JPH01307008A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPH01307008A JPH01307008A JP13549788A JP13549788A JPH01307008A JP H01307008 A JPH01307008 A JP H01307008A JP 13549788 A JP13549788 A JP 13549788A JP 13549788 A JP13549788 A JP 13549788A JP H01307008 A JPH01307008 A JP H01307008A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- magnetic film
- upper magnetic
- films
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録関係の装置に用いられる磁気ヘッドに
係り、特に、磁気抵抗効果素子を再生ヘッドとして用い
た記録、及び、再生兼用であり、高再生出力に好適な高
性能薄膜磁気ヘッドの構造に関する。
係り、特に、磁気抵抗効果素子を再生ヘッドとして用い
た記録、及び、再生兼用であり、高再生出力に好適な高
性能薄膜磁気ヘッドの構造に関する。
（従来の技術〕
磁気抵抗効果素子を再生ヘッドとして用いることは従来
から知られており、最近、薄膜磁気ヘッドと組み合わせ
、薄膜磁気ヘッドを記録用ヘッド、磁気抵抗効果素子を
再生用として用いる場合が増えている。その構造の一例
を第３図に示し、（Ａ）はその斜視図を、（Ｂ）はその
ギャップ先端部の拡大図を示す０図示のように、下部磁
性膜１と上部磁性膜２の間に磁気抵抗効果素子７を形成
して構成する。
から知られており、最近、薄膜磁気ヘッドと組み合わせ
、薄膜磁気ヘッドを記録用ヘッド、磁気抵抗効果素子を
再生用として用いる場合が増えている。その構造の一例
を第３図に示し、（Ａ）はその斜視図を、（Ｂ）はその
ギャップ先端部の拡大図を示す０図示のように、下部磁
性膜１と上部磁性膜２の間に磁気抵抗効果素子７を形成
して構成する。
第３図のようなヘッドでは再生時、上、下部磁性膜の透
磁率のために媒体からの漏洩磁界が上。
磁率のために媒体からの漏洩磁界が上。
下部磁性膜に吸い込まれ、実質的に磁気抵抗効果素子７
が感じる磁束量が減少するため出方が低下する。このよ
うに、従来の磁気抵抗効果素子７を複合した薄膜ヘッド
では工程を多くした複雑なプロセスを採用したにもかか
わらず、大きな効果は期待できない。
が感じる磁束量が減少するため出方が低下する。このよ
うに、従来の磁気抵抗効果素子７を複合した薄膜ヘッド
では工程を多くした複雑なプロセスを採用したにもかか
わらず、大きな効果は期待できない。
本発明はヘッドの欠点を補い、高性能な薄膜磁気ヘッド
が容易に製造出来るようにしたものである。
が容易に製造出来るようにしたものである。
上記目的は下部磁性膜１と、下部磁性膜１の上に形成さ
れる第一の絶縁層と、第一の絶縁層の上に形成される導
通コイル４と、導通コイル４の上に形成される第二の絶
縁層と、第二の絶縁層の上に非磁性層絶縁膜を介した複
数層の上部磁性膜を積層して構成される薄膜磁気ヘッド
において、上部磁性膜の最上層の一部に磁気抵抗効果素
子７を組込んだ薄膜磁気ヘッドによってなされる。
れる第一の絶縁層と、第一の絶縁層の上に形成される導
通コイル４と、導通コイル４の上に形成される第二の絶
縁層と、第二の絶縁層の上に非磁性層絶縁膜を介した複
数層の上部磁性膜を積層して構成される薄膜磁気ヘッド
において、上部磁性膜の最上層の一部に磁気抵抗効果素
子７を組込んだ薄膜磁気ヘッドによってなされる。
本発明では、磁気抵抗効果型ヘッドを利用する場合に、
記録用の巻線型ヘッドと組合せることによって、はじめ
て高出力の記録・再生用薄膜磁気ヘッドが実現する。
記録用の巻線型ヘッドと組合せることによって、はじめ
て高出力の記録・再生用薄膜磁気ヘッドが実現する。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
第１図に本発明の実施例を示し、（Ａ）はその斜視概略
図を、（Ｂ）はＡ−Ａ’断面図を示す。
図を、（Ｂ）はＡ−Ａ’断面図を示す。
本発明の特徴は、非磁性絶縁膜を介した二層膜からなる
上部磁性膜の最上層の一部に磁気抵抗効果素子を設けた
構造にある。非磁性絶縁膜を介した複数層の上部磁性膜
はスパッタ法によりパーマロイ膜で形成される場合が多
い。メツキ法により形成することもできるが、非磁性絶
縁膜を介在するためその工程が増えて複雑となる。
上部磁性膜の最上層の一部に磁気抵抗効果素子を設けた
構造にある。非磁性絶縁膜を介した複数層の上部磁性膜
はスパッタ法によりパーマロイ膜で形成される場合が多
い。メツキ法により形成することもできるが、非磁性絶
縁膜を介在するためその工程が増えて複雑となる。
次に、磁気抵抗効果素子７の形成法を述べる。
第２図は磁気抵抗効果素子を組み込んだ部分を拡大して
示した断面図である。第二層の上部磁性膜６上に非磁性
絶縁膜を設け、その絶縁膜上に磁気抵抗効果膜を第二層
の上部磁性膜６の溝内に設ける。ここで、第二層上部磁
性膜６のパターニングの一部の工程に磁気抵抗効果膜の
マスクを利用して逆パターンを形成する。この際、エツ
チング工程でイオンミリング法を使うと、第二層上部磁
性膜６のパターンエツジは一定のテーパ角を持つように
パターニングできる。このように、テーパ角を持たせる
ことにより、磁気抵抗効果膜のパターンエツジと、第二
層上部磁性膜６のパターンエツジとが、同一面上で重な
る部分も隙間もほとんどなくなるように、パターニング
できる。このように、磁気抵抗効果膜を設けることによ
り、磁気抵抗効果膜に付随する磁区構造を単磁区化出来
るので、出力波形ひずみは小さくなる。
示した断面図である。第二層の上部磁性膜６上に非磁性
絶縁膜を設け、その絶縁膜上に磁気抵抗効果膜を第二層
の上部磁性膜６の溝内に設ける。ここで、第二層上部磁
性膜６のパターニングの一部の工程に磁気抵抗効果膜の
マスクを利用して逆パターンを形成する。この際、エツ
チング工程でイオンミリング法を使うと、第二層上部磁
性膜６のパターンエツジは一定のテーパ角を持つように
パターニングできる。このように、テーパ角を持たせる
