JPH10122117A - 水力機械 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】流体内に土砂などを含む条件下でも使用可能
な、耐摩耗性と耐食性に優れた水力機械及びその製造方
法を提供する。 【解決手段】水力機械の流体と接する面にクロム炭化
物、タングステン炭化物、ニッケル、クロム、コバルト
からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む第１皮膜
と、硬質ゴム、エポキシ、ポリエチレン、ポリエステル
からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む第２皮膜
とを被覆する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は耐摩耗性、耐食性に
優れた水力機械の部品を備えた水力機械、その部品及び
その製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】流路を流れる流体を動作流体とする水力
機械には、たとえば水の位置エネルギを動力源として回
転するランナを備えた発電用水車、インペラの回転によ
り流体に運動エネルギを与えるポンプなどがある。近
年、このような水力機械は、流体内に固形物、例えば土
砂などを含む条件下での使用が増えている。このような
条件下で運転される水力機械の各種部品、たとえばポン
プのインペラ、ケーシング、水車のランナ、ケーシン
グ、ガイドベーンなどは、固形物の衝突による摩耗（以
下、土砂摩耗という）とキャビテーション壊食とが複合
した損傷が発生する。そのため、例えば特開平３−４７
４７７号公報には損傷発生部にゴム等の樹脂ライニン
グ、もしくはセラミックス等の高硬度材料を溶射するこ
とが開示されている。

【０００３】上記各種部材は、鋳造、若しくは製缶によ
って製作される。一般に３次元形状であるインペラ、ラ
ンナは鋳造によって製作されることが多い。しかし、発
電用水車インペラのような大型インペラでは、溶接によ
って組み立てる製造方法が一部用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】先に示したように、水
力機械を流体内に土砂などを含む条件下で使用する場
合、土砂摩耗とキャビテーション壊食とによる損傷防止
のため、各種部材には高硬度材料の被覆が必要である。
しかしながら、三次元形状であるインペラ、ランナ、ケ
ーシング等は高硬度材料の被覆は容易ではない。

【０００５】メッキ法は複雑形状物にも容易に被覆でき
る方法であるが、本例に適用する場合、次の課題があ
る。すなわち、クロムメッキ（以下、Ｃｒメッキと表記
する）は最も広く用いられている電解メッキであり、皮
膜硬さはメッキ膜中では最高に属し、ビッカース硬さ
（以下、Ｈｖと表記する）が約１０００である。しかし
電解メッキであるため、形状による電解集中が生じ膜厚
を均一とすることが困難である。また、メッキでは皮膜
内の歪のため厚膜形成が難しく、土砂摩耗とキャビテー
ション壊食に十分な膜厚の皮膜形成が困難である。ニッ
ケル−リンメッキ（以下、Ｎｉ−Ｐメッキと表記する）
は無電解メッキであり、形状にとらわれず均一な膜厚の
皮膜を形成できる。しかしながら、皮膜硬さは最高でも
Ｈｖ７００〜８００程度であり、土砂摩耗とキャビテー
ション壊食に対して十分な耐摩耗性を有していない。ま
たＣｒメッキと同様に、皮膜内の歪のため厚膜形成が難
しく、土砂摩耗とキャビテーション壊食に十分な膜厚の
皮膜形成が困難である。さらに、Ｃｒメッキ、Ｎｉ−Ｐ
メッキ共に浴槽に浸せきするため、水車、ポンプの部材
のような大型部品への適用は設備上実用的ではない。

【０００６】溶射法によって形成する硬質被膜は、土砂
摩耗とキャビテーション壊食に対して十分な耐摩耗性を
有し、且つ溶射法は十分な厚みの皮膜を容易に被覆する
ことが出来る。しかしながら、溶射法を用いた場合には
次の課題がある。すなわち、良好な溶射皮膜を形成する
ためにはガンと部材との間隔に適切な距離が必要であ
り、さらに溶射ガンの寸法の制限から、比較的広いスペ
ースを必要とする。したがって、三次元形状であり、狭
いスペースを有する部材には、全ての領域において十分
な硬さと密着力を有する良好な皮膜を被覆することは困
難である。例えば、インペラ、ランナの場合、羽根の先
端のような溶射の容易な場所では良好な皮膜を形成する
ことが出来るが、羽根付け根のような流路内部では、ス
ペースが狭いため良好な皮膜の形成が困難である。流路
内部は羽根先端に比較し流体速度は低いが、それでも土
砂摩耗が生じ、土砂摩耗対策なしには十分な寿命が得る
ことが出来ない。

【０００７】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものであり、本発明の目的は流体内に土砂などを含む
条件下でも使用可能な、耐摩耗性と耐食性に優れた水力
機械を提供することにある。◆本発明の別の目的は流体
内に土砂などを含む条件下でも使用可能な、耐摩耗性と
耐食性に優れた信頼性高い水力機械用部品を提供するこ
とにある。◆本発明のさらに別の目的は流体内に土砂な
どを含む条件下でも使用可能な、耐摩耗性と耐食性に優
れた水力機械を安価に製造する方法を提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、内部に流体の流路を有するケーシングと、このケー
シング内に配設されており前記流路内の流体と共に回転
する回転体とを備えた水力機械において、次のいずれか
の構成を備える。

