JPH10107011A5 - - Google Patents

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JPH10107011A5
JPH10107011A5 JP1996275392A JP27539296A JPH10107011A5 JP H10107011 A5 JPH10107011 A5 JP H10107011A5 JP 1996275392 A JP1996275392 A JP 1996275392A JP 27539296 A JP27539296 A JP 27539296A JP H10107011 A5 JPH10107011 A5 JP H10107011A5
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Description

【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記問題点を解決するために、マイクロ波発生器にて発生したマイクロ波を導波管内に伝搬させてモード変換器にてモード変換した後に導波管内に伝搬させて、これより被処理体にプラズマ処理を施す処理容器内にマイクロ波を導入するようにしたプラズマ処理装置において、前記モード変換器を、前記マイクロ波中に複数の振動モードが混在するように設定したものである。

Claims (4)

  1. マイクロ波発生器にて発生したマイクロ波を導波管内に伝搬させてモード変換器にてモード変換した後に導波管内に伝搬させて、これより被処理体にプラズマ処理を施す処理容器内にマイクロ波を導入するようにしたプラズマ処理装置において、前記モード変換器を、前記マイクロ波中に複数の振動モードが混在するように設定したことを特徴とするプラズマ処理装置。
  2. 前記複数の振動モードは、ＴＭ０１モードとＴＥ１１モードであることを特徴とする請求項１記載のプラズマ処理装置。
  3. 前記モード変換器、或いはテーパ導波管の途中に、前記複数の振動モードの内の１つの振動モードを回転させるように偏向させる偏波器を設けるように構成したことを特徴とする請求項１または２記載のプラズマ処理装置。
  4. 前記処理容器の外側には、ＥＣＲ用の磁石を設けていることを特徴とする請求項１乃至３記載のプラズマ処理装置。
JP8275392A 1996-09-26 1996-09-26 プラズマ処理装置 Pending JPH10107011A (ja)

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US08/936,820 US5874706A (en) 1996-09-26 1997-09-24 Microwave plasma processing apparatus using a hybrid microwave having two different modes of oscillation or branched microwaves forming a concentric electric field
KR1019970048683A KR100405932B1 (ko) 1996-09-26 1997-09-25 마이크로파플라즈마처리장치
TW086113974A TW362238B (en) 1996-09-26 1997-09-25 Microwave plasma processing apparatus

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