JPH10135554A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH10135554A JPH10135554A JP8283627A JP28362796A JPH10135554A JP H10135554 A JPH10135554 A JP H10135554A JP 8283627 A JP8283627 A JP 8283627A JP 28362796 A JP28362796 A JP 28362796A JP H10135554 A JPH10135554 A JP H10135554A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- gas laser
- voltage
- inverter
- transformer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明のガスレーザ発振装置は、昇圧トラン
スの共振周波数を外した高周波電圧の周波数に固定し、
パルス幅を変化させてレーザ出力を安定させることを目
的とする。 【解決手段】 レーザ出力を変化させる制御装置とし
て、インバータで発生する高周波電圧の周波数を昇圧ト
ランスの共振周波数を外した周波数に固定し、そのパル
ス幅を変化させる制御装置９ａを備えたガスレーザ発振
装置。
スの共振周波数を外した高周波電圧の周波数に固定し、
パルス幅を変化させてレーザ出力を安定させることを目
的とする。 【解決手段】 レーザ出力を変化させる制御装置とし
て、インバータで発生する高周波電圧の周波数を昇圧ト
ランスの共振周波数を外した周波数に固定し、そのパル
ス幅を変化させる制御装置９ａを備えたガスレーザ発振
装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインバータ部で発生
する高周波電圧の周波数を固定したガスレーザ発振装置
に関するものである。
する高周波電圧の周波数を固定したガスレーザ発振装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレーザ発振装置を図３ないし
図７に沿って説明する。図３において、１はレーザ光を
発生するためのガスレーザ媒質、２は前記ガスレーザ媒
質１を励起するための直流高電圧電源、３ａ，３ｂは前
記直流高電圧電源２に接続された放電電極、４は光増幅
したレーザ光を取出す部分透過型反射鏡、５は光増幅す
るための全反射鏡、６はレーザ管、７は直流高電圧電源
に給電する商用交流電源、８は高周波電圧を発生するイ
ンバータ、９はインバータ８の出力を制御する制御装
置、１０は前記高周波電圧を昇圧するためインバータ８
に接続した昇圧トランス、１１は前記昇圧トランス１０
にて昇圧された高電圧を整流する整流ダイオード、１２
は前記整流ダイオード１１より整流された高電圧を平滑
する平滑コンデンサである。
図７に沿って説明する。図３において、１はレーザ光を
発生するためのガスレーザ媒質、２は前記ガスレーザ媒
質１を励起するための直流高電圧電源、３ａ，３ｂは前
記直流高電圧電源２に接続された放電電極、４は光増幅
したレーザ光を取出す部分透過型反射鏡、５は光増幅す
るための全反射鏡、６はレーザ管、７は直流高電圧電源
に給電する商用交流電源、８は高周波電圧を発生するイ
ンバータ、９はインバータ８の出力を制御する制御装
置、１０は前記高周波電圧を昇圧するためインバータ８
に接続した昇圧トランス、１１は前記昇圧トランス１０
にて昇圧された高電圧を整流する整流ダイオード、１２
は前記整流ダイオード１１より整流された高電圧を平滑
する平滑コンデンサである。
【０００３】つぎに、従来のガスレーザ発振装置の動作
について説明する。まず、商用交流電源７を印加した直
流高電圧電源２に接続した放電電極３ａ，３ｂから放電
させる。この放電によりガスレーザ媒質１は放電エネル
ギーを得て励起され、その励起されたガスレーザ媒質は
部分透過型反射鏡４と全反射鏡５により形成された光共
振器で共振状態となり、部分透過型反射鏡４によりレー
ザ光が出力され、切断や溶接などのレーザ加工に用いら
れる。つぎに直流高電圧電源２の動作について説明す
る。商用交流電源７よりインバータ８へ電力を供給し、
インバータ８により高周波電圧を発生する。その高周波
電圧を昇圧トランス１０により昇圧しその高周波電圧を
整流ダイオード１１で整流し、平滑コンデンサ１２で平
滑する。また制御装置９によりインバータ部８の周波数
を制御し、レーザ出力変化を行っていた。
について説明する。まず、商用交流電源７を印加した直
流高電圧電源２に接続した放電電極３ａ，３ｂから放電
させる。この放電によりガスレーザ媒質１は放電エネル
ギーを得て励起され、その励起されたガスレーザ媒質は
部分透過型反射鏡４と全反射鏡５により形成された光共
振器で共振状態となり、部分透過型反射鏡４によりレー
ザ光が出力され、切断や溶接などのレーザ加工に用いら
れる。つぎに直流高電圧電源２の動作について説明す
る。商用交流電源７よりインバータ８へ電力を供給し、
インバータ８により高周波電圧を発生する。その高周波
電圧を昇圧トランス１０により昇圧しその高周波電圧を
整流ダイオード１１で整流し、平滑コンデンサ１２で平
滑する。また制御装置９によりインバータ部８の周波数
を制御し、レーザ出力変化を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のガスレーザ
発振装置は、レーザ出力を変化させる場合に昇圧トラン
ス１０の出力を変化させる制御装置９は、図４（ａ）の
