間コア
５の磁性体厚さは、十分な信号磁束の発生又は供給を行
うことから、厚く設計されているため、渦電流損失によ
る透磁率の劣化が著しく、磁気記録再生の効率を低下さ
せてしまっていた。そこで、本発明は、上記のような問
題点を解消するためになされたもので、渦電流損失が少
なく、透磁率劣化の少ない良好な薄膜磁気ヘッドを提供
することを目的とする。
領域の信号においては、渦電流による磁性体内部の透磁
率劣化が生じ、この劣化は、磁気回路中を通過する信号
磁束方向と垂直方向の磁性体の表面から中心部までの距
離が深くなる程、顕著になる。即ち、信号磁束は、磁性
体の表面とその中心部を結ぶ長さを半径とする内接円の
うち、最大となる内接円（最大内接円）が大きくなる
程、透磁率劣化が大きくなる。通常、下コア３、上コア
４及び中間コア６では薄く設計されているので、問題な
いが、信号磁束の流れの進行方向に垂直方向の中間コア
５の磁性体厚さは、十分な信号磁束の発生又は供給を行
うことから、厚く設計されているため、渦電流損失によ
る透磁率の劣化が著しく、磁気記録再生の効率を低下さ
せてしまっていた。そこで、本発明は、上記のような問
題点を解消するためになされたもので、渦電流損失が少
なく、透磁率劣化の少ない良好な薄膜磁気ヘッドを提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる薄膜磁気
ヘッドは、少なくとも、下コアと、上コアと、それらを
接続する中間コアと、前記上コアと下コアとの間に配置
され、磁気ギャップを有した中間コアとにより形成され
た磁気回路からなる薄膜磁気ヘッドであって、前記中間
コアは磁束が通過する方向に対して平行に少なくとも２
つ以上分割されていることを特徴とする。
ヘッドは、少なくとも、下コアと、上コアと、それらを
接続する中間コアと、前記上コアと下コアとの間に配置
され、磁気ギャップを有した中間コアとにより形成され
た磁気回路からなる薄膜磁気ヘッドであって、前記中間
コアは磁束が通過する方向に対して平行に少なくとも２
つ以上分割されていることを特徴とする。
【０００６】本発明によれば、前記の中間コア中を流れ
る磁束の進行方向に対して平行に少なくとも２つ以上分
割しているので、渦電流損失を低減でき、透磁率劣化が
なく、記録再生効率の低下が防げる。
る磁束の進行方向に対して平行に少なくとも２つ以上分
割しているので、渦電流損失を低減でき、透磁率劣化が
なく、記録再生効率の低下が防げる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例について図面を
参照しながら説明する。図１（ａ）は本発明の薄膜磁気
ヘッド１の平面図であり、図１（ｂ）は本発明の薄膜磁
気ヘッド１のＡ−Ａ断面図である。図２は本発明の薄膜
磁気ヘッドの中間コア５を中間コア５ａ及び５ｂに分割
した平面拡大図である。前述した従来の構成と同一部分
は同一符号を付し、その説明を省略する。本発明の薄膜
磁気ヘッド１は従来の薄膜磁気ヘッド１８の中間コア５
中を流れる信号磁束の進行方向と平行に、かつ記録媒体
摺動面１５に平行して、２つに分割したものに等しい。
参照しながら説明する。図１（ａ）は本発明の薄膜磁気
ヘッド１の平面図であり、図１（ｂ）は本発明の薄膜磁
気ヘッド１のＡ−Ａ断面図である。図２は本発明の薄膜
磁気ヘッドの中間コア５を中間コア５ａ及び５ｂに分割
した平面拡大図である。前述した従来の構成と同一部分
は同一符号を付し、その説明を省略する。本発明の薄膜
磁気ヘッド１は従来の薄膜磁気ヘッド１８の中間コア５
中を流れる信号磁束の進行方向と平行に、かつ記録媒体
摺動面１５に平行して、２つに分割したものに等しい。
【０００８】両図において、基板２上には、この溝Ｄ1
を有した下部絶縁層９ａが形成され、溝Ｄ1中には磁性
体からなる下コア３が下部絶縁層９ａと積層方向に段差
を生じることなく形成されている。中間絶縁層９ｂは下
部絶縁層９ａ及び下コア３上に跨って形成されている。
直径２ｄ1の半円の底辺ｍは、記録媒体摺動面１５に平
行に形成されている。中間コア５ａの底辺ｍに垂直方向
の厚さは共にｄ2である。中間絶縁層９ｂの端部（記録
媒体摺動面１５側部）には凹部１４が形成され、この凹
部１４中に磁性体からなる中間コア６が下コア３と接続
するように埋設される。この結果、中間コア６と下コア
３との間に磁気ギャップ７が形成される。この中間コア
６と磁気記録媒体摺動面１５に垂直方向にある距離を隔
てた内側に直径２ｄ1の半円を間隔ｄ0だけ隔てて底辺ｍ
と平行して２分割形成した貫通穴１２及び１３中に磁性
体からなる中間コア５ａ及び５ｂが下コア３と直接接続
するように埋設されている。中間コア５、６及び中間絶
縁層９ｂ上には上部絶縁層９ａが形成されている。下部
絶縁層９ａの溝Ｄ1と同一形状となるように形成された
上部絶縁層９ａの溝Ｄ2中には磁性体からなる上コア４
が上部絶縁層９ｂ、中間コア５及び６上に形成されてい
る。下コア３及び上コア４の幅ｌ１は記録媒体摺動面１
５の方向に向かって細く絞られ、トラック幅ｌ０を形成
している。また、中間絶縁層９ｂ中には平面的なコイル
パタ−ン８が中間コア５ａ及び５ｂを取り巻いて螺旋状
に埋め込まれている。このコイルパタ−ン８の始端部と
終端部には接続用パタ−ン１６、１７が形成されてい
