JPH10120140A - ベルト搬送装置 - Google Patents
ベルト搬送装置Info
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- JPH10120140A JPH10120140A JP27934196A JP27934196A JPH10120140A JP H10120140 A JPH10120140 A JP H10120140A JP 27934196 A JP27934196 A JP 27934196A JP 27934196 A JP27934196 A JP 27934196A JP H10120140 A JPH10120140 A JP H10120140A
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Landscapes
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体製造工程におけるエッチング室等のよ
うな、真空、高温、高清浄度の環境下であっても高い耐
久性を有する搬送装置を提供する。 【解決手段】 この搬送装置は、半導体ウェーハ（１）
を搬送する無端状のスプリングベルト（２）と、ベルト
（２）と接触するローラ（３）と、ローラ（３）を固定
軸（５）に回転可能に支持する軸受部（６）とを具備す
る。ローラ（３）は、ポリイミド又はコプナ樹脂で輪体
状に成形される。また、軸受部（６）は、ローラ（３）
の内径面と固定軸（５）の外径面とを接触させた滑り軸
受とし、両面の接触部には、結晶性のＰＴＦＥ潤滑被膜
（７）を形成する。
うな、真空、高温、高清浄度の環境下であっても高い耐
久性を有する搬送装置を提供する。 【解決手段】 この搬送装置は、半導体ウェーハ（１）
を搬送する無端状のスプリングベルト（２）と、ベルト
（２）と接触するローラ（３）と、ローラ（３）を固定
軸（５）に回転可能に支持する軸受部（６）とを具備す
る。ローラ（３）は、ポリイミド又はコプナ樹脂で輪体
状に成形される。また、軸受部（６）は、ローラ（３）
の内径面と固定軸（５）の外径面とを接触させた滑り軸
受とし、両面の接触部には、結晶性のＰＴＦＥ潤滑被膜
（７）を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空でかつ腐食性
物質と接触する可能性のある環境下で運転されるベルト
搬送装置に関する。
物質と接触する可能性のある環境下で運転されるベルト
搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造設備におけるエッチン
グ室の室内は、真空かつ高清浄度に保たれているが、こ
のようなエッチング装置との間で半導体ウェーハの挿入
・搬出を行なう搬送装置においては、搬入・搬出の際な
どに腐食性のエッチングガスに接触する場合がある。
グ室の室内は、真空かつ高清浄度に保たれているが、こ
のようなエッチング装置との間で半導体ウェーハの挿入
・搬出を行なう搬送装置においては、搬入・搬出の際な
どに腐食性のエッチングガスに接触する場合がある。
【０００３】このような環境下で使用される搬送装置と
して、図３乃至図５に示すものがある。この装置は、ベ
ース（14）の両端に固定軸（15）を突設し、両固定軸
（15）に転がり軸受（16）を介して輪体状の金属製ロー
ラ（13）をそれぞれ回転自在に取り付けると共に、ロー
ラ部材（13）の外周面に設けた溝部（13ａ）に無端状の
ベルト（12：例えばスプリングベルト）を係合させたも
のである。搬送物（11）は、図４に示すように、ベース
（14）の両端に設けられたベルト（12）によってその両
側を支持されている。図示しない駆動ローラを駆動する
と、ベルト（12）が図３において時計周りに回転し、ベ
ルト（12）上の搬送物（11）が下流側に搬送される。
して、図３乃至図５に示すものがある。この装置は、ベ
ース（14）の両端に固定軸（15）を突設し、両固定軸
（15）に転がり軸受（16）を介して輪体状の金属製ロー
ラ（13）をそれぞれ回転自在に取り付けると共に、ロー
