JPH10132404A - パルス管冷凍機 - Google Patents

パルス管冷凍機

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JPH10132404A
JPH10132404A JP8282296A JP28229696A JPH10132404A JP H10132404 A JPH10132404 A JP H10132404A JP 8282296 A JP8282296 A JP 8282296A JP 28229696 A JP28229696 A JP 28229696A JP H10132404 A JPH10132404 A JP H10132404A
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pulse tube
pulse
temperature side
refrigeration
refrigerator
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JP8282296A
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Kinrin Kou
金林 高
Yoichi Matsubara
洋一 松原
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Suzuki Shokan Co Ltd
Original Assignee
Suzuki Shokan Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 冷凍効率が向上し、かつ小型化できるパルス
管冷凍機の提供。 【解決手段】 パルス管冷凍機1の各冷凍手段10,2
0を、パルス管11,21と、これらの低温側に設けら
れた蓄冷器12,22とから構成し、蓄冷器12,22
の高温側に圧力振動発生手段30を設け、パルス管1
1,12の高温側をオン−オフバルブ40を介して連通
させ、パルス管11,21内に各々180度の位相差で
圧力振動を生じさせる。すると、パルス管11,21の
高温側間で作動ガスが行き来するため、従来のバッファ
や高温側のバルブを設けなくとも、パルス管11,21
内での圧力振動と作動ガスの変位との位相角を最適にで
き、冷凍効率が向上する。また、バッファが不要なこと
で小型化できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、パルス管冷凍機に
係り、例えば、クライオポンプ等に利用されるパルス管
冷凍機に関する。
【0002】
【背景技術】パルス管冷凍機としては、ギフォードによ
って発明された基本型(コンプレッサの他に蓄冷器とパ
ルス管のみによって構成されたもの)の他、パルス管の
高温側に種々の位相制御機構を設けることにより、パル
ス管内の圧力振動と作動ガス(ガス柱、ガスピストン)
の変位との位相角を良好にして、冷凍効率を向上させた
ものが知られている。
【0003】そして、そのような位相制御機構が設けら
れたパルス管冷凍機としては、パルス管の高温側にオリ
フィスを介してバッファ(リザーバタンク)を接続した
オリフィス型、このオリフィス型において、パルス管の
高温側と蓄冷気の高温側とを連通させるバイパス弁を加
えたダブルインレット型、そして、パルス管の高温側に
もコンプレッサの高圧側および低圧側を接続した4バル
ブ型等がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、オリフ
ィス型やダブルインレット型は、バッファを有するた
め、冷凍機が大型になってしまうという問題がある。
【0005】また、ダブルインレット型や4バルブ型で
は、コンプレッサとパルス管の高温側とをオリフィスや
バルブ等を介して接続することで、パルス管の高温側で
もコンプレッサとの間で作動ガスの行き来が生じるた
め、コンプレッサに余分な負荷がかかってしまい、冷凍
効率を向上させるには限界があった。
