JPH1010749A

JPH1010749A - 着色感光性樹脂組成物用現像液

Info

Publication number: JPH1010749A
Application number: JP15963996A
Authority: JP
Inventors: Takanori Kudo; 隆範工藤; Yuko Nozaki; 優子野崎; Arinori Nanjo; 有紀南條
Original assignee: HOECHST IND KK
Current assignee: HOECHST IND KK
Priority date: 1996-06-20
Filing date: 1996-06-20
Publication date: 1998-01-16

Abstract

(57)【要約】【課題】現像後の非画像部の残渣、パターンの剥がれ、
膜ベリの改善された着色感光性樹脂組成物用現像液を提
供する。【解決手段】着色感光性樹脂組成物用現像液は、ポリオ
キシアルキレン誘導体であるアニオン系界面活性剤及び
芳香族基を有するアニオン系界面活性剤の両者を含むア
ルカリ水溶液もしくは、分子構造中長鎖アルキル基と芳
香族基を有する界面活性剤を含むアルカリ水溶液からな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、着色感光性樹脂組
成物により着色画像を形成する際に有用な現像液、特に
非画像部の現像性の改善された着色感光性樹脂組成物用
現像液に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、着色感光性樹脂組成物を用い、画
像露光後現像を行うことにより着色画像を形成すること
は、例えば液晶表示素子や撮影素子等に用いられるカラ
ーフィルターの製造、印刷の校正刷りで用いられるカラ
ープルーフィングシートの作成等において行われてい
る。一つの例として液晶表示素子や撮影素子等に用いら
れるカラーフィルターの製造について説明する。カラー
フィルターは、ガラス等の透明な基板上に、モザイク状
あるいはストライプ状の画素とブラックマトリクスを形
成したものであるが、これらモザイク状あるいはストラ
イプ状の画素やブラックマトリクスを形成する方法の一
つとして、次のようないわゆる顔料分散法が用いられて
いる。即ち、まず顔料を感光性樹脂および溶剤等と混合
して着色感光性樹脂組成物を調製し、この調製された着
色感光性樹脂組成物を、基板に直接あるいは剥離層を介
して塗布し、乾燥後、乾燥された着色感光性樹脂塗膜を
画像状に露光した後、現像液により現像して可溶性樹脂
部分を除去することによって着色パターンが形成され
る。そして、このような着色感光性樹脂組成物からなる
塗膜の現像には、浸漬現像、揺動現像、スプレー現像、
パドル現像等の現像法が採られている。

【０００３】しかしながら、顔料分散法によって得られ
た着色画像は、現像液に不溶な顔料が用いられているた
め従来非画像部に残渣を生じるという問題があった。こ
のような非画像部の残渣を低減するために、現像液とし
て、アニオン系界面活性剤とノニオン系界面活性剤を含
むアルカリ性現像液を用いる方法（特開平５−１８８６
０２号公報）やノニオン系界面活性剤を含むアルカリ性
現像液を用いる方法（特開平７−１２０９３５号公報）
等が知られており、さらには特開平５−２７４５１号公
報には、アニオン性基を有する顔料を含む着色感光性樹
脂に好適な現像液として、ビニルピロリドン系重合体及
び必要に応じアニオン系界面活性剤を含有する現像液を
用いることが開示されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、着色感光
性樹脂組成物の非画像部の残渣を低減させるために、界
面活性剤を現像液に添加する方法を含め種々の試みがな
されているが、界面活性剤を含有する現像液によるもの
を含め従来の公知の現像液によってはいまだ非画像部の
残渣の低減が十分なものとはいえず、なお一層の改善が
要求されているのが現状である。従って、本発明の目的
は、以上述べた事情に鑑み、非画像部の残渣の除去に極
めて有効な着色感光性樹脂組成物用現像液を提供するこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の状
況に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、着色感光性樹脂組成
物用現像液として次のような組成を有する現像液を用い
ることにより、効果的に非画像部の残渣が除去できるこ
とを見出し、本発明に到達した。即ち、本発明の着色感
光性樹脂組成物用現像液は、必須成分として、（Ａ）ポ
リオキシアルキレン誘導体であるアニオン性界面活性剤
の少なくとも一種及び（Ｂ）芳香族基を有するアニオン
系界面活性材の少なくとも一種を含むアルカリ水溶液、
あるいは必須成分として、長鎖アルキル基と芳香族基を
分子中に有するアニオン系界面活性剤の少なくとも一種
を含むアルカリ水溶液からなることを特徴とするもので
ある。

