JPH10145166A - 水晶板洗浄用治具並びに水晶板成膜用治具 - Google Patents
水晶板洗浄用治具並びに水晶板成膜用治具Info
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- JPH10145166A JPH10145166A JP31558196A JP31558196A JPH10145166A JP H10145166 A JPH10145166 A JP H10145166A JP 31558196 A JP31558196 A JP 31558196A JP 31558196 A JP31558196 A JP 31558196A JP H10145166 A JPH10145166 A JP H10145166A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 水晶板を短時間で奇麗にむら無く洗浄でき、
又洗浄水のしみ跡が付くことなく乾燥できるようにす
る。 【解決手段】 水晶板２を横置き状に配置する窓状の配
置部３を多数備えてなる耐蝕性の基板１と、この基板１
の上面に止め具９で重合状に固定する耐蝕性の薄板８と
で形成する。配置部３を、水晶板２の下面の周辺部に係
止してこの水晶板２を基板１の上面と面一の状態で支承
する爪状の支承片４と、この支承片４に支承される水晶
板２の周縁に当接して水晶板２の周囲に水抜き用の隙間
Ｓを形成する間隔保持片５とで形成する。薄板８は、配
置部３と対向する位置に水晶板２より大きく形成した切
欠窓１０を備えてなる。この切欠窓１０は、水晶板２の
上面の周辺部に当接して水晶板２の脱落を防止する爪状
の押え片１１を周辺部に備えてなる。
又洗浄水のしみ跡が付くことなく乾燥できるようにす
る。 【解決手段】 水晶板２を横置き状に配置する窓状の配
置部３を多数備えてなる耐蝕性の基板１と、この基板１
の上面に止め具９で重合状に固定する耐蝕性の薄板８と
で形成する。配置部３を、水晶板２の下面の周辺部に係
止してこの水晶板２を基板１の上面と面一の状態で支承
する爪状の支承片４と、この支承片４に支承される水晶
板２の周縁に当接して水晶板２の周囲に水抜き用の隙間
Ｓを形成する間隔保持片５とで形成する。薄板８は、配
置部３と対向する位置に水晶板２より大きく形成した切
欠窓１０を備えてなる。この切欠窓１０は、水晶板２の
上面の周辺部に当接して水晶板２の脱落を防止する爪状
の押え片１１を周辺部に備えてなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶振動子等の製
造工程で使用する水晶板洗浄用治具に関し、更に詳しく
は水晶板洗浄用治具並びにこれを用いた水晶板成膜用治
具に関するものである。
造工程で使用する水晶板洗浄用治具に関し、更に詳しく
は水晶板洗浄用治具並びにこれを用いた水晶板成膜用治
具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば水晶振動子の製造工程にお
いて水晶板を洗浄する場合は、ステンレス製の網篭を使
用し、この網篭ごと水晶板を洗浄槽に入れ、超音波洗浄
しているのが通例である。
いて水晶板を洗浄する場合は、ステンレス製の網篭を使
用し、この網篭ごと水晶板を洗浄槽に入れ、超音波洗浄
しているのが通例である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところでこの種水晶板
の洗浄作業は、一度に多数の水晶板を効率良く、短時間
で奇麗に洗浄でき、又洗浄後は洗浄水のしみ跡が付かな
いよう、乾燥できるのが望ましい。
の洗浄作業は、一度に多数の水晶板を効率良く、短時間
で奇麗に洗浄でき、又洗浄後は洗浄水のしみ跡が付かな
いよう、乾燥できるのが望ましい。
【０００４】しかるに従来は、上記の通り網篭を使用し
て水晶板を洗浄、乾燥していたから、水晶板が重なり合
ったまま洗浄、乾燥される結果、洗浄むらが発生し易
く、又洗浄水のしみ跡が付いたまま乾燥される、という
問題点があった。
て水晶板を洗浄、乾燥していたから、水晶板が重なり合
ったまま洗浄、乾燥される結果、洗浄むらが発生し易
く、又洗浄水のしみ跡が付いたまま乾燥される、という
問題点があった。
【０００５】又従来、洗浄乾燥処理後の水晶板に電極膜
を形成する場合は、例えばピンセット等を使用して人手
で水晶板を専用の治具に移し替え、その後スパッタリン
グ装置や真空蒸着装置を使用して成膜していた。
を形成する場合は、例えばピンセット等を使用して人手
で水晶板を専用の治具に移し替え、その後スパッタリン
グ装置や真空蒸着装置を使用して成膜していた。
【０００６】従って従来は、電極膜の成膜工程時に、こ
の種の移し替え作業を事前に伴ったから、その分、手間
暇がかかっただけではなく、この種の作業時に不純物が
水晶板に付着するのを避けられない、という問題点があ
った。
の種の移し替え作業を事前に伴ったから、その分、手間
暇がかかっただけではなく、この種の作業時に不純物が
水晶板に付着するのを避けられない、という問題点があ
った。
【０００７】本発明は、このような従来の実情に鑑み、
提案されたものである。従って本発明の技術的課題は、
水晶板を短時間で奇麗にむら無く洗浄でき、又洗浄水の
しみ跡が付くことなく乾燥できるよう形成した水晶板洗
浄用治具、並びに洗浄後電極膜を生成する際に伴う、水
晶板を専用の治具に移し替える作業を一掃でき、電極膜
の成膜工程を簡便迅速に、且つ不純物の付着による水晶
板の不良品化を防止できるよう形成した水晶板成膜用治
具を提供することにある。
提案されたものである。従って本発明の技術的課題は、
水晶板を短時間で奇麗にむら無く洗浄でき、又洗浄水の
しみ跡が付くことなく乾燥できるよう形成した水晶板洗
浄用治具、並びに洗浄後電極膜を生成する際に伴う、水
晶板を専用の治具に移し替える作業を一掃でき、電極膜
の成膜工程を簡便迅速に、且つ不純物の付着による水晶
板の不良品化を防止できるよう形成した水晶板成膜用治
具を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するために次のような技術的手段を採る。即ち本発
明は、水晶板２が横置き状に配置される窓状の配置部３
を多数備えてなる耐蝕性の基板１と、この基板１の上面
に止め具９で重合状に固定される耐蝕性の薄板８とで形
成され、上記の配置部３が、水晶板２の下面の周辺部に
係止してこの水晶板２を基板１の上面と面一の状態で支
承する爪状の支承片４と、この支承片４に支承される水
晶板２の周縁に当接して水晶板２の周囲に水抜き用の隙
間Ｓを形成する間隔保持片５とでなり、上記の薄板８が
配置部３と対向する位置に水晶板２より大きく形成され
た切欠窓１０を備え、この切欠窓１０が水晶板２の上面
の周辺部に当接して水晶板２の脱落を防止する爪状の押
え片１１を周辺部に備えてなることを特徴とする。
解決するために次のような技術的手段を採る。即ち本発
明は、水晶板２が横置き状に配置される窓状の配置部３
を多数備えてなる耐蝕性の基板１と、この基板１の上面
に止め具９で重合状に固定される耐蝕性の薄板８とで形
成され、上記の配置部３が、水晶板２の下面の周辺部に
係止してこの水晶板２を基板１の上面と面一の状態で支
承する爪状の支承片４と、この支承片４に支承される水
晶板２の周縁に当接して水晶板２の周囲に水抜き用の隙
間Ｓを形成する間隔保持片５とでなり、上記の薄板８が
配置部３と対向する位置に水晶板２より大きく形成され
た切欠窓１０を備え、この切欠窓１０が水晶板２の上面
の周辺部に当接して水晶板２の脱落を防止する爪状の押
え片１１を周辺部に備えてなることを特徴とする。
【０００９】この場合基板１は、支承片４を備えた下部
プレート６と、この下部プレート６に重合されて固定さ
れると共に間隔保持片５を備えてなる上部プレート７と
で形成されるのが好ましい。
プレート６と、この下部プレート６に重合されて固定さ
れると共に間隔保持片５を備えてなる上部プレート７と
で形成されるのが好ましい。
【００１０】又本発明は、支承片４と押え片１１の形成
位置を対応させ、隙間Ｓを少しでも広くして、水抜きが
容易になるよう形成されるのが好ましい。この場合、隣
り合う支承片４、押え片１１の形成間隔、形成個数等は
任意である。
位置を対応させ、隙間Ｓを少しでも広くして、水抜きが
容易になるよう形成されるのが好ましい。この場合、隣
り合う支承片４、押え片１１の形成間隔、形成個数等は
任意である。
【００１１】又本発明は、配置部３が平面視で略長方形
状に形成され、この配置部３の長手方向の両辺に支承片
４が形成されるのが好ましい。この場合支承片４は、位
置をずらせて形成されるのでも、或は対向位置に形成さ
れるのでも良い。
状に形成され、この配置部３の長手方向の両辺に支承片
４が形成されるのが好ましい。この場合支承片４は、位
置をずらせて形成されるのでも、或は対向位置に形成さ
れるのでも良い。
【００１２】又本発明は、図８に示されるように、間隔
保持片５が支承片４の位置に形成されると良い。この場
合は、間隔保持片５を支承片４からずらして形成する場
合に比べ、水抜き用の隙間Ｓが広がり、その分、水抜き
が容易になる。
保持片５が支承片４の位置に形成されると良い。この場
合は、間隔保持片５を支承片４からずらして形成する場
合に比べ、水抜き用の隙間Ｓが広がり、その分、水抜き
が容易になる。
【００１３】又本発明水晶板成膜用治具は、上記のよう
に形成された水晶板洗浄用治具１２（図９参照）と、こ
の水晶板洗浄用治具１２の両面に止め具９で重合状に固
定される上下一対の成膜用プレート１３とでなり、この
成膜用プレート１３が上記水晶板洗浄用治具１２に固定
された水晶板２と対応する位置に電極膜生成用の透孔１
４を備えてなるものである。
に形成された水晶板洗浄用治具１２（図９参照）と、こ
の水晶板洗浄用治具１２の両面に止め具９で重合状に固
定される上下一対の成膜用プレート１３とでなり、この
成膜用プレート１３が上記水晶板洗浄用治具１２に固定
された水晶板２と対応する位置に電極膜生成用の透孔１
４を備えてなるものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に従って説明する。１は、例えばステンレス材等で
なる耐蝕性の基板である。この基板１は、水晶板２が横
置き状に配置される窓状の配置部３を、例えば縦横に整
列した状態で多数備えてなる。
図面に従って説明する。１は、例えばステンレス材等で
なる耐蝕性の基板である。この基板１は、水晶板２が横
置き状に配置される窓状の配置部３を、例えば縦横に整
列した状態で多数備えてなる。
【００１５】上記の配置部３は、水晶板２の下面の周辺
部に係止してこの水晶板２を基板１の上面と面一の状態
で支承する爪状の支承片４と、この支承片４に支承され
る水晶板２の周縁に当接して水晶板２の周囲に水抜き用
の隙間Ｓを形成する間隔保持片５とでなる。
部に係止してこの水晶板２を基板１の上面と面一の状態
で支承する爪状の支承片４と、この支承片４に支承され
る水晶板２の周縁に当接して水晶板２の周囲に水抜き用
の隙間Ｓを形成する間隔保持片５とでなる。
【００１６】配置部３は、この実施形態では平面視で略
長方形状に形成され、この配置部３の長手方向の両辺に
上記の支承片４が位置をずらして夫々形成されている。
又間隔保持片５は、この実施形態では凸湾曲状の突出し
片でなる。
長方形状に形成され、この配置部３の長手方向の両辺に
上記の支承片４が位置をずらして夫々形成されている。
又間隔保持片５は、この実施形態では凸湾曲状の突出し
片でなる。
【００１７】上記の基板１は、図１、図２等に示される
ように、この実施形態では上記の支承片４を備えた例え
ばステンレス材製の下部プレート６と、この下部プレー
ト６に重合されて固定されると共に上記の間隔保持片５
を備えてなる例えばステンレス材製の上部プレート７と
で形成されている。下部プレート６の厚さは例えば８０
〜１００ミクロン、上部プレート７の厚さは例えば０．
１ミリメートルに選定され、両者は例えば熱圧着されて
なる。
ように、この実施形態では上記の支承片４を備えた例え
ばステンレス材製の下部プレート６と、この下部プレー
ト６に重合されて固定されると共に上記の間隔保持片５
を備えてなる例えばステンレス材製の上部プレート７と
で形成されている。下部プレート６の厚さは例えば８０
〜１００ミクロン、上部プレート７の厚さは例えば０．
１ミリメートルに選定され、両者は例えば熱圧着されて
なる。
【００１８】８は、基板１の上面にねじ等の止め具９Ａ
で重合状に固定される例えばステンレス材製の耐蝕性の
薄板である。この薄板８は、この実施形態では厚さが
０．１ミリメートルのステンレス材で形成されている。
で重合状に固定される例えばステンレス材製の耐蝕性の
薄板である。この薄板８は、この実施形態では厚さが
０．１ミリメートルのステンレス材で形成されている。
【００１９】又薄板８は、上記の配置部３と対向する位
置に、水晶板２より大きく形成された切欠窓１０を備え
てなる。この切欠窓１０は、水晶板２の上面の周辺部に
当接して水晶板２の脱落を防止する爪状の押え片１１を
周辺部に備えてなる。この押え片１１は、支承片４と対
向するよう、この実施形態では上記の支承片４の形成位
置に対応して形成されている。
置に、水晶板２より大きく形成された切欠窓１０を備え
てなる。この切欠窓１０は、水晶板２の上面の周辺部に
当接して水晶板２の脱落を防止する爪状の押え片１１を
周辺部に備えてなる。この押え片１１は、支承片４と対
向するよう、この実施形態では上記の支承片４の形成位
置に対応して形成されている。
【００２０】次に本発明の作用を説明する。先ず基板１
に水晶板２を配置する。次にこの基板１に薄板８を重ね
て止め具９Ａで固定する。この結果水晶板２は、上下の
両面が露出状態で、支承片４と押え片１１により固定さ
れる。そこで作業者はこの状態の本発明治具を、超音波
洗浄装置の水槽に配置する。水晶板２は、本発明治具に
より上記の通り両面が露出状態で固定され、且つ並列状
に配置されているから、短時間で両面が奇麗に洗浄され
る。又洗浄後は、本発明治具で水晶板２を固定したまま
乾燥処理する。
に水晶板２を配置する。次にこの基板１に薄板８を重ね
て止め具９Ａで固定する。この結果水晶板２は、上下の
両面が露出状態で、支承片４と押え片１１により固定さ
れる。そこで作業者はこの状態の本発明治具を、超音波
洗浄装置の水槽に配置する。水晶板２は、本発明治具に
より上記の通り両面が露出状態で固定され、且つ並列状
に配置されているから、短時間で両面が奇麗に洗浄され
る。又洗浄後は、本発明治具で水晶板２を固定したまま
乾燥処理する。
【００２１】以上の処において、上記の基板１は上例で
は下部プレート６と上部プレート７とで形成されている
が、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば一
枚の板が加工されることで形成されるのでも良い。
は下部プレート６と上部プレート７とで形成されている
が、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば一
枚の板が加工されることで形成されるのでも良い。
【００２２】又上記の支承片４、間隔保持片５、押え片
１１の形状は任意である。又間隔保持片５は、図８に示
されるように、水抜きの隙間Ｓが広くなるよう、支承片
４の位置に形成されるのでも良い。
１１の形状は任意である。又間隔保持片５は、図８に示
されるように、水抜きの隙間Ｓが広くなるよう、支承片
４の位置に形成されるのでも良い。
【００２３】又本発明水晶板成膜用治具は、図９に示さ
れるように、上記のように形成された水晶板洗浄用治具
１２と、この水晶板洗浄用治具１２の両面に例えばねじ
等の止め具９Ｂで重合状に固定される上下一対の成膜用
プレート１３とでなる。
れるように、上記のように形成された水晶板洗浄用治具
１２と、この水晶板洗浄用治具１２の両面に例えばねじ
等の止め具９Ｂで重合状に固定される上下一対の成膜用
プレート１３とでなる。
【００２４】成膜用プレート１３は、上記の水晶板洗浄
用治具１２に固定された水晶板２と対応する位置に、電
極膜生成用の透孔１４を備えてなる。この透孔１４は、
励振電極生成部１４ａと、これに連続してなる引出し電
極生成部１４ｂとで形成されている。尚成膜用プレート
１３は、図示されるように、水晶板洗浄用治具１２の止
め具９Ａに対応する位置１５が夫々切り欠かれて形成さ
れている。
用治具１２に固定された水晶板２と対応する位置に、電
極膜生成用の透孔１４を備えてなる。この透孔１４は、
励振電極生成部１４ａと、これに連続してなる引出し電
極生成部１４ｂとで形成されている。尚成膜用プレート
１３は、図示されるように、水晶板洗浄用治具１２の止
め具９Ａに対応する位置１５が夫々切り欠かれて形成さ
れている。
【００２５】本発明の成膜用治具は、水晶板２が取り付
けられた状態の水晶板洗浄用治具１２の上下の両面に、
成膜用プレート１３を止め具９Ｂで重合状に固定し、こ
の状態でスパッタリング装置等の薄膜生成装置にかけ、
電極としての金属の薄膜を水晶板２の両面に生成させる
のに使用する。そして電極膜生成後は、成膜用プレート
１３を水晶板洗浄用治具１２の上下の両面から取り外
し、次に薄板８を基板１から外して水晶板２を回収す
る。
けられた状態の水晶板洗浄用治具１２の上下の両面に、
成膜用プレート１３を止め具９Ｂで重合状に固定し、こ
の状態でスパッタリング装置等の薄膜生成装置にかけ、
電極としての金属の薄膜を水晶板２の両面に生成させる
のに使用する。そして電極膜生成後は、成膜用プレート
１３を水晶板洗浄用治具１２の上下の両面から取り外
し、次に薄板８を基板１から外して水晶板２を回収す
る。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、水晶板を
その両面が開放した状態で両側から基板と薄板とで挟み
付けることができるよう形成したものである。従って本
発明治具の場合は、水晶板が重なることなく、同一水平
面上で両面が開放状態で固定され、この状態で水晶板を
洗浄、乾燥できるから、これによれば一度に多数の水晶
板を短時間で奇麗にむら無く洗浄でき、又洗浄水のしみ
跡を残すことなく乾燥できる、という効果を奏する。
その両面が開放した状態で両側から基板と薄板とで挟み
付けることができるよう形成したものである。従って本
発明治具の場合は、水晶板が重なることなく、同一水平
面上で両面が開放状態で固定され、この状態で水晶板を
洗浄、乾燥できるから、これによれば一度に多数の水晶
板を短時間で奇麗にむら無く洗浄でき、又洗浄水のしみ
跡を残すことなく乾燥できる、という効果を奏する。
【００２７】又請求項２記載のように、基板を上記のよ
うに形成した下部プレートと上部プレートとで形成する
場合は、下部プレートと上部プレートとを重ね合わして
固定することで基板を形成できるから、これによれば一
枚の板に支承片及び間隔保持片を加工して基板を製造す
る場合に比べ、基板を簡単且つ安価に製造できる、とい
う利点がある。
うに形成した下部プレートと上部プレートとで形成する
場合は、下部プレートと上部プレートとを重ね合わして
固定することで基板を形成できるから、これによれば一
枚の板に支承片及び間隔保持片を加工して基板を製造す
る場合に比べ、基板を簡単且つ安価に製造できる、とい
う利点がある。
【００２８】又請求項３記載のように、支承片と押え片
を、対向状に形成する場合は、支承片と押え片の位置を
ずらして形成する場合に比べ、水晶板の周辺部の隙間が
広がるから、これによれば水の通り抜けが良くなり、そ
の分、洗浄作業を円滑化できる。
を、対向状に形成する場合は、支承片と押え片の位置を
ずらして形成する場合に比べ、水晶板の周辺部の隙間が
広がるから、これによれば水の通り抜けが良くなり、そ
の分、洗浄作業を円滑化できる。
【００２９】又請求項４記載のように、配置部を平面視
で略長方形状に形成し、この配置部の長手方向の両辺に
支承片を形成する場合は、支承片を配置部の周辺部に夫
々形成する場合に比べ、水抜き用の空間を広くとること
ができ、その分、水抜きを容易化できる。
で略長方形状に形成し、この配置部の長手方向の両辺に
支承片を形成する場合は、支承片を配置部の周辺部に夫
々形成する場合に比べ、水抜き用の空間を広くとること
ができ、その分、水抜きを容易化できる。
【００３０】又請求項５記載のように、間隔保持片を支
承片の位置に対応させて形成する場合は、間隔保持片と
支承片とをずらして形成する場合に比べ、水抜きのスペ
ースが広がり、その分、水抜きを容易化できる。
承片の位置に対応させて形成する場合は、間隔保持片と
支承片とをずらして形成する場合に比べ、水抜きのスペ
ースが広がり、その分、水抜きを容易化できる。
【００３１】更に本発明の水晶板成膜用治具は、水晶板
洗浄用治具を用いて水晶板を洗浄、乾燥後、この治具に
成膜用プレートを取り付けるだけでスパッタリング装置
等によって電極膜を生成できるから、これによれば洗浄
乾燥済みの水晶板を成膜作業時に一々専用の治具に移し
替える作業を省略でき、従ってその分、電極膜の生成を
簡便、迅速にでき、又不純物の付着による不良品の発生
を抑えることができる。
洗浄用治具を用いて水晶板を洗浄、乾燥後、この治具に
成膜用プレートを取り付けるだけでスパッタリング装置
等によって電極膜を生成できるから、これによれば洗浄
乾燥済みの水晶板を成膜作業時に一々専用の治具に移し
替える作業を省略でき、従ってその分、電極膜の生成を
簡便、迅速にでき、又不純物の付着による不良品の発生
を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明洗浄用治具の好適な一実施形態を示す要
部分解斜視図である。
部分解斜視図である。
【図２】同上治具の要部分解斜視図である。
【図３】同上治具の使用状態時の要部平面図である。
【図４】図３のＩＶーＩＶ線における断面図である。
【図５】図３のＶーＶ線における断面図である。
【図６】同上治具の使用状態時の要部斜視図である。
【図７】同上治具の構成を示す平面図である。
【図８】同上治具の他の実施形態を示す要部分解斜視図
である。
である。
【図９】本発明成膜用治具の好適な一実施形態を示す要
部分解斜視図である。
部分解斜視図である。
【図１０】成膜用プレートを示す平面図である。
【図１１】同上治具の使用状態時の平面図である。
【図１２】Ａは同上治具の要部平面図、ＢはＡのＢーＢ
線における断面図である。
線における断面図である。
１ 基板 ２ 水晶板 ３ 配置部 ４ 支承片 ５ 間隔保持片 ８ 薄板 ９ 止め具 １０ 切欠窓 １１ 押え片 Ｓ 隙間
Claims (6)
- 【請求項１】 水晶板が横置き状に配置される窓状の配
置部を多数備えてなる耐蝕性の基板と、この基板の上面
に止め具で重合状に固定される耐蝕性の薄板とで形成さ
れ、上記の配置部が、水晶板の下面の周辺部に係止して
この水晶板を基板の上面と面一の状態で支承する爪状の
支承片と、この支承片に支承される水晶板の周縁に当接
して水晶板の周囲に水抜き用の隙間を形成する間隔保持
片とでなり、上記の薄板が配置部と対向する位置に水晶
板より大きく形成された切欠窓を備え、この切欠窓が水
晶板の上面の周辺部に当接して水晶板の脱落を防止する
爪状の押え片を周辺部に備えてなることを特徴とする水
晶板洗浄用治具。 - 【請求項２】 基板が、支承片を備えた下部プレート
と、この下部プレートに重合されて固定されると共に間
隔保持片を備えてなる上部プレートとで形成されたこと
を特徴とする請求項１記載の水晶板洗浄用治具。 - 【請求項３】 支承片と押え片が、対向状に形成された
ことを特徴とする請求項１又は２記載の水晶板洗浄用治
具。 - 【請求項４】 配置部が平面視で略長方形状に形成さ
れ、この配置部の長手方向の両辺に支承片が形成された
ことを特徴とする請求項１、２又は３記載の水晶板洗浄
用治具。 - 【請求項５】 間隔保持片が、支承片の位置に形成され
たことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の水晶
板洗浄用治具。 - 【請求項６】 請求項１、２、３、４又は５の何れか記
載の水晶板洗浄用治具と、この水晶板洗浄用治具の両面
に止め具で重合状に固定される上下一対の成膜用プレー
トとでなり、この成膜用プレートが上記水晶板洗浄用治
具に固定された水晶板と対応する位置に電極膜生成用の
透孔を備えてなることを特徴とする水晶板成膜用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31558196A JPH10145166A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | 水晶板洗浄用治具並びに水晶板成膜用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31558196A JPH10145166A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | 水晶板洗浄用治具並びに水晶板成膜用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10145166A true JPH10145166A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=18067081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31558196A Pending JPH10145166A (ja) | 1996-11-12 | 1996-11-12 | 水晶板洗浄用治具並びに水晶板成膜用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10145166A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100821489B1 (ko) | 2007-11-22 | 2008-04-14 | 진복환 | 게이트밸브 세척용 지지장치 |
| CN110721973A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-01-24 | 安徽熙泰智能科技有限公司 | 一种微显示器玻璃清洗治具及微显示器玻璃清洗方法 |
-
1996
- 1996-11-12 JP JP31558196A patent/JPH10145166A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100821489B1 (ko) | 2007-11-22 | 2008-04-14 | 진복환 | 게이트밸브 세척용 지지장치 |
| CN110721973A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-01-24 | 安徽熙泰智能科技有限公司 | 一种微显示器玻璃清洗治具及微显示器玻璃清洗方法 |
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