【0006】本発明の目的は、冷凍効率を向上させるこ
とができ、かつ小型化できるパルス管冷凍機を提供する
ことにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のパルス管冷凍機
は、パルス管とこのパルス管の低温側に設けられた熱交
換器とを備えた第1のパルス管冷凍手段と、同じく、パ
ルス管とこのパルス管の低温側に設けられた熱交換器と
を備えた第2のパルス管冷凍手段と、これら第1、第2
のパルス管冷凍手段の各熱交換器の高温側に設けられて
作動ガスの圧力振動を生じさせる圧力振動発生手段とを
備え、第1、第2のパルス管冷凍手段の各パルス管の高
温側を互いに連通させることを特徴とするものである。
ここで、熱交換器とは、例えば、各パルス管の低温側に
各々設けられる蓄冷器や、各パルス管に流出入する作動
ガス間で熱交換を行うための対向流型の熱交換器等をい
う。また、圧力振動発生装置とは、例えば、コンプレッ
サおよび複数のバルブから構成されたものや、シリンダ
およびピストンから構成されたもの等をいう。
【0008】このような本発明においては、圧力振動発
生装置により、例えば、180度の位相差で第1、第2
のパルス管冷凍手段の各パルス管内に圧力振動を生じさ
せると、各パルス管の高温側同士が連通しているから、
一方のパルス管冷凍手段で冷凍が発生する際には、他方
のパルス管冷凍手段のパルス管の高温側から、一方のパ
ルス管冷凍手段のパルス管の高温側に作動ガスの一部が
移動し、これにより、一方のパルス管冷凍手段における
パルス管内の圧力振動と作動ガス(ガス柱、ガスピスト
ン)の変位との位相角が最適になる。また、他方のパル
ス管冷凍手段で冷凍が発生する際にも、一方のパルス管
冷凍手段が同様に作用し、他方のパルス管冷凍手段で
の、パルス管内の圧力振動と作動ガスの変位との位相角
も最適となる。すなわち、第1、第2のパルス管冷凍手
段では、各々のパルス管内の圧力振動と作動ガスの変位
との位相角を最適にする目的でバッファを設けたり、パ
ルス管の高温側にオリフィスやバルブ等を設ける必要が
ない。従って、従来のような特別な位相制御機構が不要
になるから、圧力振動発生装置の余分な圧縮仕事が発生
せず、冷凍効率が向上する。さらに、従来のようなバッ
ファが不要なことにより、冷凍機の小型化が図れる。
【0009】また、本発明のパルス管冷凍機では、第
1、第2のパルス管冷凍手段における各パルス管の高温
側を流量調節手段を介して連通させてもよい。このよう
な場合には、流量調節手段の開度等を調節することによ
り、各パルス管間を流れる作動ガスの最適流量が得られ
るようになるから、パルス管の大きさに応じた最適な位
相角が得られるようになる。
【0010】また、本発明のパルス管冷凍機では、第
1、第2のパルス管冷凍手段における各パルス管の高温
側を流路開閉手段を介して連通させてもよい。このよう
な場合には、流路開閉手段を、例えば、所定のタイミン
グで開閉するように自動制御することにより、最適な位
相角が容易に得られるようになる。
【0011】そして、本発明のパルス管冷凍機では、第
1、第2のパルス管冷凍手段における各パルス管の高温
側と各熱交換器の高温側とを連通させてもよい。このよ
うな場合には、各熱交換器を通過する流体の流量が制限
されるから、冷凍効率が一層向上する。
【0012】さらに、本発明のパルス管冷凍機では、第
1、第2のパルス管冷凍手段の各熱交換器を蓄冷器から
構成し、これらの蓄冷器を伝熱部材を介して接続しても
よい。このような場合には、各蓄冷器を伝熱部材を介し
て接続するから、パルス管や熱交換器等を増やさずに、
簡易な構造の2段式冷凍機が得られるようになる。
【0013】一方、本発明のパルス管冷凍機において
は、第1、第2のパルス管冷凍手段から第1段の冷凍部
を構成し、これら第1、第2のパルス管冷凍手段とは別
の第1、第2のパルス管冷凍手段から少なくとも第2段
の冷凍部を構成し、これら第1段、第2段の冷凍部の間
で各熱交換器同士を直列に連通させてもよい。このよう
な場合には、各段の冷凍部間で熱交換器同士を直列に連
通させることにより、第1段、第2段の冷凍部を含む多