【０００６】以下、まず、この本発明の一態様である、
（Ａ）ポリオキシアルキレン誘導体であるアニオン性界
面活性剤の少なくとも一種及び（Ｂ）芳香族基を有する
アニオン系界面活性剤の少なくとも一種を含むアルカリ
水溶液からなる着色感光性樹脂組成物用現像液について
詳細に説明する。この本発明の第一の態様に係る現像液
が、従来公知の現像液と異なっているのは、用いられる
界面活性剤及びその組み合わせである。即ち、本発明の
現像液では、ポリオキシアルキレン誘導体であるアニオ
ン系界面活性剤と芳香族基を有するアニオン系界面活性
剤の二種類の界面活性剤が用いられることにある。
（Ａ）成分のポリオキシアルキレン誘導体であるアニオ
ン系界面活性剤としては、例えばスルホン酸塩、リン酸
エステル、リン酸エステル塩等があげられ、ポリオキシ
エチレンアルキルエーテルスルホン酸塩、ポリオキシエ
チレンアルキルフェニルエーテルスルホン酸塩、アルキ
ルフェノキシポリオキシエチレンプロピルスルホン酸
塩、ポリオキシエチレンプロピルスルホン酸塩、ポリオ
キシエチレンスチリルフェニルエーテルスルホン酸塩等
があげられる。

【０００７】これらの中でも、下記一般式で表されるス
ルホン酸塩が特に好適である。

【０００８】Ｒ−Ｏ（ＣＨ₂ＣＨ₂Ｏ）ｎＳＯ₃Ｍ（但し、Ｒはアルキル基もしくはアルキルフェニル基、
Ｍは塩基、ｎは正の整数）上式において、Ｍの塩基は、無機、有機のいずれであっ
てもよく、無機塩基としては、アルカリ金属イオン、特
にＮａ+ が好ましい。また、有機塩基としては、例えば
有機アミン類及び四級アンモニウムイオンがあげられ、
特にアンモニウムイオン、アルキルアンモニウムイオ
ン、置換アルキルアンモニウムイオンが好ましく、具体
例としてはテトラメチルアンモニウムイオン、メチルト
リエタノールアンモニウムイオン等があげられる。

【０００９】上記一般式で表される化合物としては、具
体的には、例えばポリオキシエチレンラウリルエーテル
スルホン酸ナトリウム、ポリオキシエチレンノニルフェ
ニルエーテルスルホン酸ナトリウム、ポリオキシエチレ
ンプロピルスルホン酸ナトリウム等があげられる。

【００１０】一方、上記ポリオキシアルキレン誘導体で
あるアニオン系界面活性剤のうちリン酸エステル及びリ
ン酸エステル塩としては、ポリオキシエチレンアルキル
エーテルリン酸エステル及びその塩、ポリオキシエチレ
ンアルキルアリールエーテルリン酸エステル及びその塩
等があげられる。

【００１１】これらの中でも、下記一般式で示されるリ
ン酸エステル及びその塩が特に好ましいものである。

【００１２】

【化１】

【００１３】（但し、Ｒはアルキル基もしくはアルキル
アリール基、Ｒ’はＨ、ＭもしくはＲ（ＯＣＨ₂Ｃ
Ｈ₂）ｍ、ｍは０以上の整数、ｎ、Ｍは前記と同じ）上記一般式で表される化合物としては、具体的には、例
えばポリオキシエチレンノニルエーテルリン酸エチル、
ポリオキシエチレンラウリルエーテルリン酸ナトリウ
ム、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテルリン
酸ナトリウム等があげられる。これらのポリオキシアル
キレン誘導体であるアニオン系界面活性剤は、単独で用
いてもよく、また複数混合して用いてもよい。

【００１４】さらに、上記（Ｂ）成分の芳香族基を有す
るアニオン系界面活性剤としては、アリールスルホン酸
塩、置換アリールスルホン酸塩で代表されるスルホン酸
塩が好ましいものとしてあげられる。具体的には、ナフ
タレンスルホン酸塩、置換ナフタレンスルホン酸塩、及
びこれらナフタレンスルホン酸塩類のホルムアルデヒド
縮合物、あるいはベンゼンスルホン酸塩類のホルムアル
デヒド縮合物等である。

【００１５】ナフタレンスルホン酸塩、置換ナフタレン
スルホン酸塩、あるいはこれらナフタレンスルホン酸塩
類のホルムアルデヒド縮合物は、例えば下記一般式で示
される。