レーザ指令出力（ｗ）に対しインバータ８で出力させる
図４（ｂ）の高周波電圧の周波数を変化させていた。そ
のため、図５に示すように高周波電圧（ｋｖ）の周波数
が、昇圧トランス１０の共振周波数ｆ0，ｆ1，ｆ2に一
致した場合に発生電圧が安定せずにレーザ出力が不安定
となる課題が発生していた。
発振装置は、レーザ出力を変化させる場合に昇圧トラン
ス１０の出力を変化させる制御装置９は、図４（ａ）の
レーザ指令出力（ｗ）に対しインバータ８で出力させる
図４（ｂ）の高周波電圧の周波数を変化させていた。そ
のため、図５に示すように高周波電圧（ｋｖ）の周波数
が、昇圧トランス１０の共振周波数ｆ0，ｆ1，ｆ2に一
致した場合に発生電圧が安定せずにレーザ出力が不安定
となる課題が発生していた。
【０００５】本発明は前記従来のガスレーザ発振装置の
課題を解消することを目的とする。
課題を解消することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のガスレーザ発振装置はインバータで発生す
る高周波電圧の周波数を昇圧トランスの固有の共振周波
数域から外した周波数に固定し、そのパルス幅を変化さ
せる制御装置を備えたものである。
に、本発明のガスレーザ発振装置はインバータで発生す
る高周波電圧の周波数を昇圧トランスの固有の共振周波
数域から外した周波数に固定し、そのパルス幅を変化さ
せる制御装置を備えたものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】上記の構成により、本発明のガス
レーザ発振装置は安定した高周波高電圧の周波数を昇圧
トランス固有の共振周波数を外した領域で使用すること
ができ、パルス幅を変化させることにより安定した出力
制御が得られるものである。
レーザ発振装置は安定した高周波高電圧の周波数を昇圧
トランス固有の共振周波数を外した領域で使用すること
ができ、パルス幅を変化させることにより安定した出力
制御が得られるものである。
【０００８】以下、本発明の実施の形態について図１お
よび図２に沿って説明する。図１において、制御装置９
ａを除くガスレーザ発振装置の構成は、図３の従来例と
同一であるため省略する。本実施の形態の制御装置９ａ
を図１および図２を用いて説明する。レーザ出力を変化
させる時に外部よりレーザ指令出力信号（図２（ａ））
を入力する。つぎにレーザ指令出力信号をインバータ駆
動信号（周波数固定）に変換する。このレーザ出力駆動
信号（周波数固定）は、昇圧トランス固有の共振周波数
を外した周波数ｆで固定されており、レーザ出力指令信
号の大きさでインバータ駆動信号のＯＮ時間、すなわち
パルス幅を決定している。そして、このインバータ駆動
信号はインバータ部へ送られ、図２（ｂ）のように、イ
ンバータの高周波電圧（ｖ）を動作させるものである。
このように、本実施の形態は、インバータで発生する高
周波電圧（ｖ）の周波数を昇圧トランス固有の共振周波
数から外した周波数に固定し、そのパルス幅を変化させ
る制御装置９ａを備えたものであり、安定してレーザ出
力を変化させることができるものである。
よび図２に沿って説明する。図１において、制御装置９
ａを除くガスレーザ発振装置の構成は、図３の従来例と
同一であるため省略する。本実施の形態の制御装置９ａ
を図１および図２を用いて説明する。レーザ出力を変化
させる時に外部よりレーザ指令出力信号（図２（ａ））
を入力する。つぎにレーザ指令出力信号をインバータ駆
動信号（周波数固定）に変換する。このレーザ出力駆動
信号（周波数固定）は、昇圧トランス固有の共振周波数
を外した周波数ｆで固定されており、レーザ出力指令信
号の大きさでインバータ駆動信号のＯＮ時間、すなわち
パルス幅を決定している。そして、このインバータ駆動
信号はインバータ部へ送られ、図２（ｂ）のように、イ
ンバータの高周波電圧（ｖ）を動作させるものである。
このように、本実施の形態は、インバータで発生する高
周波電圧（ｖ）の周波数を昇圧トランス固有の共振周波
数から外した周波数に固定し、そのパルス幅を変化させ
る制御装置９ａを備えたものであり、安定してレーザ出
力を変化させることができるものである。
【０００９】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、レーザ
出力を変化させる制御装置として、インバータで発生す
る高周波電圧の周波数を固定し、そのパルス幅を変化さ
せるもので、安定してレーザ出力を変化させることがで
きる優れた効果を奏するものである。
出力を変化させる制御装置として、インバータで発生す
る高周波電圧の周波数を固定し、そのパルス幅を変化さ
せるもので、安定してレーザ出力を変化させることがで
きる優れた効果を奏するものである。
【図１】本発明の実施の形態におけるガスレーザ発振装
置の制御装置のフローチャート
置の制御装置のフローチャート
【図２】（ａ）同実施の形態におけるレーザ指令出力
（ｗ）の変化を示す特性図 （ｂ）同実施の形態におけるインバータの高周波電圧
（ｖ）の特性図
（ｗ）の変化を示す特性図 （ｂ）同実施の形態におけるインバータの高周波電圧
（ｖ）の特性図
【図３】従来のガスレーザ発振装置のブロック構成図
【図４】（ａ）従来のレーザ指令出力（ｗ）の変化を示
す特性図 （ｂ）従来のインバータ高周波電圧（ｖ）の特性図
す特性図 （ｂ）従来のインバータ高周波電圧（ｖ）の特性図
【図５】高周波電圧と周波数の相関特性図
９ａ 制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大西 正史 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】高周波電圧を発生するインバータと、前記