ことにより、磁気抵抗効果膜のパターンエツジと、第二
層上部磁性膜６のパターンエツジとが、同一面上で重な
る部分も隙間もほとんどなくなるように、パターニング
できる。このように、磁気抵抗効果膜を設けることによ
り、磁気抵抗効果膜に付随する磁区構造を単磁区化出来
るので、出力波形ひずみは小さくなる。
又、磁気抵抗効果膜は厚さ数百人の通常ニッケルー鉄合
金のパーマロイ膜を用いるが、さらに、高出力化するた
めにニッケルーコバルト合金膜のようなニッケル基合金
膜を用いる。ニッケル基合金膜を使う場合は、高透磁率
化する必要があり、膜形成する場合、基板面内に直交す
る方向に互いに所定の周波数で繰り返し外部磁界を印加
すればよい。なお１図中３は層間絶縁膜、５は第一層上
部磁性膜、８はセラミック基板である。
金のパーマロイ膜を用いるが、さらに、高出力化するた
めにニッケルーコバルト合金膜のようなニッケル基合金
膜を用いる。ニッケル基合金膜を使う場合は、高透磁率
化する必要があり、膜形成する場合、基板面内に直交す
る方向に互いに所定の周波数で繰り返し外部磁界を印加
すればよい。なお１図中３は層間絶縁膜、５は第一層上
部磁性膜、８はセラミック基板である。
本発明によれば、記録、及び、再生が同一ヘッドで行わ
れ、再生出力より高出方になるだけでなく、出力波形が
対称になり、波形ひずみを小さくすることが出来る。
れ、再生出力より高出方になるだけでなく、出力波形が
対称になり、波形ひずみを小さくすることが出来る。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施の斜視図、第
２図は薄膜磁気ヘッドに組み込んだ磁気抵抗効果素子の
部分断面図、第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの斜視図で
ある。 １・・・下部磁性膜、２・・・ギャップ膜、３・・・層
間絶縁膜、４・・・コイル、５・・・第一層上部磁性膜
、６・・・第二層上部磁性膜、７・・・磁気抵抗効果素
子、８・・・セラミック基板。 第１図 第２図
２図は薄膜磁気ヘッドに組み込んだ磁気抵抗効果素子の
部分断面図、第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの斜視図で
ある。 １・・・下部磁性膜、２・・・ギャップ膜、３・・・層
間絶縁膜、４・・・コイル、５・・・第一層上部磁性膜
、６・・・第二層上部磁性膜、７・・・磁気抵抗効果素
子、８・・・セラミック基板。 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、セラミック基板上に形成した下部磁性膜と、前記下
部磁性膜上に形成され一端が前記下部磁性膜の一端に接
し、他端が前記下部磁性膜の他端に磁気ギャップを介し
て対向し、前記下部磁性膜と共に一部に前記磁気ギャッ
プをもつ磁気回路を形成する上部磁性膜と、前記下部磁
性膜と前記上部磁性膜との間を通り磁気回路と交差する
所定回巻数のコイルを形成する導体膜と、前記導体膜の
相互間及び前記導体膜と前記下部及び前記上部磁性膜間
を電気的に絶縁する絶縁部材とを具備し、前記上部磁性
膜が非磁性絶縁膜を介した複数層からなる薄膜磁気ヘッ
ドにおいて、 前記上部磁性膜の最上層の一部に磁気抵抗効果素子を組
込んだことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13549788A JPH01307008A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13549788A JPH01307008A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01307008A true JPH01307008A (ja) | 1989-12-12 |
Family
ID=15153125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13549788A Pending JPH01307008A (ja) | 1988-06-03 | 1988-06-03 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01307008A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5095397A (en) * | 1989-08-04 | 1992-03-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film magnetic head of embodied recording and reproducing transducer type |
| US5097372A (en) * | 1989-08-04 | 1992-03-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film magnetic head with wide recording area and narrow reproducing area |
-
1988
- 1988-06-03 JP JP13549788A patent/JPH01307008A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5095397A (en) * | 1989-08-04 | 1992-03-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film magnetic head of embodied recording and reproducing transducer type |
| US5097372A (en) * | 1989-08-04 | 1992-03-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Thin film magnetic head with wide recording area and narrow reproducing area |
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