る。コイルパタ−ン８の一端部は上部絶縁層９ｃに埋設
されたスル−ホ−ル１０内に埋め込まれた導体を介して
外部リ−ド線１１と接続し、外部装置との電気的な接続
を可能としている。こうして、下コア３、上コア４、中
間コア５ａ及び５ｂ、中間コア６により形成されている
磁気回路を介して記録再生することができる。
を有した下部絶縁層９ａが形成され、溝Ｄ1中には磁性
体からなる下コア３が下部絶縁層９ａと積層方向に段差
を生じることなく形成されている。中間絶縁層９ｂは下
部絶縁層９ａ及び下コア３上に跨って形成されている。
直径２ｄ1の半円の底辺ｍは、記録媒体摺動面１５に平
行に形成されている。中間コア５ａの底辺ｍに垂直方向
の厚さは共にｄ2である。中間絶縁層９ｂの端部（記録
媒体摺動面１５側部）には凹部１４が形成され、この凹
部１４中に磁性体からなる中間コア６が下コア３と接続
するように埋設される。この結果、中間コア６と下コア
３との間に磁気ギャップ７が形成される。この中間コア
６と磁気記録媒体摺動面１５に垂直方向にある距離を隔
てた内側に直径２ｄ1の半円を間隔ｄ0だけ隔てて底辺ｍ
と平行して２分割形成した貫通穴１２及び１３中に磁性
体からなる中間コア５ａ及び５ｂが下コア３と直接接続
するように埋設されている。中間コア５、６及び中間絶
縁層９ｂ上には上部絶縁層９ａが形成されている。下部
絶縁層９ａの溝Ｄ1と同一形状となるように形成された
上部絶縁層９ａの溝Ｄ2中には磁性体からなる上コア４
が上部絶縁層９ｂ、中間コア５及び６上に形成されてい
る。下コア３及び上コア４の幅ｌ１は記録媒体摺動面１
５の方向に向かって細く絞られ、トラック幅ｌ０を形成
している。また、中間絶縁層９ｂ中には平面的なコイル
パタ−ン８が中間コア５ａ及び５ｂを取り巻いて螺旋状
に埋め込まれている。このコイルパタ−ン８の始端部と
終端部には接続用パタ−ン１６、１７が形成されてい
る。コイルパタ−ン８の一端部は上部絶縁層９ｃに埋設
されたスル−ホ−ル１０内に埋め込まれた導体を介して
外部リ−ド線１１と接続し、外部装置との電気的な接続
を可能としている。こうして、下コア３、上コア４、中
間コア５ａ及び５ｂ、中間コア６により形成されている
磁気回路を介して記録再生することができる。
【０００９】ここで、薄膜磁気ヘッド１の高周波領域の
動作における磁性体内部の渦電流の発生と透磁率との関
係について考える。薄膜磁気ヘッド１の高周波領域の動
作においては、磁性体内部では、渦電流による透磁率劣
化が生じるが、この劣化は磁性体表面からの最も近接す
る距離が深い個所ほど顕著に生じる。そのため、磁気回
路中を通過する信号磁束方向と垂直方向の磁性体の厚さ
を薄くした磁性体により磁気回路を構成すれば、渦電流
損失が少なく、透磁率劣化が少ない記録効率の良い薄膜
磁気ヘッドを得ることができる。
動作における磁性体内部の渦電流の発生と透磁率との関
係について考える。薄膜磁気ヘッド１の高周波領域の動
作においては、磁性体内部では、渦電流による透磁率劣
化が生じるが、この劣化は磁性体表面からの最も近接す
る距離が深い個所ほど顕著に生じる。そのため、磁気回
路中を通過する信号磁束方向と垂直方向の磁性体の厚さ
を薄くした磁性体により磁気回路を構成すれば、渦電流
損失が少なく、透磁率劣化が少ない記録効率の良い薄膜
磁気ヘッドを得ることができる。
【００１０】通常、下コア３、上コア４及び中間コア６
の厚さは薄く設計されているが、中間コア５の厚さは信
号磁束の発生または供給を行うことから厚く設計されて
いる。その結果、中間コア５での透磁率劣化が問題とな
る。本発明では、中間コア５を中間５ａ及び５ｂに２分
割しているので、中間コア５ａ及び５ｂに内接する円の
うち最大の円（最大内接円）は、半径ｄ2／２（ｄ2＜ｄ
1）の円となり、中間コア５の内接する内接円の半径ｄ1
よりも小さくなるので、渦電流損失を少なくすることが
できる。また、間隔ｄ0はｄ0《ｄ1であるので、信号磁
束は中間コア５ａ及び５ｂを通過するため、中間コア５
とほぼ同程度の断面積を通過するので、信号磁束の発生
又は供給を行うことができる。
の厚さは薄く設計されているが、中間コア５の厚さは信
号磁束の発生または供給を行うことから厚く設計されて
いる。その結果、中間コア５での透磁率劣化が問題とな
る。本発明では、中間コア５を中間５ａ及び５ｂに２分
割しているので、中間コア５ａ及び５ｂに内接する円の
うち最大の円（最大内接円）は、半径ｄ2／２（ｄ2＜ｄ
1）の円となり、中間コア５の内接する内接円の半径ｄ1
よりも小さくなるので、渦電流損失を少なくすることが
できる。また、間隔ｄ0はｄ0《ｄ1であるので、信号磁
束は中間コア５ａ及び５ｂを通過するため、中間コア５
とほぼ同程度の断面積を通過するので、信号磁束の発生
又は供給を行うことができる。
【００１１】このように、内接する最大円が小さくなる
ように、中間コア５を中間コア５ａ及び５ｂに分割する
ことによって、渦電流損失が小さくでき、透磁率の劣化
が少なく、記録効率及び再生効率のよい薄膜磁気ヘッド
を得ることができる。
ように、中間コア５を中間コア５ａ及び５ｂに分割する
ことによって、渦電流損失が小さくでき、透磁率の劣化
が少なく、記録効率及び再生効率のよい薄膜磁気ヘッド
を得ることができる。
【００１２】本発明では中間コア５の分割を信号磁束と