【０００９】（Ａ） 前記水力機械用部品の表面の少な
くとも一部に、クロム炭化物、タングステン炭化物、ニ
ッケル（以下、Ｎｉと表記する）、クロム（以下、Ｃｒ
と表記する）、コバルト（以下、Ｃｏと表記する）から
なる群から選ばれる少なくとも１種を含む第１皮膜と、
硬質ゴム、エポキシ、ポリエチレン、ポリエステルから
なる群から選ばれる少なくとも１種を含む第２皮膜とが
被覆されていること。◆ （Ｂ） （Ａ）において、前記第１被膜の上に前記第２
被膜が被覆された領域を有すること。◆ （Ｃ） （Ａ）または（Ｂ）において、前記第２皮膜が
流体と接する全面に被覆されていること。◆ （Ｄ） （Ａ）乃至（Ｃ）のいずれか１つにおいて、前
記第１皮膜がクロム炭化物、若しくはタングステン炭化
物を５０重量％から９０重量％含む皮膜、望ましくは７
０重量％から９０重量％含む皮膜とする。◆ （Ｅ） （Ａ）乃至（Ｄ）のいずれか１つにおいて、前
記第１皮膜の膜厚を０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下、硬
質ゴム、エポキシ、ポリエチレン、ポリエステルの内の
少なくとも１種類を含む樹脂から構成される皮膜の膜厚
を１ｍｍ以上３ｍｍ以下とする。◆ （Ｆ） （Ａ）乃至（Ｆ）のいずれか１つにおいて、前
記第２皮膜の内部に、鉄、銅、ステンレス等の金属粉、
或いは酸化アルミ、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸
化クロム、酸化珪素、炭化クロム、炭化タングステン、
炭化珪素、窒化珪素等のセラミック粒子を分散する。

【００１０】上記課題を解決するため、水力機械を次の
いずれかの工程を有する製造方法で製造する。

【００１１】（Ｇ） 用いる部材の表面の少なくとも一
部に、クロム炭化物、タングステン炭化物、ニッケル、
クロム、コバルトからなる群から選ばれる少なくとも１
種を含む第１皮膜を被覆し、次いで、硬質ゴム、エポキ
シ、ポリエチレン、ポリエステルからなる群から選ばれ
る少なくとも１種を含む第２皮膜を被覆する。◆ （Ｈ） （Ｇ）において、前記第１被膜を被覆後、３５
０℃以上、６５０℃以下、望ましくは４００℃以上、６
５０℃以下の温度で１時間以上３０時間以下加熱し、次
いで第２被膜を被覆する。◆ （Ｉ） （Ｇ）または（Ｈ）において、第２被膜の少な
くとも一部を第１被膜の上に重ねて被覆する。◆ （Ｊ） （Ｇ）または（Ｉ）において、第１被膜の被覆
方法として溶射法、望ましくは高速フレーム溶射法を用
いる。

【００１２】そして、上記の構成により以下の効果が生
じる。◆クロム炭化物、タングステン炭化物、Ｎｉ、Ｃ
ｒ、Ｃｏからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む
第１皮膜は被膜硬さが高いので、前記水力機械用部品の
表面の少なくとも一部に第１皮膜を被覆することにより
土砂摩耗とキャビテーション壊食に対して耐摩耗性を発
揮することが出来る。特にクロム炭化物としてＣｒ₃Ｃ₂
を用い、タングステン炭化物としてＷＣを用いる皮膜
は、その皮膜硬さがＨｖ１０００以上であり且つ優れた
耐食性を有する。土砂などを構成する主な物質は長石と
石英であり、その最高硬さは石英のＨｖ１０００であ
る。土砂摩耗は衝突粒子の硬さを超えると急激に耐摩耗
性が向上するため、皮膜硬さがＨｖ１０００以上である
上記皮膜をインペラの表面の少なくとも一部に被覆する
ことによって、土砂摩耗とキャビテーション壊食に対し
て十分な耐摩耗性を発揮することが出来る。

【００１３】第１皮膜を、Ｃｒ₃Ｃ₂若しくはＷＣを５０
重量％から９０重量％、望ましくは７０重量％から９０
重量％含む皮膜とすることによって土砂摩耗に対し優れ
た耐食性と耐摩耗性を有する。すなわち、クロム炭化物
若しくはタングステン炭化物、及びＮｉ，Ｃｒ，Ｃｏの
内の少なくとも１種類を含む金属とから構成される皮膜
はＣｒ₃Ｃ₂，ＷＣの量によって皮膜硬さが変化する。Ｃ
ｒ₃Ｃ₂，ＷＣの量を増せば皮膜硬さは増すが、皮膜の靭
性が失われ脆性となり、皮膜破壊、剥離等が生じやすく
信頼性が低下する。Ｃｒ₃Ｃ₂，ＷＣの量が５０重量％か
ら９０重量％範囲であれば，土砂摩耗に対して十分な皮
膜硬さを有し、且つ靭性を保つことが出来る。また、こ
の範囲であれば皮膜硬さとしてＨｖ１０００以上を得る
ことが可能であり、土砂摩耗に対し優れた耐食性と耐摩
耗性を有する。但し、土砂濃度が高い場合はＣｒ₃Ｃ₂，
ＷＣの量を高め、皮膜硬さを高める必要がある。この場
合、Ｃｒ₃Ｃ₂，ＷＣの量は７０重量％から９０重量％が
望ましい。

【００１４】上記第１皮膜の膜厚を０．１ｍｍ以上１．
０ｍｍ以下とすることによってインペラの土砂摩耗とキ
ャビテーション壊食に対して十分な寿命を保証でき、且
つ生産性、省エネルギの点で良好となる。すなわち、溶
射膜には微細なボイドが多数存在するため、優れた耐食
性と耐摩耗性を示すには皮膜厚さとしては０．１ｍｍ以
上を必要とする。一方、溶射膜は膜厚が増すと皮膜内部
の歪が増すため密着力が低下する。密着力の点からは、
この溶射膜は膜厚１．０ｍｍ以下とする必要がある。ま
た、この皮膜の耐摩耗性を考慮すると１．０ｍｍの膜厚
があれば十分な寿命が予想され、作業の軽減、省エネル
ギの点でも１．０ｍｍ以下とすることが望ましい。以上
の点から膜厚を０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下とすれ
ば、インペラの土砂摩耗とキャビテーション壊食に対し
て十分な寿命を保証でき、且つ生産性、省エネルギの点
で良好となる。