ラ部材（13）の外周面に設けた溝部（13ａ）に無端状の
ベルト（12：例えばスプリングベルト）を係合させたも
のである。搬送物（11）は、図４に示すように、ベース
（14）の両端に設けられたベルト（12）によってその両
側を支持されている。図示しない駆動ローラを駆動する
と、ベルト（12）が図３において時計周りに回転し、ベ
ルト（12）上の搬送物（11）が下流側に搬送される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の搬
送装置が真空中で使用されることを考えると、ベルトの
走行を支持するローラや軸受部などの潤滑剤として、グ
リースや潤滑油等の流体潤滑剤を使用することはできな
い。また、二硫化モリブデン等の層状物質や、金、銀、
鉛等の軟質金属からなる固体潤滑剤も発麈性や耐久性等
を考えると好ましいとは言えない。
送装置が真空中で使用されることを考えると、ベルトの
走行を支持するローラや軸受部などの潤滑剤として、グ
リースや潤滑油等の流体潤滑剤を使用することはできな
い。また、二硫化モリブデン等の層状物質や、金、銀、
鉛等の軟質金属からなる固体潤滑剤も発麈性や耐久性等
を考えると好ましいとは言えない。
【０００５】かかる事情から、従来では、ローラ、スプ
リングベルト、あるいは軸受部等の部材を無潤滑状態で
運転しているが、これでは接触部分の摩耗による発麈や
耐久性低下の問題が生じる。また、これらの部材がエッ
チングガスと接触する場合もあるので、腐食による耐久
性低下も問題となる。
リングベルト、あるいは軸受部等の部材を無潤滑状態で
運転しているが、これでは接触部分の摩耗による発麈や
耐久性低下の問題が生じる。また、これらの部材がエッ
チングガスと接触する場合もあるので、腐食による耐久
性低下も問題となる。
【０００６】そこで、本発明は、上記のような環境下で
運転されるベルト搬送装置において、ベルトの走行を支
持する諸部材の耐久性、並びに運転性を向上させると共
に、接触部からの発麈を抑制することを目的とする。
運転されるベルト搬送装置において、ベルトの走行を支
持する諸部材の耐久性、並びに運転性を向上させると共
に、接触部からの発麈を抑制することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明にかかるベルト搬送装置は、搬送物を搬送するベ
ルトと、ベルトと接触してこれを走行可能に支持するロ
ーラと、ローラを固定軸に対して回転自在に支持する軸
受部とを具備するものであって、ローラを、自己潤滑性
を有する樹脂材料で形成したものである。
本発明にかかるベルト搬送装置は、搬送物を搬送するベ
ルトと、ベルトと接触してこれを走行可能に支持するロ
ーラと、ローラを固定軸に対して回転自在に支持する軸
受部とを具備するものであって、ローラを、自己潤滑性
を有する樹脂材料で形成したものである。
【０００８】樹脂材料は、ポリイミド樹脂又はコプナ樹
脂とするのが好ましい。
脂とするのが好ましい。
【０００９】軸受部は、ローラの内径面を固定軸の外径
面に接触させた滑り軸受とするのがよい。
面に接触させた滑り軸受とするのがよい。
【００１０】ベルトの少なくともローラと接触する部分
と、ローラの少なくともベルトと接触する部分との何れ
か一方、又は双方に、結晶性のポリテトラフルオロエチ
レン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成するとよい。
と、ローラの少なくともベルトと接触する部分との何れ
か一方、又は双方に、結晶性のポリテトラフルオロエチ
レン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成するとよい。
【００１１】滑り軸受を構成するローラの内径面、およ
び固定軸の外径面のうち、少なくとも一方に結晶性のポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を
形成してもよい。
び固定軸の外径面のうち、少なくとも一方に結晶性のポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を
