JPH10120109A - インライン式枚葉ストッカ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 内部に貯えているガラス基板の汚染を効果的
に防止し得るようにする。 【解決手段】 枚葉物を上下に収容するようにしたイン
ライン式枚葉ストッカ本体３２を防塵カバー３３で覆う
ようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インライン式枚葉
ストッカに関するものである。より詳しくは、内部に貯
えているガラス基板の汚染を効果的に防止し得るように
したインライン式枚葉ストッカに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、パソコンの表示装置やビデオカ
メラの表示装置などに使われる液晶パネルは、ガラス基
板の上に複数工程に亘る加工を施すことによって生産さ
れているが、ガラス基板などの枚葉物を、搬送装置を用
いて、前工程の液晶加工装置から後工程の液晶加工装置
へと搬送する場合に、例えば、後工程の液晶加工装置の
処理が遅いと、前工程の処理を済ませたガラス基板を後
行程の液晶加工装置へ搬送することができなくなるの
で、一旦、搬送装置を停止してガラス基板の搬送を待た
せなければならない。

【０００３】しかし、搬送装置を頻繁に運転および停止
させるのは煩わしく、又、設備稼働率も悪くなるので、
後工程の液晶加工装置の処理が遅れていない場合には、
ガラス基板をそのまま通過させ、後工程の液晶加工装置
の処理が遅れている場合には、ガラス基板を一時的に貯
えさせ、前工程の液晶加工装置の処理が遅れているなど
の場合には、貯えたガラス基板を取り出して送り出させ
るようにするインライン式枚葉ストッカなどが、搬送装
置の途中に設けられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のインライン式枚葉ストッカには、以下のような問題
があった。

【０００５】即ち、液晶パネルは、ほこりなどの異物の
付着を絶対的に避けて生産する必要があるため、前工程
の液晶加工装置や、後工程の液晶加工装置や、これらの
間に設けられる搬送装置やインライン式枚葉ストッカな
どは、全体として一つのクリーンルーム内に収容されて
いる。

【０００６】しかし、前工程の液晶加工装置や、後工程
の液晶加工装置や、これらの間に設けられる搬送装置や
インライン式枚葉ストッカなどを、全体として一つのク
リーンルーム内に収容するようにした場合、クリーンル
ームとして清浄化能力の高いものが要求されるという問
題があった。

【０００７】本発明は、上述の実情に鑑み、内部に貯え
ているガラス基板の汚染を効果的に防止し得るようにし
たインライン式枚葉ストッカを提供することを目的とす
るものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、枚葉物２３を
上下に収容するようにしたインライン式枚葉ストッカ本
体３２を防塵カバー３３で覆ったことを特徴とするイン
ライン式枚葉ストッカにかかるものである。

【０００９】この場合において、防塵カバー３３内に、
内部循環流を作り出す送風装置４１を設けるようにして
も良い。

【００１０】上記手段によれば、以下のような作用が得
られる。

【００１１】インライン式枚葉ストッカ本体３２を防塵
カバー３３で覆うようにすることにより、内部に貯えて
いるガラス基板などの枚葉物２３の汚染を防止すること
ができ、又、送風装置４１を設けて内部循環流を作り出
すことによって、防塵カバー３３内部をより清浄な雰囲
気に保たせることができ、クリーンルームとして余り清
浄化能力の高いものを用いなくとも、効果的にガラス基
板の汚染を防止することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例と共に説明する。

【００１３】図１〜図６は、本発明の実施の形態の一例
である。

【００１４】本発明にかかるインライン式枚葉ストッカ
１は、例えば、図１に示すように、前工程の液晶加工装
置２から後工程の液晶加工装置３へと、ガラス基板を搬
送する搬送装置４，５の途中に設けられたり、図２に示
すように、複数種類の加工が一台で可能な液晶加工装置
６に対し、搬送装置７を介して付設されたりする。

【００１５】尚、図１の前工程の液晶加工装置２と、後
工程の液晶加工装置３と、搬送装置４，５と、インライ
ン式枚葉ストッカ１、或いは、図２の液晶加工装置６
と、搬送装置７と、インライン式枚葉ストッカ１は、全
体がクリーンルーム８内に収容される。

