JPH10118874A - 微小距離駆動機構 - Google Patents
微小距離駆動機構Info
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- JPH10118874A JPH10118874A JP30107096A JP30107096A JPH10118874A JP H10118874 A JPH10118874 A JP H10118874A JP 30107096 A JP30107096 A JP 30107096A JP 30107096 A JP30107096 A JP 30107096A JP H10118874 A JPH10118874 A JP H10118874A
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Links
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- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造が簡素で製作し易く、応答性が速くて正
確かつ剛性の高い微小距離駆動機構の提供。 【解決手段】 基準面１１ａを有する固定台１１と中間
移動台１２との間に、４個の圧電素子１３ａ〜１３ｄを
四隅に配設して第１駆動機構１０Ａを構成し、中間移動
台１２と移動台１４との間に４個の圧電素子１５ａ〜１
５ｄを配設して第２駆動機構１０Ｂを構成した強固な２
階建て構造とし、第１駆動機構１０Ａの各圧電素子の伸
縮で中間移動台１２を傾斜させ、第２駆動機構１０Ｂの
各圧電素子の伸縮で移動台の傾斜を補正することによる
基準面１１ａと平行面内における駆動・位置決めと、各
駆動機構の４個で１組の圧電素子を２組同時に又は１組
だけ等量伸縮することによる基準面１１ａと直角な方向
の駆動位置決めとを重量させて移動台１４の三次元の駆
動・位置決めを可能とする。
確かつ剛性の高い微小距離駆動機構の提供。 【解決手段】 基準面１１ａを有する固定台１１と中間
移動台１２との間に、４個の圧電素子１３ａ〜１３ｄを
四隅に配設して第１駆動機構１０Ａを構成し、中間移動
台１２と移動台１４との間に４個の圧電素子１５ａ〜１
５ｄを配設して第２駆動機構１０Ｂを構成した強固な２
階建て構造とし、第１駆動機構１０Ａの各圧電素子の伸
縮で中間移動台１２を傾斜させ、第２駆動機構１０Ｂの
各圧電素子の伸縮で移動台の傾斜を補正することによる
基準面１１ａと平行面内における駆動・位置決めと、各
駆動機構の４個で１組の圧電素子を２組同時に又は１組
だけ等量伸縮することによる基準面１１ａと直角な方向
の駆動位置決めとを重量させて移動台１４の三次元の駆
動・位置決めを可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は精密加工装置や半導
体製造装置などの精密位置決めテーブルとして用いる二
次元又は三次元位置決め装置の微小距離駆動機構に関す
るものである。
体製造装置などの精密位置決めテーブルとして用いる二
次元又は三次元位置決め装置の微小距離駆動機構に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、微小距離駆動機構として図５に示
す公知の技術がある。このものは、弾性体を切り抜きし
て平行ばね要素を形成したガイド枠１に、圧電素子又は
磁歪素子等からなるＸ軸アクチュエータ４，Ｙ軸アクチ
ュエータ３，Ｚ軸アクチュエータ２を組み込み、各アク
チュエータ２，３，４にそれぞれ目的に応じた信号を送
って伸縮させることにより、Ｘ軸方向は７の部分、Ｙ軸
方向は６の部分、Ｚ軸方向は５の部分がそれぞれ平行ば
ねとして歪み基準となる固定端１ａに対して移動端１ｂ
を変位させるものである。
す公知の技術がある。このものは、弾性体を切り抜きし
て平行ばね要素を形成したガイド枠１に、圧電素子又は
磁歪素子等からなるＸ軸アクチュエータ４，Ｙ軸アクチ
ュエータ３，Ｚ軸アクチュエータ２を組み込み、各アク
チュエータ２，３，４にそれぞれ目的に応じた信号を送
って伸縮させることにより、Ｘ軸方向は７の部分、Ｙ軸
方向は６の部分、Ｚ軸方向は５の部分がそれぞれ平行ば
ねとして歪み基準となる固定端１ａに対して移動端１ｂ
