JPH10111313A - プローブ - Google Patents
プローブInfo
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- JPH10111313A JPH10111313A JP8281252A JP28125296A JPH10111313A JP H10111313 A JPH10111313 A JP H10111313A JP 8281252 A JP8281252 A JP 8281252A JP 28125296 A JP28125296 A JP 28125296A JP H10111313 A JPH10111313 A JP H10111313A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 平板状の被検査体の電気的特性試験に用い
る、被検査体の端子側の接触位置が大きく変化しないプ
ローブを提供する。 【解決手段】 プローブ１０は、細長い主体部１２と、
主体部の一端に続く先端部１４であって主体部の一端か
ら一方向に曲げられた先端部とを含む。先端部１４はテ
ーパ状の針先部１６を有する。針先部はその幅方向に弧
状の突面である先端部を有する。プローブの先端面１８
が弧状の突面であることから、プローブと端子との接触
状態がプローブおよび端子の対毎に異なっても、端子側
のプローブの接触部はほぼ同じ位置となり、安定した検
査を行うことができる。
る、被検査体の端子側の接触位置が大きく変化しないプ
ローブを提供する。 【解決手段】 プローブ１０は、細長い主体部１２と、
主体部の一端に続く先端部１４であって主体部の一端か
ら一方向に曲げられた先端部とを含む。先端部１４はテ
ーパ状の針先部１６を有する。針先部はその幅方向に弧
状の突面である先端部を有する。プローブの先端面１８
が弧状の突面であることから、プローブと端子との接触
状態がプローブおよび端子の対毎に異なっても、端子側
のプローブの接触部はほぼ同じ位置となり、安定した検
査を行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平板状の被検査体
の電気的特性試験に用いられるプローブに関し、特に、
集積回路の電気的特性試験に使用される検査用ヘッドに
備えられたプローブに関する。
の電気的特性試験に用いられるプローブに関し、特に、
集積回路の電気的特性試験に使用される検査用ヘッドに
備えられたプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエーハからチップに分離し、そ
のチップを合成樹脂等で実装した集積回路に関しては、
回路の動作を確認するために通電試験（電気的特性試
験）が行われる。このような試験すなわち検査は、プロ
ーブカード、プローブボード、ＩＣソケット等と呼ばれ
る検査用ヘッドを用いて行われる（特開平７−２２９９
４９号公報、特開昭６０−８０７７２号公報）。
のチップを合成樹脂等で実装した集積回路に関しては、
回路の動作を確認するために通電試験（電気的特性試
験）が行われる。このような試験すなわち検査は、プロ
ーブカード、プローブボード、ＩＣソケット等と呼ばれ
る検査用ヘッドを用いて行われる（特開平７−２２９９
４９号公報、特開昭６０−８０７７２号公報）。
【０００３】一般に、この種の検査用ヘッドは、配線基
板と、その基板の一方の面に間隔をおいて配置され、か
つ、針押えのような適宜な平板により基板に取り付けら
れた複数のプローブとを含む。各プローブは、細長い主
体部と、該主体部の一端に続く、一端から一方向に曲げ
られた先端部からなる。先端部は、細長い平坦な先端面
を有するテーパ状の針先部を有する。通常、針先部のテ
ーパは、図９に示すように、先端面側から先端部の軸線
方向に見て、先端面の長手方向が主体部の軸線に対し直
角となるように形成される。
板と、その基板の一方の面に間隔をおいて配置され、か
つ、針押えのような適宜な平板により基板に取り付けら
れた複数のプローブとを含む。各プローブは、細長い主
体部と、該主体部の一端に続く、一端から一方向に曲げ
られた先端部からなる。先端部は、細長い平坦な先端面
