JPH10138487A - インクジェットプリンタの噴射装置 - Google Patents

インクジェットプリンタの噴射装置

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JPH10138487A
JPH10138487A JP9325500A JP32550097A JPH10138487A JP H10138487 A JPH10138487 A JP H10138487A JP 9325500 A JP9325500 A JP 9325500A JP 32550097 A JP32550097 A JP 32550097A JP H10138487 A JPH10138487 A JP H10138487A
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heating chamber
chamber
layer
film
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    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
    • B41J2/14064—Heater chamber separated from ink chamber by a membrane

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 相異なる熱膨張係数を持つ多層で構成された
膜を有するインクジェットプリンタの噴射装置を提供す
る。 【解決手段】 複数のレジスタ層７０３と，電気的エネ
ルギを供給する複数の電極７０４，７０４’と，電気的
エネルギにより発熱するヒータ部７０５と，加熱チャン
ババリヤ７１２により形成されヒータ部７０５からの伝
熱により熱膨張する媒体を含む空間である複数の加熱チ
ャンバ７１３と，相異なる熱膨張係数を有する多数層で
形成された膜層７１４と，膜７１４とインクバリヤ７０
９により形成される空間であってインクを貯留するイン
クチャンバ７０７と，インクを媒体に噴射させるための
開口部７１０を有するノズルプレート７１１と，電気的
エネルギを供給するための電源供給手段７１５を含めて
構成される。これにより，膜７１４の垂直方向への作動
時熱変換により発生する座屈動作を迅速化させ駆動速度
を向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットプリ
ンタの噴射装置に係り，特に加熱アクチュエータ方式を
用いてインクを開口部に噴射させるために，アクチュエ
ータとして複数の膜を相異なる熱膨張係数を有する材質
で構成して，垂直方向への作動時に熱変換により発生す
る座屈（buckling)動作を迅速化させ，向上された駆動
速度を有するインクジェットプリンタの噴射装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】まず，一般のインクジェットプリンタの
構成及び動作原理を図１２に基づき説明する。
【０００３】図１２に示すように，インクジェットプリ
ンタは，プリンタインタフェースを通してコンピュータ
（図示せず）から信号を受けて，プリンタ動作に必要な
初期設定値及びシステムに必要な数値を貯蔵しているＥ
ＰＲＯＭ１１内のシステムプログラムを読み取って解釈
実行し，そのプログラム内容に応じてた制御信号を出力
するＣＰＵ１０と，制御に必要なプログラム及び多数の
フォントを内蔵しているＲＯＭ１２と，システム動作時
のデータを一時に保管するために使われるＲＡＭ１３
と，前記ＣＰＵ１０の制御に必要な殆どのロジック回路
を備えており，ＣＰＵ１０の周辺素子に対するデータ伝
送を実行するＡＳＩＣ回路部２０と，ＡＳＩＣ回路２０
から伝達されるＣＰＵ１０の制御信号に応じてインクカ
ートリッジ３１の駆動を制御するヘッドドライバ３０
と，メインモータ４１の動作を制御するメインモータド
ライバ４０と，キャリジリターン駆動モータ５１の動作
を制御するキャリジモータドライバ５０と，ステッピン
グモータなどを用いて給紙及び排紙を行うためのライン
フィードモータ６１の駆動を制御するラインフィードモ
ータドライバ６０とから主に構成される。
【０００４】コンピュータからプリンタインタフェース
を通して伝達される印刷信号は，ＣＰＵ１０の制御信号
に応じて各モータ４１，５１，６１などを駆動して印字
を施す。この際，前記インクカートリッジ３１は多数の
開口部を有するノズルから微細なインクドロップを噴射
して，印刷媒体上にドットを形成させる方式が多く用い
られている。
【０００５】ここで，インクカートリッジ３１の構成に
ついてさらに詳しく説明する。図１３は，インクカート
リッジ３１の構造を示した断面図であって，容器の外面
をなすケース１内に貯蔵されるスポンジに吸入されてい
るインク２と，ヘッド部３より構成される。
【０００６】図１４は，図１３に示したヘッド部３の拡
大断面図である。図示のように，ヘッド部３は，インク
内に混合された不純物を取り除くためのフィルタ３２
と，フィルタ３２によりフィルタリングされたインクを
貯蔵するインクスタンバイチャンバ３３と，インクスタ
ンバイチャンバ３３から供給されるインクをインク加熱
ヒータ部及びインクチャンバが形成されたチップ３５に
供するためのインクバイア３４と，インクバイア３４か
ら供給されたインクを印刷媒体に向かって噴射させるた
めの多数の開口部が設けられたノズルプレート３６とか
ら主に構成されている。
【０００７】図１５は図１４のＩＶ−ＩＶ’軸に沿って
ノズルプレート３６を切断した様子を示す断面図であ
る。図１５に示すように，ヘッド部３の先端には，多数
の開口部を有するノズルプレート３６とチップ３５との
間のインクチャンバ（図示せず）に提供するためのイン
クバイア３４と，インクブァイア３４からノズルプレー
ト３６の各開口部にインクを伝達するための多数のイン
クチャンネル３７と，インクチャンネル３７を通して供
給されたインクを噴射する多数のチップ３５と，多数の
チップ３５に電源を供するための多数の電気的接続手段
３８が形成されている。
【０００８】図１６は，図１５のＶ−Ｖ’軸に沿ってチ
ップ３５を切断した様子を示す拡大断面図である。シリ
コン（Ｓｉ）基板１０１層上に，酸化膜表面処理により
生成された酸化表面膜（ＳｉＯ2）１０２の上部に形成
され電気的なエネルギを印加することにより加熱するレ
ジスタ層１０３と，レジスタ層１０３の上部に形成され
電気的に連結を供する二つの電極１０４，１０４’と，
前記二つの電極１０４，１０４’の上部とレジスタ層１
０３との間に形成されるヒータ部１０５がインクとの化
学作用により腐食及び変形されることを防ぐための多層
構造の保護層１０６と，ヒータ部１０５から発生される
熱によりインク内にバブルを生成させるインクチャンバ
１０７と，インクバイア３４から供給されるインクをイ
ンクチャンバ１０７に供給するための流路として機能す
るインクチャネル（図示せず。）と，インクチャネルを
介して供給されるインクをインクチャンバ１０７内に到
達するための空間を形成する壁として機能するインクバ
リヤ１０９と，インクチャンバ１０７で形成されるバブ
ルの体積変化により押されるインクを噴射させるための
多数の開口部１１０を有するノズルプレート１１１とか
ら構成されている。
【０００９】この際，ノズルプレート１１１と加熱ヒー
タ１０５は，相互に一定距離離れて付着されている。ま
た，一対の電極１０４，１０４’は，外部から電気的に
接続のための端子バンパ（図示せず）と接続されてい