【００１６】

【化２】

【００１７】（但し、Ｒはアルキル基またはＨ、Ｍは前
記と同じ）

【００１８】

【化３】

【００１９】（但し、Ｒ’はＨ、アルキル基、アルコキ
シル基またはＯＨ、ｎは０以上の整数、Ｍは前記と同
じ）上記一般式で表される化合物としては、具体的には、例
えばナフタレンスルホン酸ナトリウム、メチルナフタレ
ンスルホン酸ナトリウム、ナフタレンスルホン酸ナトリ
ウムホルムアルデヒド縮合物等があげられる。これら
は、単独で用いても、また複数組み合わせて用いてもよ
い。

【００２０】ところで、上記（Ａ）成分の、ポリオキシ
アルキレンの誘導体であるアニオン系界面活性剤、ある
いは（Ｂ）成分の、芳香族基を有するアニオン系界面活
性剤は、そのうちの一方のみを用いても非画像部の残渣
の除去に一応の効果はあるが、（Ａ）成分及び（Ｂ）成
分の両者を組み合わせることで非画像部の残渣は激減
し、さらに解像度も大幅に向上する。

【００２１】本発明において、（Ａ）成分であるポリオ
キシアルキレンの誘導体であるアニオン系界面活性剤と
（Ｂ）成分である芳香族基を有するアニオン系界面活性
剤とを組み合わせて用いる場合、アルカリ現像液中での
これらの使用割合は、重量比で、ポリオキシアルキレン
の誘導体であるアニオン系界面活性剤：芳香族基を有す
るアニオン系界面活性剤が２０：１〜１：５０であるこ
とが好ましく、１０：１〜１：２０がより好ましく、
２：１〜１：５が更に好ましい。ポリオキシアルキレン
の誘導体であるアニオン系界面活性剤の割合が２０：１
より多い場合には、芳香族基を有するアニオン系界面活
性剤の使用量が少なく、非画像部の残渣の改善が十分な
ものとならないし、反対に芳香族基を有するアニオン系
界面活性剤の割合が１：５０を越える場合には、非画像
部の残渣の改善は行われるものの同時に画像部の剥離が
おこることがあり、好ましくない。

【００２２】また、本発明の着色感光性樹脂組成物用現
像液中の、ポリオキシアルキレンの誘導体であるアニオ
ン系界面活性剤の濃度は、０．００１〜２０重量％、好
ましくは０．０１〜１０重量％、更に好ましくは０．１
〜７重量％である。また、芳香族基を有するアニオン系
界面活性剤の濃度は、０．００１〜２０重量％、好まし
くは０．０１〜１０重量％、更に好ましくは０．１〜７
重量％である。これらの濃度が０．００１重量％以下で
あると、本発明の効果を得ることができない場合がある
し、また２０重量％を越えると現像液の粘度が高くなり
すぎたり、画像部の膜の剥離が起きることがあるほか、
経済的な見地からも好ましいものではない。

【００２３】また、本発明の着色感光性樹脂組成物用現
像液の他の一つの態様は、長鎖アルキル基と芳香族基を
分子中に有するアニオン系界面活性剤を必須成分として
含むアルカリ水溶液である。この長鎖アルキル基と芳香
族基を分子中に有するアニオン系界面活性剤は、上記ポ
リオキシアルキレンの誘導体であるアニオン系界面活性
剤、あるいは芳香族基を有するアニオン系界面活性剤と
ともに用いてもよいが、単独で用いることによっても前
述のカブリの除去、及び解像度の向上に効果がある。

【００２４】この長鎖アルキル基と芳香族基を分子中に
有するアニオン系界面活性剤の例としては、アルキルベ
ンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩
等があげられる。具体的化合物としては、ドデシルベン
ゼンスルホン酸ナトリウム、デシルジフェニルエーテル
ジスルホン酸ナトリウム、デシルナフタレンスルホン酸
ナトリウム等があげられる。

【００２５】そして、現像液中にこの長鎖アルキル基と
芳香族基を分子中に有するアニオン系界面活性剤を用い
る場合においては、その濃度は、０．１〜２０重量％が
好ましく、０．３〜１０重量％がより好ましく、更には
０．４〜５重量％がより好ましい。０．１重量％以下で
あると非画像部の残渣の除去が十分に行われず、また２
０重量％を越えた場合には現像液の粘度が高くなるとと
もに画像部の剥離が生じることがあり、また経済的な観
点からも好ましくない。