を有するテーパ状の針先部を有する。通常、針先部のテ
ーパは、図９に示すように、先端面側から先端部の軸線
方向に見て、先端面の長手方向が主体部の軸線に対し直
角となるように形成される。
【０００４】検査は、集積回路のパッケージから突出し
たリードのような細長い平板状の端子を検査用ヘッドに
備えられたプローブの先端面に接触させて、集積回路に
通電することにより行われる。
たリードのような細長い平板状の端子を検査用ヘッドに
備えられたプローブの先端面に接触させて、集積回路に
通電することにより行われる。
【０００５】しかし、実際には、実装が終了した集積回
路の各端子はその長手軸線の周りにわずかに回転した状
態となることが多く、したがって各端子の平坦面は同一
平面上に揃わない。また、プローブは検査用ヘッドの針
押えのような適宜な手段により基板に取り付けられるた
め、全てのプローブの先端面が同一平面上に揃うように
プローブを基板に取り付けることは困難である。
路の各端子はその長手軸線の周りにわずかに回転した状
態となることが多く、したがって各端子の平坦面は同一
平面上に揃わない。また、プローブは検査用ヘッドの針
押えのような適宜な手段により基板に取り付けられるた
め、全てのプローブの先端面が同一平面上に揃うように
プローブを基板に取り付けることは困難である。
【０００６】このため、図９（Ｂ）および図９（Ｃ）示
すように、検査時にプローブの先端面と集積回路の端子
とが先端面の長手方向と端子の平坦面との間にわずかな
角度θを有する状態に接触することが多い。すなわちプ
ローブと端子との接触状態がプローブと端子との対毎に
異なることが多い。このような場合、プローブの先端面
と端子と間の接触状態は面ではなく点接触状態となり、
しかも端子側の接触位置が端子の幅方向端部となるとと
もに、プローブ側の接触部が先端面の端部となってしま
う。その結果、検査が、特に高周波の場合、不安定とな
り、測定結果の信頼性に問題があった。
すように、検査時にプローブの先端面と集積回路の端子
とが先端面の長手方向と端子の平坦面との間にわずかな
角度θを有する状態に接触することが多い。すなわちプ
ローブと端子との接触状態がプローブと端子との対毎に
異なることが多い。このような場合、プローブの先端面
と端子と間の接触状態は面ではなく点接触状態となり、
しかも端子側の接触位置が端子の幅方向端部となるとと
もに、プローブ側の接触部が先端面の端部となってしま
う。その結果、検査が、特に高周波の場合、不安定とな
り、測定結果の信頼性に問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、端子
側の接触位置が大きく変化しないプローブを提供するこ
とである。
側の接触位置が大きく変化しないプローブを提供するこ
とである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のプローブは、細
長い主体部と、該主体部の一端に続く先端部であって主
体部の一端から一方向に曲げられた先端部とを含み、先
端部はテーパ状の針先部を有し、針先部はその幅方向に
弧状の突面である先端面を有することを特徴とする。
長い主体部と、該主体部の一端に続く先端部であって主
体部の一端から一方向に曲げられた先端部とを含み、先
端部はテーパ状の針先部を有し、針先部はその幅方向に
弧状の突面である先端面を有することを特徴とする。
【０００９】本発明のプローブは、プローブの先端面側
から先端部の軸線方向に見て、針先部の幅方向を主体部
の軸線に対し直角または平行とすることができる。
から先端部の軸線方向に見て、針先部の幅方向を主体部
の軸線に対し直角または平行とすることができる。
【００１０】本発明のプローブは、プローブの先端面側
から先端部の軸線方向に見て、針先部の幅方向を主体部
の軸線に対し９０度以外の角度を有する方向とすること
ができる。
から先端部の軸線方向に見て、針先部の幅方向を主体部
の軸線に対し９０度以外の角度を有する方向とすること
ができる。
【００１１】
【発明の作用、効果】プローブと集積回路とは、プロー
ブの弧状先端面と集積回路の平坦状端子とが接触するよ
