JPH10145177A - 圧電振動子および圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子および圧電振動子の製造方法Info
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- JPH10145177A JPH10145177A JP31018296A JP31018296A JPH10145177A JP H10145177 A JPH10145177 A JP H10145177A JP 31018296 A JP31018296 A JP 31018296A JP 31018296 A JP31018296 A JP 31018296A JP H10145177 A JPH10145177 A JP H10145177A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 封止時に容器内にガスが侵入しない表面実
装型圧電振動子を得る。 【解決手段】一方が開放された有底保持器に圧電振動片
を収納し、開口部周縁部に設けたメタライズ層にハンダ
を介してキャップを取り付ける圧電振動子において、前
記メタライズ層外周は開口部周縁部の外周より小さく且
つメタライズ層内周は開口部周縁部の内周と等しいか大
きな内周をもち、キャップの外周は前記メタライズ層の
外周より小さく、ハンダの大部分はキャップの外周部と
メタライズ層のキャップ外周より外側の部分に付いてい
る圧電振動子。
装型圧電振動子を得る。 【解決手段】一方が開放された有底保持器に圧電振動片
を収納し、開口部周縁部に設けたメタライズ層にハンダ
を介してキャップを取り付ける圧電振動子において、前
記メタライズ層外周は開口部周縁部の外周より小さく且
つメタライズ層内周は開口部周縁部の内周と等しいか大
きな内周をもち、キャップの外周は前記メタライズ層の
外周より小さく、ハンダの大部分はキャップの外周部と
メタライズ層のキャップ外周より外側の部分に付いてい
る圧電振動子。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電振動子および圧
電振動子の製造方法に関するものである。
電振動子の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来技術による表面実装型圧電振
動子の分解斜視図である。主な構成部品としては、圧電
振動片１、圧電振動片１を収納するための凹部２ｂを有
する有底保持器２、有底保持器２の開口部を塞ぐための
金属キャップ３、有底保持器２と金属キャップ３を接合
するためのハンダ４である。図２は従来技術による圧電
振動子の長手方向中央部の断面図である。有底保持器２
はセラミックスで形成され、有底保持器２の開口部の周
縁部２ａには全面にメタライズ層が形成されており、ハ
ンダ４により金属キャップ３を接着封止している。接着
封止は圧電振動子の電気的特性を上げるため通常真空中
で行われる。
動子の分解斜視図である。主な構成部品としては、圧電
振動片１、圧電振動片１を収納するための凹部２ｂを有
する有底保持器２、有底保持器２の開口部を塞ぐための
金属キャップ３、有底保持器２と金属キャップ３を接合
するためのハンダ４である。図２は従来技術による圧電
振動子の長手方向中央部の断面図である。有底保持器２
はセラミックスで形成され、有底保持器２の開口部の周
縁部２ａには全面にメタライズ層が形成されており、ハ
ンダ４により金属キャップ３を接着封止している。接着
封止は圧電振動子の電気的特性を上げるため通常真空中
で行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】開口部周縁部２ａの全
面にメタライズ層６があり、メタライズ層６とハンダ４
の巾が同じであるため接着封止の際、ハンダ４が溶けた
ときに発生するガスが真空にされた保持器内に入り、保
持器内の圧力を上昇させるとともに、圧電振動子表面に
付着し、圧電振動子の電気的特性（ＣＩ値やエージング
特性等）を劣化させる。
面にメタライズ層６があり、メタライズ層６とハンダ４
の巾が同じであるため接着封止の際、ハンダ４が溶けた
ときに発生するガスが真空にされた保持器内に入り、保
持器内の圧力を上昇させるとともに、圧電振動子表面に
付着し、圧電振動子の電気的特性（ＣＩ値やエージング
特性等）を劣化させる。
【０００４】有底保持器２と金属キャップ３を密着させ
るために加圧すると、ハンダ４が外周よりはみ出し外形