【００２６】本発明において、ポリオキシアルキレン誘
導体であるアニオン系界面活性剤と芳香族基を有するア
ニオン系界面活性剤を組み合わせること、あるいは長鎖
アルキル基と芳香族基を分子中に有するアニオン系界面
活性剤を用いることにより、非画像部のカブリが激減
し、さらに解像度が向上するが、その理由は明確でな
い。

【００２７】しかしながら、これまでの知見によれば、
元来顔料として種々のものが知られているが、特にカラ
ーフィルターの製造に際して用いられる顔料は、代表的
には、アントラキノン系及びキナクリドン系等の赤色顔
料、フタロシアニン系等の青色顔料、及びこれらの顔料
をジスアゾ系等の黄色顔料、ジオキサジン系等の紫顔料
等で調色したもの、カーボンブラック単独あるいはさら
に赤、青、緑、黄、紫等の顔料を添加したもの等であ
り、これらの顔料は、一般に分子構造中に芳香族環、ヘ
テロ芳香族環、不飽和結合等を多数含んでいる。前述の
芳香族基を有するアニオン系界面活性剤は、顔料分子の
芳香族環、ヘテロ芳香族環、不飽和結合との親和性が高
いため、顔料を含む非画像部の塗膜の除去が、効果的に
行えるものと考えられる。しかし、芳香族基を有するア
ニオン系界面活性剤を多量に加えると、画像部の剥離も
同時におこる。

【００２８】一方、ポリオキシアルキレン誘導体である
アニオン系界面活性剤は、現像液の顔料塗膜への浸入を
促進しているものと推定されるが、このポリオキシアル
キレン誘導体であるアニオン系界面活性剤を組み合わせ
ることで、芳香族基を有するアニオン系界面活性剤が、
低濃度でも画像部を剥離することなく、非画像部の残渣
の除去を効果的に行えるものと考えられる。

【００２９】また、分子構造中に、アルキル基と芳香族
基を具備するアニオン系界面活性剤では、上述の顔料へ
の界面活性剤の親和効果及び現像液の塗膜への浸入効果
の双方を具備しているので、単独で用いても効果がある
と考えられる。

【００３０】なお、従来アニオン系界面活性剤と、ノニ
オン系界面活性剤であるポリオキシアルキレン類等とを
組み合わせて使用することが知られているが、比較例で
示されるように、本発明に比べ、非画像部の残渣の除去
及び解像度の向上には有効ではなかった。この理由とし
て、上記ノニオン系界面活性剤は、元来アニオン系界面
活性剤と相溶性が悪く、このためノニオン系とアニオン
系界面活性剤がそれぞれ単独に作用するものと推定され
る。一方、本発明は、ポリオキシアルキレン系のノニオ
ン系界面活性剤にアニオン性官能基を導入した、アニオ
ン系界面活性剤を組み合わせることで、２種類の分子構
造及び作用の異なる界面活性剤の親和性が向上し、協同
的に作用するため、非画像部の残渣が激減し、解像度が
向上するものと考えられる。なお、この説明は本発明の
理解の一助とするためのものであり、本発明を限定する
ものではない。

【００３１】一方、本発明の着色感光性樹脂組成物用現
像液において用いられるアルカリは、無機あるいは有機
いずれのアルカリ性化合物であってよく、例えば無機ア
ルカリ性化合物としては、アルカリ金属、アルカリ土類
金属あるいはアンモニウムの水酸化物、ケイ酸塩、メタ
ケイ酸塩、リン酸水素塩、アンモニア等、具体的には水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム、ケイ酸ナトリウム、
ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン
酸三ナトリウム、リン酸三カリウム等が、また有機アル
カリ性化合物としては、有機アミン類、水酸化第四アン
モニウム塩基等、具体的には、モノ、ジまたはトリメチ
ルアミン、モノ、ジまたはトリエチルアミン、モノまた
はジイソプロピルアミン、モノ、ジまたはトリエタノー
ルアミン、モノ、ジまたはトリイソプロパノールアミ
ン、エチレンイミン、エチレンジイミン、水酸化テトラ
メチルアンモニウム、コリン等があげられる。これらア
ルカリは、単独でもあるいは二種以上を組み合わせて用
いてもよい。なお、金属イオンを含まないアルカリとし
ては、例えば米国特許第４，７２９，９４１号明細書に
記載のものを使用することもできる。そして、本発明の
現像液は、８．５以上のｐＨを有することが好ましい。

