JPS6080772A - プロ−ブニ−ドル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ウェファなどの集積回路の特性試験の際にプ
ローブカードに装着して使用されるプローブニードルに
関する。

一般に、プローブカードは大要次のように構成されてい
る。すなわち、第１図及び第２図に示すように、該プロ
ーブカード１は基板２と、グローブリング３及びこれの
下面に取付けられる多数のプローブニルドル斗とを備え
ている。前記基板２には集積回路の電気的特性の試験ま
たは試験補助用の回路（以下、周辺回路という）が組込
まれ、その本体部分にグローブリング３を嵌着固定する
リング状の固定部５を有すると共に、基端部にテスタ６
と接続するコネクタ７を有する。前記固定部５には周辺
回路と電気的に接続されたソケット部８が形成されてい
る。一方、グローブリング３の上面にはグローブニード
ル４と同数のピン部９が形成され、該ピン部９はプロー
ブニードル４と電気的に接続されている。そして、固定
部５にグローブリング３を機械的に嵌着すると同時に、
ピン部９がソケット部８に嵌着され、これにより基板２
上の周辺回路とプローブニードル４（！：が電気的に接
続される。しかる七きは、基板２のコネクタ７にテスタ
６を接続し、グローブニードル４を被試験用の集積回路
１０の各端子に接触させ、ξれによって集積回路１０の
特性を試験する。

ところで、プローブニードル４はその本体１１０針先部
１２が被試験用の集積回路１０の端子に確実に接触する
ことが要請される。しかるに、従来のグローブニードル
４は第７図（イ）、（ロ）に示すように、針先部１２の
端子と接触する底面１３が部分球面状（第７図（イ））
、あるいは、円形平面状（第７図（ロ））に形成されて
いたため、そのいずれの場合においても、端子表面に対
して点接触状に接触することになり、したがって、接触
圧が弱いときは接触不良を招き、また接触圧が強いとき
は接触部の端子表面にピンホール等の損傷を来たすなど
、いずれにしても不安定な接触状態を完全に回避するこ
とができず、十分な測定精度を得難いという問題があっ
た。

本発明は、かかる問題を解決するためになされ、グロー
ブニードル本体の針先部の底面形状を抜本的に改良する
ことにより、該底面を端子表面に安定的に線接触させて
、測定精度の向上を図ることを目的とする。

以下、本発明の実施例を図面に基き詳細に説明する。

第３図は本発明に係るプローブニードルの要部を示し、
これのプローブニードル本体１１はタングステン、パラ
ジウム合金、ベリリウムカツノｚ−などの材質からなり
、断面円形の細線の先端部分を下方に鈍角状に屈曲させ
た形状を有する。この本体１１はその基端部がブローブ
リング４の下面に取付けられて、グローブカード１の基
板２上の周辺回路に電気的に接続されることは前述した
周知の構成の通りである（第１図及び第２図参照）。

第４図において、グローブ斤−ドル本体１１の針先部１
２は先細り状に形成され、その前後面１４．１４は傾斜
平面状の載断面に形成されている。

さて、この針先部１２の底面１３は部分円柱周面からな
る彎曲面に形成されており、その彎曲面の直径はおおよ
そ０．５１ｍを越えない程度に設定されている。

しかるときは、第５図及び第６図に示すように、針先部
１２は一定角度をもって集積回路１０の端子１５上に位
置設定され、その底面１３が端子１５の表面に接触する
が、この接触の際、上記両図からも明らかなように、彎
曲底面１３は端子１５表面に線接触し、該端子１５上に
所定の接触圧を安定して付与することになる。

なお、この針先部１２の底面１３は、針先部１２と端子
１５との接触角度のばらつきや、針先部１２の端子１５
表面上でのずれ動き等を考慮した場合、真円柱の周面部
分からなる彎曲面に形成するのが接触圧の安定保持上望
ましいが、このほか楕円柱や放物線断面を有する柱体の
周面部分など部分円柱周面状の範嗜に含−止れる彎曲面
に形成することも可能である。また、グローブニードル
本体１１の断面形状は円形のほか角形等であってもよい
。

以上説明したように、本発明によればプローブニードル
本体の針先部の底面形状を部分円柱周面状の彎曲面とし
たことにより、針先部の悔゛曲底面がウェファなどの被
試験物の集積回路の微小な端子上に線接触状に接触する
ものとした。したがって、グローブニードルと端子との
接触圧が該端子表面に均等に＋１与されるため、接触圧
の強弱にかかわらず、安定化が図れる。このため、端子
表面に酸化膜等が自然形成されたものについては、強い
接触圧を付与したうえで針先部底面を端子表面上でスラ
イドさせることにより、該酸化膜を無理なく除去するこ
とができるので、そのクリーニング効果によりグローブ
ニードルと端子との接触抵抗が適正値で安定して、測定
精度の向上に寄与できると共に、端子これ自体にピンホ
ール等の損傷を及ぼす虞をなくすことができ、これによ
り被試験用の特性試験の際における不良品発生率を可及
的に低減し得るため、被試験物の歩留りの向上を図るこ
とができるなど、ウェファ等の被試験物の集積回路の電
気特性の測定に応用して効果が犬である。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は周知のプローブカードを示し、第１
図は平面図、第２図は第１図におけるロー　ＩＩ線に沿
う断面図である。 第３図乃至第６図は本発明の実施例をそれぞれ示し、第
３図は要部側面図、第４図は針先部の拡大斜視図、第５
図は使用状態を示す要部拡大正面図、第６図は第５図に
おけるＶ１矢視図である。 第７図（イ）、（ロ）はそれぞれ異なる従来例を示す針
先部の斜視図である。 １・・プローブカード、ヰ・・プローブニードル、１０
・・集積回路、１１　プローブニードル本体、１２・・
プローブニードル本体の針先部、１３・・針先部の底面
、１５・・集積回路の端子。 出　願　人　ローム株式会社 代　理　人　弁理士岡田和秀 第１図 −」 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）集積回路の特性試験に使用されるプローブカード
   に装備され、該使用時において、プローブニードル本体
   の針先部の底面が前記集積回路の端子に接触するように
   したプローブニードルにおいて、前記プローブニードル
   本体の針先部の底面が部分円柱周面状の彎曲面に形成さ
   れていることを特徴とするプローブニードル。