JPH101330A - 紫外域透過の良いガラス - Google Patents
紫外域透過の良いガラスInfo
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- JPH101330A JPH101330A JP17053596A JP17053596A JPH101330A JP H101330 A JPH101330 A JP H101330A JP 17053596 A JP17053596 A JP 17053596A JP 17053596 A JP17053596 A JP 17053596A JP H101330 A JPH101330 A JP H101330A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/12—Silica-free oxide glass compositions
- C03C3/23—Silica-free oxide glass compositions containing halogen and at least one oxide, e.g. oxide of boron
- C03C3/247—Silica-free oxide glass compositions containing halogen and at least one oxide, e.g. oxide of boron containing fluorine and phosphorus
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 塩化物の導入や水酸基の強制的導入を行うこ
となく、更に、高価な高純度原料も用いることなしに、
紫外線透過率が良好で、耐失透性に優れ、安定した品質
のガラスを製造することにある。 【解決手段】 モル％で、ＮＨ4Ｆ・ＨＦを０．０１〜
１％、好ましくは０．０１〜０．５％含有させることに
より上記目標を十分に満足するガラスを得る。
となく、更に、高価な高純度原料も用いることなしに、
紫外線透過率が良好で、耐失透性に優れ、安定した品質
のガラスを製造することにある。 【解決手段】 モル％で、ＮＨ4Ｆ・ＨＦを０．０１〜
１％、好ましくは０．０１〜０．５％含有させることに
より上記目標を十分に満足するガラスを得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、短波長領域、特に
概ね３５０ｎｍ以下の紫外線において優れた透過性を示
す光学ガラスに関する。
概ね３５０ｎｍ以下の紫外線において優れた透過性を示
す光学ガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＳＩ等の半導体素子の高集積化
の進展は著しく、その製造にあたっては素子の微細化が
これに伴って急速に進展している。このように素子の微
細化を可能にしているのは、光リソグラフィ技術であ
り、これら半導体露光装置に用いられる光の波長はｇ線
（４０５ｎｍ）からｉ線（３６５ｎｍ）へと短波長側へ
移行してきた。最近では更に短波長であるＫｒＦエキシ
マレーザも用いられつつある。ｉ線用のガラスについて
は、（株）オハラ発行のｉ線用ガラスカタログ（１９９
１年発行）に示されているように、細かな目的に応じた
各種組成のガラスによって高い透過性が付与されてお
り、これらが活用されている。しかし、ＫｒＦエキシマ
レーザについては、これらのガラスにおいてさえもほと
んど透過せず、わずかに合成石英やアルカリまたはアル
カリ土類のハロゲン化物結晶にのみ、非常に良い透過性
を有するものがあるものの、ハロゲン化物の結晶は均質
性があまり良好でない。したがって石英のみで光学系が
組まれているが、これについても収差の問題を抱えてい
る。
の進展は著しく、その製造にあたっては素子の微細化が
これに伴って急速に進展している。このように素子の微
細化を可能にしているのは、光リソグラフィ技術であ
り、これら半導体露光装置に用いられる光の波長はｇ線
（４０５ｎｍ）からｉ線（３６５ｎｍ）へと短波長側へ
移行してきた。最近では更に短波長であるＫｒＦエキシ
マレーザも用いられつつある。ｉ線用のガラスについて
は、（株）オハラ発行のｉ線用ガラスカタログ（１９９
１年発行）に示されているように、細かな目的に応じた
