JPH0322181Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、シリコンウエハー等の板状物を被搬
送物として搬送する搬送装置の構造に関するもの
である。

（従来技術） 従来より、例えばIC等の半導体部品を形成す
るについてシリコンウエハーを加工処理する場合
に、このシリコンウエハーは複数枚がカセツトケ
ース（キヤリヤー）の各溝部に順次収容された状
態で加工処理機に移送され、この加工処理機の搬
入部に対し上記カセツトケースに収容されたシリ
コンウエハーを下方のものから順次取り出し、処
理後のシリコンウエハーをカセットケースに対し
上方から順次収納するようにし、作業者が直接シ
リコンウエハーに触れないようにして、精密加工
部品の品質を確保するようにしている。

そして、上記カセツトケースに収容されたシリ
コンウエハーを下方から順次取り出す機能すなわ
ちローダー機能と、シリコンウエハーをカセツト
ケースに対し上方から順次挿入する機能すなわち
アンローダー機能とを備えたシリコンウエハー等
の搬送装置が本件考案者等によつてすでに製品化
されているが、この搬送装置はローダー機能を得
るためにはカセツトケースの最下段のシリコンウ
エハーを搬出するコンベア手段に加えてカセツト
ケースを順次下降移動する必要があり、また、ア
ンローダー機能を得るためにはシリコンウエハー
をカセツトケースに搬入するコンベア手段に加え
てカセツトケースを順次上方に移動する必要があ
る。

そして、加工機に供給する前のカセツトケース
に収容されているシリコンウエハーの上下の順番
と、加工機から搬出された加工後のカセツトケー
スに収容されているシリコンウエハーの上下の順
番が逆転し、次の加工処理を行う際にカセツトケ
ースに収容されているシリコンウエハーの上下の
順番を変更したい場合がある。

しかるに、上記搬送装置では、カセツトケース
を昇降移動するための昇降装置が１つであるた
め、加工機に接続してのローダーおよびアンロー
ダー機能は有しているが、カセツトケースのシリ
コンウエハーの順番を入れ換えるために、最下段
のシリコンウエハーから順に取り出して、他のカ
セツトケースの最上段から順に装入することは１
台ではできず、これを行うためには上記搬送装置
を２台接続して、一方をローダーとして使用し、
他方をアンローダーとして使用することにより可
能あるが、このために２台使用することはコスト
的に不利である。また、上記シリコンウエハー等
はクリーンルーム内に設置されることから、複数
台の使用はクリーンルームのスペースを取り、高
価なクリーンルームを広くする必要があり、コス
トアツプをもたらすものである。

（考案の目的） 本考案は上記事情に鑑み、前記ローダー機能、
アンローダー機能に加えて、入れ換え機能および
単なる搬送コンベア機能にも有するシリコンウエ
ハー等の搬送装置を提供することを目的とするも
のである。

（考案の構成） 本考案の搬送装置は、シリコンウエハー等の被
搬送物を搬送する搬送装置であつて、該搬送装置
の本体上部に配され該本体の両側面間に水平に延
び前記被搬送物を搬送するコンベア手段、該コン
ベア手段の両端近傍にそれぞれ垂直方向に立設さ
れた一対のリードネジ軸、該一対のリードネジ軸
を回転させる駆動手段、該一対のリードネジ軸に
それぞれ螺合され、該駆動手段による該一対のリ
ードネジ軸の回転により互いに逆方向に上下動す
る一対の載置台取付手段、および該一対の載置台
取付手段のそれぞれに着脱可能に取付けられ、前
記本体の各側面からそれぞれ外方に水平に突出し
た一対の載置台とを備えており、一方の載置台を
外した状態で他方の載置台にカセツトケースを載
置しこの載置台を上昇もしくは下降移動してロー
ダーもしくはアンローダー機能を得るとともに、
両方の載置台を互いに逆方向に上下移動させて入
れ換え機能を得て、さらに、両載置台を外して単
なるコンベア機能を得るようにしたことを特徴と
するものである。

（考案の効果） 本考案によれば、上部の水平方向のコンベア手
段の両端部近傍にそれぞれリードネジ軸の回転に
よつて互いに反対方向に上下動する載置台を着脱
可能に設け、この載置台の着脱を選択するととも
に、載置台の上下動とコンベア手段の搬送作動と
を連係させることにより、ローダー機能、アンロ
ーダー機能、入れ換え機能および単なるコンベア
機能とに選択的に切換え使用することができ、１
台の搬送装置で多機能を得てクリーンルームの有
効利用ができ、コストダウンが図れるものであ
る。