形成してもよい。
【００１２】軸受部を、少なくとも内・外輪、転動体、
および保持器をステンレス鋼で形成した転がり軸受と
し、且つこの転がり軸受の少なくとも転がり摩擦又は滑
り摩擦を生ずる表面に、結晶性のポリテトラフルオロエ
チレン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成してもよい。
および保持器をステンレス鋼で形成した転がり軸受と
し、且つこの転がり軸受の少なくとも転がり摩擦又は滑
り摩擦を生ずる表面に、結晶性のポリテトラフルオロエ
チレン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成してもよい。
【００１３】また、本発明にかかるベルト搬送装置は、
搬送物を搬送するベルトと、ベルトと接触してこれを走
行可能に支持する金属製のローラと、ローラを固定軸に
対して回転自在に支持する軸受部とを具備するものであ
って、ベルトの少なくともローラと接触する部分と、ロ
ーラの少なくともベルトと接触する部分との何れか一
方、又は双方に、結晶性のポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成したものである。
搬送物を搬送するベルトと、ベルトと接触してこれを走
行可能に支持する金属製のローラと、ローラを固定軸に
対して回転自在に支持する軸受部とを具備するものであ
って、ベルトの少なくともローラと接触する部分と、ロ
ーラの少なくともベルトと接触する部分との何れか一
方、又は双方に、結晶性のポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成したものである。
【００１４】また、搬送物を搬送するベルトと、ベルト
と接触してこれを走行可能に支持する金属製のローラ
と、ローラを固定軸に対して回転自在に支持する軸受部
とを具備するものであって、軸受部を、少なくとも内・
外輪、転動体、および保持器をステンレス鋼で形成した
転がり軸受とし、且つこの転がり軸受の少なくとも転が
り摩擦又は滑り摩擦を生ずる表面に、結晶性のポリテト
ラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成し
たものである。
と接触してこれを走行可能に支持する金属製のローラ
と、ローラを固定軸に対して回転自在に支持する軸受部
とを具備するものであって、軸受部を、少なくとも内・
外輪、転動体、および保持器をステンレス鋼で形成した
転がり軸受とし、且つこの転がり軸受の少なくとも転が
り摩擦又は滑り摩擦を生ずる表面に、結晶性のポリテト
ラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成し
たものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図１及
び図２に基づいて説明する。
び図２に基づいて説明する。
【００１６】図１に示すように、本発明にかかる搬送装
置は、搬送物（１）を搬送する無端状のベルト（２）
と、ベルト（２）と接触してこれを走行可能に支持する
ローラ（３）と、ローラ（３）とベース（４）の両側に
突設した固定軸（５）との間に介装され、ローラ（３）
を回転可能に支持する軸受部（６）とを具備する。ベル
ト（２）としては、スプリングベルトが使用されてい
る。
置は、搬送物（１）を搬送する無端状のベルト（２）
と、ベルト（２）と接触してこれを走行可能に支持する
ローラ（３）と、ローラ（３）とベース（４）の両側に
突設した固定軸（５）との間に介装され、ローラ（３）
を回転可能に支持する軸受部（６）とを具備する。ベル
ト（２）としては、スプリングベルトが使用されてい
る。
【００１７】ローラ（３）は、自己潤滑性を有し、且つ
耐薬品性及び低発麈性に優れた樹脂材料、例えばポリイ
ミド樹脂又はコプナ樹脂で輪体状に形成される。このよ
うな樹脂製のローラ（３）は、樹脂の成形材から機械加
工により、あるいは樹脂材を射出成形等することにより
形成される。