【００１５】皮膜被覆法として溶射を用いることにより
土砂摩耗とキャビテーション壊食に対して十分な寿命を
保証できる厚みの皮膜を容易に被覆することが出来る。
すなわち、皮膜被覆法として溶射を用いるとＮｉ，Ｃ
ｒ，Ｃｏとクロム炭化物とから構成される皮膜では０．
１ｍｍから１ｍｍまでの膜厚、Ｎｉ，Ｃｒ，Ｃｏとタン
グステン炭化物とから構成される皮膜では０．１ｍｍか
ら０．５ｍｍまでの膜厚が形成可能である。したがっ
て、溶射で皮膜を形成すれば、土砂摩耗とキャビテーシ
ョン壊食に対して十分な寿命を保証できる厚みの皮膜を
容易に被覆することができる。

【００１６】第１皮膜を被覆した後、３５０℃以上、６
５０℃以下、望ましくは４００℃以上、６５０℃以下の
温度で少なくとも１時間以上３０時間以下加熱すること
によって、クロム炭化物若しくはタングステン炭化物、
及びＮｉ，Ｃｒ，Ｃｏとから構成される皮膜内部におい
て、Ｎｉ，Ｃｒ，Ｃｏの金属相とクロム炭化物粒子若し
くはタングステン炭化物粒子との密着力が増すため、皮
膜の硬さが増加し、土砂摩耗とキャビテーション壊食に
対する耐摩耗性が増す。さらに、皮膜と母材との界面に
おいて密着力が増し、皮膜剥離が抑制される。したがっ
て、何らかの衝撃によって皮膜に亀裂が発生しても、皮
膜の剥離、脱落が抑制され信頼性が増す。加熱温度は高
いほど、皮膜内のＮｉ，Ｃｒ，Ｃｏ金属相とクロム炭化
物粒子若しくはタングステン炭化物粒子との密着力増
加、皮膜と母材との界面における密着力増加は早く進む
が、皮膜と母材との熱膨張率差によって熱歪が生じる。
熱歪による皮膜への影響を考慮すると６５０℃以下が望
ましい。また、皮膜の改良速度を考慮すると、３５０℃
が限界であり、これ以下では時間がかかり工業的利用が
困難となる。実用性を考慮すれば４００℃以上、６５０
℃以下の温度範囲が望ましい。３５０℃以上、６５０℃
以下の温度範囲で検討すれば、３５０℃では２０時間を
必要し、６５０℃であれば最低１時間で加熱の効果が生
じる。４００℃以上、６５０℃以下の温度範囲で検討す
れば、３０時間でその効果は収束する、したがって、効
果と省エネルギの点を考慮すれば１時間以上３０時間以
下の加熱時間が望ましい。

【００１７】第１被膜の被覆方法として溶射、特に高速
フレーム溶射を用いると三次元形状部材に対して均一が
緻密な皮膜が形成できる。溶射には各種方法があり、そ
れぞれの長所短所に応じた適用が行われている。最も緻
密な皮膜を形成できる溶射法は減圧中でプラズマ溶射法
を行う減圧溶射法である。しかし、減圧溶射法では施工
部材を真空容器中にいれて被覆処理せねばならず、本例
のような大型部材への適用は実用的でない。緻密な皮膜
を被覆できる他の方法として、爆発溶射法と高速フレー
ム溶射がある。爆発溶射法は一度の被覆面積が広いた
め、大型平面部材への被覆には適するが、溶射ガン、設
備が大きく、ランナやインペラのような三次元形状部材
に対して均一に被覆することは困難である。高速フレー
ム溶射は緻密な皮膜が形成でき、且つガンが比較的小さ
く、三次元形状部材に対して均一が緻密な皮膜が形成で
きる。

【００１８】第１皮膜を被覆したインペラの表面に、硬
質ゴム、エポキシ、ポリエチレン、ポリエステルからな
る群から選ばれる少なくとも１種を含む第２皮膜を被覆
すると部材全体の耐土砂摩耗性、耐キャビテーション性
が大幅に改善される。前述のごとく、高速フレーム溶射
はガンが比較的小さく、三次元形状部材に対して均一が
緻密な皮膜が形成できる溶射法であるが、それでもポン
プのインペラの流路内部のような箇所に良好な皮膜を形
成することは困難である。しかし、硬質ゴム、エポキ
シ、ポリエチレン、ポリエステルからなる群から選ばれ
る少なくとも１種を含む第２皮膜は、クロム炭化物、タ
ングステン炭化物、ニッケル、クロム、コバルトからな
る群から選ばれる少なくとも１種を含む第１皮膜に比較
すれば耐土砂摩耗性、耐キャビテーション性には劣るも
のの、施工法を適切に選定すればインペラの流路内部の
ような箇所にも良好な皮膜を被覆することができる。従
って、クロム炭化物若しくはタングステン炭化物、及び
Ｎｉ，Ｃｒ，Ｃｏのから構成される皮膜を溶射によって
被覆し、さらに同皮膜の被覆が困難な流路内部のような
箇所に硬質ゴム、エポキシ、ポリエチレン、ポリエステ
ルの内の少なくとも１種類を含む樹脂から構成される皮
膜を被覆すれば、部材全体の耐土砂摩耗性、耐キャビテ
ーション性が大幅に改善される。

【００１９】第１皮膜を被覆したインペラの表面に、第
２皮膜を被覆する際、少なくとも一部で被覆済の皮膜に
重ねることによって母材が継ぎ目なしに被覆されるた
め、土砂摩耗とキャビテーション壊食に対しての耐摩耗
性、信頼性が増す。皮膜の破壊、剥離は皮膜端部から生
じやすい。したがって、クロム炭化物若しくはタングス
テン炭化物、及びＮｉ，Ｃｒ，Ｃｏの内の少なくとも１
種類を含む金属とから構成される皮膜に、硬質ゴム、エ
ポキシ、ポリエチレン、ポリエステル等の樹脂から構成
される皮膜一部重ねて被覆することによって、母材が継
ぎ目なしに被覆されるため、土砂摩耗とキャビテーショ
ン壊食に対しての耐摩耗性、信頼性が増す。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
示した実施例を参照して説明する。◆

【００２１】

【実施例】

〔実施例１〕図１は、本発明の第１実施例を示す横軸ポ
ンプ１の概略断面図である。インペラ２は軸受３で両端
を支持された軸４に固定され、軸４の一端に連結された
駆動機（図示せず）によって回転し、インペラ両端から
吸い込んだ水をケーシング５から排出する機構である。