（実施例） 以下、図面により本考案の実施例を説明する。
第１図は全体の正面図、第２図は平面図、第３図
は前板を外した状態の内部機構を示す正面図であ
る。

装置本体１の上部にはシリコンウエハー等の被
搬送物Ｗを水平方向（第１図の左右方向）に搬送
するコンベア手段２が設置され、このコンベア手
段２の両端部には互いに逆方向に上下動する左右
の載置台３，４が配設され、正面中央には操作パ
ネル５が設けられ、上記載置台３，４にシリコン
ウエハー等の被搬送物Ｗを収容するカセツトケー
スＣが載置される。

上記コンベア手段２は、フレーム７上端の両側
にローラー８，８が回転自在に支承され、このロ
ーラー８，８に本体１の前後に沿つて一対のベル
ト９，９が掛けられ、さらにこのベルト９，９は
アイドルローラー１０，１０を介して駆動ローラ
ー１１に巻き掛けられ、該駆動ローラー１１を正
逆転可能に駆動モータ１２で駆動するように構成
されている。

また、上記コンベア手段２の両端部下方の本体
１内には、それぞれ垂直方向に立設された一対の
左右のリードネジ軸１３，１４がフレーム７に回
転自在に立設されている。このリードネジ軸１
３，１４には互いに逆方向のネジが設けられると
ともに、該リードネジ軸１３，１４にはそれぞれ
左右のナツト部材１５，１６が螺合され、このナ
ツト部材１５，１６から本体１の外部に突設され
たブラケツト１５ａ，１６ａに前記左右の載置台
３，４が着脱自在に固定される。本実施例におい
ては、ナツト部材１５とブラケツト１５ａとの組
合せ、またはナツト部材１６とブラケツト１６ａ
との組合せにより、本考案の載置台取付手段が構
成されている。

第４図は、ナツト部材と載置台の取付けを示す
ためにナツト部材１６とその周辺を示した斜視図
である。尚、ナツト部材１５についても同様であ
る。

ナツト部材１６の中央には、リードネジ軸１４
と螺合する孔１６ｂが設けられており、該孔１６
ｂの両側には、リードネジ軸１４と平行に延びる
図示しないガイド棒が挿入される孔１６ｃが設け
られており、リードネジ軸１４の回転に伴つてナ
ツト部材１６が共に回転してしまうことなく、リ
ードネジ軸１４の延びる上下方向にのみ移動する
ようにガイドされる。

ナツト部材１６には、Ｕ字形状のブラケツト１
６ａがナツト部材の三方をとり囲むようにして２
本のビス１６ｄにより該ナツト部材１６に取り付
けられている。またブラケツト１６ａには、図に
示すような配置で該ブラケツト１６ａに載置台取
付アングル４ａをビス止めするためのアングル取
付用ビス孔１６ｅが設けられており、２本の各ア
ングル４ａはそれぞれ２本のビスでブラケツト１
６ａに固定される。

２本の載置台取付アングル４ａは図の右方にさ
らに長く延びており、該２本のアングル４ａ上に
載置台４が載置され、該アングル４ａに設けられ
た載置台取付用ビス孔４ｂを利用して固定され
る。このように、載置台取付アングル４ａはブラ
ケツト１６ａとビス止めされ、載置台４は載置台
取付アングル４ａとビス止めされているため、こ
の装置をたとえばローダとして用いるときは、載
置台取付アングル４ａとブラケツト１６ａとを固
定している合計４本のビスを外すことにより、一
方の載置台４を本体から取り外すことができる。
尚、載置台の取付方法は、ビス止めに限られるも
のではなく、取り付け、取り外しの頻度や取付け
の頑強さ等を考慮して種々の取付方法を用いるこ
とができることはいうまでもない。なお、上記載
置台３，４は、一方が上端位置にあるときに他方
が下端位置にあるように、左右のリードネジ軸１
３，１４に対する左右のナツト部材１５，１６の
螺合位置を調整しておく。