耐薬品性及び低発麈性に優れた樹脂材料、例えばポリイ
ミド樹脂又はコプナ樹脂で輪体状に形成される。このよ
うな樹脂製のローラ（３）は、樹脂の成形材から機械加
工により、あるいは樹脂材を射出成形等することにより
形成される。
【００１８】ここで、「コプナ樹脂」は、ナフタレン、
アントラセン、フェナントレン、ピレン、コールタール
ピッチ等の多環芳香族炭化水素を酸触媒によりパラキシ
リレングリコールで架橋した熱硬化性樹脂である。その
反応は、脱水を伴う親電子置換反応で進行し、縮合多環
芳香族核がペンジル型結合で多数連結された構造とな
り、縮合多環多核芳香族樹脂“Condensed Polynuclear
Aromatic Resin”と命名されている。略称として、下線
部を集めて「ＣＯＰＮＡ樹脂」と呼ばれている。コプナ
樹脂は、耐熱性、摺動特性、機械的特性、耐薬品性、電
気絶縁性にすぐれ、かつ、易成形加工性、コストパフォ
ーマンスを兼ね備えている。特に射出成形性に優れてい
るので、ローラ（３）をコプナ樹脂の射出成形とするこ
とにより、コスト低減を図ることができる。コプナ樹脂
は、現在、住金化工株式会社より、「ＳＫレジン」の商
標名で上市されている。
アントラセン、フェナントレン、ピレン、コールタール
ピッチ等の多環芳香族炭化水素を酸触媒によりパラキシ
リレングリコールで架橋した熱硬化性樹脂である。その
反応は、脱水を伴う親電子置換反応で進行し、縮合多環
芳香族核がペンジル型結合で多数連結された構造とな
り、縮合多環多核芳香族樹脂“Condensed Polynuclear
Aromatic Resin”と命名されている。略称として、下線
部を集めて「ＣＯＰＮＡ樹脂」と呼ばれている。コプナ
樹脂は、耐熱性、摺動特性、機械的特性、耐薬品性、電
気絶縁性にすぐれ、かつ、易成形加工性、コストパフォ
ーマンスを兼ね備えている。特に射出成形性に優れてい
るので、ローラ（３）をコプナ樹脂の射出成形とするこ
とにより、コスト低減を図ることができる。コプナ樹脂
は、現在、住金化工株式会社より、「ＳＫレジン」の商
標名で上市されている。
【００１９】ポリイミドやコプナ樹脂は、低アウトガス
であると共に、耐蝕性や自己潤滑性に優れた特性を有す
るものであり、エッチング室内のように、真空で且つ腐
食性ガスと接触し得る環境下においても優れた耐久性を
有するものである。
であると共に、耐蝕性や自己潤滑性に優れた特性を有す
るものであり、エッチング室内のように、真空で且つ腐
食性ガスと接触し得る環境下においても優れた耐久性を
有するものである。
【００２０】軸受部（６）は、ローラ（３）の内径面を
固定軸（５）の外径面に接触させた滑り軸受とされる。
このように軸受部（６）を滑り軸受とすれば、従来のよ
うに転がり軸受を使用する場合に比べて、ローラ（３）
と軸受部（６）とを一体構造とすることができ、構造の
簡略化を図ることができる。また、ローラ（３）が自己
潤滑性を有する樹脂材料で形成されているので、ローラ
（３）と固定軸（５）との間、及びローラ（３）とベル
ト（２）との間の潤滑も十分になされる。従って、従来
装置に比べて耐久性を向上させることができる。
固定軸（５）の外径面に接触させた滑り軸受とされる。
このように軸受部（６）を滑り軸受とすれば、従来のよ
うに転がり軸受を使用する場合に比べて、ローラ（３）
と軸受部（６）とを一体構造とすることができ、構造の
簡略化を図ることができる。また、ローラ（３）が自己
潤滑性を有する樹脂材料で形成されているので、ローラ
（３）と固定軸（５）との間、及びローラ（３）とベル
ト（２）との間の潤滑も十分になされる。従って、従来
装置に比べて耐久性を向上させることができる。
【００２１】また、軸受部（６）の滑り摩擦を生じる部
分、具体的には、ローラ（３）の内径面と固定軸（５）
の外径面との少なくとも一方には、必要に応じて、結晶
性のＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン：平均分子
量は、５０００以下であるのが好ましい）からなる潤滑
被膜（７：黒塗りで示す）を形成してもよい。ここで、