【００２２】本発明を適用した部品は、インペラ２とケ
ーシング５である。インペラ２を例に取り、詳細を以下
説明する。図２にインペラ２の概略外観を示す。内部構
造を明確にするため、一部を分割表示している。インペ
ラ２は軸４と嵌合するボス２１、そのボス２１を取り囲
むシュラウド２２、ボス２１とシュラウド２２と連結す
る羽根２３からなる。ボス２１とシュラウド２２のすき
間が流路となり、両側の吸い込み口２４から流入した水
は、回転するインペラ２によって加速され、吐き出し口
２５から吐き出され、ケーシング５内の流路を通りポン
プから吐き出される。

【００２３】インペラ２に流入する流水に多数の土砂が
含まれる場合、土砂粒子の衝突によって土砂摩耗が発生
する。この土砂摩耗を防ぐため、インペラ２には流水速
度の速い箇所、粒子衝突頻度の高い箇所、すなわちに羽
根２３とシュラウド２２の一部に、膜厚０．４ｍｍから
０．６ｍｍのＣｒ₃Ｃ₂−１６重量％Ｎｉ−４重量％Ｃｒ
溶射膜（以後、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜と表記
する）を被覆しており、さらに軸４との嵌合部分を除く
インペラ２の全面に膜厚１ｍｍから２ｍｍのエポキシ樹
脂皮膜を被覆している。エポキシ樹脂皮膜の内部には、
酸化アルミ粒子が分散されており、その分量は本実施例
では５０重量％である。エポキシ樹脂皮膜はＣｒ₃Ｃ₂−
２０％ＮｉＣｒ溶射膜を被覆した箇所にも、その上層に
被覆されており、その重なり箇所では下層にＣｒ₃Ｃ₂−
２０％ＮｉＣｒ溶射膜８、上層にエポキシ樹脂皮膜の２
層構造となっている。

【００２４】図３に、図２のインペラ２のＡ−Ａ縦断面
をａ方向から見た縦断面を示す。本図では断面以外にＣ
ｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜８を被覆した箇所にハッ
チングを施す。Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜８の被
覆箇所は、吸い込み口２４、吐き出し口２５近傍であ
り、溶射施工が容易な箇所である。

【００２５】図４に、図２のインペラ２のｂ方向から見
た外観図を示す。但し、内部構造を明確にするため、右
半分のシュラウド２２を省略してある。図４でも図３と
同様に、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜８を被覆した
箇所にハッチングを施す。

【００２６】図５に、図４のインペラ２のＢ−Ｂ縦断面
をｃ方向から見た拡大の縦断面の一部を示すを示す。シ
ュラウド２２と羽根２４の一部にＣｒ₃Ｃ₂−２０％Ｎｉ
Ｃｒ溶射膜８が被覆され、さらに全面にエポキシ樹脂皮
膜９が被覆されている。 Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶
射膜８とエポキシ樹脂皮膜９は重なり、下層がＣｒ₃Ｃ₂
−２０％ＮｉＣｒ溶射膜８となる。

【００２７】図６に、吐き出し口２５の正面部分のケー
シング５の縦断面拡大図を示す。吐き出し口２５の正面
部分５１は、流速が早く、粒子衝突頻度が大きいために
土砂摩耗が生じやすい。そこで、吐き出し口２５からの
流水が直接衝突する箇所にＣｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶
射膜８が被覆され、さらに内面の全面にエポキシ樹脂皮
膜９が被覆されている。２分割化できるケーシング５
は、分割面から垂直となる吐き出し口２５の正面部分５
１は溶射が可能であるが、他の部分は十分なスペースが
とれず、良好な溶射皮膜を被覆することが困難である。
そこで、インペラ２と同様に、エポキシ樹脂皮膜９を被
覆している。

【００２８】次に、本発明の製造方法に関する一実施例
をインペラ２を例にとり、図７によって説明する。イン
ペラ２は鋳造によって製作した。材料は１３％Ｃｒ鋳鋼
である。鋳造後、歪取り焼鈍を行い、その後切削によっ
て所定寸法に仕上げる。次いで、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％Ｎｉ
Ｃｒ溶射膜８を被覆する箇所に前処理を施す。まず、洗
浄によって油脂を除去し、その後アルミナ粉を用いたサ
ンドブラスト処理によって表面を適度な表面粗さとし、
且つ酸化膜等の除去によって新生面をもうける。その
後、所定箇所に高速フレーム溶射法によってＣｒ₃Ｃ₂−
２０％ＮｉＣｒ溶射膜８を被覆する。本実施例では、組
成Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒの焼結体を粉砕、分級した
溶射粉を用いた。なお、高速フレーム溶射は、各種ある
溶射法に中で緻密な皮膜が形成でき、且つ溶射ガンが比
較的小さく、比較的狭スペースを有する部材に対して均
一が緻密な皮膜が形成できるため、インペラのような三
次元形状部材への被覆には最も適した溶射法である。

【００２９】次に、インペラを炉中に設置し、１時間以
上、３０時間以下の間、３５０℃以上、６５０℃以下、
望ましくは４００℃以上、６５０℃以下の温度範囲で保
持する加熱処理を施す。本実施例では、５５０℃で約１
５時間保持し、その後は炉中で冷却した。インペラは大
型部品であるため急激な昇温、冷却は困難であり、また
皮膜の熱歪の点からも適切でない。そのため、インペラ
は炉中で１５ｈ、５５０℃に保持し、その後炉中で緩や
かに冷却した。

【００３０】この温度の加熱によって、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０
％ＮｉＣｒ溶射膜８おいてＮｉ，ＣｒとＣｒ₃Ｃ₂粒子と
の密着力が増すため、皮膜の硬さが増加し、土砂摩耗と
キャビテーション壊食に対する耐摩耗性が増す。さら
に、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜８と母材との界面
において密着力が増し、皮膜剥離が抑制される。したが
って、何らかの衝撃によって皮膜に亀裂が発生しても、
皮膜の剥離、脱落が抑制され信頼性が増す。なお、この
現象はＣｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜に限らず、ばＷ
Ｃ−ＮｉＣｒ皮膜、ＷＣ−Ｃｏ皮膜でも同様である。