上記リードネジ軸１３，１４の下端部にはそれ
ぞれタイミングプーリ１７，１８が固設され、両
タイミングプーリ１７，１８間にはタイミングベ
ルト１９が掛けられて両リードネジ軸１３，１４
が互いに同方向に同期回転するように連係されて
いる。また、一方のリードネジ軸１３には従動タ
イミングプーリ２０が固設され、これに対応して
フレーム７に配設された正逆転可能なサーボモー
タ２１の駆動軸に固設された駆動タイミングプー
リ２２間に駆動タイミングベルト２３が巻き掛け
られ、該サーボモータ２１の回転駆動に対して両
リードネジ軸１３，１４が同期回転し、載置台
３，４が互いに逆方向に同じ高さだけ上下移動す
るようにした駆動手段２７が構成されている。

また、上記本体１内には、上部に電源ユニツト
２４が、下部にコントロールユニツト２５が配設
され、前記操作パネル５の操作に対応してコント
ロールユニツト２５のプログラムに基づきコンベ
ア手段２の駆動モータ１２および駆動手段２７の
サーボモータ２１に制御信号を出力し、両者の作
動を制御して所定の機能を得るものである。

なお、上記コンベア手段２の両端部近傍でのフ
オトセンサ２６，２６が配設され、この位置にシ
リコンウエハー等の被搬送物Ｗの有無を検出し、
上記コントロールユニツト２５に検出信号を出力
する。

上記の如き構成の搬送装置の機能を説明する。
まず、ローダー機能は、一方の載置台４を外し、
加工機等の搬入側に接続し、他方の載置台３にシ
リコンウエハー等の被搬送物Ｗを収容したカセツ
トケースＣを載置し、この載置台３を上端位置に
してからロードを開始する。コンベア手段２の搬
出作動に伴いカセツトケースＣの被搬送物Ｗは下
段から順次加工機に搬送され、搬送数に対応して
載置台４は順次下降移動する。一方、アンローダ
ー機能は、一方の載置台３を外し、加工機等の搬
出側に接続し、他方の載置台４に被搬送物Ｗを収
容するカセツトケースＣを載置し、この載置台４
を下端位置にしてからアンロードを開始する。上
記ロード時と逆方向に駆動されるコンベア手段２
の搬入作動に伴い加工機からの被搬送物Ｗはカセ
ツトケースＣの上段から順次に挿入され、搬送数
に対応して載置台４は順次上昇移動する。

次に、入れ換え機能は、上端位置にした載置台
３に被搬送物Ｗを収容したカセツトケースＣを載
置する一方、下端位置にした載置台４に空のカセ
ツトケースＣを載置し、入れ換えを開始する。コ
ンベア手段２の作動により被搬送物Ｗは一方のカ
セツトケースＣの下段から他方のカセツトケース
Ｃの上段に順次移送され、これに伴つて載置台
３，４は互いに逆方向に移動し、上下の順番を逆
にして入れ換えが行なわれる。

また、単なるコンベア機能は、両載置台３，４
を取り外し、コンベア手段２を所定の方向に駆動
するものである。

なお、上記実施例では、コンベア手段２はいず
れの方向にも被搬送物Ｗが搬送可能なようにして
いるが、一方向のみに搬送するようにしてもよ
く、その際には各種機能に応じて載置台３，４の
取り外し側を選択し、本体１の設置向きを変える
ものである。

また、左右の載置台３，４を互いに逆方向に上
下させる連係機構としては、リードネジ軸１３，
１４のネジの向きを変える他、タイミングベルト
１９の掛け方を変えるなど公知の機構が適宜採用
可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す搬送装置の全
体正面図、第２図は同平面図、第３図は前板を外
した状態の内部機構を示す正面図、第４図は、ナ
ツト部材とその周辺を示した斜視図である。 １……本体、２……コンベア手段、３，４……
載置台、１２……駆動モータ、１３，１４……リ
ードネジ軸、２１……サーボモータ、２５……コ
ントロールユニツト、２７……駆動手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 シリコンウエハー等の被搬送物を搬送する搬送
   装置であつて、 該搬送装置の本体上部に配され該本体の両側面
   間に水平に延び前記被搬送物を搬送するコンベア
   手段、 該コンベア手段の両端近傍にそれぞれ垂直方向
   に立設された一対のリードネジ軸、 該一対のリードネジ軸を回転させる駆動手段、 該一対のリードネジ軸にそれぞれ螺合され、該
   駆動手段による該一対のリードネジ軸の回転によ
   り互いに逆方向に上下動する一対の載置台取付手
   段、および 該一対の載置台取付手段のそれぞれに着脱可能
   に取付けられ、前記本体の各側面からそれぞれ外
   方に水平に突出した一対の載置台とを備えたこと
   を特徴とするシリコンウエハー等の搬送装置。