うに試験装置に配置される。プローブの先端面が針先部
の幅方向に弧状の突面であると、プローブと端子とが前
記のように接触した状態において、プローブの先端面の
接線および端子の平坦面の延長線が一致するため、端子
側の接触位置が大きく変化することはなく、端子の平坦
面に対するプローブの接触角度がプローブおよび端子の
対毎に異なる従来のプローブに比べ、端子側のプローブ
接触部変化量は著しく小さい。
ブの弧状先端面と集積回路の平坦状端子とが接触するよ
うに試験装置に配置される。プローブの先端面が針先部
の幅方向に弧状の突面であると、プローブと端子とが前
記のように接触した状態において、プローブの先端面の
接線および端子の平坦面の延長線が一致するため、端子
側の接触位置が大きく変化することはなく、端子の平坦
面に対するプローブの接触角度がプローブおよび端子の
対毎に異なる従来のプローブに比べ、端子側のプローブ
接触部変化量は著しく小さい。
【００１２】本発明によれば、プローブの先端面が針先
部の幅方向に弧状の突面であることから、プローブと端
子との接触状態がプローブおよび端子の対毎に異なって
も、端子側のプローブ接触部はほぼ同じ位置となり、そ
の結果安定した検査を行うことができる。
部の幅方向に弧状の突面であることから、プローブと端
子との接触状態がプローブおよび端子の対毎に異なって
も、端子側のプローブ接触部はほぼ同じ位置となり、そ
の結果安定した検査を行うことができる。
【００１３】
【実施の形態】図１から図４を参照するに、プローブ１
０は、主体部１２と、該主体部の一端に続く先端部１４
を備える。プローブ１０は、導電性の金属細線から形成
されている。プローブ１０の先端部１４は、主体部１２
から一方向に曲げられており、また、テーパ状に形成さ
れた針先部１６を有する。針先部１６は、その幅方向に
弧状の突面である先端面１８を有する。針先部１６の幅
方向は、先端面１８側から先端部の軸線２０方向に見
て、主体部の軸線２２に対し直角の方向である。針先部
１６は、その厚さ寸法が先端側ほど小さくなるように形
成されている。針先部１６の幅方向および厚さ方向の寸
法線をそれぞれ図１から図４に矢印ＬおよびＴで示す。
０は、主体部１２と、該主体部の一端に続く先端部１４
を備える。プローブ１０は、導電性の金属細線から形成
されている。プローブ１０の先端部１４は、主体部１２
から一方向に曲げられており、また、テーパ状に形成さ
れた針先部１６を有する。針先部１６は、その幅方向に
弧状の突面である先端面１８を有する。針先部１６の幅
方向は、先端面１８側から先端部の軸線２０方向に見
て、主体部の軸線２２に対し直角の方向である。針先部
１６は、その厚さ寸法が先端側ほど小さくなるように形
成されている。針先部１６の幅方向および厚さ方向の寸
法線をそれぞれ図１から図４に矢印ＬおよびＴで示す。
【００１４】図５および図６に示すように、試験装置２
４には、複数のプローブ１０が配置される。複数のプロ
ーブ１０は、基板２６に間隔をおいて取り付けられて、
基板２６とともにプローブカードまたはＩＣソケットの
ような検査用ヘッド２８を構成する。検査用ヘッド２８
がプローブカードの場合、各プローブ１０は、主体部１
２が基板２６の上側を伸び、先端部が主体部１２の一端
から上方へ伸びるように針押え３０および接着剤３２に
より基板２６の上側面に取り付けられる。各プローブ１
０は、基板２６に取り付けられたピン（図示せず）に後
端部の側において連結される。検査用ヘッド２８がＩＣ
ソケットの場合、プローブ１０は、針押え、支持板等に
より基板に取り付けられる。
４には、複数のプローブ１０が配置される。複数のプロ
ーブ１０は、基板２６に間隔をおいて取り付けられて、
基板２６とともにプローブカードまたはＩＣソケットの
ような検査用ヘッド２８を構成する。検査用ヘッド２８
がプローブカードの場合、各プローブ１０は、主体部１
２が基板２６の上側を伸び、先端部が主体部１２の一端
から上方へ伸びるように針押え３０および接着剤３２に
より基板２６の上側面に取り付けられる。各プローブ１
０は、基板２６に取り付けられたピン（図示せず）に後
端部の側において連結される。検査用ヘッド２８がＩＣ