「結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜」とは、いわゆる
スパッタリング被膜のようにＰＴＦＥの結晶構造（分子
構造）が細分化されていないものをいい、例えばＰＴＦ
Ｅの処理液（上記ＰＴＦＥの粉末を溶剤中に分散させた
もの等）を被処理物にスプレーすることにより、あるい
は被処理物を処理液中に浸漬することにより形成するこ
とができる。このＰＴＦＥ被膜（７）は、滑り摩擦を生
ずる表面において潤滑作用をなすと同時に、反応性ガス
などから母材表面を保護する作用をなすので、装置の耐
久性をさらに向上させることができる。また、上記のよ
うなスプレー又は浸漬により形成されたＰＴＦＥ被膜
（７）は、スパッタリング被膜等に比べ、ＰＴＦＥの組
織が細分化されておらず、ＰＴＦＥの結晶組織が損なわ
れずに残されているので、ＰＴＦＥが本来有する優れた
潤滑性を示す。
分、具体的には、ローラ（３）の内径面と固定軸（５）
の外径面との少なくとも一方には、必要に応じて、結晶
性のＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン：平均分子
量は、５０００以下であるのが好ましい）からなる潤滑
被膜（７：黒塗りで示す）を形成してもよい。ここで、
「結晶性のＰＴＦＥからなる潤滑被膜」とは、いわゆる
スパッタリング被膜のようにＰＴＦＥの結晶構造（分子
構造）が細分化されていないものをいい、例えばＰＴＦ
Ｅの処理液（上記ＰＴＦＥの粉末を溶剤中に分散させた
もの等）を被処理物にスプレーすることにより、あるい
は被処理物を処理液中に浸漬することにより形成するこ
とができる。このＰＴＦＥ被膜（７）は、滑り摩擦を生
ずる表面において潤滑作用をなすと同時に、反応性ガス
などから母材表面を保護する作用をなすので、装置の耐
久性をさらに向上させることができる。また、上記のよ
うなスプレー又は浸漬により形成されたＰＴＦＥ被膜
（７）は、スパッタリング被膜等に比べ、ＰＴＦＥの組
織が細分化されておらず、ＰＴＦＥの結晶組織が損なわ
れずに残されているので、ＰＴＦＥが本来有する優れた
潤滑性を示す。
【００２２】上述のＰＴＦＥ被膜（７）は、ローラ
（３）と固定軸（５）との間だけでなく、軸受部（６）
における他の滑り摩擦を生じる部分、例えば、固定軸
（５）に挿入された例えば樹脂製の側板（８）と固定軸
（５）との間、側板（８）とローラ（３）との間、ある
い軸（５）の先端部に装着された例えば樹脂製の係止部
材（９）とローラ（３）との間等に形成してもよい。何
れの場合も、滑り摩擦を生じる二部材の双方の表面にＰ
ＴＦＥ被膜を形成する他、何れか一方の表面にのみＰＴ
ＦＥ被膜を形成してもよい。
（３）と固定軸（５）との間だけでなく、軸受部（６）
における他の滑り摩擦を生じる部分、例えば、固定軸
（５）に挿入された例えば樹脂製の側板（８）と固定軸
（５）との間、側板（８）とローラ（３）との間、ある
い軸（５）の先端部に装着された例えば樹脂製の係止部
材（９）とローラ（３）との間等に形成してもよい。何
れの場合も、滑り摩擦を生じる二部材の双方の表面にＰ
ＴＦＥ被膜を形成する他、何れか一方の表面にのみＰＴ
ＦＥ被膜を形成してもよい。
【００２３】また、ローラ（３）とベルト（２）との接
触部にＰＴＦＥ被膜（7'）を形成すれば、両者間の相対
移動による摩耗を防止でき、この部分からの発麈を抑制
することができる。この場合、ＰＴＦＥ被膜（7'）は、
少なくともベルト（２）とローラ（３）との間に存在し
ていれば足り、ベルト（２）のみに設けたり、その反対
にローラ（３）の溝部（3a）にのみ設けてもよく、さら
にはベルト（２）とローラ（３）の双方に設けてもよ
い。ベルト（２）にＰＴＦＥ被膜（7'）を形成する場合
において、搬送物（１）へのＰＴＦＥ被膜の転着が懸念
される場合は、ローラ（３）との接触部のみ、たとえば
ベルト（２）の内周側の部分にのみ被膜を形成すればよ
い。
触部にＰＴＦＥ被膜（7'）を形成すれば、両者間の相対
移動による摩耗を防止でき、この部分からの発麈を抑制
することができる。この場合、ＰＴＦＥ被膜（7'）は、