を変位させるものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べた図
５に示す公知の技術は、ガイド枠１の形状が複雑で加工
し難く製作に手間がかかり、製作費が高くなるとともに
弾性体であるため剛性不足になり易いという問題を有し
ている。本発明は従来の技術の有するこのような問題点
に鑑みなされたものであり、その目的とするところは製
作が容易で剛性の高い微小距離駆動機構を提供しようと
するものである。
５に示す公知の技術は、ガイド枠１の形状が複雑で加工
し難く製作に手間がかかり、製作費が高くなるとともに
弾性体であるため剛性不足になり易いという問題を有し
ている。本発明は従来の技術の有するこのような問題点
に鑑みなされたものであり、その目的とするところは製
作が容易で剛性の高い微小距離駆動機構を提供しようと
するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の微小距離駆動機構は、基準となる面を有する
固定台と中間移動台との間に伸縮軸を直角にして配設さ
れた少なくとも３個の微小伸縮可能な第１駆動部材と、
前記中間移動台と移動台との間に伸縮軸を直角にして配
設された少なくとも３個の微小伸縮可能な第２駆動部材
と、前記第１駆動部材と第２駆動部材とを同期して制御
する駆動制御手段とからなり、第１及び第２の各駆動部
材を同時にそれぞれ伸縮させ中間移動台を傾斜させると
ともにこの傾斜を補うように移動台を傾斜させることに
よる基準面と平行方向の駆動・位置決めと全駆動部材又
は第１駆動部材或いは第２駆動部材を同時に等量伸縮さ
せることによる基準面と直角方向の駆動・位置決めとを
重量させて三次元の任意の方向に移動台の駆動・位置決
めを可能にしたものである。また第１駆動部材及び第２
駆動部材は圧電素子であるものである。また、第１駆動
部材及び第２駆動部材は磁歪素子であるものである。
に本発明の微小距離駆動機構は、基準となる面を有する
固定台と中間移動台との間に伸縮軸を直角にして配設さ
れた少なくとも３個の微小伸縮可能な第１駆動部材と、
前記中間移動台と移動台との間に伸縮軸を直角にして配
設された少なくとも３個の微小伸縮可能な第２駆動部材
と、前記第１駆動部材と第２駆動部材とを同期して制御
する駆動制御手段とからなり、第１及び第２の各駆動部
材を同時にそれぞれ伸縮させ中間移動台を傾斜させると
ともにこの傾斜を補うように移動台を傾斜させることに
よる基準面と平行方向の駆動・位置決めと全駆動部材又
は第１駆動部材或いは第２駆動部材を同時に等量伸縮さ
せることによる基準面と直角方向の駆動・位置決めとを
重量させて三次元の任意の方向に移動台の駆動・位置決
めを可能にしたものである。また第１駆動部材及び第２
駆動部材は圧電素子であるものである。また、第１駆動
部材及び第２駆動部材は磁歪素子であるものである。
【０００５】上述のように構成されている微小距離駆動
機構によれば、第１駆動部材と第２駆動部材、例えば第
１圧電素子と第２圧電素子とを同期して駆動するとこに
より、微小な範囲内において移動台を基準面と平行な面
内と、基準面と直角な方向との三次元方向に任意に高
速，正確に駆動可能で、構造が簡素なだけ故障が少な
く、剛性に優れ製作費が安いという利点を有している。
機構によれば、第１駆動部材と第２駆動部材、例えば第
１圧電素子と第２圧電素子とを同期して駆動するとこに
より、微小な範囲内において移動台を基準面と平行な面
内と、基準面と直角な方向との三次元方向に任意に高
速，正確に駆動可能で、構造が簡素なだけ故障が少な
く、剛性に優れ製作費が安いという利点を有している。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１の微小
距離駆動機構の斜視図、図２の断面図、図３の駆動位置
決め制御の動作説明図、図４の駆動制御装置のブロック
線図にもとづいて説明する。尚、全図とも微小距離駆動
機構のカバーは省略されている。
距離駆動機構の斜視図、図２の断面図、図３の駆動位置
決め制御の動作説明図、図４の駆動制御装置のブロック
線図にもとづいて説明する。尚、全図とも微小距離駆動
機構のカバーは省略されている。
【０００７】図１において、本発明の微小距離駆動機構