【００１６】そして、上記インライン式枚葉ストッカ１
は、図３〜図６に示すようなものである。

【００１７】先ず、図３に示すように、基台９のライン
方向１０に対する一側部に枠状の昇降フレーム１１を固
定し、昇降フレーム１１に対し、上下方向へ延びる一対
のガイドロッド１２を取付け、ガイドロッド１２に沿っ
てガイド部材１３を介し昇降自在となるようにライン方
向１０と直角の方向へ延びるフォーク１４を取付け、昇
降フレーム１１における対を成すガイドロッド１２，１
２間の位置に上下方向へ延びるスクリューロッド１５を
回転自在に取付けると共に、フォーク１４にスクリュー
ロッド１５に螺合されるナット１６を取付け、スクリュ
ーロッド１５の下端部にタイミングギヤ１７、タイミン
グベルト１８、タイミングギヤ１９などの駆動力伝達機
構２０を介してサーボモータなどの駆動装置２１を接続
し、フォーク１４を昇降可能な昇降機構２２を構成す
る。

【００１８】そして、フォーク１４の上に、液晶パネル
のガラス基板などの枚葉物２３を上下方向へ多段に貯え
得るようにしたストッカ棚２４を乗せるようにする。

【００１９】該ストッカ棚２４は、天板２５と底板２６
のライン方向１０両側位置を、四対計八本の棚柱２７で
接続した箱状体をしており、対を成す棚柱２７，２７の
対向面には、図４に示すような櫛歯状の棚段２８が多段
に設けられている。尚、上下の棚段２８間のピッチは、
ガラス基板などの枚葉物２３の厚さ寸法よりも大きくな
るように設定されている。

【００２０】そして、ストッカ棚２４の隣接する棚柱２
７間の位置から内部へ、それぞれ三対計六本の受ローラ
２９の先端部を挿入配置して受ステーション３０を構成
し、同じ側にある受ローラ２９の後端部を、ローラ支持
部材３１を介して片持ち支持し、ローラ支持部材３１を
基台９などに固定する。

【００２１】以上のようなインライン式枚葉ストッカ本
体３２に対し、インライン式枚葉ストッカ本体３２全体
を覆うように防塵カバー３３を取付ける。

【００２２】該防塵カバー３３は、図５・図６に示すよ
うに、下面にキャスタ３４を取付けられた基台９の上に
取付けられて、基台９ごと移動可能となっている。更
に、防塵カバー３３のライン方向１０の前後面には、リ
フトアンドキャリーなどの搬送装置４，５，７の搬送用
アーム３５とガラス基板などの枚葉物２３が出入可能な
開口部３６が形成されており、必要に応じて、外部から
ストッカ棚２４の内部を覗けるように、防塵カバー３３
の上部や上面などに透明の窓などを形成しても良い。

【００２３】そして、防塵カバー３３の内部は、昇降機
構２２とは反対の側を垂直な隔壁３７で仕切ってインラ
イン式枚葉ストッカ本体収容空間３８と送風装置収容室
３９とを形成し、隔壁３７にファン取付穴４０を形成し
て、ファン取付穴４０の送風装置収容室３９側の部分
に、ファンフィルタユニットなどの送風装置４１と高性
能のフィルタ４２を取付ける。

【００２４】インライン式枚葉ストッカ本体収容空間３
８は、フォーク１４の先端と隔壁３７との間の位置を、
パンチングメタル製の垂直な整流板４３で仕切って、隔
壁３７側に整流室４４を形成すると共に、上記と同様の
パンチングメタル製の囲い部材４５で昇降機構２２を囲
って昇降機構収容室４６を形成し、更に、上記と同様の
パンチングメタル製の水平仕切板４７（水平仕切板４７
は特に設けなくても良い）で開口部３６の下部を上下に
仕切って、基板収容室４８とストッカ棚昇降室４９を形
成し、送風装置収容室３９と昇降機構収容室４６との間
をリターンダクト５０で接続する。

【００２５】更に、送風装置収容室３９に外気取入口５
１を形成すると共に、昇降機構収容室４６（図では基台
９の部分）に排気口５２を形成し、排気口５２に排気フ
ァン５３を取付ける。

【００２６】尚、図中、５４は基台９に設けられた高さ
調節用及び位置固定用のレベルアジャスター、５５は囲
い部材４５に形成されたフォーク貫通孔、５６は水平仕
切板４７に形成された棚柱貫通孔、５７は清浄空気であ
る。

