JPH10144645A

JPH10144645A - 洗浄槽

Info

Publication number: JPH10144645A
Application number: JP31264596A
Authority: JP
Inventors: Atsuyasu Asaka; 篤泰朝香
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1996-11-11
Filing date: 1996-11-11
Publication date: 1998-05-29

Abstract

(57)【要約】【課題】均一な水流により被洗浄物の一部にパーティ
クルが残存するのを有効に防止できる洗浄槽を提供す
る。【解決手段】被洗浄物３を洗浄する槽本体１の内部一
側に洗浄液Ｃを流通孔９付きの整流板１０で整流して供
給する給液室４を、槽本体１の内部他側には流れてくる
洗浄液Ｃを整流板１６で整流して排液する排液室１１を
それぞれ設置する。槽本体１の一側の給液室４から整流
された一定速度の洗浄液Ｃを槽本体１の他側の排液室１
１に流すことにより、槽本体１内のいずれの箇所におい
ても均一な水流を得ることができる。したがって、被洗
浄物３の一部にパーティクルが残存するのを防止した
り、パーティクルの再付着を防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板などの被洗浄
物を純水や薬液などを用いて洗浄、又はリンスする洗浄
槽に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の洗浄槽は、図３に示す整流式と、
図４に示す乱流式の二つのタイプに分類される。図３に
示す整流式の洗浄槽は、槽本体１の下部に給液口８を設
け、槽本体１の内部下方にパンチング板１９を架設する
とともに、被洗浄物受け台２を設置し、給液口８からパ
ンチング板１９を介して槽本体１に矢印で示す洗浄液を
供給し、槽本体１の上部からオーバーフローさせて被洗
浄物受け台２の被洗浄物３を洗浄するようにしている。
また、図４に示す乱流式の洗浄槽は、槽本体１の内部下
方の中央に被洗浄物受け台２を、内部下方の両側にジェ
ット噴流装置２０をそれぞれ設置し、各ジェット噴流装
置２０から矢印で示す高圧の洗浄液を供給噴射して被洗
浄物受け台２の被洗浄物３を洗浄するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の洗浄槽は、以上
のように構成されているので、被洗浄物３に対する均一
な水流を得ることができず、その結果、被洗浄物３の一
部にパーティクルが残存するという問題があった。すな
わち、整流式の洗浄槽の場合には、槽本体１の上部両側
から洗浄液がそれぞれオーバーフローするので、槽本体
１の上部中央では水流の速度が遅くなり、洗浄液の停滞
箇所が発生してパーティクルが残ることとなる。また、
乱流式の洗浄槽の場合には、槽本体１内の水流が乱流で
あり、大きく２つの渦が発生し、被洗浄物３の全てのポ
イントについて均一な水流を得ることができない。その
結果、被洗浄物３の一部にパーティクルが残るという問
題があった。

【０００４】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
で、均一な液流により被洗浄物の一部にパーティクルが
残存するのを有効に防止することのできる洗浄槽を提供
することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明においては、槽本体の一側部に
洗浄液の給液室を、槽本体の他側部には洗浄液の排液室
をそれぞれ対向配備し、これら給液室と排液室の液圧を
ほぼ一定となるよう制御するようにしている。なお、給
液室を形成する内壁に流出孔を、外壁に給液口を設け、
内壁と外壁の間に流通孔付きの整流部材を介在すること
が好ましい。また、排液室を形成する内壁に流入孔を、
外壁に排液口をそれぞれ設け、内壁と外壁の間に整流部
材を介在することが望ましい。さらに、槽本体の開口上
部に開閉可能な蓋を設け、この蓋の内面を洗浄液の液面
に接触させるようにすると良い。

【０００６】請求項１記載の発明によれば、洗浄液は、
給液室から槽本体に一定の速度で供給され、被洗浄物を
洗浄したり、或いはリンスなどする。供給された洗浄液
は、排液室に導入されて外部に送られる。また、請求項
２記載の発明によれば、洗浄液は、給液室の給液口から
導入されて整流部材に流れが整流され、整流部材の流通
孔から内壁の流出孔を介して槽本体に一定の速度で安定
して供給され、被洗浄物を洗浄したり、或いはリンスな
どする。また、請求項３記載の発明によれば、供給され
た洗浄液は、排液室の流入孔から内部に導入され、整流
部材に衝突して流れが整流され、排液口から外部に送ら
れる。さらに、請求項４記載の発明によれば、洗浄液の
液面に接触する蓋が洗浄液の流れに逆らう力を発生させ
る。したがって、洗浄液の液面側は、槽本体の底板の抵
抗を受ける洗浄液の下方側とほぼ同様の状態となる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。本実施形態における洗浄槽は、図
１に示すように、被洗浄物（例えば、ディスプレイ、電
気、電子部品、半導体ウェーハ、又は基板など）３を収
容する槽本体１の内部一側に給液室４を、槽本体１の内
部他側には排液室１１をそれぞれ対向させて設置するよ
うにしている。

【０００８】槽本体１は、化学的安定性、機械的強度、
寸法安定性、耐寒性、耐酸性、又は耐熱性などに優れる
石英ガラスやテフロンなどを材料として構成され、その
内部下方の中央に被洗浄物受け台２が設置されており、
この被洗浄物受け台２には多数の被洗浄物３が整列して
セットされるようになっている。また、給液室４は、相
互に対向する内壁５と外壁６を備え、内壁５に多数の流
出孔７が、外壁６の中央には給液口８がそれぞれ設けら
れており、内壁５と外壁６の間には多数の流通孔９付き
の整流板１０が縦に介在設置されている。さらに、排液
室１１は、相互に対向する内壁１２と外壁１３を備え、
内壁１２に多数の流入孔１４が、外壁１３の中央には排
液口１５がそれぞれ設けられており、内壁１２と外壁１
３の間には整流板１６が縦に介在設置されている。

【０００９】上記構成において、被洗浄物３を洗浄液
（例えば、市水、温純水、超純水、純水、薬液、又はリ
ンス液など）Ｃで洗浄する場合には、給液室４の給液口
８に洗浄液Ｃをポンプ供給（矢印参照）する。すると、
洗浄液Ｃは、給液口８から流入し、整流板１０に衝突し
て給液室４がほぼ一定の液圧となる。そして、整流板１
０の流通孔９から内壁５の流出孔７を介して槽本体１内
部に一定の速度で連続流出（矢印参照）し、排液室１１
の方向に流れて被洗浄物３の表面を精密洗浄する。こう
して被洗浄物３を精密洗浄した洗浄液Ｃは、排液室１１
の流入孔１４から内部に流入し、整流板１６に衝突して
排液室１１がほぼ一定の液圧となる。そしてその後、排
液口１５から排水、又は図示しないポンプに送られる
（矢印参照）。

【００１０】上記構成によれば、被洗浄物３を洗浄液Ｃ
で洗浄する場合には、槽本体１の一側の給液室４から整
流された一定速度の洗浄液Ｃを他側の排液室１１に全面
水平に流すことにより、槽本体１内のいずれの箇所にお
いても均一な流速ベクトルを有する定常流を得ることが
でき、不均一な洗浄液Ｃの流れを防止することができ
る。したがって、被洗浄物３の一部にパーティクルが残
存するのを有効に防止したり、或いはパーティクルの再
付着防止が期待でき、洗浄の効果や効率を向上させるこ
とができる。さらに、洗浄効果の向上により、洗浄液Ｃ
の使用量の削減、省エネ及び省資源化を図ることが可能
となる。

【００１１】次に、図２は本発明の第二の実施形態を示
すもので、この場合には、槽本体１の開口上部を被覆す
る蓋１７を自動開閉可能に備えるようにしている。蓋１
７は、石英ガラスやテフロンなどを材料に板形に形成さ
れ、開閉機構１８の揺動アームにより、槽本体１の開口
上部を揺動可能に覆って洗浄液Ｃの液面に接触するよう
作用する。開閉機構１８は、各種のアクチュエータ、シ
リンダ、ねじ部材及び又は歯車機構などを組み合わせて
構成されている。その他の部分については、第一の実施
形態と同様である。

【００１２】本実施形態においても上記実施形態と同様
の作用効果が期待でき、しかも、蓋１７の内面を洗浄液
Ｃの液面に接触させるので、槽本体１内のいずれの箇所
においても均一な流速ベクトルを有する水流をより確実
に得ることができる。すなわち、水流は、槽本体１の上
下部で抵抗を比較した場合、下部側の抵抗が底板のある
関係上大きくなる。したがって、水流は、槽本体１の下
部側に比べて液面側が速くなり、その結果、上下部で流
速に差異が生じることとなる。

【００１３】本実施形態によれば、洗浄液Ｃの液相表面
に底板と同様の機能を果たす蓋１７を接触させ、洗浄液
Ｃの液面側を底板側と同様の状態にするので、上下部の
抵抗が等しくなり、槽本体１の上部側においても均一な
速度の定常流を得ることが可能になる。したがって、被
洗浄物３の一部にパーティクルが残存するのをきわめて
有効に防止することができるとともに、パーティクルの
再付着防止が期待でき、洗浄の効果や効率をさらに向上
させることが可能になる。

【００１４】なお、上記実施形態においては単に槽本体
１を示したが、この槽本体１をリンス槽などとして使用
することができ、リンス槽として使用すれば、大きなリ
ンス効果を得ることができる。また、蓋１７は単数でも
複数でも良い。

【００１５】

【発明の効果】以上のように請求項１記載の発明によれ
ば、均一な液流により被洗浄物の一部にパーティクルが
残存するのを有効に防止することができるという効果が
ある。また、請求項２記載の発明によれば、給液室の洗
浄液圧をほぼ一定に保つことができ、洗浄液を槽本体に
全面水平に一定の速度で流出させて被洗浄物を洗浄など
することが可能になる。また、請求項３記載の発明によ
れば、給液室及び排液室の洗浄液圧をほぼ一定に維持す
ることができ、しかも、槽内の洗浄液をほぼ一様に一定
速度で流して被洗浄物を一様に洗浄することができる。
さらに、請求項４記載の発明によれば、洗浄液の液面に
蓋を接触させて抵抗を生じさせるので、より均等な水流
によりパーティクルが残存するのをさらに有効に防止す
ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る洗浄槽の実施の形態を示す断面正
面図である。

【図２】本発明に係る洗浄槽の第二の実施形態を示す断
面正面図である。

【図３】従来の整流式の洗浄槽を示す断面正面図であ
る。

【図４】従来の乱流式の洗浄槽を示す断面正面図であ
る。

【符号の説明】

１…槽本体２…被洗浄物受け台３…被洗浄物４…給液室５…内壁６…外壁７…流出孔８…給液口９…流通孔１０…整流板（整流部材）１１…排液室１２…内壁１３…外壁１４…流入孔１５…排液口１６…整流板（整流部材）１７…蓋Ｃ…洗浄液

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】槽本体の一側部に洗浄液の給液室を、槽
本体の他側部には洗浄液の排液室をそれぞれ対向配備
し、これら給液室と排液室の液圧をほぼ一定となるよう
制御することを特徴とする洗浄槽。
【請求項２】給液室を形成する内壁に流出孔を、外壁
に給液口を設け、内壁と外壁の間に流通孔付きの整流部
材を介在した請求項１記載の洗浄槽。
【請求項３】排液室を形成する内壁に流入孔を、外壁
に排液口をそれぞれ設け、内壁と外壁の間に整流部材を
介在した請求項２記載の洗浄槽。
【請求項４】槽本体の開口上部に開閉可能な蓋を設
け、この蓋の内面を洗浄液の液面に接触させるようにし
た請求項２又は３記載の洗浄槽。