１０は基準となる面１１ａを有するほぼ正方形の固定台
１１と、これと同形状の中間移動台１２との間の四隅部
分に複数個、本実施例では４個の第１駆動部材１３ａ，
１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが固定台１１の基準面１１ａに
対してそれぞれ伸縮軸を直角にして配設されており、固
定台１１と中間移動台１２とが４個の第１駆動部材１３
ａ，１３Ｂ，１３ｃ，１３ｄを介して上下に強固に連結
された剛性のある第１駆動機構１０Ａが構成されてい
る。
１０は基準となる面１１ａを有するほぼ正方形の固定台
１１と、これと同形状の中間移動台１２との間の四隅部
分に複数個、本実施例では４個の第１駆動部材１３ａ，
１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが固定台１１の基準面１１ａに
対してそれぞれ伸縮軸を直角にして配設されており、固
定台１１と中間移動台１２とが４個の第１駆動部材１３
ａ，１３Ｂ，１３ｃ，１３ｄを介して上下に強固に連結
された剛性のある第１駆動機構１０Ａが構成されてい
る。
【０００８】更に中間移動台１２とこれと同形状の移動
台１４との間の四隅部分にも４個の第２駆動部材１５
ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが第１駆動部材１３ａ，１
３ｂ，１３ｃ，１３ｄと同様に基準面１１ａに対してそ
れぞれ伸縮軸を直角にして配設されており、中間移動台
１２と移動台１４とが第２駆動部材１５ａ，１５ｂ，１
５ｃ，１５ｄを介して強固に連結された剛性のある第２
駆動機構１０Ｂが第１駆動機構１０Ａに隣接して構成さ
れている。
台１４との間の四隅部分にも４個の第２駆動部材１５
ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが第１駆動部材１３ａ，１
３ｂ，１３ｃ，１３ｄと同様に基準面１１ａに対してそ
れぞれ伸縮軸を直角にして配設されており、中間移動台
１２と移動台１４とが第２駆動部材１５ａ，１５ｂ，１
５ｃ，１５ｄを介して強固に連結された剛性のある第２
駆動機構１０Ｂが第１駆動機構１０Ａに隣接して構成さ
れている。
【０００９】第１駆動部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１
３ｄ及び第２駆動部材１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ
は軸方向に伸縮制御可能なものが使用され、例えば公知
の圧電素子又は磁歪素子などの駆動素子を使用すること
ができる。圧電素子はチタン酸バリウム結晶のような材
料からなるセラミックブロックで、ピエゾ効果による歪
の向きを軸方向に揃えた単位素子を電極板を介して複数
個積層した構造のものである。
３ｄ及び第２駆動部材１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ
は軸方向に伸縮制御可能なものが使用され、例えば公知
の圧電素子又は磁歪素子などの駆動素子を使用すること
ができる。圧電素子はチタン酸バリウム結晶のような材
料からなるセラミックブロックで、ピエゾ効果による歪
の向きを軸方向に揃えた単位素子を電極板を介して複数
個積層した構造のものである。
【００１０】そして後述の駆動制御装置２０により駆動
信号に基づいた作動電圧を各電極板に印加すれば、その
電圧に応じて圧電素子全体の軸方向長さが正確に制御で
き、その応答性は従来のボールねじなどによるサーボ機
構に比較して１桁以上高い応答性（数１００ヘルツから
数キロヘルツ）と剛性とが得られる。
信号に基づいた作動電圧を各電極板に印加すれば、その
電圧に応じて圧電素子全体の軸方向長さが正確に制御で
き、その応答性は従来のボールねじなどによるサーボ機
構に比較して１桁以上高い応答性（数１００ヘルツから
数キロヘルツ）と剛性とが得られる。
【００１１】また磁歪素子は磁性体が磁化されたときに
僅かに変形する磁歪特性を利用したもので、圧電素子が
素子に印加される電圧に応じて伸縮するのと同じよう
に、素子に印加される磁場の強さに応じて伸縮するもの
であり、素子に巻かれたコイルに流れる電流を制御する