【００２７】次に、作動について説明する。

【００２８】先ず、図１に示すような設備構成の場合、
前工程の液晶加工装置２で加工されたガラス基板などの
枚葉物２３は、搬送装置４、インライン式枚葉ストッカ
１、搬送装置５を通って、後工程の液晶加工装置３へと
搬送されて加工される。

【００２９】そして、後工程の液晶加工装置３の処理が
遅れている場合には、ガラス基板などの枚葉物２３を一
時的にインライン式枚葉ストッカ１に貯えさせ、前工程
の液晶加工装置２の処理が遅れているなどの場合には、
インライン式枚葉ストッカ１に貯えたガラス基板などの
枚葉物２３を取り出して後工程の液晶加工装置３へ送り
出させるようにする。

【００３０】又、図２に示すような設備構成の場合、液
晶加工装置６で前工程の処理を行った後、搬送装置７を
用いてガラス基板などの枚葉物２３を一時的にインライ
ン式枚葉ストッカ１に貯えさせておき、液晶加工装置６
で後工程の処理を行わせる時に、インライン式枚葉スト
ッカ１に貯えたガラス基板などの枚葉物２３を取り出し
て液晶加工装置６へ送り出させるようにする。

【００３１】尚、図１の前工程の液晶加工装置２と、後
工程の液晶加工装置３と、搬送装置４，５と、インライ
ン式枚葉ストッカ１、或いは、図２の液晶加工装置６
と、搬送装置７と、インライン式枚葉ストッカ１は、全
体がクリーンルーム８内に収容されており、上記の処理
は、全てクリーンルーム８内で行われる。

【００３２】上記インライン式枚葉ストッカ１は、イン
ライン式枚葉ストッカ本体３２の昇降機構２２を構成す
るサーボモータなどの駆動装置２１を駆動すると、タイ
ミングギヤ１９、タイミングベルト１８、タイミングギ
ヤ１７から成る駆動力伝達機構２０を介してスクリュー
ロッド１５が回転され、スクリューロッド１５とナット
１６との螺合位置が変ることによって、ガイドロッド１
２に沿いフォーク１４が昇降し、フォーク１４の上に乗
せられたストッカ棚２４を昇降させるようになってい
る。

【００３３】そして、液晶パネルのガラス基板などの枚
葉物２３を収納する場合、最も高い位置にある空の棚段
２８の上面よりも約半ピッチだけ高い位置に受ローラ２
９上面である受ステーション３０の位置が来るようにス
トッカ棚２４の位置を調整しておき、リフトアンドキャ
リーなどの搬送装置４，５，７の搬送用アーム３５によ
って受ステーション３０の高さへガラス基板などの枚葉
物２３を挿入すると共に搬送用アーム３５を僅かに下降
させて外部へ引出すことにより、ガラス基板などの枚葉
物２３を受ステーション３０の受ローラ２９上面に支持
させ、ストッカ棚２４を一ピッチ分（約２０ｍｍ）上昇
させるようにする。

【００３４】すると、ストッカ棚２４が約半ピッチだけ
上昇した時に、ガラス基板などの枚葉物２３が該当する
棚段２８に接触し、更に、ストッカ棚２４が約半ピッチ
だけ上昇することにより、ガラス基板などの枚葉物２３
が受ローラ２９から離され、完全に棚段２８に乗った状
態となる。

【００３５】以後、上記と同様の作動を繰返すことによ
り、順次、下方の棚段２８にガラス基板などの枚葉物２
３が収容される。

【００３６】反対に、液晶パネルのガラス基板などの枚
葉物２３を取り出す場合、ストッカ棚２４を下降させ
て、枚葉物２３が収容された最も下の棚段２８内の枚葉
物２３を受ステーション３０の受ローラ２９上面に支持
させた後、更に約半ピッチだけストッカ棚２４を下降さ
せて待機させ、受ローラ２９上面に支持された枚葉物２
３を、リフトアンドキャリーなどの搬送装置４，５，７
の搬送用アーム３５を受ステーション３０の高さへ挿入
して僅かに上昇させその後外部へ引出すことによりすく
い取らせるようにする。

【００３７】以後、上記と同様の作動を繰返すことによ
り、順次、下方の棚段２８からガラス基板などの枚葉物
２３が取り出される。

【００３８】そして、本発明では、クリーンルーム８内
に収容されたインライン式枚葉ストッカ１のインライン
式枚葉ストッカ本体３２を防塵カバー３３内に収容し
て、局所的に高い清浄度を作り出させるようにしたの
で、万一、液晶加工装置２，３，６や搬送装置４，５，
７からほこりが出て、クリーンルーム８内全体に拡がっ
たとしても、インライン式枚葉ストッカ本体３２によっ
て貯えられたガラス基板などの枚葉物２３を汚染して、
液晶パネルの歩留りを低下させるようなことが防止され
る。