【００３２】この現像液には、揺動現像、スプレー現
像、パドル現像等の物理的な力を加えて現像する際に残
渣をより効果的に除去するため、水溶性ポリマーを更に
含ませてもよい。水溶性ポリマーの例としては、ポリビ
ニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、
ポリビニルピロリドン等をあげることができる。

【００３３】また、本発明の現像液は、更に消泡剤を含
有していてもよい。消泡剤としては、シリコーン系、高
級アルコール系、エステル系等種々の公知のものを使用
することができる。

【００３４】また、本発明の現像液は、現像液が濃縮し
た状態で使用者に供給され、使用時に希釈して用いる、
いわゆる濃縮タイプの現像液をも含むものである。

【００３５】本発明の現像液が適用される着色感光性樹
脂組成物は、染料や有機顔料、無機顔料、カーボンブラ
ック、シリカ等の顔料を含み、紫外線、Ｘ線、電子線等
の照射により組成物の溶剤溶解特性が変わるような従来
から公知の着色したアルカリ現像タイプの感光性樹脂組
成物であればいずれのものでもよい。このような感光性
樹脂組成物としては、ネガタイプのものでは、アジド系
感光剤とフェーノールノボラック樹脂との組成物、トリ
メチロールプロパントリアクリレートのような多官能性
モノマーとアルカリ可溶性バインダー及び光重合開始剤
からなる組成物が、またポジタイプのものとしては、ｏ
−キノンジアジド等のキノンジアジド系感光剤を用いる
ものが例としてあげられる。これら着色感光性樹脂組成
物は、使用目的に応じ、ガラス、プラスチックフイルム
等の支持体あるいは基板に、直接あるいは剥離層を介し
て塗布される。

【００３６】なお、本発明の現像液が、着色されていな
い、アルカリ性水溶液もしくは水で現像可能な感光性樹
脂組成物にも適用できることはいうまでもない。

【００３７】

【実施例】以下、実施例を用いて本発明をさらに詳細に
説明する。なお本発明はこの実施例に限定されるもので
はない。

【００３８】実施例及び比較例で用いる現像液を表１に
示す。

【００３９】

【表１】

【００４０】一方着色感光性樹脂組成物として下記の試
料を作成した。

【００４１】感光性樹脂組成物の調製（１）着色感光性樹脂組成物１：ポリヒドロキシスチレン（平均分子量約２０，０００）４０ｇ４，４−ジアジドスチルベン−２，２−ジスルホン酸−Ｎ，Ｎ− １５ｇジエチレンオキシエチルアミドヘキサメトキシメチルメラミン６ｇ分散剤を含むカーボンブラック分散液（顔料含率１７重量％）１８０ｇ溶剤としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテ
ートを用い、上記非溶剤成分が２０重量％含有される組
成物を調整した。

【００４２】（２）着色感光性樹脂組成物２：前記着色
感光性樹脂組成物１の各成分中、カーボンブラック分散
液の代わりに、分散液を含む赤色顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド１７７）、青色顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントブ
ルー１５：６）、緑色顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントグリー
ン３６）、カーボンブラックの同重量混合分散液（顔料
含率１７重量％）１８０ｇを用いたこと以外は、着色感
光性樹脂組成物１と同様にして調製した。

【００４３】実施例１洗浄したカラーフィルター製造用の透明基板を用い、前
記着色感光性樹脂組成物１及び２をそれぞれガラス基板
上に膜厚約１μｍにスピン塗布した。次いで、ホットプ
レート上で１００℃で１分間乾燥させた。乾燥された着
色感光性樹脂層を所定形状のマスクを介して、高圧水銀
灯で露光した。次いで、パターン露光した着色感光性樹
脂層を表１の組成を有する現象液１で現像して、着色パ
ターンを得た。現像後得られたパターンを顕微鏡で観察
したところ、非画像部の残渣はいずれの着色感光性樹脂
組成物においても認められず、シャープなエッジを有す
るパターンが得られた。

【００４４】実施例２実施例１において現像液１のかわりに現像液２を用いた
こと以外は、実施例１と同様にして露光、現像し、着色
パターンを得た。現像後得られたパターンを顕微鏡で観
察したところ、非画像部の残渣はいずれの着色感光性樹
脂組成物においても認められず、シャープなエッジを有
するパターンが得られた。

【００４５】実施例３実施例１において現像液１のかわりに現像液３を用いた
こと以外は、実施例１と同様にして露光、現像し、着色
パターンを得た。現像後得られたパターンを顕微鏡で観
察したところ、非画像部の残渣はいずれの着色感光性樹
脂組成物においても認められず、シャープなエッジを有
するパターンが得られた。