ことにより伸縮を制御する。これにより、圧電素子と同
様な効果を得ることができる。
僅かに変形する磁歪特性を利用したもので、圧電素子が
素子に印加される電圧に応じて伸縮するのと同じよう
に、素子に印加される磁場の強さに応じて伸縮するもの
であり、素子に巻かれたコイルに流れる電流を制御する
ことにより伸縮を制御する。これにより、圧電素子と同
様な効果を得ることができる。
【００１２】次いで本発明の微小距離駆動機構１０の駆
動・位置決め制御の原理を、図２，図３のＸ・Ｚ平面上
における断面図によって説明する。先ず、移動台１４の
Ｘ方向の駆動・位置決め制御について説明する。図３に
示すように第１駆動機構１０Ａの４個の駆動素子、例え
ば圧電素子のうち右側の２個１３ａ，１３ｂをαＬ1 だ
け伸長し、左側の２個１３ｃ，１３ｄをαＬ1 だけ縮小
させる。これにより中間移動体１２は点Ｐ１を中心にα
θだけ図示する方向（右下がり）に傾斜し、これに伴っ
て第２駆動機構１０Ｂの移動台１４が図で仮想線に示す
位置に傾斜する。
動・位置決め制御の原理を、図２，図３のＸ・Ｚ平面上
における断面図によって説明する。先ず、移動台１４の
Ｘ方向の駆動・位置決め制御について説明する。図３に
示すように第１駆動機構１０Ａの４個の駆動素子、例え
ば圧電素子のうち右側の２個１３ａ，１３ｂをαＬ1 だ
け伸長し、左側の２個１３ｃ，１３ｄをαＬ1 だけ縮小
させる。これにより中間移動体１２は点Ｐ１を中心にα
θだけ図示する方向（右下がり）に傾斜し、これに伴っ
て第２駆動機構１０Ｂの移動台１４が図で仮想線に示す
位置に傾斜する。
【００１３】そこで、これと同時に第２駆動機構１０Ｂ
の４個の圧電素子のうち右側の２個１５ａ，１５ｂをα
Ｌ2 だけ縮小し、左側の２個１５ｃ，１５ｄをαＬ2 だ
け伸長させる。こうすれば移動台１４の仮想線で示す傾
斜が補正され、移動台１４の表面１４ａはＸ軸と平行す
なわち基準面１１ａと平行となる。
の４個の圧電素子のうち右側の２個１５ａ，１５ｂをα
Ｌ2 だけ縮小し、左側の２個１５ｃ，１５ｄをαＬ2 だ
け伸長させる。こうすれば移動台１４の仮想線で示す傾
斜が補正され、移動台１４の表面１４ａはＸ軸と平行す
なわち基準面１１ａと平行となる。
【００１４】このとき移動台１４の基準点Ｐ２は移動長
さＬX だけＸ軸方向に変位した位置に位置決めされてい
る。この移動長さＬX は次の１式により求めることがで
きる。 ＬX ＝Ｌ2 ・αθ・・・・・・・１式 但しＬ2 ＝Ｐ1 ，Ｐ2 間の長さである。
さＬX だけＸ軸方向に変位した位置に位置決めされてい
る。この移動長さＬX は次の１式により求めることがで
きる。 ＬX ＝Ｌ2 ・αθ・・・・・・・１式 但しＬ2 ＝Ｐ1 ，Ｐ2 間の長さである。
【００１５】また、第２駆動機構１０Ｂの圧電素子１５
ａ，１５ｂと１５ｃ，１５ｄの伸縮長さαＬ2 は次の２
式の関係より求めることができる。 αθ＝２・αＬ1 ／Ｄ＝２・αＬ2 ／Ｄ2 ・・・・・・２式 但し、αＬ1 ＝第１駆動機構１０Ａの圧電素子１３ａ，
１３ｂと１３ｃ，１３ｄの伸縮長さ、Ｄ1 ＝第１駆動機
構１０Ａの圧電素子の軸間距離、Ｄ2 ＝第２駆動機構１
０Ｂの圧電素子の軸間距離である。
ａ，１５ｂと１５ｃ，１５ｄの伸縮長さαＬ2 は次の２
式の関係より求めることができる。 αθ＝２・αＬ1 ／Ｄ＝２・αＬ2 ／Ｄ2 ・・・・・・２式 但し、αＬ1 ＝第１駆動機構１０Ａの圧電素子１３ａ，
１３ｂと１３ｃ，１３ｄの伸縮長さ、Ｄ1 ＝第１駆動機
構１０Ａの圧電素子の軸間距離、Ｄ2 ＝第２駆動機構１
０Ｂの圧電素子の軸間距離である。
【００１６】以上はＸ方向の駆動・位置決め制御につい
て述べたがＹ軸方向の駆動・位置決め制御もほぼ同じ
で、各圧電素子の伸縮の組合わせを変更することで実現
できる。具体的には第１駆動機構１０Ａの圧電素子の１
３ａ，１３ｂの組合せを１３ａ，１３ｃ、１３ｃ，１３
ｄの組合せを１３ｂ，１３ｄとし、第２駆動機構１０Ｂ
の圧電素子の１５ａ，１５ｂの組合せを１５ａ，１５
ｃ、１５ｃ，１５ｄの組合せを１５ｂ，１５ｄとすれば
よい。また、第１駆動機構１０Ａ，第２駆動機構１０Ｂ
のそれぞれ４個で１組の圧電素子を２組又は１組同時に
等量同じ方向に伸縮すればＺ軸方向の位置決めが可能で
ある。
て述べたがＹ軸方向の駆動・位置決め制御もほぼ同じ