ソケットの場合、プローブ１０は、針押え、支持板等に
より基板に取り付けられる。
【００１５】実装が終了した集積回路３４は、集積回路
３４のパッケージ３６から突出したリードのような各平
坦状端子３８がプローブの先端部１４の先端面１８と接
触するように、試験装置２４に配置される。集積回路３
４は、その端子３８とプローブの先端面１８との間の接
触を確実にするために、コンタクタ４０によって検査用
ヘッド２８に対し押圧される。
３４のパッケージ３６から突出したリードのような各平
坦状端子３８がプローブの先端部１４の先端面１８と接
触するように、試験装置２４に配置される。集積回路３
４は、その端子３８とプローブの先端面１８との間の接
触を確実にするために、コンタクタ４０によって検査用
ヘッド２８に対し押圧される。
【００１６】検査時、集積回路の端子３８の平坦面は、
コンタクタ４０によってプローブ１０の先端面１８に押
圧される。これにより、プローブ１０が弧状にそるの
で、各プローブ１０の先端面と集積回路の端子３８との
接触部がわずかに移動し、端子３８の平坦面の表面の、
酸化膜がある場合は酸化膜を、半田膜がある場合は半田
膜を削る。これにより、プローブ１０と端子３８とは電
気的に接続する。
コンタクタ４０によってプローブ１０の先端面１８に押
圧される。これにより、プローブ１０が弧状にそるの
で、各プローブ１０の先端面と集積回路の端子３８との
接触部がわずかに移動し、端子３８の平坦面の表面の、
酸化膜がある場合は酸化膜を、半田膜がある場合は半田
膜を削る。これにより、プローブ１０と端子３８とは電
気的に接続する。
【００１７】プローブ１０の弧状先端面１８は、先端部
側から主体部の軸線２２方向に見たときに、図７（Ａ）
に示すように、先端部の軸線２０が端子３８の平坦面に
対して直交するように基板に取り付けられ、端子３８に
接触することが望ましい。
側から主体部の軸線２２方向に見たときに、図７（Ａ）
に示すように、先端部の軸線２０が端子３８の平坦面に
対して直交するように基板に取り付けられ、端子３８に
接触することが望ましい。
【００１８】しかし、実際には、端子３８が正しく配置
されていたとしても、プローブ１０が針押え３０に接着
剤３２で接着されているため、先端部側から主体部の軸
線２２方向に見て、図７（Ｂ）に示すように、先端部の
軸線２０は端子の平坦面に対して直交しないことが多
い。また、実装が終了した集積回路３４の各端子３８が
その長手軸線の周りにわずかに回転した状態となること
が多いため、プローブ１０が基板２６に正しく配置され
ていたとしても、先端部側から主体部の軸線２２方向に
見て、図７（Ｃ）に示すように、各端子３８の平坦面は
先端部の軸線２０に対して直交しない。
されていたとしても、プローブ１０が針押え３０に接着
剤３２で接着されているため、先端部側から主体部の軸
線２２方向に見て、図７（Ｂ）に示すように、先端部の
軸線２０は端子の平坦面に対して直交しないことが多
い。また、実装が終了した集積回路３４の各端子３８が
その長手軸線の周りにわずかに回転した状態となること
が多いため、プローブ１０が基板２６に正しく配置され
ていたとしても、先端部側から主体部の軸線２２方向に
見て、図７（Ｃ）に示すように、各端子３８の平坦面は
先端部の軸線２０に対して直交しない。
【００１９】平坦な先端面６２を有する従来のプローブ
６０においても、先端面６２が先端部１４側から主体部
１２の軸線方向に見たときに、図９（Ａ）に示すよう
に、先端面６２の全面で端子３８の平坦面に接触するこ
とが望ましい。しかし、実際には、図９（Ｂ）および図
９（Ｃ）示すように、先端部側から主体部の軸線方向に
見て、プローブの先端部の軸線２０と端子３８の平坦面
とは直交せず、プローブの先端面６２と端子３８とは、
先端面６２の長手方向と端子の平坦面との間に接触角度
θを有することが多い。このため、プローブの先端面６
２の端部が端子３８の平坦面に接触することとなり、そ
の結果、端子側の接触部はプローブおよび端子の対毎に
大きく異なる。
６０においても、先端面６２が先端部１４側から主体部
１２の軸線方向に見たときに、図９（Ａ）に示すよう