【００３１】加熱温度は高いほど、溶接部の残留歪の解
放、皮膜内のＮｉ，Ｃｒの金属相とＣｒ₃Ｃ₂粒子との密
着力増加、皮膜と母材との界面における密着力増加は早
く進むが、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜８と母材１
３Ｃｒ鋼との熱膨張率差によって熱歪が生じる。熱歪に
よる皮膜への影響を考慮すると６５０℃以下が望まし
い。また、溶射膜の改良速度を考慮すると、３５０℃が
限界であり、これ以下では時間がかかり工業的利用が困
難となる。実用性を考慮すれば４００℃以上、６５０℃
以下の温度範囲が望ましい。３５０℃以上、６５０℃以
下の温度範囲で検討すれば、３５０℃では２０時間を必
要し、６５０℃であれば最低１時間で加熱の効果が生じ
る。４００℃以上、６５０℃以下の温度範囲で検討すれ
ば、３０時間でその効果は収束する、したがって、効果
と省エネルギの点を考慮すれば１時間以上３０時間以下
の加熱時間が望ましい。なお、この条件はＣｒ₃Ｃ₂−２
０％ＮｉＣｒ溶射膜に限らず、ＷＣ量が５０重量％から
９０重量％範囲であればＷＣ−ＮｉＣｒ皮膜、ＷＣ−Ｃ
ｏ皮膜でも同様である。

【００３２】十分な冷却後、軸４との勘合面をのぞくイ
ンペラ２の全面にエポキシ樹脂皮膜９を被覆する。本実
施例ではビス型エポキシに粒径１０〜４０μｍの酸化ア
ルミ粒子を５０重量％、硬化剤を１０重量％混練した溶
剤を用いた。この溶剤を軸４との勘合面をのぞくインペ
ラ２の全面に塗布し、所定条件で加熱硬化させ、焼き付
ける。

【００３３】〔実施例２〕図８は本発明の第２実施例を
示す水車６の概略外観図であり、内部構造を明確にする
ため一部を分割表示している。図８において、４１は
軸、７はランナ、１０はガイドベーン、１１は上ランナ
カバー、１２は下ランナカバー、１３は軸受である。ガ
イドベーン１０から軸４１に固定されたランナ７内に水
が流れ込み、水の運動エネルギによってランナ７、軸４
１を回転させ、軸４１の一端に連結された発電機（図示
せず）を回転させて発電する機構である。

【００３４】本発明を適用した部品は、ランナ７、ガイ
ドベーン１０、上ランナカバー１１、下ランナカバー１
２である。ランナ７に流入する流水に多数の土砂が含ま
れる場合、ランナ７、ガイドベーン１０、上下ランナカ
バー１１、１２は、土砂粒子の衝突によって土砂摩耗が
発生する。この土砂摩耗を防ぐため、ランナ７、ガイド
ベーン１０、上下ランナカバー１１、１２には、土砂摩
耗の発生が予想される流水速度の速い箇所、粒子衝突頻
度の高い箇所にＣｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ被膜が被覆さ
れ、他の部分には５０重量％の酸化アルミ粒子が分散さ
れたエポキシ樹脂皮膜が被覆されている。Ｃｒ₃Ｃ₂−２
０％ＮｉＣｒ皮膜とエポキシ樹脂皮膜とは重なり、下層
にＣｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜、上層にエポキシ樹脂
皮膜の構造となっている。

【００３５】ランナ７、ガイドベーン１０を例に取り、
詳細を以下説明する。◆図９はランナ７の概略斜視図で
ある。図９において７１はクラウン、７２はバンド、７
３は羽根であり、クラウン７１と羽根７３、バンド７２
と羽根７３は溶接によって接合され、ランナ７を形成し
ている。図１０はクラウン７１と羽根７３との溶接部の
拡大断面図である。なお、図１０では煩雑さをさけるた
めクラウン７１、羽根７３の断面ハッチングを区別せ
ず、さらに溶接部のハッチングをしていない。

【００３６】羽根７３は流水部の流速が早く且つ粒子衝
突頻度も高いことから全面に、クラウン７１、バンド７
２は内面に、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜８が被覆さ
れている。エポキシ樹脂皮膜９はランナ７全面に被覆し
ており、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜８被覆箇所も上
塗りしてある。流速の早いランナ内面は全てをＣｒ₃Ｃ₂
−２０％ＮｉＣｒ皮膜８によって被覆することが望まし
いが、クラウン７１と羽根７３、バンド７２と羽根７３
は溶接によってランナ７を形成しているため、溶接部に
事前に溶射皮膜を被覆しておくことはできない。従っ
て、溶接部は溶接後、エポキシ樹脂皮膜９を被覆し、土
砂摩耗の損傷を防ぐ構造としている。

【００３７】次に、本発明の製造方法の一例をランナ７
を例にとり、図１１によって説明する。図１１は、本発
明の一実施例である水車ランナ７の製造方法を示す工程
図である。まず、クラウン７１、バンド７２、羽根７３
を個々に製作する。次に、個々に製作されたクラウン７
１、バンド７２、羽根７３に、高速フレーム溶射法によ
ってＣｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜を被覆する。Ｃｒ₃
Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜を被覆する際、溶接部となる
箇所はＣｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜の膜厚よりも厚
い、望ましくは２倍以上の厚みを有する金属板を張り付
け、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜の被覆を防ぐ。皮膜
の膜厚より２倍以上の厚みを有する金属板であれば、高
速フレーム溶射法における高速ガスに対しても十分な強
度、耐熱性を有するため、破断飛散が防げる。また皮膜
の膜厚より２倍以上の厚みであれば、マスキング部と被
覆部の皮膜が連続する事はなく、良好な皮膜端部が形成
できる。