が変わる。また、有底保持器２内部にもはみ出し、有底
保持器２に形成されたパターン(図示せず)や導電接着剤
５等と接触しショートする可能性がある。
るために加圧すると、ハンダ４が外周よりはみ出し外形
が変わる。また、有底保持器２内部にもはみ出し、有底
保持器２に形成されたパターン(図示せず)や導電接着剤
５等と接触しショートする可能性がある。
【０００５】外周へのはみ出しを防ぐために、金属キャ
ップ３を開口部周縁部２ａの外周より小さくすると、金
属キャップ３の位置決めが困難になり、金属キャップ３
の位置ずれと、それに伴う封止部でのリークが発生し易
い。本発明はこれらの課題を解決する圧電振動子の構造
と製造方法を提供することを目的としている。
ップ３を開口部周縁部２ａの外周より小さくすると、金
属キャップ３の位置決めが困難になり、金属キャップ３
の位置ずれと、それに伴う封止部でのリークが発生し易
い。本発明はこれらの課題を解決する圧電振動子の構造
と製造方法を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】一方が開放された有底保
持器に圧電振動片を収納し、開口部周縁部に設けたメタ
ライズ層にハンダを介してキャップ(好ましくは金属製
であるが、セラミックスに封止部にメタライズ層を設け
たものでも構わない。以下金属キャップという)を取り
付ける圧電振動子において、前記メタライズ層外周は開
口部周縁部の外周より小さく且つメタライズ層内周は開
口部周縁部の内周と等しいか大きな内周をもち、金属キ
ャップの外周は前記メタライズ層の外周より小さく、ハ
ンダは金属キャップの外周部とメタライズ層の金属キャ
ップ外周より外側の部分に付いている構造とする。
持器に圧電振動片を収納し、開口部周縁部に設けたメタ
ライズ層にハンダを介してキャップ(好ましくは金属製
であるが、セラミックスに封止部にメタライズ層を設け
たものでも構わない。以下金属キャップという)を取り
付ける圧電振動子において、前記メタライズ層外周は開
口部周縁部の外周より小さく且つメタライズ層内周は開
口部周縁部の内周と等しいか大きな内周をもち、金属キ
ャップの外周は前記メタライズ層の外周より小さく、ハ
ンダは金属キャップの外周部とメタライズ層の金属キャ
ップ外周より外側の部分に付いている構造とする。
【０００７】圧電振動片を収納する有底保持器の開口部
周縁部にメタライズ層が設けられ、金属キャップをハン
ダにて加熱封止する圧電振動子の製造方法において、少
なくとも、有底保持器の開口部周縁部に外周は開口部周
縁部の外周より小さく内周は開口部周縁部の内周と等し
いか大きな内周を持つメタライズ層を設ける工程と、開
口部周縁部の外周と等しいか小さな外周をもち、金属キ
ャップの外周より大きな内周をもつ平坦なドーナツ型ハ
ンダを開口部に位置決めして圧着する工程と、前記ハン
ダ内周をガイドとして金属キャップをメタライズ層上に
載置する工程と、ハンダを溶融して封止する工程を有す
る製造方法とする。
周縁部にメタライズ層が設けられ、金属キャップをハン
ダにて加熱封止する圧電振動子の製造方法において、少
なくとも、有底保持器の開口部周縁部に外周は開口部周
縁部の外周より小さく内周は開口部周縁部の内周と等し
いか大きな内周を持つメタライズ層を設ける工程と、開
口部周縁部の外周と等しいか小さな外周をもち、金属キ
ャップの外周より大きな内周をもつ平坦なドーナツ型ハ
ンダを開口部に位置決めして圧着する工程と、前記ハン
ダ内周をガイドとして金属キャップをメタライズ層上に
載置する工程と、ハンダを溶融して封止する工程を有す
る製造方法とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】図３は本発明の製造方法を説明す
るための各工程を示す断面図である。Ａは、有底保持器
２の開口部周縁部２ａに外周は開口部周縁部２ａの外周
より小さく内周は開口部周縁部２ａの内周と等しいか大
きな内周を持つメタライズ層７を設けた状態図である。
Ｂは、開口部周縁部２ａの外周と等しいか小さな外周を
もち、金属キャップ９の外周より大きな内周をもつ平坦
なドーナツ型ハンダ８を開口部周縁部２ａに位置決めし
て圧着した状態図である。Ｃは、ハンダ８の内周をガイ
ドとして金属キャップ９をメタライズ層７上に載置した
状態図である。Ｄは、ハンダ８を溶融して封止した状態
図である。封止の際には真空槽内で金属キャップ９を加
圧しながら加熱する。
るための各工程を示す断面図である。Ａは、有底保持器
２の開口部周縁部２ａに外周は開口部周縁部２ａの外周
より小さく内周は開口部周縁部２ａの内周と等しいか大
きな内周を持つメタライズ層７を設けた状態図である。
Ｂは、開口部周縁部２ａの外周と等しいか小さな外周を
もち、金属キャップ９の外周より大きな内周をもつ平坦
なドーナツ型ハンダ８を開口部周縁部２ａに位置決めし
て圧着した状態図である。Ｃは、ハンダ８の内周をガイ
ドとして金属キャップ９をメタライズ層７上に載置した
状態図である。Ｄは、ハンダ８を溶融して封止した状態
図である。封止の際には真空槽内で金属キャップ９を加
圧しながら加熱する。
【０００９】本発明は少なくとも前記４工程を有する製
造方法であり、圧電振動片１を有底保持器２に取り付け
る工程、圧電振動片１の周波数調整をする工程、全体を
真空中で加熱してアニールする工程等は、工程Ａと工程
Ｃの間にあればよい。
造方法であり、圧電振動片１を有底保持器２に取り付け
る工程、圧電振動片１の周波数調整をする工程、全体を
真空中で加熱してアニールする工程等は、工程Ａと工程
Ｃの間にあればよい。
【００１０】図４は本発明の圧電振動子の封止部の拡大
断面図である。有底保持器２ａと金属キャップ９は、ハ
ンダ８によりにより金属キャップ９の側面９ａとメタラ
イズ層７で封止されている。メタライズ層７と金属キャ
ップ９の下面の合わせ面には加圧条件により多少ハンダ
８が侵入する可能性があるがほとんどない。(図中メタ
ライズ層７は相当な厚みで書いてあるが、実際は極薄い
層であり、表面にはハンダが付き易いメッキを施してあ
る。)
断面図である。有底保持器２ａと金属キャップ９は、ハ
ンダ８によりにより金属キャップ９の側面９ａとメタラ
イズ層７で封止されている。メタライズ層７と金属キャ
ップ９の下面の合わせ面には加圧条件により多少ハンダ
８が侵入する可能性があるがほとんどない。(図中メタ
ライズ層７は相当な厚みで書いてあるが、実際は極薄い
層であり、表面にはハンダが付き易いメッキを施してあ
る。)
【００１１】開口部周縁部２ａの外周部にはメタライズ
層７がなく、ハンダ８はメタライズ層７の外周より外に
は付着しないので封止部が有底保持器２の外形より大き
くなるようなはみ出し現象は起こらない。
層７がなく、ハンダ８はメタライズ層７の外周より外に
は付着しないので封止部が有底保持器２の外形より大き
くなるようなはみ出し現象は起こらない。
【００１２】図５は本発明の圧電振動子の他の実施形態
であり、封止部の拡大断面図である。金属キャップ１０
の封止部である側面１０ａは段付き形状に形成されてお
り、図４の封止部より封止面が多くなっている。
であり、封止部の拡大断面図である。金属キャップ１０
の封止部である側面１０ａは段付き形状に形成されてお
り、図４の封止部より封止面が多くなっている。
【００１３】図６は本発明の更に他の実施形態であり、
封止部の拡大断面図である。金属キャップ１１の封止部
である側面１１ａは斜めに形成されており、図４の封止
部より封止面が多くなっている。また、メタライズ層１
２は、開口部周縁部２ａの外周より小さい外周で、開口
部周縁部１２ａの内周より大きい内周で形成してある。
メタライズ層１２と金属キャップ１１下面の合わせ面に
ハンダが侵入してもハンダが有底保持器２の凹部２ｂま
では侵入しにくい構造である。図５、図６の実施形態で
も製造方法はいずれも同じである。
封止部の拡大断面図である。金属キャップ１１の封止部
である側面１１ａは斜めに形成されており、図４の封止
部より封止面が多くなっている。また、メタライズ層１
２は、開口部周縁部２ａの外周より小さい外周で、開口
部周縁部１２ａの内周より大きい内周で形成してある。
メタライズ層１２と金属キャップ１１下面の合わせ面に
ハンダが侵入してもハンダが有底保持器２の凹部２ｂま
では侵入しにくい構造である。図５、図６の実施形態で
も製造方法はいずれも同じである。
【００１４】
【発明の効果】本発明は前述のような構造にしたため、
ハンダが溶融するときに発生するガスが、真空にされた
有底保持器内に侵入することが少なく、圧電振動子の電
気特性を劣化させることがない。また、ハンダが有底保
持器の外周にはみ出すことがなくなる。
ハンダが溶融するときに発生するガスが、真空にされた
有底保持器内に侵入することが少なく、圧電振動子の電
気特性を劣化させることがない。また、ハンダが有底保
持器の外周にはみ出すことがなくなる。
【００１５】本発明の製造方法を採ることにより、キャ
ップがハンダにより位置決めされるので、キャップが有
底保持器の外周より小さくてもキャップ位置精度が向上
し、封止部からのリーク発生がなくなる。
ップがハンダにより位置決めされるので、キャップが有
底保持器の外周より小さくてもキャップ位置精度が向上
し、封止部からのリーク発生がなくなる。
【図１】従来技術による表面実装型圧電振動子の分解斜
視図
視図
【図２】図１長手方向の断面図
【図３】本発明を説明するための各工程の断面図
【図４】本発明の圧電振動子の封止部の拡大断面図
【図５】本発明の圧電振動子の他の実施形態の封止部の
拡大断面図
拡大断面図
【図６】本発明の圧電振動子の他の実施形態の封止部の
拡大断面図
拡大断面図
１ 圧電振動片 ２ 有底保持器 ２ａ 開口部周縁部 ２ｂ 有底保持器の凹部 ３ 金属キャップ ４ ハンダ ５ 導電接着剤 ６ メタライズ層 ７ メタライズ層 ８ ハンダ ９ 金属キャップ ９ａ 金属キャップの側面 １０ 金属キャップ １０ａ 金属キャップの側面 １１ 金属キャップ １１ａ 金属キャップの側面 １２ メタライズ層
Claims (2)
- 【請求項１】 一方が開放された有底保持器に圧電振動
片を収納し、開口部周縁部に設けたメタライズ層にハン
ダを介してキャップを取り付ける圧電振動子において、
前記メタライズ層外周は開口部周縁部の外周より小さく
且つメタライズ層内周は開口部周縁部の内周と等しいか
大きな内周をもち、キャップの外周は前記メタライズ層
の外周より小さく、ハンダの大部分はキャップの外周部
とメタライズ層のキャップ外周より外側の部分に付いて
いることを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項２】 圧電振動片を収納する有底保持器の開口
部周縁部にメタライズ層が設けられ、キャップをハンダ
にて加熱封止する圧電振動子の製造方法において、少な
くとも、有底保持器の開口部周縁部に外周は開口部周縁
部の外周より小さく内周は開口部周縁部の内周と等しい
か大きな内周を持つメタライズ層を設ける工程と、開口
部周縁部の外周と等しいか小さな外周をもち、キャップ
の外周より大きな内周をもつ平坦なドーナツ型ハンダを
開口部に位置決めして圧着する工程と、前記ハンダ内周
をガイドとしてキャップをメタライズ層上に載置する工
程と、ハンダを溶融して封止する工程を有することを特
徴とする圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31018296A JPH10145177A (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | 圧電振動子および圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31018296A JPH10145177A (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | 圧電振動子および圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10145177A true JPH10145177A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=18002166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31018296A Pending JPH10145177A (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | 圧電振動子および圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10145177A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013027017A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Kyocera Crystal Device Corp | 電子デバイスの製造方法 |
-
1996
- 1996-11-05 JP JP31018296A patent/JPH10145177A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013027017A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Kyocera Crystal Device Corp | 電子デバイスの製造方法 |
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