少なくともベルト（２）とローラ（３）との間に存在し
ていれば足り、ベルト（２）のみに設けたり、その反対
にローラ（３）の溝部（3a）にのみ設けてもよく、さら
にはベルト（２）とローラ（３）の双方に設けてもよ
い。ベルト（２）にＰＴＦＥ被膜（7'）を形成する場合
において、搬送物（１）へのＰＴＦＥ被膜の転着が懸念
される場合は、ローラ（３）との接触部のみ、たとえば
ベルト（２）の内周側の部分にのみ被膜を形成すればよ
い。
【００２４】ところで、上述のように軸受部（６）を滑
り軸受とした結果、ローラ（３）の回転トルクの増大が
懸念される場合は、図２に示すように、軸受部（６）に
ＰＴＦＥ被膜処理を施したステンレス鋼（例えば、ＳＵ
Ｓ４４０Ｃ等）製の転がり軸受（深溝玉軸受等）を使用
すればよい。すなわち、少なくとも内・外輪（6a）（6
b）、転動体（6c）、及び保持器（図示省略）をステン
レス鋼で形成し、且つ、軸受内の滑り摩擦や転がり摩擦
を生じる表面、例えば転動体（6c：ボール）の表面にＰ
ＴＦＥ被膜（７）を形成した転がり軸受を用いるのであ
る。ＰＴＦＥ被膜（７）は、軸受内の上記摩擦発生部分
の少なくとも１箇所に形成されていればよく、ボール
（6c）の表面の他、例えば内・外輪（6a）（6b）の軌道
面に形成してもよい。また、上記軸受構成部品以外の他
の部品、例えばシール用のシールド板（6d）をステンレ
ス鋼製としてもよい。
り軸受とした結果、ローラ（３）の回転トルクの増大が
懸念される場合は、図２に示すように、軸受部（６）に
ＰＴＦＥ被膜処理を施したステンレス鋼（例えば、ＳＵ
Ｓ４４０Ｃ等）製の転がり軸受（深溝玉軸受等）を使用
すればよい。すなわち、少なくとも内・外輪（6a）（6
b）、転動体（6c）、及び保持器（図示省略）をステン
レス鋼で形成し、且つ、軸受内の滑り摩擦や転がり摩擦
を生じる表面、例えば転動体（6c：ボール）の表面にＰ
ＴＦＥ被膜（７）を形成した転がり軸受を用いるのであ
る。ＰＴＦＥ被膜（７）は、軸受内の上記摩擦発生部分
の少なくとも１箇所に形成されていればよく、ボール
（6c）の表面の他、例えば内・外輪（6a）（6b）の軌道
面に形成してもよい。また、上記軸受構成部品以外の他
の部品、例えばシール用のシールド板（6d）をステンレ
ス鋼製としてもよい。
【００２５】以上、ローラ（３）を樹脂製とした実施形
態について説明したが、図５に示す従来形態と同様に、
金属製ローラ（13）を固定軸（15）に対して回転自在に
支持する構造であっても、ベルト（２）とローラ（３）
との接触部分にＰＴＦＥ被膜（7'）を形成したり、ある
いは、軸受部（16）をステンレス鋼製の転がり軸受と
し、且つ軸受内の少なくとも転がり摩擦又は滑り摩擦を
生ずる表面に上記ＰＴＦＥ被膜（７）を形成してもよ
い。
態について説明したが、図５に示す従来形態と同様に、
金属製ローラ（13）を固定軸（15）に対して回転自在に
支持する構造であっても、ベルト（２）とローラ（３）
との接触部分にＰＴＦＥ被膜（7'）を形成したり、ある
いは、軸受部（16）をステンレス鋼製の転がり軸受と
し、且つ軸受内の少なくとも転がり摩擦又は滑り摩擦を
生ずる表面に上記ＰＴＦＥ被膜（７）を形成してもよ
い。
【００２６】
【発明の効果】上述のように、ローラを自己潤滑性を有
する樹脂材料で形成すれば、ローラと固定軸との間の潤
滑が十分になされるので、従来装置に比べて耐久性を向
上させることができる。
する樹脂材料で形成すれば、ローラと固定軸との間の潤
滑が十分になされるので、従来装置に比べて耐久性を向
上させることができる。
【００２７】樹脂材料をポリイミド樹脂又はコプナ樹脂
で形成すれば、これらの優れた耐薬品性、低発麈性か
ら、さらなる耐久性向上を図ることができる。
で形成すれば、これらの優れた耐薬品性、低発麈性か
ら、さらなる耐久性向上を図ることができる。
【００２８】軸受部を、ローラの内径面を固定軸の外径
面に接触させた滑り軸受とすれば、転がり軸受を使用す
る場合に比べて、ローラと軸受部を一体構造とすること
ができ、構造の簡略化を図ることができる。
面に接触させた滑り軸受とすれば、転がり軸受を使用す