【００３８】次に、クラウン７１と羽根７３、バンド７
２と羽根７３を溶接し、ランナ７を形成する。溶接後、
溶接部をグラインダによって適切なＲ形状に加工し、稼
働時の応力集中を防ぐ。次に、ランナ７を炉中に設置
し、１時間以上、３０時間以下の間、３５０℃以上、６
５０℃以下、望ましくは４００℃以上、６５０℃以下の
温度範囲で保持するＳＲ処理を施す。本実施例では、５
５０℃で約１５時間保持し、その後は炉中で冷却した。
なお、１５時間は５５０℃における保持時間である。５
５０℃加熱では、約５時間以上の保持で皮膜硬さが増
し、約１０時間以上の保持で密着力の著しい改善が図ら
れる。ランナは大型部品であるため急激な昇温、冷却は
困難であり、また皮膜の熱歪の点からも適切でない。ラ
ンナは炉中で１５時間、５５０℃に保持し、その後炉中
で緩やかに冷却したものである。十分な冷却後、Ｒ形状
に加工した溶接部の酸化膜を再びグラインダで削除す
る。

【００３９】その後、軸４１との嵌合面を除くランナ７
の全面にエポキシ樹脂皮膜を被覆する。本実施例ではビ
ス型エポキシに粒径１０〜４０μｍの酸化アルミ粒子を
５０重量％、硬化剤を１０重量％混練した溶剤を用い
た。この溶剤を軸４１との嵌合面を除くランナ７の全面
に塗布し、所定条件で加熱硬化させ焼き付ける。

【００４０】次に、本発明の他の適用部品であるガイド
ベーン１０の説明をする。図１２はガイドベーン１０の
外観図である。ガイドベーン１０は軸部１０１と羽根部
１０２とからなる。本図では断面以外にＣｒ₃Ｃ₂−２０
％ＮｉＣｒ溶射膜、エポキシ樹脂皮膜を被覆した箇所に
ハッチングを施す。ガイドベーン１０はランナの流入口
の前に位置し、羽根部１０２の角度によってランナへ流
入する良好な水の流れを作る。従って、羽根部１０２は
粒子衝突頻度が高く、土砂摩耗が生じやすく、耐摩耗皮
膜の被覆が不可欠である。そこで、本実施例では羽根部
１０２全面にＣｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜を被覆
し、さらにその上からエポキシ樹脂皮膜を被覆してい
る。

【００４１】〔実施例３〕図１３は、本発明の第３実施
例を示す縦軸ポンプ１５の概略断面図である。羽根１６
が複数支持された軸１７が、その一端に連結された駆動
機（図示せず）によって回転し、吸い込み口１５１から
吸い込んだ水を吐き出し口１５２から排出する機構であ
る。なお、図１３において、１８は軸受、１９は軸封、
２０はケーシングである。

【００４２】本発明を適用した部品は、羽根１６とケー
シング２０の一部である。羽根１６を例に取り、以下説
明する。図１４は羽根１６の概略外観図である。羽根１
６は羽根部１６１と軸部１６２とからなり、軸の端部に
取り付けられる構造である。図１４では断面以外にＣｒ
₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜、エポキシ樹脂皮膜を被覆
した箇所にハッチングを施す。本実施例の縦軸ポンプは
治水用排水ポンプ、発電所の循環水ポンプ等に用いら
れ、黄河、長江等で用いる場合、羽根１６には粒子が激
しく衝突し、土砂摩耗が生じやすい。本実施例では羽根
１６の土砂摩耗を防ぐため、羽根部１６１全面にＣｒ₃
Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射膜を被覆し、さらにその上か
らエポキシ樹脂皮膜を被覆している。羽根１６は通常、
鋳物、若しくは鋳鋼であり、使用時は常時水中に設置さ
れる。鋳物製の場合、 Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ溶射
膜を被覆すると、下地の鉄材量とＣｒ₃Ｃ₂−２０％Ｎｉ
Ｃｒ溶射膜との間で電気腐食を生じる可能性がある。

【００４３】エポキシ樹脂皮膜９は耐摩耗性の向上以外
に、上記電気腐食の防止を兼ね、耐食性の向上に寄与す
る。

【００４４】以下、上記実施例全てに共通する効果、作
用、検討結果を説明する。◆Ｃｒ₃Ｃ₂−ＮｉＣｒ皮膜は
Ｃｒ₃Ｃ₂の量によって皮膜硬さが変化する。Ｃｒ₃Ｃ₂量
を増せば皮膜硬さは増すが、皮膜の靭性が失われ脆性と
なり、皮膜破壊、剥離等が生じやすく信頼性が低下す
る。 Ｃｒ₃Ｃ₂−ＮｉＣｒ皮膜について Ｃｒ₃Ｃ₂の含
有率を検討した結果、５０重量％から９０重量％範囲が
土砂摩耗とキャビテーション壊食に対して良好であるこ
とが判明した。但し、黄河や揚子江、あるいは大雨後の
河川水といった土砂濃度が高い場合はＣｒ₃Ｃ₂の量を高
め、皮膜硬さを高める必要がある。この場合、Ｃｒ₃Ｃ₂
の量が７０重量％から９０重量％が望ましい。また、皮
膜の金属成分については、耐食性，皮膜硬さ、靭性の点
からＮｉ，Ｃｒ，Ｃｏが適している。これらの金属から
の選定、若しくは組み合わせであれば耐食性，硬さ、靭
性が良好である。

【００４５】Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜は、皮膜硬
さが約Ｈｖ１０００であり且つ優れた耐食性を有する。
土砂などを構成する主な物質は長石と石英であり、その
最高硬さは石英のＨｖ１０００である。土砂摩耗は衝突
粒子の硬さを超えると急激に耐摩耗性が向上するため、
皮膜硬さが約Ｈｖ１０００である皮膜を被覆することに
よって、土砂摩耗とキャビテーション壊食に対して十分
な耐摩耗性を発揮することが出来る。