【００３９】尚、液晶加工装置２，３，６や搬送装置
４，５，７のそれぞれに対しても、本発明と同様の防塵
カバーを設けて、全ての装置２〜７に局所的に高い清浄
度を作り出させるようにすることにより、清浄度の低い
クリーンルーム８を用いても全体として極めて清浄度の
高い設備を得ることができるようになり、しかも、安価
且つ簡単な構成で高い清浄度を達成することが可能とな
る。

【００４０】しかも、防塵カバー３３内を、隔壁３７と
整流板４３と囲い部材４５と水平仕切板４７などによっ
て、送風装置収容室３９と整流室４４と昇降機構収容室
４６と基板収容室４８とストッカ棚昇降室４９とに分け
るようにしているので、送風装置４１を駆動すると、防
塵カバー３３内の空気は、フィルタ４２で清浄化されて
清浄空気５７となり、整流室４４で整流されて横方向へ
吹出され、先ず、基板収容室４８とストッカ棚昇降室４
９へ入りストッカ棚２４の清浄度を保った後、昇降機構
収容室４６へ集められ、リターンダクト５０から送風装
置収容室３９へ戻されて、内部循環される。

【００４１】尚、内部循環されている空気の一部は、排
気ファン５３によって排気口５２からクリーンルーム８
へ排気され、又、クリーンルーム８内の空気は、外気取
入口５１から送風装置収容室３９へ取入れられて流量調
整が行われる。

【００４２】このように、本発明によれば、インライン
式枚葉ストッカ本体３２を防塵カバー３３で覆うように
することにより、内部に貯えているガラス基板の汚染を
防止することができ、又、送風装置４１を設けて内部循
環流を作り出し、フィルタ４２で清浄化された清浄空気
５７を真っ先に基板収容室４８とストッカ棚昇降室４９
へ導くようにすることにより、昇降機構収容室４６で汚
染された空気が基板収容室４８とストッカ棚昇降室４９
へ入ることが防止され、一層、効果的にガラス基板の汚
染を防止することができる。

【００４３】又、防塵カバー３３を含めたインライン式
枚葉ストッカ１全体をコンパクトにユニット化して基台
９に取付けられたキャスタ３４を用いて移動可能なよう
にしているので、据付けや設備の組替えなどが容易であ
り、リフトアンドキャリー以外のローラコンベヤ式やベ
ルトコンベヤ式などの搬送装置４，５，７に対しても、
搬送装置４，５，７の搬送用アーム３５と防塵カバー３
３の開口部３６の規格が合いさえすれば、簡単に接続さ
せることができるようになる。

【００４４】更に、防塵カバー３３の上部や上面などに
透明の窓などを形成すれば、外部からストッカ棚２４の
内部を覗くことが容易であり、保守管理に都合が良い。

【００４５】尚、本発明は、上述の実施の形態にのみ限
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
内において種々変更を加え得ることは勿論である。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のインライ
ン式枚葉ストッカによれば、内部に貯えているガラス基
板の汚染を効果的に防止することができるという優れた
効果を奏し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例にかかるインライン
式枚葉ストッカの配置を示す平面図である。

【図２】図１とは異なるインライン式枚葉ストッカの配
置を示す平面図である。

【図３】インライン式枚葉ストッカ本体の概略斜視図で
ある。

【図４】ストッカ棚における棚柱の部分拡大正面図であ
る。

【図５】防塵カバーの概略透視斜視図である。

【図６】防塵カバーの概略透視正面図である。

【符号の説明】

２３ 枚葉物 ３２ インライン式枚葉ストッカ本体 ３３ 防塵カバー ４１ 送風装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 枚葉物（２３）を上下に収容するように
   したインライン式枚葉ストッカ本体（３２）を防塵カバ
   ー（３３）で覆ったことを特徴とするインライン式枚葉
   ストッカ。
2. 【請求項２】 防塵カバー（３３）内に、内部循環流を
   作り出す送風装置（４１）を設けた請求項１記載のイン
   ライン式枚葉ストッカ。