で、各圧電素子の伸縮の組合わせを変更することで実現
できる。具体的には第１駆動機構１０Ａの圧電素子の１
３ａ，１３ｂの組合せを１３ａ，１３ｃ、１３ｃ，１３
ｄの組合せを１３ｂ，１３ｄとし、第２駆動機構１０Ｂ
の圧電素子の１５ａ，１５ｂの組合せを１５ａ，１５
ｃ、１５ｃ，１５ｄの組合せを１５ｂ，１５ｄとすれば
よい。また、第１駆動機構１０Ａ，第２駆動機構１０Ｂ
のそれぞれ４個で１組の圧電素子を２組又は１組同時に
等量同じ方向に伸縮すればＺ軸方向の位置決めが可能で
ある。
【００１７】よって上述のＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動量を重
量させ、結果として得られた各圧電素子の伸縮量を指令
値として後述の駆動制御装置２０によりその制御電圧を
各圧電素子に印加すれば、基準位置Ｐ2 は微小距離駆動
機構１０の動作範囲内において任意の位置に自由に駆動
位置決め制御可能である。
量させ、結果として得られた各圧電素子の伸縮量を指令
値として後述の駆動制御装置２０によりその制御電圧を
各圧電素子に印加すれば、基準位置Ｐ2 は微小距離駆動
機構１０の動作範囲内において任意の位置に自由に駆動
位置決め制御可能である。
【００１８】図４は第１駆動機構１０Ａと第２駆動機構
１０Ｂとの各圧電素子を伸縮制御する駆動制御装置２０
のブロック線図である。移動量入力部２１は目標とする
Ｘ・Ｙ・Ｚ方向の微小移動量を入力する部分、各圧電素
子の伸縮量算出部２２は入力された移動量から、各圧電
素子のそれぞれの伸縮量（Ｌ）を算出する部分、Ｌ／Ｅ
変換部２３は求めた各圧電素子の伸縮量（Ｌ）をこれを
実現するための電圧量（Ｅ）に変換する部分、供給電圧
出力部２４はＬ／Ｅ変換部２３からの信号にもとづいて
微小距離駆動機構１０の各圧電素子に直流電圧を出力す
る部分である。
１０Ｂとの各圧電素子を伸縮制御する駆動制御装置２０
のブロック線図である。移動量入力部２１は目標とする
Ｘ・Ｙ・Ｚ方向の微小移動量を入力する部分、各圧電素
子の伸縮量算出部２２は入力された移動量から、各圧電
素子のそれぞれの伸縮量（Ｌ）を算出する部分、Ｌ／Ｅ
変換部２３は求めた各圧電素子の伸縮量（Ｌ）をこれを
実現するための電圧量（Ｅ）に変換する部分、供給電圧
出力部２４はＬ／Ｅ変換部２３からの信号にもとづいて
微小距離駆動機構１０の各圧電素子に直流電圧を出力す
る部分である。
【００１９】従って、上述の駆動制御装置２０を使用す
れば目標とするＸ・Ｙ・Ｚ方向の移動量さえ入力すれ
ば、自動的に各圧電素子が伸縮して移動台１４の表面１
４ａを目標とする移動位置に駆動・位置決めすることが
できる。
れば目標とするＸ・Ｙ・Ｚ方向の移動量さえ入力すれ
ば、自動的に各圧電素子が伸縮して移動台１４の表面１
４ａを目標とする移動位置に駆動・位置決めすることが
できる。
【００２０】
【発明の効果】本発明の微小距離機構は上述のとおり構
成されているので、次に記載する効果を奏する。基準面
を有する固定台と中間移動台、及び中間移動台と移動台
とを圧電素子又は磁歪素子で連結した２階建て駆動構造
としたので、構造が単純なだけ製作が容易で故障が少な
く、正確かつ高剛性・高応答性の微小距離駆動機構が得
られる。
成されているので、次に記載する効果を奏する。基準面
を有する固定台と中間移動台、及び中間移動台と移動台
とを圧電素子又は磁歪素子で連結した２階建て駆動構造
としたので、構造が単純なだけ製作が容易で故障が少な
く、正確かつ高剛性・高応答性の微小距離駆動機構が得
られる。
【図１】本発明の微小距離駆動機構の斜視図である。
【図２】本発明の微小距離駆動機構のＸ・Ｙ・Ｚ平面上
における断面図である。
における断面図である。
【図３】本発明の微小距離駆動機構のＸ・Ｙ・Ｚ平面上
における動作説明用断面図である。
における動作説明用断面図である。
【図４】駆動制御装置のブロック線図である。
【図５】従来の技術の微小距離駆動機構の断面図であ
る。
る。
１０ 微小距離駆動機構 １０Ａ 第１駆動機構 １０Ｂ 第２駆動機構 １１ 固定台 １１ａ 基準面 １２ 中間移動台 １３ａ〜１３ｄ 第１駆動機構の圧電素子 １４ 移動台 １４ａ 表面 １５ａ〜１５ｄ 第２駆動機構の圧電素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 41/12 Ｈ０１Ｌ 41/08 Ｃ