る場合に比べて、ローラと軸受部を一体構造とすること
ができ、構造の簡略化を図ることができる。
【００２９】ベルトの少なくともローラと接触する部分
と、ローラの少なくともベルトと接触する部分との何れ
か一方、又は双方に、結晶性のＰＴＦＥ被膜を形成すれ
ば、ＰＴＦＥ被膜が、潤滑作用をなすと同時に、反応性
ガスから母材表面を保護する作用をなすので、ローラと
ベルトとの接触部分からの発麈を抑制しつつ、この部分
の耐久性向上を図ることができる。
と、ローラの少なくともベルトと接触する部分との何れ
か一方、又は双方に、結晶性のＰＴＦＥ被膜を形成すれ
ば、ＰＴＦＥ被膜が、潤滑作用をなすと同時に、反応性
ガスから母材表面を保護する作用をなすので、ローラと
ベルトとの接触部分からの発麈を抑制しつつ、この部分
の耐久性向上を図ることができる。
【００３０】ローラの内径面、および固定軸の外径面の
うち、少なくとも一方に結晶性のＰＴＦＥ被膜を形成す
れば、滑り軸受部からの発麈を抑制しつつ、当該軸受部
の耐久性を向上させることができる。
うち、少なくとも一方に結晶性のＰＴＦＥ被膜を形成す
れば、滑り軸受部からの発麈を抑制しつつ、当該軸受部
の耐久性を向上させることができる。
【００３１】軸受部を、少なくとも内・外輪、転動体、
および保持器をステンレス鋼で形成した転がり軸受と
し、且つこの転がり軸受の少なくとも転がり摩擦又は滑
り摩擦を生ずる表面に、結晶性のＰＴＦＥ被膜を形成す
れば、回転トルクの増大を回避しつつ、発麈の抑制、お
よび耐久性の向上を図ることができる。
および保持器をステンレス鋼で形成した転がり軸受と
し、且つこの転がり軸受の少なくとも転がり摩擦又は滑
り摩擦を生ずる表面に、結晶性のＰＴＦＥ被膜を形成す
れば、回転トルクの増大を回避しつつ、発麈の抑制、お
よび耐久性の向上を図ることができる。
【図１】本発明の第１の実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態を示す断面図である。
【図３】従来の搬送装置の側面図である。
【図４】図３に示す搬送装置の搬送方向と直交する方向
における断面図である。
における断面図である。
【図５】図４に示す搬送装置の拡大断面図である。
１ 搬送物 ２ ベルト ３ ローラ ４ ベース ５ 固定軸 ６ 軸受部 ７ ＰＴＦＥ被膜
Claims (8)
- 【請求項１】 搬送物を搬送するベルトと、ベルトと接
触してこれを走行可能に支持するローラと、ローラを固
定軸に対して回転自在に支持する軸受部とを具備するも
のであって、 ローラが自己潤滑性を有する樹脂材料で形成されたベル
ト搬送装置。 - 【請求項２】 樹脂材料がポリイミド樹脂又はコプナ樹
脂である請求項１記載のベルト搬送装置。 - 【請求項３】 軸受部が、ローラの内径面を固定軸の外
径面に接触させた滑り軸受である請求項１記載のベルト
搬送装置。 - 【請求項４】 ベルトの少なくともローラと接触する部
分と、ローラの少なくともベルトと接触する部分との何
れか一方、又は双方に、結晶性のポリテトラフルオロエ
チレン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成した請求項１記
載のベルト搬送装置。 - 【請求項５】 ローラの内径面、および固定軸の外径面
のうち、少なくとも一方に結晶性のポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成した請求項３
記載のベルト搬送装置。 - 【請求項６】 軸受部が、少なくとも内・外輪、転動
体、および保持器をステンレス鋼で形成した転がり軸受
であり、且つこの転がり軸受の少なくとも転がり摩擦又
は滑り摩擦を生ずる表面に、結晶性のポリテトラフルオ
ロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる被膜を形成した請求項
１記載のベルト搬送装置。 - 【請求項７】 搬送物を搬送するベルトと、ベルトと接
触してこれを走行可能に支持する金属製のローラと、ロ
ーラを固定軸に対して回転自在に支持する軸受部とを具
備するものであって、 ベルトの少なくともローラと接触する部分と、ローラの