に、先端面６２の全面で端子３８の平坦面に接触するこ
とが望ましい。しかし、実際には、図９（Ｂ）および図
９（Ｃ）示すように、先端部側から主体部の軸線方向に
見て、プローブの先端部の軸線２０と端子３８の平坦面
とは直交せず、プローブの先端面６２と端子３８とは、
先端面６２の長手方向と端子の平坦面との間に接触角度
θを有することが多い。このため、プローブの先端面６
２の端部が端子３８の平坦面に接触することとなり、そ
の結果、端子側の接触部はプローブおよび端子の対毎に
大きく異なる。
【００２０】これに対し、プローブ１０では、先端面１
８と端子３８との接触部におけるプローブ１０の先端面
１８の接線が常に端子３８の平坦面の延長線と一致す
る。したがって、端子３８側の接触位置は、プローブ１
０および端子３８の対毎の接触状態により、端子３８の
幅方向に多少変化するが、従来のプローブ６０に比べ大
きく変化することがない。このため、端子３８側の接触
位置を揃えることができ、安定した検査結果を得ること
ができる。また、プローブ１０を用いて検査を行った集
積回路３４は、プローブ１０のこすりによる端子３８の
酸化膜または半田膜のはく離痕の位置が各端子毎で大き
く変わらないので、見た目にもよい。
８と端子３８との接触部におけるプローブ１０の先端面
１８の接線が常に端子３８の平坦面の延長線と一致す
る。したがって、端子３８側の接触位置は、プローブ１
０および端子３８の対毎の接触状態により、端子３８の
幅方向に多少変化するが、従来のプローブ６０に比べ大
きく変化することがない。このため、端子３８側の接触
位置を揃えることができ、安定した検査結果を得ること
ができる。また、プローブ１０を用いて検査を行った集
積回路３４は、プローブ１０のこすりによる端子３８の
酸化膜または半田膜のはく離痕の位置が各端子毎で大き
く変わらないので、見た目にもよい。
【００２１】図８に示すプローブ５０は、先端面１８側
から先端部１４の軸線２０方向に見て、針先部１６をそ
の幅方向が主体部１２の軸線２２と平行となるテーパに
し、先端面１８を主体部１２の軸線２２の方向に弧状の
突面にしたことを除いて、プローブ１０と同じに形成さ
れている。このため、図８に示すプローブ５０も、プロ
ーブ１０と同じ作用および効果を生じている。また、プ
ローブ１０または５０は、先端部を主体部１２の一端か
ら曲げて形成しなくてもよい。
から先端部１４の軸線２０方向に見て、針先部１６をそ
の幅方向が主体部１２の軸線２２と平行となるテーパに
し、先端面１８を主体部１２の軸線２２の方向に弧状の
突面にしたことを除いて、プローブ１０と同じに形成さ
れている。このため、図８に示すプローブ５０も、プロ
ーブ１０と同じ作用および効果を生じている。また、プ
ローブ１０または５０は、先端部を主体部１２の一端か
ら曲げて形成しなくてもよい。
【図１】本発明に係るプローブの先端部を拡大して示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１に示したプローブの先端部の正面図であ
る。
る。
【図３】図１に示したプローブの先端部の平面図であ
る。
る。
【図４】図１に示したプローブの先端部の左側面図であ
る。
る。
【図５】本発明にかかるプローブを備えた検査用ヘッド
を含む試験装置を示す断面図である。
を含む試験装置を示す断面図である。
【図６】図５に示した試験装置の一部を拡大した断面図
である。
である。
【図７】本発明に係るプローブの先端面と集積回路の端
子との接触位置を示す平面図であり、先端部側から主体
部の軸線方向に見て、（Ａ）は端子の平坦面とプローブ
の先端部の軸線が直交している場合、（Ｂ）は端子の平
坦面に対してプローブの先端部の軸線が傾きを有する場
合、（Ｃ）は端子の平坦面がプローブの先端部の軸線に
対して傾きを有する場合を示す。
子との接触位置を示す平面図であり、先端部側から主体
部の軸線方向に見て、（Ａ）は端子の平坦面とプローブ
の先端部の軸線が直交している場合、（Ｂ）は端子の平
坦面に対してプローブの先端部の軸線が傾きを有する場
合、（Ｃ）は端子の平坦面がプローブの先端部の軸線に
対して傾きを有する場合を示す。