Claims (3)
- 【請求項１】 基準となる面を有する固定台と中間移動
台との間に伸縮軸を直角にして配設された少なくとも３
個の微小伸縮可能な第１駆動部材と、前記中間移動台と
移動台との間に伸縮軸を直角にして配設された少なくと
も３個の微小伸縮可能な第２駆動部材と、前記第１駆動
部材と第２駆動部材とを同期して制御する駆動制御手段
とからなり、第１及び第２の各駆動部材を伸縮させ三次
元の任意の方向に移動台の駆動・位置決めを可能にした
ことを特徴とする微小距離駆動機構。 - 【請求項２】 第１駆動部材及び第２駆動部材は圧電素
子である請求項１に記載の微小距離駆動機構。 - 【請求項３】 第１駆動部材及び第２駆動部材は磁歪素
子である請求項１に記載の微小距離駆動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30107096A JPH10118874A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 微小距離駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30107096A JPH10118874A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 微小距離駆動機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10118874A true JPH10118874A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17892516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30107096A Pending JPH10118874A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 微小距離駆動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10118874A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004054082A1 (ja) * | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Sony Corporation | 高分子アクチュエータ |
| CN1293988C (zh) * | 2003-06-05 | 2007-01-10 | 发那科株式会社 | 显微定位装置和工具位置/方向修正方法 |
| JP2009224459A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Bondtech Inc | 位置決め装置 |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP30107096A patent/JPH10118874A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004054082A1 (ja) * | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Sony Corporation | 高分子アクチュエータ |
| US7511402B2 (en) | 2002-12-10 | 2009-03-31 | Sony Corporation | Polymer actuator |
| CN1293988C (zh) * | 2003-06-05 | 2007-01-10 | 发那科株式会社 | 显微定位装置和工具位置/方向修正方法 |
| JP2009224459A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Bondtech Inc | 位置決め装置 |
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