少なくともベルトと接触する部分との何れか一方、又は
双方に、結晶性のポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）からなる被膜を形成したベルト搬送装置。 - 【請求項８】 搬送物を搬送するベルトと、ベルトと接
触してこれを走行可能に支持する金属製のローラと、ロ
ーラを固定軸に対して回転自在に支持する軸受部とを具
備するものであって、 軸受部が、少なくとも内・外輪、転動体、および保持器
をステンレス鋼で形成した転がり軸受であり、且つこの
転がり軸受の少なくとも転がり摩擦又は滑り摩擦を生ず
る表面に、結晶性のポリテトラフルオロエチレン（ＰＴ
ＦＥ）からなる被膜を形成したベルト搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27934196A JPH10120140A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | ベルト搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27934196A JPH10120140A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | ベルト搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10120140A true JPH10120140A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17609833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27934196A Withdrawn JPH10120140A (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | ベルト搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10120140A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200448705Y1 (ko) | 2007-12-31 | 2010-05-07 | 현대하이스코 주식회사 | 컨베이어벨트 장치 |
| US8182155B2 (en) * | 2005-09-02 | 2012-05-22 | Ntn Corporation | Lubricating grease and lubricating grease-enclosed roller bearing |
| CN102910430A (zh) * | 2012-10-29 | 2013-02-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于载送玻璃基板的滚轮结构 |
-
1996
- 1996-10-22 JP JP27934196A patent/JPH10120140A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8182155B2 (en) * | 2005-09-02 | 2012-05-22 | Ntn Corporation | Lubricating grease and lubricating grease-enclosed roller bearing |
| KR200448705Y1 (ko) | 2007-12-31 | 2010-05-07 | 현대하이스코 주식회사 | 컨베이어벨트 장치 |
| CN102910430A (zh) * | 2012-10-29 | 2013-02-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于载送玻璃基板的滚轮结构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040106 |