【図８】本発明に係るプローブの第２の実施例である。
【図９】従来のプローブの先端面と集積回路の端子との
接触位置を示す平面図であり、先端部側から主体部の軸
線方向に見て、（Ａ）は端子の平坦面とプローブの先端
部の軸線が直交している場合、（Ｂ）は端子の平坦面に
対してプローブの先端部の軸線が傾きを有する場合、
（Ｃ）は端子の平坦面がプローブの先端部の軸線に対し
て傾きを有する場合を示す。
接触位置を示す平面図であり、先端部側から主体部の軸
線方向に見て、（Ａ）は端子の平坦面とプローブの先端
部の軸線が直交している場合、（Ｂ）は端子の平坦面に
対してプローブの先端部の軸線が傾きを有する場合、
（Ｃ）は端子の平坦面がプローブの先端部の軸線に対し
て傾きを有する場合を示す。
１０，５０ プローブ １２ 主体部 １４ 先端部 １６ 針先部 １８ 先端面 ２０ 先端部の軸線 ２２ 主体部の軸線 ２８ 検査ヘッド ３４ 集積回路 ３６ パッケージ ３８ 端子 Ｌ 針先部の幅方向寸法 Ｔ 針先部の厚さ方向寸法
Claims (5)
- 【請求項１】 平板状の被検査体の電気的特性試験に用
いるプローブにおいて、細長い主体部と、該主体部の一
端に続く先端部とを含み、前記先端部はテーパ状の針先
部を有し、前記針先部はその幅方向に弧状の突面である
先端面を有する、プローブ。 - 【請求項２】 前記針先部の幅方向は、前記先端面側か
ら前記先端部の軸線方向に見て、前記主体部の軸線に対
し直角の方向である、請求項１に記載のプローブ。 - 【請求項３】 前記針先部の幅方向は、前記先端面側か
ら前記先端部の軸線方向に見て、前記主体部の軸線に対
し平行の方向である、請求項１に記載のプローブ。 - 【請求項４】 前記針先部の幅方向は、前記先端面側か
ら前記先端部の軸線方向に見て、前記主体部の軸線に対
し９０度以外の角度を有する方向である、請求項１に記
載のプローブ。 - 【請求項５】 前記先端部は、前記主体部の一端から一
方向に曲げられている、請求項１に記載のプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8281252A JPH10111313A (ja) | 1996-10-03 | 1996-10-03 | プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8281252A JPH10111313A (ja) | 1996-10-03 | 1996-10-03 | プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10111313A true JPH10111313A (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=17636487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8281252A Pending JPH10111313A (ja) | 1996-10-03 | 1996-10-03 | プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10111313A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003255010A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Adtec Engineeng Co Ltd | なぞり測定装置 |
-
1996
- 1996-10-03 JP JP8281252A patent/JPH10111313A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003255010A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Adtec Engineeng Co Ltd | なぞり測定装置 |
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