る。このバンパと電気的な接続がヘッドコントローラ
（図示せず）と相互接続され，それぞれのノズル開口部
の定められた位置でインクを噴射させることが可能であ
る。
【００１０】また，上述したように，各インクチャンバ
１０７の側面にはインク供給用のインクバリヤ１０９が
設けられているが，このインクバリヤ１０９は共通イン
クバイア３４と接続されており，インクスタンバイチャ
ンバ３３からのインクの流入を案内するようなってい
る。
【００１１】次に，上記のように構成された従来のイン
ク噴射装置の噴射動作について，図１７に基づいて説明
する。まず，印刷命令がプリンタインタフェースを通し
てＣＰＵ１０に印加され，ＣＰＵ１０はその印刷命令に
応じてヘッドドライバ３０を駆動して，印字を行いたい
位置にある一対の電極１０４，１０４’に電気的なエネ
ルギを供給する。
【００１２】二つの電極１０４，１０４’に電気的エネ
ルギが印加されると，ヒータ部１０５において，電気的
抵抗熱，すなわちＰ＝Ｉ2Ｒにより一定時間のジュール
熱が発生する。このヒータ部１０５の表面は，略５００
℃〜５５０℃まで加熱され，その上部にある複数の保護
層１０６に熱が伝導される。その際に，保護層１０６に
湿着しているインクに熱が伝達されるが，この際のヒー
タ部において蒸気圧により発生するバブル及び蒸気圧の
分布Ｃはヒータ部１０５の中心を対称軸として中心部が
最高に現れるが，この熱によりインクが加熱されてバブ
ルが形成され，この蒸気圧バブルによりヒータ部１０５
の上部のインクに体積変化が生ずる。この体積変化によ
り，インクは，多数の開口部を有するノズルプレート１
１１の開口部１１０を通して外部に押し出される。
【００１３】そして，この時点で，二つの電極１０４，
１０４’に伝達される電気的エネルギの供給を遮断する
と，瞬間的にヒータ部１０５が冷却され，膨張したバブ
ルが収縮して，インクが再び正常形態に復元しようとす
る。膨張してノズルプレートの開口部の外へ排出された
インクは，表面張力などの原理によりドロップ状に媒体
に向かって噴射され像を形成する。そして，外部に噴射
されたインクに相当する体積分だけ内部圧力が降下し
て，インクは貯蔵筒からインクバイアを経て再充填され
る。
【００１４】従来のインクジェットプリンタでは，上記
のような原理によりインクの噴射を行っていたが，かか
る従来の技術による噴射方法は次のような問題点を有し
ている。
【００１５】第１に，インクを噴射させるために，高熱
を用いてバブルを形成しているので，インク成分の熱的
変化が生じるとともに，バブルによる衝撃波で装置内部
の寿命が縮まるため，高品質の印刷を求めるユーザの不
満の原因となるという問題点があった。
【００１６】第２に，インクとレジスタ層１０３及び二
つの電極１０４，１０４’が保護層１０６を中間媒体で
接合されるているので，電気的に相互反応し，ヒータ部
１０５と二つの電極１０４，１０４’の境界層でイオン
の相互移動による腐食が発生し，ヘッドの寿命が縮まる
という問題点があった。
【００１７】第３に，インクを含有しているインクバリ
ヤ内でバブルを発生させているので，その衝撃により再
充填のためのサイクルタイムが延びるという問題点があ
った。
【００１８】第４に，バブルの形状に応じてドロップの
直進性，円形性，均一性などが左右されるため，印刷の
品質が安定しないと言う問題点があった。
【００１９】上記問題点を解決するための改善策が，大
韓民国特許出願第９６−２４６１７号及び第９６−２４
６１８号に開示されている。
【００２０】その内容を簡略に説明する。まず，構成面
をみれば，Ｓｉ基板層上に酸化表面処理のために生成さ
れた酸化表面膜（ＳｉＯ2）の上部に形成され電気的エ
ネルギを印加することにより加熱動作する複数のレジス
タ層と，レジスタ層の上部に対をなして形成され，相異
なる極性の電気的エネルギを印加可能な複数の電極と，
レジスタ層の所定部分のうち二つの電極に印加される相
異なる極性の電気的エネルギによりレジスタ層から発生
する熱を用いて加熱動作するヒータ部と，電極及びヒー
タ部の表面が空気との酸化接触により腐食及び変形され
ることを防止するための多層の保護層と，ヒータ部の上
部に一定空間を形成するために保護層を覆っている絶縁
層と，絶縁層により形成されヒータ部で発生する熱によ
り熱膨張する気体及び液体を含む空間として作用する複
数の加熱チャンバと，複数の加熱チャンバを密閉し，下
部のヒータ部からの加熱によりチャンバ内部の熱変化に
より発生する熱膨張により体積変化を生じさせるための
膜層と，膜層の上部に位置しインクバイアから伝達され
るインクをインクチャネルを通して流入させる壁として
機能するインクバリヤと，膜層とインクバリヤにより形
成される空間であってインクバイアからインクチャネル
を通して供給されたインクを含むインクチャンバと，イ
ンクバリヤ及びインクチャンバの上部に位置しインクチ
ャンバ内のインクを媒体に向かって噴射させるための複
数の開口部を有するノズルプレートと，対をなす複数の
電極に相異なる極性の電気的エネルギを供給するための
電気的接続手段とから構成されている。
【００２１】上記構成において，加熱チャンバの内部を
液体と気体の混合物で構成したのは，膜が座屈（バック
リング）現象により加熱チャンバ側に体積変形を与える
ためである。座屈現象は熱や圧力などの原因により変形
された膜が元状態に復帰する際現れる現象である。体積
が変形した膜が元の状態に復帰する際に，加熱チャンバ
方向に一定部分が弾性的に曲がりながら，インクチャン
バにインクを流入させる。なお，１００％液体のみを注
入する際に，液体は弾性を有しないので，座屈現象が現
れずインクの供給がなされない点に留意する必要があ
る。
【００２２】上記発明にかかる噴射方式により，従来の
技術にかかるインクジェットプリンタの噴射装置が有す
る殆どの問題点を解決することが可能となったが，しか
しながら，次の問題点は依然として解決されないまま残
っていた。
【００２３】すなわち，上記噴射装置においては，使用
されている膜が一層の同材質で構成されているため同一
の熱膨張率を有する。したがって，初期熱膨張時には，
加熱チャンバの急激な膨張によりインクチャンバと接触
した面と加熱チャンバと接触した面との間に不均衡が生
じる。その結果，インクチャンバ側は相対的に圧縮応力
を受けることになり，体積変形の速度が遅くなるととも
に，長期使用の間には亀裂を起こして，使用寿命の限界
を有するという問題があった。
【００２４】また，収縮時にも，インクチャンバ部の膜
部と加熱チャンバ部との収縮量が厚さ方向について線形
的に変形するために，加熱チャンバ側の分力の和が加熱
チャンバ内の残留蒸気圧より大きくなる際に長時間がか
かり，結局インク供給速度が遅くなり，従って印刷速度
が低下するという問題点も有していた。
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は，上記従来の
インクジェットプリンタの噴射装置が有する上記問題点
に鑑みてなされたものであり，その目的は，インクチャ
ンバを膜を用いてインクチャンバと加熱チャンバとに分
離することにより，レジスタ層を覆っている保護層とイ
ンクの接触による腐食を防止し，かつインク噴射による
衝撃からヒータ部を保護することにより，装置の寿命を
延長させるとともに，膜を相異なる熱膨張係数を有する
多層構造で構成することにより，上下垂直方向への動作
時に，熱発生による座屈動作をさらに迅速にして，イン
クの噴射及び再充填速度を向上させることにより，より
高速駆動が可能な，新規かつ改良されたインクジェット