高周波電圧を昇圧するための昇圧トランスと、昇圧した
高周波電圧を整流するための整流器と、整流後の高電圧
を平滑する平滑コンデンサを有する高電圧直流電源を用
い、ガスレーザ媒質を放電励起し連続またはパルス状に
レーザ光を発生するガスレーザ発振装置であって、イン
バータで発生する高周波電圧の周波数を、昇圧トランス
固有の共振周波数から外れた周波数に固定し、そのパル
ス幅を変化させることによりレーザ出力を変化させる制
御装置を備えたガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8283627A JPH10135554A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8283627A JPH10135554A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10135554A true JPH10135554A (ja) | 1998-05-22 |
Family
ID=17667971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8283627A Pending JPH10135554A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10135554A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013089788A (ja) * | 2011-10-19 | 2013-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機用電源装置 |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP8283627A patent/JPH10135554A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013089788A (ja) * | 2011-10-19 | 2013-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機用電源装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0579367B1 (en) | A laser system | |
| JP3829233B2 (ja) | 高周波電源の制御方法 | |
| JPH10135554A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS639393B2 (ja) | ||
| JP2009253024A (ja) | レーザダイオード用電源およびレーザ装置 | |
| JP2596041B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP2707357B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
| EP0798829B1 (en) | Gas laser oscillation apparatus | |
| JPS6398169A (ja) | レ−ザ発生用高周波電源装置 | |
| JP2986699B2 (ja) | Ｑスイッチ制御装置 | |
| JP2015115399A (ja) | レーザ電源装置およびレーザ電源装置の制御方法 | |
| JP2757227B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH08191168A (ja) | Ｑスイッチレ−ザ装置 | |
| JPH1126845A (ja) | レーザ電源装置 | |
| JP3706161B2 (ja) | ガスレーザー発振器の高周波電源装置 | |
| JPS62113395A (ja) | マイクロ波光源装置用電源装置 | |
| JPH1126846A (ja) | レーザ電源装置 | |
| JPH11312838A (ja) | ガスレーザ発振装置およびその制御方法 | |
| JPH042187A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP2000004060A (ja) | マイクロ波励起ガスレ―ザ発振装置 | |
| JPS6028154B2 (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| JPH1146033A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP2001244529A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPH09232658A (ja) | レーザー電源装置 | |
| JPH029184A (ja) | アレキサンドーライトレーザ発振装置の励起方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040608 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040921 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050620 |