平行で、かつ記録媒体の摺動面１５に平行方向に２等分
にしたが、任意の大きさで複数個に分割してもよい。ま
た、中間コア５の分割方向は、信号磁束と平行で、かつ
垂直方向に分割しても同様の効果が得られる。
平行で、かつ記録媒体の摺動面１５に平行方向に２等分
にしたが、任意の大きさで複数個に分割してもよい。ま
た、中間コア５の分割方向は、信号磁束と平行で、かつ
垂直方向に分割しても同様の効果が得られる。
【００１３】
【発明の効果】本発明による薄膜磁気ヘッドによれば、
中間コアを少なくとも２個以上分割したので、渦電流損
失が少なく、透磁率劣化を減少させることができ、記録
再生効率のよい薄膜磁気ヘッドを得ることができる。
中間コアを少なくとも２個以上分割したので、渦電流損
失が少なく、透磁率劣化を減少させることができ、記録
再生効率のよい薄膜磁気ヘッドを得ることができる。
【図１】（ａ）は本発明の薄膜磁気ヘッドの概略平面図
であり、（ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ切断線に沿った概略断
面図である。
であり、（ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ切断線に沿った概略断
面図である。
【図２】本発明の薄膜磁気ヘッドの２分割した中間コア
の平面拡大図である。
の平面拡大図である。
【図３】（ａ）は従来の薄膜磁気ヘッドの概略平面図で
あり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ切断線に沿った概略断面
図である。
あり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ切断線に沿った概略断面
図である。
【図４】従来の薄膜磁気ヘッドの中間コアの平面拡大図
である。
である。
１、１８…薄膜磁気ヘッド ２…基板 ３…下コア ４…上コア ５、５ａ、５ｂ、６…中間コア ７…磁気ギャップ ８…コイルパタ−ン ９ａ…下部絶縁層 ９ｂ…中間絶縁層 ９ｃ…上部絶縁層 １０…スル−ホ−ル １１…外部リ−ド線 １２、１３…貫通穴 １４…凹部 １５…記録媒体摺動面 １６、１７…接続用パタ−ン
Claims (1)
- 【請求項１】少なくとも、下コアと、上コアと、それら
を接続する中間コアと、前記上コアと下コアとの間に配
置され、磁気ギャップを有した中間コアとにより形成さ
れた磁気回路からなる薄膜磁気ヘッドであって、前記中
間コアは磁束が通過する方向に対して平行に少なくとも
２つ以上分割されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28039396A JPH10105917A (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28039396A JPH10105917A (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10105917A true JPH10105917A (ja) | 1998-04-24 |
Family
ID=17624410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28039396A Pending JPH10105917A (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10105917A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2392296A (en) * | 2002-08-05 | 2004-02-25 | Seagate Technology Llc | Recording head with rounded top pole |
| US7684150B2 (en) | 2003-07-09 | 2010-03-23 | Seagate Technology Llc | Recording head for reducing side track erasure |
-
1996
- 1996-09-30 JP JP28039396A patent/JPH10105917A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2392296A (en) * | 2002-08-05 | 2004-02-25 | Seagate Technology Llc | Recording head with rounded top pole |
| GB2392296B (en) * | 2002-08-05 | 2004-08-11 | Seagate Technology Llc | Rounded top pole |
| US7684150B2 (en) | 2003-07-09 | 2010-03-23 | Seagate Technology Llc | Recording head for reducing side track erasure |
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