プリンタの噴射装置を提供することである。
【００２６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に，本発明に基づいて構成されるインクジェットプリン
タの噴射装置は，請求項１に記載のように，基板の上部
に形成される複数のレジスタ層と，前記レジスタ層の上
部に対をなして形成され，相異なる極性の電気的エネル
ギが印加される複数の電極と，前記レジスタ層の一部と
して構成され，前記複数の電極に印加される電気的エネ
ルギにより熱を発生するヒータ部と，前記ヒータ部に一
定空間を形成するためのヒータ部の周囲に配置される加
熱チャンババリヤと，前記加熱チャンババリヤにより形
成され，前記ヒータ部から発生される熱により熱膨張す
る媒体を含む空間として構成される複数の加熱チャンバ
と，前記複数の加熱チャンバを密閉し，前記加熱チャン
バ内部が加熱される際に，熱膨張により体積変化を起こ
すとともに，相異なる熱膨張係数を有する多数層で形成
された膜層と，前記膜層の上部に位置し，インクバイア
から供給されるインクをインクチャネルを介して流入さ
せる壁として機能するインクバリヤと，前記膜とインク
バリヤにより形成される空間であってインクバイアから
インクチャネルを介して供給されるインクを含むインク
チャンバと，前記インクバリヤ及び前記インクチャンバ
の上部に位置し，前記インクチャンバ内のインクをメデ
ィアに噴射させるための開口部を有するノズルプレート
と，前記対をなす複数の電極に相異なる極性の電気的エ
ネルギを供給するための電気的連結手段を含めて構成さ
れることを特徴としている。
【００２７】膜層は，請求項２に記載のように，インク
と湿着する最上部層が前記加熱チャンバと接する層より
熱膨張率が高い材質で構成され，中間の他の層も順次に
前記加熱チャンバ側に向かうほど熱膨張率が低くなるよ
うに構成することが好ましい。さらに，膜層は，請求項
３に記載のように，１μｍ〜３μｍの範囲内の厚さに構
成することが好ましい。
【００２８】そして，膜層は，請求項４に記載のよう
に，前記加熱チャンバの上部において，前記インクチャ
ンバの前記インクバリヤにより保持され水平状態をなし
ており，前記加熱チャンバの熱膨張と相異なる熱膨張率
を有する多層による収縮率の差により，座屈運動を行う
ように構成されることが好ましい。
【００２９】また，加熱チャンバ内の媒体は，請求項５
に記載のように，気体であることが好ましく，より好ま
しくは，請求項６に記載のように，空気が充填される。
【００３０】あるいは，加熱チャンバ内の媒体は，請求
項７に記載のように，気体と液体の混合物とすることも
可能であり，その場合には，加熱チャンバ内の液体は，
請求項８に記載のように，フッ素系の溶液とすることが
できる。
【００３１】さらに，膜層は，請求項９に記載のよう
に，前記インクチャンバを形成するインクと湿着する部
分の面積が前記加熱チャンバと接する膜の面積より大き
く構成することができる。
【００３２】また，ノズルプレートの開口部は，請求項
１０に記載のように，膜の作動方向に開口するように設
けられることが好ましい。
【００３３】以上のように，本発明にかかる噴射装置の
動作の特徴は，膜の膨張及び収縮による方向性に関して
おり，膜が順次異なる熱膨張係数を有する構成されるこ
とにより変形量の差を生じさせ，この変形量による膜の
動作方向は，加熱チャンバ及びインクチャンバに対して
垂直方向を成すように構成される。
【００３４】さらに，請求項１１に記載のように，前記
基板の上部とレジスタ層との間に電気的に絶縁された金
属層が形成すれば，前記加熱ヒータであるレジスタの下
部とサポートとの間に加熱チャンバ内の熱を迅速に冷却
させ，メブレインのバックリング動作を向上させ，すな
わち動作周波数を向上させることができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】以下，添付図面を参照しながら本
発明に基づいて構成されたインクジェットプリンタの噴
射装置の好適な実施形態について詳細に説明する。な
お，以下の説明及び添付図面において，実質的に同一の
機能構成を有する構成要素については同一符号を付する
ことにより，重複説明を省略することにする。
【００３６】図１は，本発明の好適な実施形態にかかる
噴射装置の拡大断面図である。酸化表面処理された基板
層７０１の上部に形成され電気的エネルギを印加するこ
とにより加熱動作するレジスタ層７０３と，前記レジス
タ層７０３の上部に形成され対をなして相異なる極性の
電気的エネルギが印加される複数の電極７０４，７０
４’と，レジスタ層７０３の上部の所定部分のうち二つ
の電極７０４，７０４’に印加される電気的エネルギに
より前記レジスタ層７０３から発生される熱により加熱
動作するヒータ部７０５と，前記ヒータ部７０５の上部
に一定空間を形成するために前記ヒータ部の上部を除い
た保護層７０６の上部を覆っている加熱チャンババリヤ
７１２と，前記加熱チャンババリヤ７１２により形成さ
れ前記ヒータ部７０５で発生される熱により熱膨張され
る媒体を含む空間として作用する複数の加熱チャンバ７
１３と，前記加熱チャンババリヤ７１２の上部と加熱チ
ャンバ７１３の上部を覆って加熱チャンバ７１３を密閉
し，相異なる熱膨張係数を有する多数層で構成された膜
層７１４と，前記膜層７１４の上部に位置し，インクバ
イアから伝達されるインクをインクチャネルを通して流
入させる壁の役割をするインクバリヤ７０９と，前記膜
層７１４とインクバリヤ７０９により形成される空間で
あってインクを含有しているインクチャンバ７０７と，
前記インクバリヤ７０９及びインクチャンバ７０７の上
部に位置し，前記インクチャンバ７０７内のインクをメ
ディアに向かって噴射させるための複数の開口部を有す
るノズルプレート７１１と，前記対をなす複数の電極に
電気的エネルギを供給するための電気的連結手段７１５
とから構成される。
【００３７】以上のように，本実施の形態にかかる噴射
装置においては，膜層７１４を用いて加熱チャンバ７１
３とインクチャンバ７０７とを分離することにより，イ
ンクとヒータ部７０５の接触による腐食を防止し，バブ
ル生成後噴射による衝撃からヒータ部７０５を保護する
ことが可能である。
【００３８】また，前記膜層７１４は，熱膨張係数が相
異なる多数層で構成され，インクを接する最上部層の熱
膨張係数が最高であり，加熱チャンバ部７１３と接する
最下部層の熱膨張係数が最低の順に配列され構成され
る。また前記膜層７１４は，インクチャンバ７０７と接
触する最上部層の断面積が加熱チャンバ部７１３と接す
る最下部層の断面積より広く構成される。さらに前記膜
層７１４は１μｍ〜３μｍの範囲内の厚さを有するよう
に構成されている。
【００３９】前記加熱チャンバ部７１３内の媒体は空気
などの気体または気体とフッ素系の液体物質の混合物で
構成される。フッ素系の液体は熱導電性と蒸気圧が高く
溶融点が低い液体である。加熱チャンバ部７１３の内部
の蒸気圧が増加し，かつ熱伝導及び対流により膜層の最
下部層から熱が伝導され膜層の最上部に伝達される。こ
れにより，各膜層の有する固有特性である熱膨張係数に
より変形をなすことになる。
【００４０】以下，図２〜図７を参照しながら本実施の
形態にかかるインクジェットプリンタの噴射装置による
印刷動作について説明する。
【００４１】図２に示すように，二つの電極７０４，７
０４’に電気的エネルギが印加されると，レジスタ層７
０３の上部ヒータ部７０５における加熱が開始する。す
なわち，二つの電極７０４，７０４’に印加された電気