段式の冷凍機が得られ、より低温の冷凍が発生するよう
になる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施の形態を図
面に基づいて説明する。図1は、第1の実施の形態に係
るパルス管冷凍機1を示す構成図である。図1におい
て、パルス管冷凍機1は、第1のパルス管冷凍手段10
と、第2のパルス管冷凍手段20とを備え、各パルス管
冷凍手段10,20は、パルス管11,21と、これら
パルス管11,21の低温側(図中下側)に各々設けら
れた熱交換器である蓄冷器12,22とを含んで構成さ
れ、各蓄冷器12,22の高温側(図中上側)には圧力
振動発生手段30が設けられている。
【0015】各パルス管冷凍手段10,20のパルス管
11,21は、略同じ径寸法および長さ寸法を有し、各
パルス管11,21の高温側(図中上側)が流路開閉手
段であるオン−オフバルブ40を介して連通されてい
る。
【0016】各蓄冷器12,22は、例えば、ステンレ
スチューブの内部に銅製金網を配置したものであり、各
々略同じ熱容量を有している。つまり、これらのことに
より、パルス管11と蓄冷器21との間に設定された各
コールドステーション13,23では、各々同レベルの
冷凍を発生するようになっている。
【0017】そして、圧力振動発生手段30は、図中左
側が低圧側とされ右側が高圧側とされたコンプレッサ3
1と、このコンプレッサ31の高圧側と各蓄冷器12,
22の高温側との間に設けられた高圧バルブ32,34
と、各蓄冷器12,22の高温側とコンプレッサ31の
低圧側との間に設けられた低圧バルブ33,35とを備
え、各バルブ32〜35を所定のタイミングで開閉させ
ることにより、各パルス管11,21内に各々180度
の位相差でヘリウムガス等の作動ガスの圧力振動を生じ
させるようになっている。
【0018】以上のように構成されたパルス管冷凍機1
の冷凍動作について、図2、図3、および図4を参照し
て説明する。図2(A)に示すように、第1のパルス管
冷凍手段10において、パルス管11内のガス柱14
(点線で図示)が低温端にあり、第2のパルス管冷凍手
段20におけるパルス管21内のガス柱24(点線で図
示)が高温端にある状態で、蓄冷器12側の高圧バルブ
32と蓄冷器22側の低圧バルブ35とを開き(図4中
の時点A)、各パルス管11,21内に180度の位相
差で作動ガスの圧力振動を生じさせる。
【0019】すると、図2(B)に示すように、パルス
管11内では、低温側からの作動ガスの流入により、ガ
ス柱14が低温側から高温側へと移動するとともに、オ
ン−オフバルブ40を所定のタイミングで開くことで
(図4中の時点B)、そのガス柱14よりも高温側にも
とより存在していた作動ガスがパルス管21の高温側に
入る。この際、オン−オフバルブ40の開閉タイミング
を自動制御することで、二つのパルス管11,21で影
響し合う圧力と質量流量との間の位相角を最適にする。
【0020】そして、パルス管21内においては、高温
側から入り込む作動ガスと低圧バルブ35の開放とによ
り、ガス柱24が高温側から低温側へと移動する。この
際、ガス柱24よりも低温側に存在していた作動ガス
は、低圧バルブ35の開放により膨張して冷凍を発生
し、コールドステーション23、および蓄冷器22の低
温側を冷却しながらコンプレッサ31の低圧側に戻る。
【0021】この後、各ガス柱14,24は、図3
(A)に示すように、パルス管11の高温端およびパル
ス管21の低温端に位置するようになり、この状態で高
圧バルブ32と低圧バルブ35を閉じ、若干の時間をお
いて、オン−オフバルブ40を閉じるとともに、蓄冷器
12側の低圧バルブ33と蓄冷器22側の高圧バルブ3
4とを開ける(図4中の時点C)。
【0022】これにより、図3(B)に示すように、パ
ルス管21内の低温側には蓄冷器22を通ることで冷却
された作動ガスが入り込み、ガス柱24が低温側から高
温側に移動し、同時に、このガス柱24よりも高温側に
入り込んでいた前述の作動ガスが、オン−オフバルブ4
0を開くことで(図4中の時点D)、再びパルス管11