【００４６】溶射膜には微細なボイドが多数存在するた
め、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜８が優れた耐食性と
耐摩耗性を示すには皮膜厚さとしては０．１ｍｍ以上を
必要とする。一方、溶射膜は膜厚が増すと皮膜内部の歪
が増すため密着力が低下する。密着力の点からは、 Ｃ
ｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜は膜厚１．０ｍｍ以下とす
る必要がある。また、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ皮膜８
の耐摩耗性を考慮すると１．０ｍｍの膜厚があれば十分
な寿命が予想され、作業の軽減、省エネルギの点でも
１．０ｍｍ以下とすることが望ましい。

【００４７】本実施例では、溶射膜としてＣｒ₃Ｃ₂−２
０％ＮｉＣｒ皮膜を用いたが、本発明はこの組成に限定
されるものではない。取り扱い水中の土砂濃度が高く、
より高硬度の皮膜を必要とする場合、ＷＣ−ＮｉＣｒ皮
膜、若しくはＷＣ−Ｃｏ皮膜が望ましい。ＷＣ−ＮｉＣ
ｒ皮膜、ＷＣ−Ｃｏ皮膜はＣｒ₃Ｃ₂−ＮｉＣｒ皮膜に比
較し、高度が高く耐土砂摩耗性に優れが、高度が高い分
靭性に欠け、亀裂が生じやすい。従って、石の衝突のよ
うな衝撃が無く、且つ土砂濃度が高い場合最適の皮膜で
ある。

【００４８】ＷＣ−ＮｉＣｒ皮膜、ＷＣ−Ｃｏ皮膜の場
合、Ｃｒ₃Ｃ₂−ＮｉＣｒ皮膜と同様に、ＷＣの量によっ
て皮膜硬さが変化する。ＷＣ量を増せば皮膜硬さは増す
が、皮膜の靭性が失われ脆性となり、皮膜破壊、剥離等
が生じやすく信頼性が低下する。ＷＣ量が５０重量％か
ら９０重量％範囲であれば，土砂摩耗に対して十分な皮
膜硬さを有し、且つ靭性を保つことが出来る。また、こ
の範囲であれば皮膜硬さとしてＨｖ１０００以上を得る
ことが可能であり、土砂摩耗に対し優れた耐食性と耐摩
耗性を有する。

【００４９】ＷＣ−ＮｉＣｒ皮膜、ＷＣ−Ｃｏ皮膜の場
合、Ｃｒ₃Ｃ₂−ＮｉＣｒ皮膜と同様に、膜内に微細なボ
イドが多数存在する。従って優れた耐食性と耐摩耗性を
示すには皮膜厚さとしては０．１ｍｍ以上を必要とす
る。一方、溶射膜は膜厚が増すと皮膜内部の歪が増すた
め密着力が低下する。密着力の点からは、ＷＣ−ＮｉＣ
ｒ皮膜、ＷＣ−Ｃｏ皮膜の場合、膜厚を０．５ｍｍ以下
とする必要がある。また、ＷＣ−ＮｉＣｒ皮膜、ＷＣ−
Ｃｏ皮膜の耐摩耗性を考慮すると０．５ｍｍの膜厚があ
れば十分な寿命が予想され、作業の軽減、省エネルギの
点でも０．５ｍｍ以下とすることが望ましい。

【００５０】上記実施例では、Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣ
ｒ皮膜の上に、さらに膜厚１ｍｍから２ｍｍのエポキシ
樹脂皮膜９を被覆している。Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％ＮｉＣｒ
皮膜を被覆した箇所以外は比較的流速が遅く、且つ土砂
衝突頻度も少ない。しかし、それでも耐土砂摩耗対策を
施さなければ、土砂摩耗とキャビテーション壊食によっ
て摩耗が生じ、著しい性能低下が生じる。さらに、溶射
処理作業のスペースが無い場合、良好な溶射皮膜を被覆
することが出来ない。

【００５１】エポキシ樹脂皮膜は、流速が早い領域では
土砂摩耗、或いはキャビテーション壊食に対しては決し
て十分な耐摩耗性を有しない。しかしながら、樹脂皮膜
内部に酸化アルミ粒子等のセラミック粒子を分散し皮膜
硬さを増せば、比較的流速が遅く、土砂衝突頻度の少な
い箇所であれば、十分な耐摩耗性を発揮する。また溶射
膜と異なり、スペースのない流路内部のような箇所であ
っても容易に良好な皮膜を被覆することができる。ま
た、一般に溶射膜の剥離は皮膜端部から発生する。溶射
膜をエポキシ樹脂皮膜で被覆することによって、溶射膜
端部が樹脂膜下層となり、皮膜端部からの剥離が抑制さ
れ信頼性が向上する。すなわち、前記Ｃｒ₃Ｃ₂−２０％
ＮｉＣｒ溶射膜とエポキシ樹脂皮膜との２層皮膜、及び
単層のエポキシ樹脂皮膜９とを組み合わせることによっ
て、部品全体の耐摩耗性向上が得られる。

【００５２】本実施例では樹脂皮膜として、ビス型エポ
キシに粒径１０〜４０μｍの酸化アルミ粒子を５０重量
％、硬化剤を１０重量％混練した樹脂を用いた。酸化ア
ルミ粒子の混入量を増せば樹脂皮膜硬さは増すが、皮膜
の靭性が失われ脆性となり、皮膜破壊が生じやすく信頼
性が低下する。酸化アルミ粒子の量が２０重量％から７
０重量％範囲であれば，耐土砂摩耗性と靭性を両立する
ことが出来る。また、粒子径は、衝突する土砂粒子と同
等以上が望ましい。河川水に含まれる土砂粒子は粒子径
が約８〜１２μｍと言われており、河川水中での使用を
想定する場合、混入粒子径は１０μｍ以上が望ましい。

【００５３】本実施例では樹脂膜として酸化アルミ粒子
をエポキシ皮膜を用いたが、本発明はこの組成に限定さ
れるものではない。硬質ゴムのライニング、若しくはポ
リエチレン、ポリエステルの皮膜であっても良い。これ
らの皮膜は、エポキシ皮膜と同様に、流路内部のような
狭スペースであっても良好な皮膜を被覆することがで
き、さらに酸化アルミ粒子等の無機粒子の混入ができ
る。溶射膜に比較しより厚い皮膜が形成でき、比較的流
速が遅く、土砂衝突頻度の少ない箇所であれば、十分な
耐摩耗性を発揮する。

【００５４】また、混入する粒子は酸化アルミ粒子に限
定されることはなく、鉄、銅、ステンレス等の金属粉、
或いは酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化クロム、酸
化珪素、炭化クロム、炭化タングステン、炭化珪素、窒
化珪素等のセラミック粒子であっても良い。粒径は、前
述のごとく衝突粒子径以上が望ましい。◆なお、樹脂皮
膜としてエポキシ樹脂皮膜ではなく硬質ゴムのライニン
グ、若しくはポリエチレン、ポリエステルの皮膜を用い
た場合、被覆方法は塗布・焼き付けに限定するものでは
ない。

【００５５】

【発明の効果】本発明によって流体内に土砂などを含む
条件下でも使用可能な、耐摩耗性と耐食性に優れた水力
機械を実現でき、且つ安価に、効率よく製造する事が出
来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す横軸ポンプの断面図
である。

【図２】本発明の第１実施例を示すポンプインペラの一
部断面を含む概略斜視図である。

【図３】本発明の第１実施例を示すポンプインペラの縦
断面図である。

【図４】本発明の第１実施例を示すポンプインペラの一
部断面を含む概略斜視図である。

【図５】本発明の第１実施例を示すポンプインペラの拡
大断面図である。

【図６】本発明の第１実施例を示すポンプケーシングの
拡大断面図である。

【図７】本発明の第１実施例を示すポンプインペラの製
造手順図である。

【図８】本発明の第２実施例を示す水車の一部断面を含
む概略斜視図である。

【図９】本発明の第２実施例を示す水車ランナの概略斜
視図である。

【図１０】本発明の第２実施例を示す水車ランナの拡大
断面図である。

【図１１】本発明の第２実施例を示す水車ランナの製造
手順図である。

【図１２】本発明の第２実施例を示す水車ガイドベーン
の概略斜視図である。

【図１３】本発明の第３実施例を示す縦軸ポンプの概略
縦断面図である。

【図１４】本発明の第３実施例を示す縦軸ポンプ羽根の
概略斜視図である。

【符号の説明】

１…横軸ポンプ、２…インペラ、３…軸受、４…軸、５
…ケーシング、６…水車、７…ランナ、８…溶射膜、９
…樹脂皮膜、１０…ガイドベーン、１１…上ランナカバ
ー、１２…下ランナカバー、１３…軸受、１５…縦軸ポ
ンプ、１６…羽根、１７…軸、１８…軸受、１９…軸
封、２０…ケーシング、２１…ボス、２２…シュラウ
ド、２３…羽根、２４…吸い込み口、２５…吐き出し
口、４１…軸、７１…クラウン、７１…バンド、７３…
羽根、１０１…軸部、１０２…羽根部、１５１…吸い込
み口、１５２…吐き出し口、１６１…羽根部、１６２…
軸部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新倉 和夫 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式会 社日立製作所日立工場内 (72)発明者 吉川 次雄 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式会 社日立製作所日立工場内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】内部に流体の流路を有するケーシングと、
   このケーシング内に配設されており前記流路内の流体と
   共に回転する回転体とを備えた水力機械において、この
   水力機械の前記流路内の流体と接する面の少なくとも一
   部に、クロム炭化物、タングステン炭化物、ニッケル、
   クロム、コバルトからなる群から選ばれる少なくとも１
   種を含む第１皮膜と、硬質ゴム、エポキシ、ポリエチレ
   ン、ポリエステルからなる群から選ばれる少なくとも１
   種を含む第２皮膜とが被覆されていることを特徴とする
   水力機械。
2. 【請求項２】前記第１被膜の上に前記第２被膜が被覆さ
   れた領域を有することを特徴とする請求項１に記載の水
   力機械。
3. 【請求項３】前記第２皮膜が流体と接する全面に被覆さ
   れていることを特徴とする請求項１または２に記載の水
   力機械。
4. 【請求項４】水力機械を構成する水力機械用部品の流体
   と接する面の少なくとも一部に、クロム炭化物、タング
   ステン炭化物、ニッケル、クロム、コバルトからなる群
   から選ばれる少なくとも１種を含む第１皮膜と、硬質ゴ
   ム、エポキシ、ポリエチレン、ポリエステルからなる群
   から選ばれる少なくとも１種を含む第２皮膜とが被覆さ
   れていることを特徴とする水力機械用部品。
5. 【請求項５】前記第１被膜の上に前記第２被膜が被覆さ
   れた領域を有することを特徴とする請求項４に記載の水
   力機械用部品。
6. 【請求項６】前記第２皮膜が流体と接する全面に被覆さ
   れていることを特徴とする請求項４または５に記載の水
   力機械用部品。
7. 【請求項７】内部に流体の流路を有するケーシングと、
   このケーシング内に配設されており前記流路内の流体と
   共に回転する回転体とを備えた水力機械の製造方法にお
   いて、用いる部材の表面の少なくとも一部に、クロム炭
   化物、タングステン炭化物、ニッケル、クロム、コバル
   トからなる群から選ばれる少なくとも１種を含む第１皮
   膜を被覆し、次いで、硬質ゴム、エポキシ、ポリエチレ
   ン、ポリエステルからなる群から選ばれる少なくとも１
   種を含む第２皮膜を被覆することを特徴とする水力機械
   の製造方法。
8. 【請求項８】請求項７において、前記第１被膜を被覆
   後、３５０℃以上、６５０℃以下、望ましくは４００℃
   以上、６５０℃以下の温度で１時間以上３０時間以下加
   熱し、次いで第２被膜を被覆することを特徴とする水力
   機械の製造方法。
9. 【請求項９】請求項７または８において、第２被膜の少
   なくとも一部を第１被膜の上に重ねて被覆することを特
   徴とする水力機械の製造方法。