的エネルギは，レジスタ層７０３により熱エネルギに変
換される。これにより熱伝導及び対流現象により加熱チ
ャンバ７１３内の媒体は熱膨張し，かつ内部蒸気圧によ
りインクチャンバ７０７側に体積変化を起こす。
【００４２】ここで，ＡとＡ’は，膜層のうち最上部層
７１４ａ，すなわちインクチャンバ７０７内のインクと
湿着された部分に伝導された熱による熱膨張を意味す
る。そして，ＢとＢ’は膜層のうち最下部層７１４ｂ，
すなわち加熱チャンバ７１３と当接する部分に伝達され
た熱により熱膨張する力を意味する。図示のように，本
実施の形態にかかる噴射装置においては，Ａ−Ａ’がＢ
−Ｂ’より相対的に大きいことがわかる。この膜層の相
異なる熱膨張により膜層の体積変化は，インクチャンバ
７０７内のインクをノズルプレート７１１の開口部７１
０側に押圧される。
【００４３】図３は，図２に示す動作により加熱チャン
バ７１３内の熱的膨張の程度が次第に大きくなるにつ
れ，膜の膨張がさらに深化する状態を示している。かか
る動作により，インクチャンバ７０７内のインクはノズ
ルプレート７１１の開口部７１０側にさらに押圧され
る。
【００４４】図４は，図３に示す動作がピークに達し，
加熱チャンバ７１３内の熱膨張が飽和状態に達すること
により，ノズルプレート７１１の開口部７１０からイン
クが噴射される直前に至った状態を示している。
【００４５】図５は，二つの電極７０４，７０４’に供
される電気的エネルギを遮断することにより，加熱チャ
ンバ７１３内の熱膨張が停止し，収縮が開始する状態を
示している。かかる動作により，ノズルプレート７１１
の開口部７１０において，噴射直前の状態のインクは開
口部７１０から分離される。
【００４６】一方，膜層７１４（７１４ａ，７１４ｂ）
は，印加された熱エネルギが遮断されることにより，元
の状態に復帰するために収縮し始める。ここで，膜層７
１４の最上部層７１４ａと最下部層７１４ｂの熱膨張係
数が異なるために，各層の収縮変化も相違する。この
際，Ａ’はインクチャンバ７０７に湿着する最上部層７
１４ａの収縮力を，Ｂ’は加熱チャンバ７１３と当接す
る最下部層７１４ｂの収縮力を意味する。
【００４７】図６は，図５の動作により，相異なる熱膨
張係数を有する膜７１４ａ，７１４ｂの収縮及び冷却の
状態を示している。インクチャンバ７０７内のインクと
湿着した最上部層１１４ａの収縮率は，それ自体の熱膨
張係数の変化率により，その収縮の速度が速く現れ，相
対的に加熱チャンバ７１３と当接する最下部層１１４ｂ
の収縮速度は遅く進行することがわかる。この際，ノズ
ルプレート７１１の開口部７１０から取り外されたイン
ク滴は楕円形をなしている。
【００４８】図７は，図６のような膜７１４の収縮と共
にノズルプレート７１１の開口部７１０から噴射された
インク量に相当する空間が形成されたインクチャンバ７
０７内にインクが供給される状態を示している。上部膜
層７１４ａの収縮力が下部膜層７１４ｂの収縮力に比べ
て相対的に大きいので，膜７１４は一時に座屈（バック
リング）動作を示す。Ａ’＞Ｂ’なので，膜が瞬間的に
膜の下部層に屈曲される現象が現れる。これによりイン
クチャンバ７０７内の空間に形成された吸入力によりイ
ンクチャネルを通してインクが供される。そして，開口
部の外に噴射された楕円形のインク滴は円形状態を示
し，つまり用紙に印字の形態に現れる。
【００４９】次に，以上に説明した本実施の形態にかか
るインクジェットプリンタの噴射装置の動作について説
明することにする。
【００５０】すでに説明したように，本実施の形態にか
かる噴射装置においては，加熱チャンバ７１３とインク
チャンバ７０７が複数の膜層７１４により境をなしてお
り，この複数の膜層７１４は相異なる熱膨張率を有する
材質で構成されている。また，インクチャンバ７０７側
のインクと接する最上部層７１４ａの膨張係数が最高で
あり，加熱チャンバ部７１３と接する最下部層７１４ｂ
の膨張係数が最低となるように順次配列されている。
【００５１】従って，まず電気的エネルギの供給装置で
ある電極層７０４，７０４’に電源が供給されると，ヒ
ータ部７０５が加熱され加熱チャンバ７１３を加熱させ
る。この際，加熱チャンバ７１３内には気体あるいは気
体と熱伝導性と蒸気圧の高い低溶融点の液体であるフッ
素系物質の混合物が充填されている。したがって，内部
の蒸気圧が増加して圧力が増加すると共に，熱伝導及び
対流により膜７１４の最下部層７１４ｂから熱が伝導さ
れ膜の最上部層７１４ａに伝達される。これにより，各
材質の有する固有特性である熱膨張係数により変形が始
まる。
【００５２】この熱変形量は，熱膨張率が最高の膜の最
上部層７１４ａで最大となり，膜の最下部層７１４ｂに
向かうにつれ順次に変形量が小さくなる。かかる変形量
の差により，膜７１４は，加熱チャンバ７１３内の蒸気
圧により圧力が低い方向であるインクチャンバ７０７側
に体積変形を起こす。このように，加熱チャンバ７１３
の温度増加により，複数膜層７１４の熱膨張による熱変
形が生じるとともに，加熱チャンバ７１３内の気体ある
いは気体と液体の混合物を加熱させ蒸気圧を増加させ熱
変形された膜層７１４の体積変形の方向性を決定する。
【００５３】また，膜層７１４が複数の相異なる膜層７
１４ａ，７１４ｂから構成することにより，各膜７１４
（７１４ａ，７１４ｂ）の厚さ方向に関して，インクチ
ャンバ７０７側の外郭輪郭形の長さ（Ｗ２）が加熱チャ
ンバ７１３側の輪郭形の長さ（Ｗ１）より長く構成する
ことが可能である。また，インクチャンバ７０７側の温
度が加熱チャンバ７１３側の温度より低くくなり，熱変
形差が発生するが，かかる場合にも，膜層７１４を複数
の相異なる膜層７１４ａ，７１４ｂから構成することに
より柔軟に対応することができる。
【００５４】したがって，それぞれの膜７１４は，図２
〜図４に示すように，膨張時に，インクチャンバ７０７
側の膜層７１４ａはＡ−Ａ方向に変形量（δ１）だけ変
形し，加熱チャンバ７１３側の膜層７１４ｂは変形方向
はＢ−Ｂ方向に変形量（δ２）だけ変形する。その際
に，上部膜層７１４ａと下部膜層７１４ｂとの変形量の
間には，δ１＞δ２の関係が生じる。
【００５５】また，変形方向に関しては，膨張時に，加
熱チャンバ７１３内の蒸気圧変化により，膜７１４をＣ
−Ｃ方向に変形させることにより，インクチャンバ７０
７内に体積変形を生じさせ，その変形量に応じて開口部
７１０の外部に向かってインク滴に輪郭変形を生じさせ
ることができる。
【００５６】さらに，継続して加熱と膨張によりインク
チャンバ７０７内の体積変化量は増加し始める。インク
滴は，最終的に噴射直線方向の粘性による粘性力が，滴
サイズ増加と自重による粘性力より大きくなる。インク
滴が開口部７１０から分離し始める前後いずれか時点
で，図５に示すように，電気的エネルギの供給を遮断す
ると，加熱チャンバ７１３が冷却されて圧力降下を起こ
す。そして，図５〜図７に示すように，膜７１４の最上
部層７１４ａは，Ａ’−Ａ’方向に変形量（δ１’）分
だけ収縮し，膜７１４の最下部層７１４ｂは，Ｂ’−
Ｂ’方向に変形量（δ２’）分だけ収縮し始める。
【００５７】かかる動作により，膜７１４の最上部層７
１４ａと最下部層７１４ｂのＡ’−Ａ’方向とＢ’−
Ｂ’方向への収縮による圧縮力により，Ｃ’−Ｃ’方向
に分力の和による力が加わり，さらに加熱チャンバ７１
３内の圧力降下により，膜７１４は，加熱チャンバ７１
３方向へ体積変形を引き起こす。そして，いずれかの時
点で，インクチャンバ７０７側の膜７１４の最上部層７
１４ａは，温度の低いインクと直接に接することによ
り，膜７１４の最下部層７１４ｂより温度低下率が高ま