の高温側に戻る。
【0023】そして、パルス管11内では、高温側に戻
る作動ガスと低圧バルブ33の開放とにより、ガス柱1
4が高温側から低温側へと戻る。この際、ガス柱14よ
りも低温側に入り込んでいた作動ガスは、低圧バルブ3
3の開放により膨張して冷凍を発生し、コールドステー
ション13、および蓄冷器12の低温側を冷却しながら
コンプレッサ31の低圧側に戻る。
【0024】以上によりパルス管冷凍機1の1サイクル
が終了し、図2(A)で示した状態に戻る。そして、こ
のサイクルを繰り返すことにより、各蓄冷器12,22
の低温側の温度が順次下げられ、コールドステーション
13,23では極低温に達するようになる。
【0025】このような本実施の形態によれば以下のよ
うな効果がある。すなわち、パルス管冷凍機1では、第
1、第2のパルス管冷凍手段10,20において、パル
ス管11,21の高温側同士が連通しているため、パル
ス管冷凍手段10(20)で冷凍が発生する際には、こ
のパルス管冷凍手段10(20)のパルス管11(2
1)の高温側から、パルス管冷凍手段20(10)のパ
ルス管21(11)の高温側に作動ガスの一部が移動
し、これにより、パルス管冷凍手段10(20)におけ
るパルス管11(21)内の圧力振動とガス柱14(2
4)の変位との位相角を最適にできる。従って、第1、
第2パルス管冷凍手段10,20では、各々のパルス管
11,21内の圧力振動と作動ガスの変位との位相角を
最適にする目的で、従来のバッファを設けたり、あるい
はパルス管の高温側にもオリフィスやバルブ等を設ける
必要がない。このため、従来のような特別な位相制御機
構を不要にして、圧力振動発生装置30の余分な圧縮仕
事をなくすことができ、冷凍効率を向上させることがで
きる。
【0026】また、従来のオリフィス型やダブルインレ
ット型のようなバッファが不要であるから、冷凍機1全
体を小型化することができる。
【0027】さらに、各パルス管11,21の高温側同
士がオン−オフバルブ40を介して連通されているた
め、このオン−オフバルブ40を所定のタイミングで開
閉するように自動制御することで、最適な位相角を容易
に得ることができる。この際、オン−オフバルブ40
は、1サイクル中の所定の時点で開閉されるだけである
から、制御も簡単である。
【0028】そして、オン−オフバルブ40が設けられ
ていることで、各パルス管11,21間を流れる作動ガ
スの最適流量を、バルブの開度を調節することによって
得る必要がなく、冷凍機1設置後の調節作業を簡略化で
きる。
【0029】また、圧力振動発生手段30は、コンプレ
ッサ31およびバルブ32〜35から構成されているた
め、ピストン等の稼動部材を不要にでき、信頼性を向上
させることができる。
【0030】図5には、本発明の第2の実施の形態に係
るパルス管冷凍機2が示されている。図4において、パ
ルス管冷凍機2は、前述した冷凍機1のオン−オフバル
ブ40(図1)を流量調節手段である開度調整自在なオ
リフィス41に換えたものであり、その他の構成は、冷
凍機1と同じである。このようなパルス管冷凍機2にお
いては、オリフィス41の開度を、パルス管11,22
の高温側を流れる作動ガスの流量が最適となるように予
め調節しておく。これにより、パルス管11の低温側に
作動ガスが入り込むと略同時に、ガス柱13の高温側に
ある作動ガスは、オリフィス41でその流量が調節され
てパルス管12の高温側に入り込むようになる。また、
反対に、作動ガスがパルス管21の低温側に入り込むと
略同時に、ガス柱23の高側にある作動ガスは、その流
量が調節されてパルス管11の高温側に入り込むように
なる。
【0031】このような本実施の形態では、冷凍機2の
冷凍効率の向上および小型化に関し、前述した実施の形
態と同様な効果を得ることができる。さらに、各パルス
管11,21の高温側が開度調整自在なオリフィス41
を介して連通されているため、オリフィス41の開度等
を調節するだけで、各パルス管11,12間を流れる作
動ガスの最適流量を得ることができ、パルス管11,1
2の大きさに応じた最適な位相角を得ることができる。
このため、パルス管11,12の大きさ等が変わった場
合でも、オリフィス41の開度を調節するだけでよく、
容易に対応することができる。
【0032】図6には、本発明の第3の実施の形態に係
るパルス管冷凍機3が示されている。図6において、パ
ルス管冷凍機3は、前述した冷凍機2(図5)と同様な
構成部材を備えており、以下には冷凍機2との相違のみ
を説明する。つまり、パルス管冷凍機3では、各パルス
管11,21の高温側と、各蓄冷器12,22の高温側
とがバイパス流路42,43で連通されており、各バイ
パス流路42,43の途中にはオリフィス44,45が
設けられている。
【0033】このような本実施の形態では、前述の第2
の実施の形態と同様な効果を得ることができるのに加
え、以下のような効果がある。すなわち、この冷凍機3
では、バイパス流路42,43が設けられているため、
オリフィス44,45の開度に応じて各蓄冷器12,2
2を通る作動ガスの流量を制限でき、冷凍効率を一層向
上させることができる。
【0034】図7には、本発明の第4の実施の形態に係
るパルス管冷凍機4が示されている。なお、パルス管冷
凍機4も、前記各実施の形態と同様な構成部材を有して
おり、これらの構成部材には同一符号を付してそれらの
説明を簡略化あるいは省略する。図7において、冷凍機
4の各パルス管冷凍手段10,20を構成するパルス管
11,46のうち、第2のパルス管冷凍手段20のパル
ス管46は、第1のパルス管冷凍手段10のパルス管1
1よりも小さい径寸法と長い長さ寸法とを有している。
また、各蓄冷器12,47のうち、パルス管46の高温
側に設けられた蓄冷器47は、他方の蓄冷器12よりも
大きい熱容量を有いている。そして、蓄冷器12の低温
端と蓄冷器47の長さ方向の略中央とが金属等からなる
伝熱部材48で接続されている。
【0035】このような実施の形態では、各蓄冷器1
2,47が伝熱部材48を介して接続されているため、
熱容量の大きい蓄冷器47は、蓄冷器12から冷熱を受
持して一層冷却され、この蓄冷器47とパルス管46と
の間に設定されたコールドステーション49では、コー
ルドステーション13よりもより低い温度の冷凍が発生
する。このため、冷凍機4を、全体がコンパクトでかつ
冷凍効率が良いものにできるうえ、コールドステーショ
ン13を備えた第1のパルス管冷凍手段10を第1段目
とし、コールドステーション49を備えた第2のパルス
管冷凍手段20を第2段目とすることにより、パルス管
や蓄冷器等を増やす必要のない、簡易な構造の2段式冷
凍機とすることができる。また、二段式とすることで、
異なる二つの被冷却物を各々異なる温度で冷却すること
もできる。
【0036】図8には、本発明の第5の実施の形態に係
るパルス管冷凍機5が示されている。図8において、冷
凍機5では、各パルス管冷凍手段10,20およびオン
−オフバルブ40により第1段の冷凍部100が構成さ
れているとともに、さらに、第段2および第3の冷凍部
200,300が設けられている。
【0037】第2段の冷凍部200も、第1段の冷凍部
100と同様に、第1、第2のパルス管冷凍手段21
0,220を備え、各パルス管冷凍手段210,220
は、パルス管11,22よりも小さい径寸法でかつ長い
長さ寸法を有するパルス管211,221と、これらの
パルス管211,221の高温側に各々設けられた蓄冷
器212,222とから構成され、各蓄冷器212,2
22は、各蓄冷器12,22よりも熱容量が小さく、そ
れらの高温側が蓄冷器12,22の低温側と直列に連通
している。
【0038】第3段の冷凍部330も、同様に、第1、
第2のパルス管冷凍手段310,320を備え、各パル
ス管冷凍手段310,320は、パルス管211,22
1よりもさらに小さい径寸法でかつ長い長さ寸法を有す
るパルス管311,321と、これらのパルス管31
1,321の高温側に設けられた熱交換器312,32
2とから構成されている。そして、各熱交換器312,
322は、外筒部材および内筒部材等から構成されて各
筒部材間で作動ガスの熱交換が行われる対向流型になっ
ており、各熱交換器312,322の高温側が第2段の
各蓄冷器212,222の低温側と直列に連通してい
る。
【0039】このような冷凍機5は、第1段〜第3段の
冷凍部100,200,300を備えているうえ、各段
の冷凍部100,200,300間において、蓄冷器1
2,22,212,222、および熱交換器312,3
22が直列に連通しているため、第2段の冷凍部200
に設定された各コールドステーション213,223
は、第1段の冷凍部100におけるコールドステーショ
ン13,23よりも低温となり、また、第3段の冷凍部
300に設定された各コールドステーション313,3
23は、第2段の冷凍部200におけるコールドステー
ション213,223よりもさらに低温となる。従っ
て、冷凍機5を小型化と高い冷凍効率とを実現した3段
式冷凍機とすることができる。
【0040】なお、本発明は前記各実施の形態に限定さ
れるものではなく、本発明の目的を達成できる他の構成
等を含み、以下に示すような変形等も本発明に含まれ
る。例えば、前記各実施の形態では、圧力振動発生手段
30が、コンプレッサ31およびバルブ32〜35から
構成されていたが、本発明における圧力振動発生手段と
しては、例えば、ピストンおよびシリンダを用いたタイ
プのものであってもよい。
【0041】また、前記各実施の形態では、パルス管の
高温側同士がオン−オフバルブ40あるいはオリフィス
41を介して連通されていたが、これらのようなオン−
オフバルブ40やオリフィス41が無い場合でも本発明
に含まれる。すなわち、各パルス管を連通させる流路の
径寸法や長さ寸法自体等を、作動ガスの流量が最適とな
るように予め設定しておくことで、それらを省いてもよ
い。
【0042】さらに、前記第5の実施の形態では、第3
段の冷凍部300の熱交換器312,322が対向流型
であったが、第3段の冷凍部300の熱交換器としても
蓄冷器を用いることができる。つまり、対向流型の熱交
換器および蓄冷器のどちらを用いるかは、その実施にあ
たって適宜に決められてよい。また、第5の実施の形態
において、パルス管冷凍機5が3段式であったが、本発
明のパルス管冷凍機は、4段以上の多段式にも適用でき
る。
【0043】
【実施例】前述した実施の形態での効果を確認するた
め、第1〜第3の実施の形態に基づきパルス管冷凍機1
〜3を製作し、従来のオリフィス型のパルス管冷凍機お
よびダブルインレット型のパルス管冷凍機と比較した。
この際、流体としてはヘリウムガスを使用し、各パルス
管11,21としては、肉厚寸法0.5mm、内径寸法
19mm、長さ寸法160mmのステンレス製チューブ
を使用し、これらのパルス管11,21の両端に、80
メッシュの銅製金網を、整流と熱交換のために設けた。
また、各蓄冷器12,22としては、肉厚寸法0.5m
m、内径寸法39mm、長さ寸法110mmのステンレ
スチューブ内に、直径寸法30mmの300メッシュ銅
製金網を充填したものを使用し、圧力振動発生手段30
を構成するバルブ32〜35としては、ロータリーバル
ブおよび電磁弁を使用した。
【0044】以上の条件で製作した各パルス管冷凍機1
〜3において、各パルス管11,21の低温端の温度を
ロジウム鉄温度計で測定するとともに、それらの低温端
にヒータを取り付け、特定の温度における冷凍能力(図
9)および冷凍性能(図10)を冷凍効率を表すものと
して測定した。
【0045】比較の結果、各パルス管冷凍機1〜3は、
従来のオリフィス型の冷凍機よりも明らかに優れた冷凍
能力および冷凍性能を有するとともに、ダブルインレッ
ト型の冷凍機と比較しても何ら遜色のない性能を有する
ことが確認され、特に、パルス管冷凍機3は、ダブルイ
ンレット型の冷凍機を上回る性能を備えていることが確
認された。また、各パルス管冷凍機1〜3では、その構
成から、オリフィス型やダブルインレット型の冷凍機に
必要であったバッファが不要であり、全体の大きさが従
来の冷凍機と比較してコンパクトであることも確認され
た。
【0046】
【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、冷
凍効率を向上させることができ、かつ冷凍機全体の大き
さを小型化できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るパルス管冷凍
機を示す構成図である。
【図2】前記パルス管冷凍機の動作を説明するための説
明図である。
【図3】前記パルス管冷凍機の動作を説明するための説
明図である。
【図4】前記パルス管冷凍機を構成するバルブの動作状
態を示す動作線図である。
【図5】本発明の第2の実施の形態に係るパルス管冷凍
機を示す構成図である。
【図6】本発明の第3の実施の形態に係るパルス管冷凍
機を示す構成図である。
【図7】本発明の第4の実施の形態に係るパルス管冷凍
機を示す構成図である。
【図8】本発明の第5の実施の形態に係るパルス管冷凍
機を示す構成図である。
【図9】実施例の結果を示す図(グラフ)である。
【図10】実施例の他の結果を示す図(グラフ)であ
る。
【符号の説明】
1〜5 パルス管冷凍機 10,210,310 第1のパルス管冷凍手段 20,220,320 第2のパルス管冷凍手段 11,21,46,211,221,311,321
パルス管 40 流路開閉手段であるオン−オフバルブ 41 流量調節手段であるオリフィス 12,22,47,212,222, 熱交換器である
蓄冷器 312,322 熱交換器 30 圧力振動発生手段 48 伝熱部材 100 第1段の冷凍部 200 第2段の冷凍部 300 第3段の冷凍部

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パルス管とこのパルス管の低温側に設け
    られた熱交換器とを備えた第1のパルス管冷凍手段およ
    び第2のパルス管冷凍手段と、これら第1、第2のパル
    ス管冷凍手段の各熱交換器の高温側に設けられて作動ガ
    スの圧力振動を生じさせる圧力振動発生手段とを備え、
    前記第1、第2のパルス管冷凍手段の各パルス管の高温
    側が互いに連通していることを特徴とするパルス管冷凍
    機。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のパルス管冷凍機におい
    て、前記第1、第2のパルス管冷凍手段における各パル
    ス管の高温側が流量調節手段を介して連通していること
    を特徴とするパルス管冷凍機。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載のパルス管冷凍機におい
    て、前記第1、第2のパルス管冷凍手段における各パル
    ス管の高温側が流路開閉手段を介して連通していること
    を特徴とするパルス管冷凍機。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれかに記載のパルス
    管冷凍機において、前記第1、第2のパルス管冷凍手段
    における各パルス管の高温側と前記各熱交換器の高温側
    とが互いに連通していることを特徴とするパルス管冷凍
    機。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載のパルス
    管冷凍機において、前記第1、第2のパルス管冷凍手段
    における各熱交換器は蓄冷器から構成され、これらの蓄
    冷器が伝熱部材を介して接続されていることを特徴とす
    るパルス管冷凍機。
  6. 【請求項6】 請求項1〜5のいずれかに記載のパルス
    管冷凍機において、前記第1、第2のパルス管冷凍手段
    から構成された第1段の冷凍部と、前記第1、第2のパ
    ルス管冷凍手段とは別の第1、第2のパルス管冷凍手段
    から構成された第2段の冷凍部とを少なくとも備え、こ
    れら第1段、第2段の冷凍部の間で各熱交換器同士が直
    列に連通していることを特徴とするパルス管冷凍機。
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