【００４６】実施例４実施例１において現像液１のかわりに現像液４を用いた
こと以外は、実施例１と同様にして露光、現像し、着色
パターンを得た。現像後得られたパターンを顕微鏡で観
察したところ、非画像部の残渣はいずれの着色感光性樹
脂組成物においても認められず、シャープなエッジを有
するパターンが得られた。

【００４７】実施例５実施例１において現像液１のかわりに現像液５を用いた
こと以外は、実施例１と同様にして露光、現像し、着色
パターンを得た。現像後得られたパターンを顕微鏡で観
察したところ、非画像部の残渣はいずれの着色感光性樹
脂組成物においても認められず、シャープなエッジを有
するパターンが得られた。

【００４８】比較例１実施例１において現像液１のかわりに現像液６を用いた
こと以外は、実施例１と同様にして露光、現像した。現
像後得られたパターンを顕微鏡で観察したところ、いず
れの着色感光性樹脂組成物においても非画像部の残渣が
認められた。

【００４９】比較例２実施例１において現像液１のかわりに現像液７を用いた
こと以外は、実施例１と同様にして露光、現像した。現
像後得られたパターンを顕微鏡で観察したところ、いず
れの着色感光性樹脂組成物においても非画像部の残渣及
びパターンの剥がれが認められた。

【００５０】比較例３実施例１において現像液１のかわりに現像液８を用いた
こと以外は、実施例１と同様にして露光、現像した。現
像後得られたパターンを顕微鏡で観察したところ、いず
れの着色感光性樹脂組成物においても非画像部の残渣及
びパターンの剥がれが認められた。また膜べりも認めら
れた。

【００５１】以上の実施例と比較例より、次のことが明
らかになる。（１）実施例１〜５と比較例１を比較すると、本発明の
現像液は非画像部の残渣の除去にきわめて有効であり、
シャープなエッジを有するパターンが得られることは明
らかである。

【００５２】（２）実施例１〜３と比較例２、３を比較
すると、ポリオキシアルキレン系アニオン系界面活性剤
と芳香族基を有するアニオン系界面活性剤を組み合わせ
た本発明の現像液は、ポリオキシアルキレン系のノニオ
ン系界面活性剤と芳香族基を有するアニオン系界面活性
剤を組み合わせた現像液７及び芳香族基を有するアニオ
ン系界面活性剤を単独で用いた現像液８よりも非画像部
に残渣、及びパターンの剥がれ、膜べりがなく良好なパ
ターンが得られることは明白である。

【００５３】（３）実施例４、５から明らかなように、
ポリオキシアルキレン系アニオン系界面活性剤と芳香族
基を有するアニオン系界面活性剤を組み合わせる代わり
に芳香族環とアルキル鎖を有する界面活性剤を単独で使
用したものも同様に非画像部に残渣及びパターンの剥が
れ、膜ベリなく良好なパターンが得られる。

【００５４】

【発明の効果】本発明は、着色感光性樹脂組成物用現像
液として、ポリオキシアルキレン誘導体であるアニオン
系界面活性剤及び芳香族基を有するアニオン系界面活性
剤の双方を含むアルカリ水溶液である現像液、もしくは
長鎖アルキル基と芳香族基を分子中に有する界面活性剤
を含むアルカリ水溶液である現像液を用いることによ
り、現像後の非画像部の残渣、パターンの剥がれ、膜ベ
リを著しく低減させることができるという効果を有す
る。

【００５５】また、カラーフィルターの製造工程におい
て本発明の現像液を用いることにより、非画像部の残
渣、パターンの剥がれ、膜ベリによる欠陥が低減し、従
って色濁り、画素の欠陥がない、シャープな画素及び所
定の膜厚を有するフィルター層を形成することができる
という効果があり、カラーフィルター製造上の利用価値
は極めて大きい。

フロントページの続き (72)発明者南條有紀埼玉県川越市南台１−３−２ヘキストインダストリー株式会社先端材料技術研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）ポリオキシアルキレン誘導体であ
るアニオン性界面活性剤の少なくとも一種及び（Ｂ）芳
香族基を有するアニオン系界面活性剤の少なくとも一種
を含むアルカリ水溶液であることを特徴とする着色感光
性樹脂組成物用現像液。
【請求項２】長鎖アルキル基と芳香族基を分子中に有
するアニオン系界面活性剤の少なくとも一種を含むアル
カリ水溶液であることを特徴とする着色感光性樹脂組成
物用現像液。