ってその収縮率が促進される。そして，最終的に，冷却
／収縮速度がそれぞれの膜層７１４ａ，７１４ｂ間にお
いて差を示すことになる。さらに，Ｃ’−Ｃ’方向の分
力が加熱チャンバ７１３内の圧力より高くなれば，座屈
（バックリング）現象が生じ，複数の膜層７１４は膨張
方向とは逆方向である加熱チャンバ７１４側に変形さ
れ，かつこの体積変化によりインクチャンバ７０７内に
吸入力が発生する。従って，インク貯蔵筒（図示せ
ず。）のインクがインクチャネルを通してインクチャン
バに流入される。
【００５８】一方，インク滴は，当初の楕円形の状態
で，印刷媒体方向に進行するが，その進行過程において
徐々に形を整え，最終的には，略円形形状をなして印刷
媒体に衝突し，印刷媒体の表面に略円形のドット像を形
成する。そして，上記のようなインクの噴射と供給を繰
り返しながら，所望の印刷動作を行うのである。
【００５９】さらに，本発明にかかるインクジェットプ
リンタの噴射装置の別の実施形態によれば，図８に示す
ように，加熱チャンバ７１３の熱冷却速度を向上させる
ために，支持手段としてのシリコン基板７０１とその上
部のレジスタ層７０３及び電極７０４，７０４’から成
る加熱装置との間に，金属層７１６を形成させればその
効果が一層良好になる。
【００６０】支持手段７０１の上部とレジスタ層７０３
との間に形成された金属層７１６は電気的に絶縁された
熱伝導性に優れた材質が使われる。そして，このように
金属層７１６が介挿されることにより，動作周波数を向
上させ，加熱チャンバ７１３内の熱を迅速に冷却させ，
膜７１４の座屈（バックンリグ）動作を支援することが
できる。
【００６１】さらに，図９〜図１１には，本発明にかか
るインクジェットプリンタの噴射装置のさらに別の実施
形態が示されている。この噴射装置においても，シリコ
ンなどの支持層８０１上にレジスタ層８０３及び対を成
す電極層（個別電極層８０４及び共通電極層８０４’）
から成る加熱装置層が形成され，加熱装置層８０３，８
０４，８０４’の上部は保護層８０６に覆われている。
そして，この保護層８０６と多層構造の膜層８１４との
間に加熱チャンバ８１３が構成されている。そして，保
護層８０６の膜層８１４が形成されている以外の部分に
はインクバリヤ８１２が形成されており，その上部にイ
ンクチャンバ８０７が形成されており，さらにインクチ
ャンバ８０７の水平方向にインクを噴射させるための開
口部８１０が形成されている。
【００６２】図１０及び図１１は，それぞれ，図９のＸ
ＶＩ−ＸＶＩ’線とＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ’線と線を基準
として，噴射装置を上下に切断して，それぞれ分離した
状態を示している。図示のように，本実施の形態によれ
ば，加熱チャンバ８１３の構成が管（ノズル）内に設け
られていることが容易にわかる。
【００６３】図１０に示すように，保護層８０６及びイ
ンクバリヤ８１２により形成されるノズル構造の加熱チ
ャンバ８１３の上部に，多層構造の膜８１４が配置され
ており，膜８１４は，先の実施形態の場合と同様に，相
異なる熱膨張係数を有する多数層から構成されている。
その際に，先の実施形態の場合と同様に，インクチャン
バ８０７側のインクと接する膜層８１４ａの熱膨張係数
が最高であり，加熱チャンバ部８１３と接する膜層８１
４ｂの熱膨張係数が最低となるように順次配置されてい
ることに留意する必要がある。
【００６４】一方，図１１は，各個別電極８０４に印加
される電気的エネルギにより加熱チャンバ８１３を加熱
させるために形成された多数の加熱レジスタ層８０３及
び共通電極８０４’の構造を示す。
【００６５】なお，本実施の形態にかかるインクジェッ
トプリンタの噴射装置の動作については，先の実施形態
にかかるインクジェットプリンタの噴射装置の動作と実
質的に同一などのその詳細説明は省略する。ただし，本
実施の形態においては，インクが噴射される開口部８１
０の方向が，膜８１４の膨張方向とは異なり，水平方向
に向いている点に留意する必要がある。
【００６６】以上，添付図面を参照しながら，本発明に
かかるインクジェットプリンタの噴射装置の好適な実施
形態について説明したが本発明はかかる例に限定されな
い。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された技術
的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想
到し得ることは明らかであり，それらについても当然に
本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６７】
【発明の効果】以上述べたように，本発明によれば，イ
ンクの噴射方式が，バブル形成による噴射方式でなく，
膜の体積変化による噴射方式なので，噴射されるインク
量が均一であり，ドッドの鮮明度が優れるという効果が
ある。
【００６８】また，膜の体積変化は安定的に行われるの
で，従来の装置のように，バブルの収縮と爆発後にンク
充填が行われていた場合に比較して，インクの再充填が
安定して行われ，かつインク供給時間の短縮化がはかれ
る。
【００６９】さらにまた，膜を相異なる熱膨張係数を有
する材質の多層構造に構成すれば，膜の座屈運動を生じ
させるために，設計当初から膜の曲率を調整する作業が
不要となり，また，膜の座屈運動も安定して行われるの
で，高品質及び高速の印刷を期待することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づいて構成されたインクジェットプ
リンタの噴射装置を構成するヘッド部の実施の一形態を
示す拡大断面図である。
【図２】図１に示すインクジェットプリンタの噴射装置
を構成するヘッド部の動作を示す拡大断面図である。
【図３】図１に示すインクジェットプリンタの噴射装置
を構成するヘッド部の動作を示す拡大断面図である。
【図４】図１に示すインクジェットプリンタの噴射装置
を構成するヘッド部の動作を示す拡大断面図である。
【図５】図１に示すインクジェットプリンタの噴射装置
を構成するヘッド部の動作を示す拡大断面図である。
【図６】図１に示すインクジェットプリンタの噴射装置
を構成するヘッド部の動作を示す拡大断面図である。
【図７】図１に示すインクジェットプリンタの噴射装置
を構成するヘッド部の動作を示す拡大断面図である。
【図８】本発明に基づいて構成されたインクジェットプ
リンタの噴射装置を構成するヘッド部の別の実施の形態
を示す拡大断面図である。
【図９】本発明に基づいて構成されたインクジェットプ
リンタの噴射装置を構成するヘッド部のさらに別の実施
の形態を示す拡大断面図である。
【図１０】図９に示すヘッド部の一部をＸＶＩ−ＸＶ
Ｉ’線を基準として切断して示す概略的な見取図であ
る。
【図１１】図９に示すヘッド部の一部をＸＶＩＩ−ＸＶ
ＩＩ’線を基準として切断して示す概略的な見取図であ
る。
【図１２】従来のインクジェットプリンタの概略的な機
能構成を示すブロック図である。
【図１３】従来のインクジェットプリンタの噴射装置が
形成されるインクカートリッジ部分を概略的構成を示す
断面図である。
【図１４】図１３に示すインクカートリッジの一部に構
成されるヘッド部の概略構成を示す拡大断面図である。
【図１５】図１４に示す従来のヘッド部の一部をＩＶ−
ＩＶ’を基準として切断して拡大して示す略平断面図で
ある。
【図１６】図１５に示す従来のヘッド部の一部をＶ−
Ｖ’を基準にして切断して拡大して示す略平断面図であ
る。
【図１７】図１６に示す従来のインクジェットプリンタ
の噴射装置の概略的な動作を示す略平断面図である。
【符号の説明】
７０１ 基板 ７０３ レジスタ層 ７０４，７０４’ 電極 ７０５ ヒータ部 ７１０ 開口部 ７１１ ノズルプレート ７１２ 加熱チャンババリヤ ７１３ 加熱チャンバ ７１４ 膜層 ７１４ａ 最上部層 ７１４ｂ 最下部層

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板の上部に形成される複数のレジスタ
    層と；前記レジスタ層の上部に対をなして形成され，相
    異なる極性の電気的エネルギが印加される複数の電極
    と；前記レジスタ層の一部として構成され，前記複数の
    電極に印加される電気的エネルギにより熱を発生するヒ
    ータ部と；前記ヒータ部に一定空間を形成するためのヒ
    ータ部の周囲に配置される加熱チャンババリヤと；前記
    加熱チャンババリヤにより形成され，前記ヒータ部から
    発生される熱により熱膨張する媒体を含む空間として構
    成される複数の加熱チャンバと；前記複数の加熱チャン
    バを密閉し，前記加熱チャンバ内部が加熱される際に，
    熱膨張により体積変化を起こすとともに，相異なる熱膨
    張係数を有する多数層で形成された膜層と；前記膜層の
    上部に位置し，インクバイアから供給されるインクをイ
    ンクチャネルを介して流入させる壁として機能するイン
    クバリヤと；前記膜とインクバリヤにより形成される空
    間であってインクバイアからインクチャネルを介して供
    給されるインクを含むインクチャンバと；前記インクバ
    リヤ及び前記インクチャンバの上部に位置し，前記イン
    クチャンバ内のインクをメディアに噴射させるための開
    口部を有するノズルプレートと；前記対をなす複数の電
    極に相異なる極性の電気的エネルギを供給するための電
    気的連結手段を含めて構成されることを特徴とする，イ
    ンクジェットプリンタの噴射装置。
  2. 【請求項２】 前記膜層はインクと湿着する最上部層が
    前記加熱チャンバと接する層より熱膨張率が高い材質で
    構成され，中間の他の層も順次に前記加熱チャンバ側に
    向かうほど熱膨張率が低いことを特徴とする，請求項１
    に記載のインクジェットプリンタの噴射装置。
  3. 【請求項３】 前記膜層は，１μｍ〜３μｍの範囲内の
    厚さを有することを特徴とする，請求項１または２に記
    載のインクジェットプリンタの噴射装置。
  4. 【請求項４】 前記膜層は，前記加熱チャンバの上部に
    おいて，前記インクチャンバの前記インクバリヤにより
    保持され水平状態をなしており，前記加熱チャンバの熱
    膨張と相異なる熱膨張率を有する多層による収縮率の差
    により，座屈運動を行うことを特徴とする，請求項１，
    ２または３のいずれかに記載のインクジェットプリンタ
    の噴射装置。
  5. 【請求項５】 前記加熱チャンバ内の媒体は気体である
    ことを特徴とする，請求項１，２，３または４のいずれ
    かに記載のインクジェットプリンタの噴射装置。
  6. 【請求項６】 前記加熱チャンバ内の気体は空気である
    ことを特徴とする，請求項５に記載のインクジェットプ
    リンタの噴射装置。
  7. 【請求項７】 前記加熱チャンバ内の媒体は気体と液体
    の混合物であることを特徴とする，請求項１，２，３ま
    たは４のいずれかに記載のインクジェットプリンタの噴
    射装置。
  8. 【請求項８】 前記加熱チャンバ内の液体はフッ素系の
    溶液であることを特徴とする，請求項７に記載のインク
    ジェットプリンタの噴射装置。
  9. 【請求項９】 前記膜層は，前記インクチャンバを形成
    するインクと湿着する部分の面積が前記加熱チャンバと
    接する膜の面積より大きく構成されることを特徴とす
    る，請求項１，２，３，４，５，６，７または８のいず
    れかに記載のインクジェットプリンタの噴射装置。
  10. 【請求項１０】 前記ノズルプレートの開口部は，前記
    膜の作動方向に開口するように設けられることを特徴と
    する，請求項１，２，３，４，５，６，７，８または９
    のいずれかに記載のインクジェットプリンタの噴射装
    置。
  11. 【請求項１１】 前記基板の上部とレジスタ層との間に
    電気的に絶縁された金属層が形成されることを特徴とす
    る，請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９または
    １０のいずれかに記載のインクジェットプリンタの噴射
    装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015089680A (ja) * 2013-11-05 2015-05-11 ゼロックス コーポレイションＸｅｒｏｘ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ 高周波昇温熱空気式作動用の作動流体

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6543884B1 (en) * 1996-02-07 2003-04-08 Hewlett-Packard Company Fully integrated thermal inkjet printhead having etched back PSG layer
KR100209513B1 (ko) * 1997-04-22 1999-07-15 윤종용 잉크젯 프린트헤드에서 액티브(Active) 액체 저장 및 공급 장치
GB9802871D0 (en) * 1998-02-12 1998-04-08 Xaar Technology Ltd Operation of droplet deposition apparatus
US6188415B1 (en) 1997-07-15 2001-02-13 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet printer having a thermal actuator comprising an external coil spring
US6712453B2 (en) 1997-07-15 2004-03-30 Silverbrook Research Pty Ltd. Ink jet nozzle rim
US7337532B2 (en) 1997-07-15 2008-03-04 Silverbrook Research Pty Ltd Method of manufacturing micro-electromechanical device having motion-transmitting structure
US7556356B1 (en) 1997-07-15 2009-07-07 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead integrated circuit with ink spread prevention
US6290861B1 (en) * 1997-07-15 2001-09-18 Silverbrook Research Pty Ltd Method of manufacture of a conductive PTFE bend actuator vented ink jet printer
US6935724B2 (en) 1997-07-15 2005-08-30 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle having actuator with anchor positioned between nozzle chamber and actuator connection point
US6682174B2 (en) 1998-03-25 2004-01-27 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle arrangement configuration
US7465030B2 (en) 1997-07-15 2008-12-16 Silverbrook Research Pty Ltd Nozzle arrangement with a magnetic field generator
AUPP398798A0 (en) * 1998-06-09 1998-07-02 Silverbrook Research Pty Ltd Image creation method and apparatus (ij43)
US7468139B2 (en) 1997-07-15 2008-12-23 Silverbrook Research Pty Ltd Method of depositing heater material over a photoresist scaffold
US7195339B2 (en) 1997-07-15 2007-03-27 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet nozzle assembly with a thermal bend actuator
US6648453B2 (en) 1997-07-15 2003-11-18 Silverbrook Research Pty Ltd Ink jet printhead chip with predetermined micro-electromechanical systems height
KR100232853B1 (ko) * 1997-10-15 1999-12-01 윤종용 잉크젯 프린터 헤드의 가열장치 및 이의 제조방법
KR100232852B1 (ko) * 1997-10-15 1999-12-01 윤종용 잉크젯 프린터 헤드 및 이의 제조방법
US6217157B1 (en) * 1998-06-22 2001-04-17 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharging head and liquid discharging apparatus
US6902255B1 (en) 1998-10-16 2005-06-07 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printers
KR100498050B1 (ko) * 1998-10-09 2005-10-14 삼성전자주식회사 열압축방식 잉크젯프린터헤드의 제작방법 및 그 잉크젯프린터헤드
US6863378B2 (en) * 1998-10-16 2005-03-08 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printer having enclosed actuators
RU2144470C1 (ru) * 1998-11-03 2000-01-20 Самсунг Электроникс Ко., Лтд. Микроинжектор и способ его изготовления (варианты)
RU2143343C1 (ru) * 1998-11-03 1999-12-27 Самсунг Электроникс Ко., Лтд. Микроинжектор и способ изготовления микроинжектора
RU2147522C1 (ru) * 1998-11-03 2000-04-20 Самсунг Электроникс Ко., Лтд. Микроинжекционное устройство
US6299293B1 (en) 1998-12-03 2001-10-09 Canon Kabushiki Kaisha Substrate for liquid discharge head, liquid discharge head and liquid discharge apparatus
US6386686B1 (en) * 1998-12-03 2002-05-14 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head, manufacturing method of liquid discharge head, head cartridge, and liquid discharge apparatus
KR100536088B1 (ko) * 1999-04-23 2005-12-12 제일모직주식회사 폴리이미드와 금속의 다층박막으로 이루어진 잉크젯 프린터 헤드의 멤브레인
KR100526693B1 (ko) * 1999-05-19 2005-11-08 제일모직주식회사 잉크젯프린터 헤드
KR100561355B1 (ko) * 1999-11-04 2006-03-16 삼성전자주식회사 잉크분사장치의 노즐부 제작방법 및 잉크분사장치
KR100620286B1 (ko) * 1999-11-04 2006-09-07 삼성전자주식회사 잉크분사장치의 노즐부 제작방법 및 잉크분사장치
US6491375B1 (en) * 1999-11-12 2002-12-10 Xerox Corporation Integrated printhead
US6312109B1 (en) * 2000-01-12 2001-11-06 Pamelan Company Limited Ink-jet head with bubble-driven flexible membrane
AUPQ605800A0 (en) 2000-03-06 2000-03-30 Silverbrook Research Pty Ltd Printehead assembly
AU2002217402A1 (en) * 2000-12-27 2002-07-08 Mizur Technology, Ltd. Digital printing device and method
US6428140B1 (en) * 2001-09-28 2002-08-06 Hewlett-Packard Company Restriction within fluid cavity of fluid drop ejector
JP2004004177A (ja) * 2002-05-30 2004-01-08 Seiko Epson Corp 製膜装置とその液状体充填方法及びデバイス製造方法とデバイス製造装置並びにデバイス
KR100468854B1 (ko) * 2002-10-10 2005-01-29 삼성전자주식회사 미소 유량의 제어가 가능한 마이크로 구조체
US6692108B1 (en) * 2002-11-23 2004-02-17 Silverbrook Research Pty Ltd. High efficiency thermal ink jet printhead
US6863382B2 (en) * 2003-02-06 2005-03-08 Eastman Kodak Company Liquid emission device having membrane with individually deformable portions, and methods of operating and manufacturing same
JP3770252B2 (ja) * 2003-02-27 2006-04-26 ソニー株式会社 液体吐出装置及び液体吐出方法
US20040257412A1 (en) * 2003-06-18 2004-12-23 Anderson James D. Sealed fluidic interfaces for an ink source regulator for an inkjet printer
US6786580B1 (en) 2003-06-18 2004-09-07 Lexmark International, Inc. Submersible ink source regulator for an inkjet printer
US6837577B1 (en) * 2003-06-18 2005-01-04 Lexmark International, Inc. Ink source regulator for an inkjet printer
US6776478B1 (en) 2003-06-18 2004-08-17 Lexmark International, Inc. Ink source regulator for an inkjet printer
US6796644B1 (en) 2003-06-18 2004-09-28 Lexmark International, Inc. Ink source regulator for an inkjet printer
US6817707B1 (en) 2003-06-18 2004-11-16 Lexmark International, Inc. Pressure controlled ink jet printhead assembly
US7147314B2 (en) * 2003-06-18 2006-12-12 Lexmark International, Inc. Single piece filtration for an ink jet print head
US7387370B2 (en) * 2004-04-29 2008-06-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microfluidic architecture
US20080062224A1 (en) * 2004-09-28 2008-03-13 Industrial Technology Research Institute Inkjet printhead
CN101367294B (zh) * 2007-08-17 2011-07-06 国际联合科技股份有限公司 墨水导引结构及应用此墨水导引结构的喷墨印头
US8033643B2 (en) * 2009-05-15 2011-10-11 Eastman Kodak Company Recyclable continuous ink jet print head and method
US8113627B2 (en) * 2009-06-19 2012-02-14 Eastman Kodak Company Micro-fluidic actuator for inkjet printers
EP2670600B1 (en) * 2011-01-31 2020-07-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Thermal fluid-ejection mechanism having heating resistor on cavity sidewalls
US9004652B2 (en) 2013-09-06 2015-04-14 Xerox Corporation Thermo-pneumatic actuator fabricated using silicon-on-insulator (SOI)
US9004651B2 (en) 2013-09-06 2015-04-14 Xerox Corporation Thermo-pneumatic actuator working fluid layer
US10166770B2 (en) 2015-07-31 2019-01-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Addressing pigment settling defects in TIJ by using natural convection to stir the ink
CN109070591B (zh) * 2016-07-12 2021-06-18 惠普发展公司，有限责任合伙企业 多层喷嘴流体喷射装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4480259A (en) * 1982-07-30 1984-10-30 Hewlett-Packard Company Ink jet printer with bubble driven flexible membrane
JPS6169467A (ja) * 1985-06-11 1986-04-10 Seiko Epson Corp 記録液滴吐出型記録装置
JPH02137930A (ja) * 1988-11-18 1990-05-28 Nec Home Electron Ltd インクジェット・ヘッド
JPH04329148A (ja) * 1991-04-30 1992-11-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd インクジェットプリンタ
JPH05229122A (ja) * 1992-02-25 1993-09-07 Seiko Instr Inc インクジェットプリントヘッドおよびインクジェットプリントヘッドの駆動方法
JPH06996A (ja) * 1992-06-19 1994-01-11 Hitachi Koki Co Ltd 液滴吐出器
JPH0687213A (ja) * 1992-09-04 1994-03-29 Brother Ind Ltd インクジェットプリンタヘッド
JPH07285221A (ja) * 1994-04-19 1995-10-31 Sharp Corp インクジェットヘッド
JPH08118632A (ja) * 1994-10-19 1996-05-14 Fujitsu Ltd インクジェットヘッド

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015089680A (ja) * 2013-11-05 2015-05-11 ゼロックス コーポレイションＸｅｒｏｘ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ 高周波昇温熱空気式作動用の作動流体

Also Published As

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