JPH1012702A5 - - Google Patents

Description

【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明においては、デバイス製造ライン内での基板の処理状況を常時監視し、搬送エラーが発生したときに、監視している処理状況に基づいて、デバイス製造ライン内に存在する全ての基板について、各々の基板に対応する搬出元格納部を判別する。そして、全ての基板を判別された対応する搬出元格納部に搬送した後に、搬出元格納部に戻された基板の処理を再開する。ここで、搬出元格納部に戻された基板の内、処理済みの基板については、搬入先格納部に搬送する。
又、本発明においては、搬送エラーが発生した時に、デバイス製造ライン内に存在する全ての基板を、各々の基板が搬出された搬出元格納部へ自動回収する工程を含み、さらに、前記自動回収が不可能な基板が前記デバイス製造ライン内に存在するか否かを判定する工程を含む。ここで、自動回収の可否を表示手段に表示しても良い。また、デバイス製造ライン内での基板の位置情報を逐次監視する工程を含む場合、自動回収が不可能な基板を手作業にて回収した際には、基板のデバイス製造ライン内での位置情報を修正する。

【０００７】
【作用及び効果】上記のような本発明においては、デバイス製造ライン内での基板の処理状況を監視しているため、基板の所属するロット、すなわち、対応する搬出元格納部を容易且つ正確に特定することができる。また、監視している処理状況に基づいて、デバイス製造ライン内に存在する全ての基板をそれぞれ第１の格納部に一旦戻しているため、基板の復帰処理を画一化することができ、基板の復帰処理が容易になる。また、搬出元格納部に戻された基板の内、処理済みの基板を搬入先格納部に搬送すれば、一旦処理の終わった基板を再び処理するような２重処理を回避することができる。
また、搬送エラーが発生時に各々の基板を搬出元格納部へ自動回収する場合、自動回収が不可能な基板がデバイス製造ライン内に存在するか否かを判定するため、たとえば自動回収の可否を表示手段に表示することが可能となる。また、デバイス製造ライン内での基板の位置情報を逐次監視する場合に、自動回収が不可能な基板を手作業にて回収した際には、基板のデバイス製造ライン内での位置情報を修正することが可能であるため、基板の位置情報を常に適正なものに保つことが可能となる。

Claims (5)

1. 複数のデバイス製造装置を連結して構成されるデバイス製造ライン内で、搬出元格納部から搬出された複数の基板を連続的に処理する工程の中で、前記基板の搬送エラーが生じた際の当該基板の復帰処理方法において、
   前記デバイス製造ライン内での前記基板の処理状況を常時監視する第１工程と；
   前記搬送エラーが発生したときに、前記監視している処理状況に基づいて、前記デバイス製造ライン内に存在する全ての基板について、各々の基板が搬出された前記搬出元格納部を判別する第２工程と；
   前記全ての基板を前記判別された搬出元格納部に搬送する第３工程と；
   前記第３工程の後に、前記搬出元格納部に搬送された前記基板の処理を再開する第４工程とを含むことを特徴とする基板の搬送エラー復帰処理方法。
2. 前記第４工程を行う前に、前記第３工程において前記搬出元格納部に戻された前記基板の内、処理済みの基板については、処理後の基板を搬入するための搬入先格納部に搬送することを特徴とする請求項１に記載の基板の搬送エラー復帰処理方法。
3. 複数のデバイス製造装置を連結して構成されるデバイス製造ライン内で、搬出元格納部から搬出された複数の基板を連続的に処理する工程の中で、前記基板の搬送エラーが生じた際の当該基板の復帰処理方法であって、
   前記搬送エラーが発生した時に、前記デバイス製造ライン内に存在する全ての基板を、各々の基板が搬出された前記搬出元格納部へ自動回収する工程と、
   前記自動回収が不可能な基板が前記デバイス製造ライン内に存在するか否かを判定する工程とを含むことを特徴とする基板の搬送エラー復帰処理方法。
4. 請求項３の方法において、
   前記判定結果に応じて各基板が自動回収可能か否かを表示手段に表示する工程 を含むことを特徴とする基板の搬送エラー復帰処理方法。
5. 請求項３又は４の方法において、
   前記デバイス製造ライン内での前記基板の位置情報を逐次監視する工程を含み、
   前記自動回収が不可能な基板を手作業により回収した場合に、前記基板の位置情報を修正する工程を含むことを特徴とする基板の搬送エラー復帰処理方法。