各種組成のガラスによって高い透過性が付与されてお
り、これらが活用されている。しかし、ＫｒＦエキシマ
レーザについては、これらのガラスにおいてさえもほと
んど透過せず、わずかに合成石英やアルカリまたはアル
カリ土類のハロゲン化物結晶にのみ、非常に良い透過性
を有するものがあるものの、ハロゲン化物の結晶は均質
性があまり良好でない。したがって石英のみで光学系が
組まれているが、これについても収差の問題を抱えてい
る。
【０００３】従来、紫外域透過性が比較的良好なガラス
として弗燐酸塩系ガラスが知られているが、これについ
ても３００ｎｍ以下の波長の光に対して十分な透過性を
付与することは困難であった。現在、ＫｒＦエキシマレ
ーザ光の透過性が良好な弗燐酸塩ガラスとしては、例え
ば特開平２−２８３６３５号公報記載の少量燐酸含有弗
化物ガラスにＢａＣｌ2を０．５〜１６．５モル％含有
させたもの、および特開平８−１０４５３８号公報記載
の燐酸塩ガラスにＯＨイオンを導入するものが知られて
いるにすぎない。ところが特開平２−２８３６３５号公
報記載のガラスは安定性向上のため大量の塩素イオンを
導入しており、このために３５０ｎｍ以下の紫外線域で
は十分な透過性が得られない。また、特開平８−１０４
５３８号公報記載のガラスは水蒸気または水酸化物の形
でＯＨイオンを導入しているが、水蒸気を導入する場合
は化学的耐久性を損ね易く、水酸基の導入は原料中の遷
移金属の除去がし難いために、十分な透過性が得にくか
ったり、高価な原料を使う必要がある。
として弗燐酸塩系ガラスが知られているが、これについ
ても３００ｎｍ以下の波長の光に対して十分な透過性を
付与することは困難であった。現在、ＫｒＦエキシマレ
ーザ光の透過性が良好な弗燐酸塩ガラスとしては、例え
ば特開平２−２８３６３５号公報記載の少量燐酸含有弗
化物ガラスにＢａＣｌ2を０．５〜１６．５モル％含有
させたもの、および特開平８−１０４５３８号公報記載
の燐酸塩ガラスにＯＨイオンを導入するものが知られて
いるにすぎない。ところが特開平２−２８３６３５号公
報記載のガラスは安定性向上のため大量の塩素イオンを
導入しており、このために３５０ｎｍ以下の紫外線域で
は十分な透過性が得られない。また、特開平８−１０４
５３８号公報記載のガラスは水蒸気または水酸化物の形
でＯＨイオンを導入しているが、水蒸気を導入する場合
は化学的耐久性を損ね易く、水酸基の導入は原料中の遷
移金属の除去がし難いために、十分な透過性が得にくか
ったり、高価な原料を使う必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に見
られる、酸化物の導入による透過性低下の問題や水酸基
の強制的導入を伴わず、更にこれらのガラスを製造する
ために用いられる高価な高純度原料による原料費の増加
を生じることなく、これらの方法による製品と同等もし
くはそれ以上の効果を有する製品を得ることにある。即
ち、従来と同等な原料を使用しながらも、従来製品より
短波長まで光透過性の優れたガラスに与えることにあ
る。
られる、酸化物の導入による透過性低下の問題や水酸基
の強制的導入を伴わず、更にこれらのガラスを製造する
ために用いられる高価な高純度原料による原料費の増加
を生じることなく、これらの方法による製品と同等もし
くはそれ以上の効果を有する製品を得ることにある。即
ち、従来と同等な原料を使用しながらも、従来製品より
短波長まで光透過性の優れたガラスに与えることにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明者は鋭意研究を重ねた結果、特許請求範囲に
記載のＮＨ4Ｆ・ＨＦを含有させることにより、意外に
もより短波長までの紫外域の透過率を良くすることを見
いだし本発明をなすに至った。
め、本発明者は鋭意研究を重ねた結果、特許請求範囲に
記載のＮＨ4Ｆ・ＨＦを含有させることにより、意外に
もより短波長までの紫外域の透過率を良くすることを見
いだし本発明をなすに至った。
【０００６】即ち、請求項１に記載の発明は、必須成分
として、ＮＨ4Ｆ・ＨＦをモル％で、０．０１〜１％含
有することを特徴とする弗燐酸塩ガラスであり、請求項
２に記載の発明は、モル％で、 Ｐ2Ｏ5 ０．２〜２５％、 Ａｌ2Ｏ3 ０〜１０％、 ＡｌＦ3 ０〜４０％、 ＭｇＦ2 ０〜１５％、 ＣａＦ2 ０〜３０％、 ＳｒＦ2 ０〜３０％、 ＢａＦ2 ０〜２５％、 ＺｎＦ2 ０〜 ５％、 ＹＦ3 ０〜１５％、 ＬｉＦ ０〜 ５％、 ＮａＦ ０〜 ５％、 ＫＦ ０〜 ５％、 ＮＨ4Ｆ・ＨＦ ０．０１〜 １％、 ＳｉＦ4 ０〜 ２％、 ＰＦ5 ０〜 ５％、 ＭｇＯ ０〜 ５％、 ＣａＯ ０〜 ５％、 ＳｒＯ ０〜 ５％、 ＢａＯ ０〜 ５％、 ＺｎＯ ０〜 ５％、 Ｙ2Ｏ3 ０〜１５％、 Ｌｉ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｎａ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｋ2Ｏ ０〜 ２％、 の組成を有し、更にＯ／Ｆの原子比が０．０１〜２であ
ることを特徴とする、請求項１に記載の弗燐酸塩ガラス
であり、請求項３に記載の発明は、モル％で、 Ｐ2Ｏ5 １〜２０％、 Ａｌ2Ｏ3 ０．２〜 ７％、 ＡｌＦ3 ７〜３５％、 ＭｇＦ2 ５〜１０％、 ＣａＦ2 １５〜３０％、 ＳｒＦ2 １２〜２５％、 ＢａＦ2 ５〜２５％、 ＹＦ3 ０〜１０％、 ＮａＦ ０〜 ２％、 ＫＦ ０〜 ３％、 ＮＨ4Ｆ・ＨＦ ０．０１〜０．５％、 ＳｉＦ4 ０〜 １％、 ＰＦ5 ０〜 ３％、 ＭｇＯ ０〜 ２％、 ＣａＯ ０〜 ２％、 ＳｒＯ ０〜 ２％、 ＢａＯ ０〜 ２％、 Ｙ2Ｏ3 ０〜 ８％、 Ｎａ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｋ2Ｏ ０〜 ２％、 の組成を有し、更にＯ／Ｆの原子比が０．０１〜１であ
ることを特徴とする、請求項２に記載の弗燐酸塩ガラス
であり、請求項４に記載の発明は、モル％で、 Ｐ2Ｏ5 １〜２０％、 Ａｌ2Ｏ3 ０．２〜 ７％、 ＡｌＦ3 ７〜３５％、 ＭｇＦ2 ５〜１０％、 ＣａＦ2 １５〜３０％、 ＳｒＦ2 １２〜２５％、 ＢａＦ2 ５〜２５％、 ＹＦ3 ０〜１０％、 ＮａＦ ０〜 ２％、 ＫＦ ０．１〜 ２％、 ＮＨ4Ｆ・ＨＦ ０．０１〜０．５％、 ＳｉＦ4 ０〜 １％、 ＰＦ5 ０．１〜 ２％、 ＭｇＯ ０〜 ２％、 ＣａＯ ０〜 ２％、 ＳｒＯ ０〜 ２％、 ＢａＯ ０〜 ２％、 Ｙ2Ｏ3 ０〜 ８％、 Ｎａ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｋ2Ｏ ０〜 ２％、 の組成を有することを特徴とする、請求項３に記載の弗
燐酸塩ガラスである。
として、ＮＨ4Ｆ・ＨＦをモル％で、０．０１〜１％含
有することを特徴とする弗燐酸塩ガラスであり、請求項
２に記載の発明は、モル％で、 Ｐ2Ｏ5 ０．２〜２５％、 Ａｌ2Ｏ3 ０〜１０％、 ＡｌＦ3 ０〜４０％、 ＭｇＦ2 ０〜１５％、 ＣａＦ2 ０〜３０％、 ＳｒＦ2 ０〜３０％、 ＢａＦ2 ０〜２５％、 ＺｎＦ2 ０〜 ５％、 ＹＦ3 ０〜１５％、 ＬｉＦ ０〜 ５％、 ＮａＦ ０〜 ５％、 ＫＦ ０〜 ５％、 ＮＨ4Ｆ・ＨＦ ０．０１〜 １％、 ＳｉＦ4 ０〜 ２％、 ＰＦ5 ０〜 ５％、 ＭｇＯ ０〜 ５％、 ＣａＯ ０〜 ５％、 ＳｒＯ ０〜 ５％、 ＢａＯ ０〜 ５％、 ＺｎＯ ０〜 ５％、 Ｙ2Ｏ3 ０〜１５％、 Ｌｉ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｎａ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｋ2Ｏ ０〜 ２％、 の組成を有し、更にＯ／Ｆの原子比が０．０１〜２であ
ることを特徴とする、請求項１に記載の弗燐酸塩ガラス
であり、請求項３に記載の発明は、モル％で、 Ｐ2Ｏ5 １〜２０％、 Ａｌ2Ｏ3 ０．２〜 ７％、 ＡｌＦ3 ７〜３５％、 ＭｇＦ2 ５〜１０％、 ＣａＦ2 １５〜３０％、 ＳｒＦ2 １２〜２５％、 ＢａＦ2 ５〜２５％、 ＹＦ3 ０〜１０％、 ＮａＦ ０〜 ２％、 ＫＦ ０〜 ３％、 ＮＨ4Ｆ・ＨＦ ０．０１〜０．５％、 ＳｉＦ4 ０〜 １％、 ＰＦ5 ０〜 ３％、 ＭｇＯ ０〜 ２％、 ＣａＯ ０〜 ２％、 ＳｒＯ ０〜 ２％、 ＢａＯ ０〜 ２％、 Ｙ2Ｏ3 ０〜 ８％、 Ｎａ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｋ2Ｏ ０〜 ２％、 の組成を有し、更にＯ／Ｆの原子比が０．０１〜１であ
ることを特徴とする、請求項２に記載の弗燐酸塩ガラス
であり、請求項４に記載の発明は、モル％で、 Ｐ2Ｏ5 １〜２０％、 Ａｌ2Ｏ3 ０．２〜 ７％、 ＡｌＦ3 ７〜３５％、 ＭｇＦ2 ５〜１０％、 ＣａＦ2 １５〜３０％、 ＳｒＦ2 １２〜２５％、 ＢａＦ2 ５〜２５％、 ＹＦ3 ０〜１０％、 ＮａＦ ０〜 ２％、 ＫＦ ０．１〜 ２％、 ＮＨ4Ｆ・ＨＦ ０．０１〜０．５％、 ＳｉＦ4 ０〜 １％、 ＰＦ5 ０．１〜 ２％、 ＭｇＯ ０〜 ２％、 ＣａＯ ０〜 ２％、 ＳｒＯ ０〜 ２％、 ＢａＯ ０〜 ２％、 Ｙ2Ｏ3 ０〜 ８％、 Ｎａ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｋ2Ｏ ０〜 ２％、 の組成を有することを特徴とする、請求項３に記載の弗
燐酸塩ガラスである。
【０００７】本発明による紫外透過の良いガラスにおい
て、上記組成に限定した理由を以下に述べる。
て、上記組成に限定した理由を以下に述べる。
【０００８】ＮＨ4Ｆ・ＨＦはガラスの酸化を抑制し、
溶融容器成分の溶出防止に効果があるが、その量が０．
０１％未満ではその効果は不十分であり、また１％を越
えると還元作用が過剰となり過ぎ、溶融容器を損傷する
恐れがある。したがってＮＨ4Ｆ・ＨＦは０．０１〜１
％の範囲に限定される。特に好ましいＮＨ4Ｆ・ＨＦ量
は０．０１〜０．５％の範囲である。
溶融容器成分の溶出防止に効果があるが、その量が０．
０１％未満ではその効果は不十分であり、また１％を越
えると還元作用が過剰となり過ぎ、溶融容器を損傷する
恐れがある。したがってＮＨ4Ｆ・ＨＦは０．０１〜１
％の範囲に限定される。特に好ましいＮＨ4Ｆ・ＨＦ量
は０．０１〜０．５％の範囲である。
【０００９】Ｐ2Ｏ5成分はガラス形成酸化物としてガラ
スの構造を作る必須成分であり、本発明のような弗燐酸
塩系ガラスにおいてはガラスの安定性に大きく寄与する
成分である。Ｐ2Ｏ5の他にも、他の成分の各種の燐酸塩
（例えば、Ｍｇ（ＰＯ3）2、Ｃａ（ＰＯ3）2やＡｌ（Ｐ
Ｏ3）3等の原料）をＰ2Ｏ5原料として用いることができ
る。ここでＰ2Ｏ5の量が０．２％未満であると失透を生
じやすく、また、２５％を越えると紫外線透過性が低下
し、本発明の目標とする紫外線透過率が得られない。し
たがって失透せず、紫外線透過率の良好なガラスを得る
ためには、Ｐ2Ｏ5量は０．２〜２５％に限定される。特
に１〜２０％の範囲にあることが好ましい。
スの構造を作る必須成分であり、本発明のような弗燐酸
塩系ガラスにおいてはガラスの安定性に大きく寄与する
成分である。Ｐ2Ｏ5の他にも、他の成分の各種の燐酸塩
（例えば、Ｍｇ（ＰＯ3）2、Ｃａ（ＰＯ3）2やＡｌ（Ｐ
Ｏ3）3等の原料）をＰ2Ｏ5原料として用いることができ
る。ここでＰ2Ｏ5の量が０．２％未満であると失透を生
じやすく、また、２５％を越えると紫外線透過性が低下
し、本発明の目標とする紫外線透過率が得られない。し
たがって失透せず、紫外線透過率の良好なガラスを得る
ためには、Ｐ2Ｏ5量は０．２〜２５％に限定される。特
に１〜２０％の範囲にあることが好ましい。
【００１０】Ａｌ2Ｏ3成分はメタ燐酸塩、正燐酸塩、ピ
ロ燐酸塩等の各種の燐酸塩や酸化物等で用いられ、ガラ
スの化学的耐久性や耐失透性を向上させるのに有効であ
る。しかし、その量が１０％を越えるとかえって耐失透
性が低下し、均質なガラスが得難くなる。耐失透性およ
び化学的安定性を考慮するとＡｌ2Ｏ3量は０〜１０％に
限定される。特に０．２〜７％の範囲にあることが好ま
しい。
ロ燐酸塩等の各種の燐酸塩や酸化物等で用いられ、ガラ
スの化学的耐久性や耐失透性を向上させるのに有効であ
る。しかし、その量が１０％を越えるとかえって耐失透
性が低下し、均質なガラスが得難くなる。耐失透性およ
び化学的安定性を考慮するとＡｌ2Ｏ3量は０〜１０％に
限定される。特に０．２〜７％の範囲にあることが好ま
しい。
【００１１】ＡｌＦ3成分はガラスのアッベ数（νｄ）
を高め、失透傾向を防止するのに効果があるが、その量
が４０％を越えるとかえって耐失透性が低下し好ましく
ない。したがって、ＡｌＦ3量は０〜４０％に限定され
る。特に７〜３５％の範囲にあることが好ましい。
を高め、失透傾向を防止するのに効果があるが、その量
が４０％を越えるとかえって耐失透性が低下し好ましく
ない。したがって、ＡｌＦ3量は０〜４０％に限定され
る。特に７〜３５％の範囲にあることが好ましい。
【００１２】ＭｇＦ2、ＣａＦ2、ＳｒＦ2およびＢａＦ2
の各成分もガラスの耐失透性を向上させるのに効果があ
るが、それぞれＭｇＦ2は１５％、ＣａＦ2は３０％を、
ＳｒＦ2は３０％を、およびＢａＦ2は２５％を越える
と、かえって耐失透性が低下し好ましくない。したがっ
てＭｇＦ2は０〜１５％、ＣａＦ2は０〜３０％、ＳｒＦ
2は０〜３０％、ＢａＦ2は０〜２５％に限定される。特
にＭｇＦ2は５〜１０％、ＣａＦ2は１５〜３０％、Ｓｒ
Ｆ2は１２〜２５％、ＢａＦ2は５〜２５％の範囲にある
ことが好ましい。
の各成分もガラスの耐失透性を向上させるのに効果があ
るが、それぞれＭｇＦ2は１５％、ＣａＦ2は３０％を、
ＳｒＦ2は３０％を、およびＢａＦ2は２５％を越える
と、かえって耐失透性が低下し好ましくない。したがっ
てＭｇＦ2は０〜１５％、ＣａＦ2は０〜３０％、ＳｒＦ
2は０〜３０％、ＢａＦ2は０〜２５％に限定される。特
にＭｇＦ2は５〜１０％、ＣａＦ2は１５〜３０％、Ｓｒ
Ｆ2は１２〜２５％、ＢａＦ2は５〜２５％の範囲にある
ことが好ましい。
【００１３】ＺｎＦ2成分もガラスの耐失透性を改善す
るために任意に添加し得るが、その量が５％を越えると
かえってガラスが不安定になりやすい。したがって、Ｚ
ｎＦ2量は０〜５％に限定される。
るために任意に添加し得るが、その量が５％を越えると
かえってガラスが不安定になりやすい。したがって、Ｚ
ｎＦ2量は０〜５％に限定される。
【００１４】ＹＦ3成分もガラスの耐失透性を改善する
のに効果があるが、その量が１５％を越えるとこの効果
はもはや見られなくなる。したがって、ＹＦ3量は０〜
１５％に限定される。特に０〜１０％の範囲にあること
が好ましい。
のに効果があるが、その量が１５％を越えるとこの効果
はもはや見られなくなる。したがって、ＹＦ3量は０〜
１５％に限定される。特に０〜１０％の範囲にあること
が好ましい。
【００１５】ＬｉＦ、ＮａＦおよびＫＦは原料の溶融性
を改善するのに有効な成分であるが、その量がそれぞれ
５％を越えると、溶融中での揮発量が大きくなり均質な
ガラスが得難くなったり、失透を生じやすくなって好ま
しくない。したがって、これら各成分はそれぞれ０〜５
％の範囲に限定される。特にＮａＦ量は０〜２％、ＫＦ
量は０〜３％の範囲にあることが好ましい。更に好まし
いＫＦ量は０．１〜２％の範囲である。
を改善するのに有効な成分であるが、その量がそれぞれ
５％を越えると、溶融中での揮発量が大きくなり均質な
ガラスが得難くなったり、失透を生じやすくなって好ま
しくない。したがって、これら各成分はそれぞれ０〜５
％の範囲に限定される。特にＮａＦ量は０〜２％、ＫＦ
量は０〜３％の範囲にあることが好ましい。更に好まし
いＫＦ量は０．１〜２％の範囲である。
【００１６】ＳｉＦ4はガラスに低分散性を付与するの
に有効であるが、その量が２％を越えると失透傾向が著
しく増加し好ましくない。したがって、ＳｉＦ4量は０
〜２％の範囲に限定される。特に０〜１％の範囲にある
ことが好ましい。
に有効であるが、その量が２％を越えると失透傾向が著
しく増加し好ましくない。したがって、ＳｉＦ4量は０
〜２％の範囲に限定される。特に０〜１％の範囲にある
ことが好ましい。
【００１７】ＰＦ5成分はアルカリ金属等の弗化物との
複塩として用いることができ、ガラス化範囲の拡大に非
常に有効な成分である。しかし、その量が５％を越える
と溶融中での揮発量の増大により均質化が困難となり、
また失透傾向も著しく増大する。したがって、ＰＦ5量
は０〜５％の範囲に限定される。特に０〜３％の範囲が
好ましく、更に好ましくは０．１〜２％の範囲である。
複塩として用いることができ、ガラス化範囲の拡大に非
常に有効な成分である。しかし、その量が５％を越える
と溶融中での揮発量の増大により均質化が困難となり、
また失透傾向も著しく増大する。したがって、ＰＦ5量
は０〜５％の範囲に限定される。特に０〜３％の範囲が
好ましく、更に好ましくは０．１〜２％の範囲である。
【００１８】ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯおよびＺ
ｎＯは弗化物の一部または全部をそれぞれ０〜５％の範
囲に限定される。更に好ましくは０〜２％の範囲まで置
換して用いる。特に好ましくはＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ
およびＢａＯのみを０〜２％の範囲で置換して用いる。
ｎＯは弗化物の一部または全部をそれぞれ０〜５％の範
囲に限定される。更に好ましくは０〜２％の範囲まで置
換して用いる。特に好ましくはＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ
およびＢａＯのみを０〜２％の範囲で置換して用いる。
【００１９】Ｙ2Ｏ3はＹＦ3の一部または全部を０〜１
５％の範囲まで置換して用いることができる。光学性
能、安定性等を考慮すると好ましくは０〜８％の範囲で
ある。
５％の範囲まで置換して用いることができる。光学性
能、安定性等を考慮すると好ましくは０〜８％の範囲で
ある。
【００２０】Ｌｉ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ、およびＫ2ＯはＬｉ
Ｆ、ＮａＦおよびＫＦからそれぞれ０〜２％の範囲まで
置換して使用できる。特に好ましくはＮａ2ＯおよびＫ2
Ｏのみを０〜２％の範囲で置換して使用する。
Ｆ、ＮａＦおよびＫＦからそれぞれ０〜２％の範囲まで
置換して使用できる。特に好ましくはＮａ2ＯおよびＫ2
Ｏのみを０〜２％の範囲で置換して使用する。
【００２１】Ｏ／Ｆの原子比については、紫外線透過率
を高めるためには原子半径の小さいＦを多く含有する必
要があるが、全量弗化物塩ではガラス化範囲が非常に狭
いため失透し易くなり、またＯ／Ｆが２以上ではＦ原子
が不足し紫外線透過率を向上させることはできない。し
たがってＯ／Ｆの原子比は、０．０１〜２の範囲にある
ことが好ましい。その他、光学恒数の調整や溶融特性改
善のために、ＬａＦ3やＮＨ4Ｆ等を添加しても良い。
を高めるためには原子半径の小さいＦを多く含有する必
要があるが、全量弗化物塩ではガラス化範囲が非常に狭
いため失透し易くなり、またＯ／Ｆが２以上ではＦ原子
が不足し紫外線透過率を向上させることはできない。し
たがってＯ／Ｆの原子比は、０．０１〜２の範囲にある
ことが好ましい。その他、光学恒数の調整や溶融特性改
善のために、ＬａＦ3やＮＨ4Ｆ等を添加しても良い。
【００２２】
【実施例】次に本発明の実施例を表１〜２に示す。特に
表１はＮＨ4Ｆ・ＨＦを含む組成系と含まない組成系の
ガラスについて、ガラスの組成、両面研磨した厚さ１０
ｍｍのガラス試料の分光透過率曲線における透過率８０
％の光線波長、ガラスの屈折率（ｎｄ）およびアッベ数
（νｄ）について、比較した結果を示す。また、図１は
ＮＨ4Ｆ・ＨＦの含有量と８０％透過液の代表的な例を
示す。
表１はＮＨ4Ｆ・ＨＦを含む組成系と含まない組成系の
ガラスについて、ガラスの組成、両面研磨した厚さ１０
ｍｍのガラス試料の分光透過率曲線における透過率８０
％の光線波長、ガラスの屈折率（ｎｄ）およびアッベ数
（νｄ）について、比較した結果を示す。また、図１は
ＮＨ4Ｆ・ＨＦの含有量と８０％透過液の代表的な例を
示す。
【００２３】
【表１】
【００２４】表１に示すように、本発明の実施例Ｎｏ．
１〜４に比較し、ＮＨ4Ｆ・ＨＦを含有しない比較例Ｎ
ｏ．１〜４はいずれも８０％透過波長が長波長傾向にな
っており、紫外透過性に対するＮＨ4・ＨＦの効果がわ
かる。
１〜４に比較し、ＮＨ4Ｆ・ＨＦを含有しない比較例Ｎ
ｏ．１〜４はいずれも８０％透過波長が長波長傾向にな
っており、紫外透過性に対するＮＨ4・ＨＦの効果がわ
かる。
【００２５】
【図１】
【００２６】図１に示すように、ＮＨ4Ｆ・ＨＦを少量
添加することにより、添加しないものよりも紫外線透過
率が格段に向上する。一方、１％添加付近ではその添加
量に対する透過率の向上が鈍くなってきている。
添加することにより、添加しないものよりも紫外線透過
率が格段に向上する。一方、１％添加付近ではその添加
量に対する透過率の向上が鈍くなってきている。
【００２７】更に表２に本発明に係る光学ガラスの組
成、８０％透過波長、ｎｄおよびνｄの実施例を示す。
成、８０％透過波長、ｎｄおよびνｄの実施例を示す。
【００２８】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【００２９】表１、表２および図１からわかるように、
本発明の弗燐酸塩ガラスは短波長域まで紫外線をよく透
過する。
本発明の弗燐酸塩ガラスは短波長域まで紫外線をよく透
過する。
【００３０】本発明のガラスは、いずれも燐酸塩、酸化
物、弗化物、炭酸塩、硝酸塩などの通常の光学ガラス原
料を用いて、秤量、混合し、これを白金坩堝、石英坩堝
または炭素坩堝等により約８５０〜１１５０℃でおおよ
そ１〜５時間溶融、攪拌、清澄して均質化後、金型等に
鋳込み、冷却することによって、容易に製造することが
できる。
物、弗化物、炭酸塩、硝酸塩などの通常の光学ガラス原
料を用いて、秤量、混合し、これを白金坩堝、石英坩堝
または炭素坩堝等により約８５０〜１１５０℃でおおよ
そ１〜５時間溶融、攪拌、清澄して均質化後、金型等に
鋳込み、冷却することによって、容易に製造することが
できる。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の弗燐酸塩ガ
ラスは、短波長領域まで紫外線透過性が良好なものであ
る。
ラスは、短波長領域まで紫外線透過性が良好なものであ
る。
【手続補正書】
【提出日】平成８年８月６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】追加
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、ＮＨ4Ｆ・ＨＦの含有量と８０％透過
波長の関係の代表的な例を示す図である。 ─────────────────────────────────────────────────────
波長の関係の代表的な例を示す図である。 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年８月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】
【実施例】次に本発明の実施例を表１〜２に示す。特に
表１はＮＨ４・ＨＦを含む組成系と含まない組成系のガ
ラスについて、ガラスの組成、両面研磨した厚さ１０ｍ
ｍのガラス試料の分光透過率曲線における透過率８０％
光線透過波長、ガラスの屈折率（ｎｄ）およびアッベ数
（νｄ）について、比較した結果を示す。また、図１は
ＮＨ４・ＨＦの含有量と８０％透過波長の代表的な例を
示す。
表１はＮＨ４・ＨＦを含む組成系と含まない組成系のガ
ラスについて、ガラスの組成、両面研磨した厚さ１０ｍ
ｍのガラス試料の分光透過率曲線における透過率８０％
光線透過波長、ガラスの屈折率（ｎｄ）およびアッベ数
（νｄ）について、比較した結果を示す。また、図１は
ＮＨ４・ＨＦの含有量と８０％透過波長の代表的な例を
示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
【表２】
Claims (4)
- 【請求項１】 必須成分として、ＮＨ4Ｆ・ＨＦをモル
％で、０．０１〜１％含有することを特徴とする弗燐酸
塩ガラス。 - 【請求項２】 モル％で、 Ｐ2Ｏ5 ０．２〜２５％、 Ａｌ2Ｏ3 ０〜１０％、 ＡｌＦ3 ０〜４０％、 ＭｇＦ2 ０〜１５％、 ＣａＦ2 ０〜３０％、 ＳｒＦ2 ０〜３０％、 ＢａＦ2 ０〜２５％、 ＺｎＦ2 ０〜 ５％、 ＹＦ3 ０〜１５％、 ＬｉＦ ０〜 ５％、 ＮａＦ ０〜 ５％、 ＫＦ ０〜 ５％、 ＮＨ4Ｆ・ＨＦ ０．０１〜 １％、 ＳｉＦ4 ０〜 ２％、 ＰＦ5 ０〜 ５％、 ＭｇＯ ０〜 ５％、 ＣａＯ ０〜 ５％、 ＳｒＯ ０〜 ５％、 ＢａＯ ０〜 ５％、 ＺｎＯ ０〜 ５％、 Ｙ2Ｏ3 ０〜１５％、 Ｌｉ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｎａ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｋ2Ｏ ０〜 ２％、 の組成を有し、更にＯ／Ｆの原子比が０．０１〜２であ
ることを特徴とする、請求項１に記載の弗燐酸塩ガラ
ス。 - 【請求項３】 モル％で、 Ｐ2Ｏ5 １〜２０％、 Ａｌ2Ｏ3 ０．２〜 ７％、 ＡｌＦ3 ７〜３５％、 ＭｇＦ2 ５〜１０％、 ＣａＦ2 １５〜３０％、 ＳｒＦ2 １２〜２５％、 ＢａＦ2 ５〜２５％、 ＹＦ3 ０〜１０％、 ＮａＦ ０〜 ２％、 ＫＦ ０〜 ３％、 ＮＨ4Ｆ・ＨＦ ０．０１〜０．５％、 ＳｉＦ4 ０〜 １％、 ＰＦ5 ０〜 ３％、 ＭｇＯ ０〜 ２％、 ＣａＯ ０〜 ２％、 ＳｒＯ ０〜 ２％、 ＢａＯ ０〜 ２％、 Ｙ2Ｏ3 ０〜 ８％、 Ｎａ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｋ2Ｏ ０〜 ２％、 の組成を有し、更にＯ／Ｆの原子比が０．０１〜１であ
ることを特徴とする、請求項２に記載の弗燐酸塩ガラ
ス。 - 【請求項４】 モル％で、 Ｐ2Ｏ5 １〜２０％、 Ａｌ2Ｏ3 ０．２〜 ７％、 ＡｌＦ3 ７〜３５％、 ＭｇＦ2 ５〜１０％、 ＣａＦ2 １５〜３０％、 ＳｒＦ2 １２〜２５％、 ＢａＦ2 ５〜２５％、 ＹＦ3 ０〜１０％、 ＮａＦ ０〜 ２％、 ＫＦ ０．１〜 ２％、 ＮＨ4Ｆ・ＨＦ ０．０１〜０．５％、 ＳｉＦ4 ０〜 １％、 ＰＦ5 ０．１〜 ２％、 ＭｇＯ ０〜 ２％、 ＣａＯ ０〜 ２％、 ＳｒＯ ０〜 ２％、 ＢａＯ ０〜 ２％、 Ｙ2Ｏ3 ０〜 ８％、 Ｎａ2Ｏ ０〜 ２％、 Ｋ2Ｏ ０〜 ２％、 の組成を有することを特徴とする、請求項３に記載の弗
燐酸塩ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17053596A JPH101330A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 紫外域透過の良いガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17053596A JPH101330A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 紫外域透過の良いガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH101330A true JPH101330A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15906724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17053596A Pending JPH101330A (ja) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | 紫外域透過の良いガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH101330A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011251903A (ja) * | 2000-06-05 | 2011-12-15 | Ohara Inc | 光照射による屈折率変化の小さい光学ガラス |
| JP2021178769A (ja) * | 2020-05-11 | 2021-11-18 | 株式会社オハラ | 薄板モールドプレス成形用フツリン酸光学ガラス、マルチプレス用フツリン酸光学ガラス、光学素子、プリフォーム及びレンズ |
-
1996
- 1996-06-10 JP JP17053596A patent/JPH101330A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011251903A (ja) * | 2000-06-05 | 2011-12-15 | Ohara Inc | 光照射による屈折率変化の小さい光学ガラス |
| JP2021178769A (ja) * | 2020-05-11 | 2021-11-18 | 株式会社オハラ | 薄板モールドプレス成形用フツリン酸光学ガラス、マルチプレス用フツリン酸光学ガラス、光学素子、プリフォーム及びレンズ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20060406 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060530 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20061024 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |