JPH1012442A - 広帯域ノイズフィルタ - Google Patents
広帯域ノイズフィルタInfo
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- JPH1012442A JPH1012442A JP16341596A JP16341596A JPH1012442A JP H1012442 A JPH1012442 A JP H1012442A JP 16341596 A JP16341596 A JP 16341596A JP 16341596 A JP16341596 A JP 16341596A JP H1012442 A JPH1012442 A JP H1012442A
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- JP
- Japan
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- noise filter
- frequency
- thickness
- broadband noise
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 商用周波数（ＤＣ〜）から高周波数（〜１Ｇ
Ｈｚ）までの幅広い周波数領域においてノイズの減衰率
が大きい広帯域ノイズフィルタを提供する。 【解決手段】 商用周波数に対応する磁性材料の薄板２
と、１ｋＨｚ〜１ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１
０μｍの薄膜磁性層４と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数
に対応する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層５とを
各々厚さ０．１〜１．０μｍの絶縁層３ａ，３ｂを介し
て積層してなる広帯域ノイズフィルタ１。
Ｈｚ）までの幅広い周波数領域においてノイズの減衰率
が大きい広帯域ノイズフィルタを提供する。 【解決手段】 商用周波数に対応する磁性材料の薄板２
と、１ｋＨｚ〜１ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１
０μｍの薄膜磁性層４と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数
に対応する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層５とを
各々厚さ０．１〜１．０μｍの絶縁層３ａ，３ｂを介し
て積層してなる広帯域ノイズフィルタ１。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、商用周波数（ＤＣ
〜）から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周波数範
囲においてノイズフィルタとして使用するのに好適な広
帯域ノイズフィルタに関するものである。
〜）から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周波数範
囲においてノイズフィルタとして使用するのに好適な広
帯域ノイズフィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁性材料を使用したノイズフィルタは、
この磁性材料の磁気損失によるノイズ抑制効果を利用し
たものである。
この磁性材料の磁気損失によるノイズ抑制効果を利用し
たものである。
【０００３】このような磁性材料を用いたノイズフィル
タとしては、インピーダンス（Ｚ）および抵抗（Ｒ）が
大きいことが要求されるため、ノイズフィルタ用材料と
しては比透磁率および磁気損失が大きいことが必要とな
る。
タとしては、インピーダンス（Ｚ）および抵抗（Ｒ）が
大きいことが要求されるため、ノイズフィルタ用材料と
しては比透磁率および磁気損失が大きいことが必要とな
る。
【０００４】従来、このような磁性材料からなるノイズ
フィルタとしては、フェライトコアを使用したものがあ
った。
フィルタとしては、フェライトコアを使用したものがあ
った。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなフェライトコアを使用した従来のノイズフィルタで
は、低周波数のノイズフィルタとしては十分良好に機能
するものの、高周波数の領域で使用する場合にコイル数
を増加させる必要があり、コイル数を増加させると多数
のコイルが密集することになるため浮遊キャパシタンス
を生じるという不具合があり、さらには、周波数が１０
０ＭＨｚ以上の高周波領域ではフェライトコアをノイズ
フィルタとして使用することができないという問題点が
あった。
うなフェライトコアを使用した従来のノイズフィルタで
は、低周波数のノイズフィルタとしては十分良好に機能
するものの、高周波数の領域で使用する場合にコイル数
を増加させる必要があり、コイル数を増加させると多数
のコイルが密集することになるため浮遊キャパシタンス
を生じるという不具合があり、さらには、周波数が１０
０ＭＨｚ以上の高周波領域ではフェライトコアをノイズ
フィルタとして使用することができないという問題点が
あった。
【０００６】
【発明の目的】本発明は、このような従来の問題点を解
決するためになされたものであって、商用周波数（ＤＣ
〜）から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周波数領
域においてノイズの減衰率が高く広帯域ノイズフィルタ
として使用することができる広帯域ノイズフィルタを提
供することを目的としている。
決するためになされたものであって、商用周波数（ＤＣ
〜）から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周波数領
域においてノイズの減衰率が高く広帯域ノイズフィルタ
として使用することができる広帯域ノイズフィルタを提
供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる広帯域ノ
イズフィルタは、請求項１に記載しているように、層厚
さの異なる２以上の磁性層を絶縁層を介して積層してな
る構成としたことを特徴としている。
イズフィルタは、請求項１に記載しているように、層厚
さの異なる２以上の磁性層を絶縁層を介して積層してな
る構成としたことを特徴としている。
【０００８】そして、本発明に係わる広帯域ノイズフィ
ルタの実施態様においては、請求項２に記載しているよ
うに、薄板よりなる磁性層と層厚さの異なる薄膜磁性層
とを２層以上積層してなるものとすることができる。
ルタの実施態様においては、請求項２に記載しているよ
うに、薄板よりなる磁性層と層厚さの異なる薄膜磁性層
とを２層以上積層してなるものとすることができる。
【０００９】同じく、本発明に係わる広帯域ノイズフィ
ルタの実施態様においては、請求項３に記載しているよ
うに、商用周波数に対応する磁性材料の薄板と、１ｋＨ
ｚ〜１ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１０μｍの薄
膜磁性層と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数に対応する膜
厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層とを各々絶縁層を介
して積層してなるものとすることができる。
ルタの実施態様においては、請求項３に記載しているよ
うに、商用周波数に対応する磁性材料の薄板と、１ｋＨ
ｚ〜１ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１０μｍの薄
膜磁性層と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数に対応する膜
厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層とを各々絶縁層を介
して積層してなるものとすることができる。
【００１０】同じく、本発明に係わる広帯域ノイズフィ
ルタの実施態様においては、請求項４に記載しているよ
うに、絶縁層の厚さが０．１〜１．０μｍであるものと
することができる。
ルタの実施態様においては、請求項４に記載しているよ
うに、絶縁層の厚さが０．１〜１．０μｍであるものと
することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明に係わる広帯域ノイズフィ
ルタは、層厚さの異なる２以上の磁性層を絶縁層を介し
て積層してなる構成を有するものであり、例えば、薄板
よりなる磁性層と層厚さの異なる薄膜磁性層とを２層以
上積層してなる構成としたものである。
ルタは、層厚さの異なる２以上の磁性層を絶縁層を介し
て積層してなる構成を有するものであり、例えば、薄板
よりなる磁性層と層厚さの異なる薄膜磁性層とを２層以
上積層してなる構成としたものである。
【００１２】図１は本発明による広帯域ノイズフィルタ
の一実施形態を示すものであって、この広帯域ノイズフ
ィルタ１では、商用周波数（ＤＣ〜１ｋＨｚ）の領域で
ノイズフィルタとして機能する磁性材料の薄板（帯材）
２と、この磁性材料の薄板２の上側に、０．１〜１．０
μｍ厚さの絶縁層３ａを介して、周波数１ｋＨｚ〜１Ｍ
Ｈｚの領域でノイズフィルタとして機能する膜厚１〜１
０μｍの薄膜磁性層４と、この薄膜磁性層４の上に、
０．１〜１．０μｍ厚さの絶縁層３ｂを介して、周波数
１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの領域でノイズフィルタとして機能
する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層５を積層した
構造をなすものである。
の一実施形態を示すものであって、この広帯域ノイズフ
ィルタ１では、商用周波数（ＤＣ〜１ｋＨｚ）の領域で
ノイズフィルタとして機能する磁性材料の薄板（帯材）
２と、この磁性材料の薄板２の上側に、０．１〜１．０
μｍ厚さの絶縁層３ａを介して、周波数１ｋＨｚ〜１Ｍ
Ｈｚの領域でノイズフィルタとして機能する膜厚１〜１
０μｍの薄膜磁性層４と、この薄膜磁性層４の上に、
０．１〜１．０μｍ厚さの絶縁層３ｂを介して、周波数
１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの領域でノイズフィルタとして機能
する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層５を積層した
構造をなすものである。
【００１３】図２は本発明による広帯域ノイズフィルタ
の他の実施形態を示すものであって、この広帯域ノイズ
フィルタ１１では、商用周波数（ＤＣ〜１ｋＨｚ）の領
域でノイズフィルタとして機能する磁性材料の薄板（帯
材）１２と、この磁性材料の薄板１２の上側に、０．１
〜１．０μｍ厚さの絶縁層１３ａを介して、周波数１ｋ
Ｈｚ〜１ＭＨｚの領域でノイズフィルタとして機能する
膜厚１〜１０μｍの薄膜磁性層１４と、前記磁性材料の
薄板１２の下側に、０．１〜１．０μｍ厚さの絶縁層１
３ｂを介して、周波数１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの領域でノイ
ズフィルタとして機能する膜厚０．１〜１．０μｍの薄
膜磁性層１５を積層した構造をなすものである。
の他の実施形態を示すものであって、この広帯域ノイズ
フィルタ１１では、商用周波数（ＤＣ〜１ｋＨｚ）の領
域でノイズフィルタとして機能する磁性材料の薄板（帯
材）１２と、この磁性材料の薄板１２の上側に、０．１
〜１．０μｍ厚さの絶縁層１３ａを介して、周波数１ｋ
Ｈｚ〜１ＭＨｚの領域でノイズフィルタとして機能する
膜厚１〜１０μｍの薄膜磁性層１４と、前記磁性材料の
薄板１２の下側に、０．１〜１．０μｍ厚さの絶縁層１
３ｂを介して、周波数１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの領域でノイ
ズフィルタとして機能する膜厚０．１〜１．０μｍの薄
膜磁性層１５を積層した構造をなすものである。
【００１４】このような構造をなす広帯域ノイズフィル
タ１，１１において、磁性材料の薄板２，１２や薄膜磁
性層４，５，１４，１５としては、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ
に、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｙ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎ
ｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｓｉ，Ｂなどを添加したも
のを用いることができ、より具体的には、ＦｅＮｉ合金
（パーマロイ）やＣｏＺｒＮｂ合金などを用いることが
できる。
タ１，１１において、磁性材料の薄板２，１２や薄膜磁
性層４，５，１４，１５としては、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ
に、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｙ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎ
ｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｓｉ，Ｂなどを添加したも
のを用いることができ、より具体的には、ＦｅＮｉ合金
（パーマロイ）やＣｏＺｒＮｂ合金などを用いることが
できる。
【００１５】また、絶縁層３ａ，３ｂ，１３ａ，１３ｂ
としては、Ａｌ２Ｏ３，ＳｉＯ２，ＡｌＮ，ＢＮ，Ｓｉ
Ｃなどの酸化物，炭化物，窒化物の中から選択したもの
を使用することができる。
としては、Ａｌ２Ｏ３，ＳｉＯ２，ＡｌＮ，ＢＮ，Ｓｉ
Ｃなどの酸化物，炭化物，窒化物の中から選択したもの
を使用することができる。
【００１６】そして、この広帯域ノイズフィルタ１，１
１では、商用周波数（ＤＣ〜１ｋＨｚ）の領域でノイズ
フィルタとして機能する磁性材料の薄板２，１２と、周
波数１ｋＨｚ〜１ＭＨｚの領域でノイズフィルタとして
機能する膜厚１〜１０μｍの薄膜磁性層４，１４と、周
波数１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの領域でノイズフィルタとして
機能する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層５，１５
を積層してなるものであるから、商用周波数（ＤＣ〜）
から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周波数でノイ
ズフィルタとして機能する広帯域ノイズフィルタとな
る。
１では、商用周波数（ＤＣ〜１ｋＨｚ）の領域でノイズ
フィルタとして機能する磁性材料の薄板２，１２と、周
波数１ｋＨｚ〜１ＭＨｚの領域でノイズフィルタとして
機能する膜厚１〜１０μｍの薄膜磁性層４，１４と、周
波数１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの領域でノイズフィルタとして
機能する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層５，１５
を積層してなるものであるから、商用周波数（ＤＣ〜）
から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周波数でノイ
ズフィルタとして機能する広帯域ノイズフィルタとな
る。
【００１７】なお、上記実施形態における周波数の区分
や、膜厚の区分などは単なる一例を示したにすぎないも
のであり、各層の厚さを変えたり、層数を変えて３層以
上の薄膜磁性層を積層したり、コイルの巻数を変えた
り、磁性材料そのものの透磁率を変えたりしたものとす
ることが可能であり、あるいは、環形状の広帯域ノイズ
フィルタとしたり、矩形状の広帯域ノイズフィルタとし
たり、板状としたりすることも可能である。
や、膜厚の区分などは単なる一例を示したにすぎないも
のであり、各層の厚さを変えたり、層数を変えて３層以
上の薄膜磁性層を積層したり、コイルの巻数を変えた
り、磁性材料そのものの透磁率を変えたりしたものとす
ることが可能であり、あるいは、環形状の広帯域ノイズ
フィルタとしたり、矩形状の広帯域ノイズフィルタとし
たり、板状としたりすることも可能である。
【００１８】
【実施例】板厚が０．５ｍｍのＰＣパーマロイ（Ｆｅ−
７８重量％Ｎｉ）よりなる磁性材料の薄板（帯材）の片
面に、厚さ０．５μｍのＳｉＯ２絶縁層を介して、厚さ
を５μｍとした薄膜磁性層を設け、さらに厚さ０．５μ
ｍのＳｉＯ２絶縁層を介して、厚さを０．５μｍとした
薄膜磁性層を設けてノイズフィルタを形成した。
７８重量％Ｎｉ）よりなる磁性材料の薄板（帯材）の片
面に、厚さ０．５μｍのＳｉＯ２絶縁層を介して、厚さ
を５μｍとした薄膜磁性層を設け、さらに厚さ０．５μ
ｍのＳｉＯ２絶縁層を介して、厚さを０．５μｍとした
薄膜磁性層を設けてノイズフィルタを形成した。
【００１９】次に、このノイズフィルタの周波数による
減衰率を調べたところ、図３に示す結果であった。
減衰率を調べたところ、図３に示す結果であった。
【００２０】図３に示すように、商用周波数（ＤＣ〜）
から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い範囲において
ノイズの減衰率が大きなものとなっており、広帯域ノイ
ズフィルタとして使用できるものとなっていた。
から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い範囲において
ノイズの減衰率が大きなものとなっており、広帯域ノイ
ズフィルタとして使用できるものとなっていた。
【００２１】
【発明の効果】本発明に係わる広帯域ノイズフィルタに
よれば、層厚さの異なる２以上の磁性層を絶縁層を介し
て積層してなる構成としたから、層厚さ毎に対応した周
波数でのノイズフィルタとして機能させることが可能と
なるので、広帯域のノイズフィルタとして有用なものに
なるという著しく優れた効果がもたらされる。
よれば、層厚さの異なる２以上の磁性層を絶縁層を介し
て積層してなる構成としたから、層厚さ毎に対応した周
波数でのノイズフィルタとして機能させることが可能と
なるので、広帯域のノイズフィルタとして有用なものに
なるという著しく優れた効果がもたらされる。
【００２２】そして、請求項２に記載しているように、
薄板よりなる磁性層と層厚さの異なる薄膜磁性層とを２
層以上積層してなるものとすることによって、層厚さ毎
に対応した周波数でのノイズフィルタとして機能させる
ことが可能となるので広帯域のノイズフィルタとして有
用なものであると共に、薄板は広帯域ノイズフィルタの
基板として兼用させることも可能であるという著しく優
れた効果がもたらされる。
薄板よりなる磁性層と層厚さの異なる薄膜磁性層とを２
層以上積層してなるものとすることによって、層厚さ毎
に対応した周波数でのノイズフィルタとして機能させる
ことが可能となるので広帯域のノイズフィルタとして有
用なものであると共に、薄板は広帯域ノイズフィルタの
基板として兼用させることも可能であるという著しく優
れた効果がもたらされる。
【００２３】さらに、請求項３に記載しているように、
商用周波数に対応する磁性材料の薄板と、１ｋＨｚ〜１
ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１０μｍの薄膜磁性
層と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数に対応する膜厚０．
１〜１．０μｍの薄膜磁性層とを各々絶縁層を介して積
層してなる構成のものとすることによって、商用周波数
（ＤＣ〜）から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周
波数領域での広帯域ノイズフィルタとして使用すること
が可能であるという著しく優れた効果がもたらされる。
商用周波数に対応する磁性材料の薄板と、１ｋＨｚ〜１
ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１０μｍの薄膜磁性
層と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数に対応する膜厚０．
１〜１．０μｍの薄膜磁性層とを各々絶縁層を介して積
層してなる構成のものとすることによって、商用周波数
（ＤＣ〜）から高周波数（〜１ＧＨｚ）までの幅広い周
波数領域での広帯域ノイズフィルタとして使用すること
が可能であるという著しく優れた効果がもたらされる。
【図１】本発明による広帯域ノイズフィルタの一実施形
態を示す断面説明図である。
態を示す断面説明図である。
【図２】本発明による広帯域ノイズフィルタの他の実施
形態を示す断面説明図である。
形態を示す断面説明図である。
【図３】本発明による広帯域ノイズフィルタの実施例に
おいて周波数による減衰率の変化を調べた結果を例示す
るグラフである。
おいて周波数による減衰率の変化を調べた結果を例示す
るグラフである。
１，１１，２１，３１ 広帯域ノイズフィルタ ２，１２ 磁性材料の薄板（磁性層） ３ａ，３ｂ，１３ａ，１３ｂ 絶縁層 ４，１４ 薄膜磁性層（磁性層） ５，１５ 薄膜磁性層（磁性層）
Claims (4)
- 【請求項１】 層厚さの異なる２以上の磁性層を絶縁層
を介して積層してなることを特徴とする広帯域ノイズフ
ィルタ。 - 【請求項２】 薄板よりなる磁性層と層厚さの異なる薄
膜磁性層とを２層以上積層してなる請求項１に記載の広
帯域ノイズフィルタ。 - 【請求項３】 商用周波数に対応する磁性材料の薄板
と、１ｋＨｚ〜１ＭＨｚの周波数に対応する膜厚１〜１
０μｍの薄膜磁性層と、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数に
対応する膜厚０．１〜１．０μｍの薄膜磁性層とを各々
絶縁層を介して積層してなる請求項１または２に記載の
広帯域ノイズフィルタ。 - 【請求項４】 絶縁層の厚さが０．１〜１．０μｍであ
る請求項１ないし３のいずれかに記載の広帯域ノイズフ
ィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16341596A JPH1012442A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 広帯域ノイズフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16341596A JPH1012442A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 広帯域ノイズフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1012442A true JPH1012442A (ja) | 1998-01-16 |
Family
ID=15773469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16341596A Pending JPH1012442A (ja) | 1996-06-24 | 1996-06-24 | 広帯域ノイズフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1012442A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6183657B1 (en) | 1998-05-18 | 2001-02-06 | Daido Tokushuko Kabushiki Kaisha | Core material for noise filter |
| JP2007006466A (ja) * | 2005-05-27 | 2007-01-11 | Commissariat A L'energie Atomique | 電磁ノイズをフィルタするための集積型マイクロエレクトロニクス構成要素、およびそれを備える無線周波数伝送回路 |
| CN109718465A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-05-07 | 深圳市中明科技股份有限公司 | 3d打印驻极体微针促吸收面膜 |
-
1996
- 1996-06-24 JP JP16341596A patent/JPH1012442A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6183657B1 (en) | 1998-05-18 | 2001-02-06 | Daido Tokushuko Kabushiki Kaisha | Core material for noise filter |
| JP2007006466A (ja) * | 2005-05-27 | 2007-01-11 | Commissariat A L'energie Atomique | 電磁ノイズをフィルタするための集積型マイクロエレクトロニクス構成要素、およびそれを備える無線周波数伝送回路 |
| CN109718465A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-05-07 | 深圳市中明科技股份有限公司 | 3d打印驻极体微针促吸收面膜 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050801 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050920 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |