JPH10154916A - エネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方法 - Google Patents
エネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方法Info
- Publication number
- JPH10154916A JPH10154916A JP32616596A JP32616596A JPH10154916A JP H10154916 A JPH10154916 A JP H10154916A JP 32616596 A JP32616596 A JP 32616596A JP 32616596 A JP32616596 A JP 32616596A JP H10154916 A JPH10154916 A JP H10154916A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonance
- resonance frequency
- electrode
- piezoelectric substrate
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 調整が容易で、低コストで、しかも、特性の
劣化がないレーザ光による共振周波数調整方法を提供す
る。 【解決手段】 圧電基板１０の少なくとも一面側の共振
電極１１ｃ，１２ｃとその周囲の圧電基板１０の部分を
含む領域を周波数調整領域ｓとして、該領域にレーザ光
を照射して前記共振電極１１ｃ，１２ｃの一部及び圧電
基１０の一部に微小の孔を複数形成することにより、圧
電振動子の共振周波数を調整するようにした。
劣化がないレーザ光による共振周波数調整方法を提供す
る。 【解決手段】 圧電基板１０の少なくとも一面側の共振
電極１１ｃ，１２ｃとその周囲の圧電基板１０の部分を
含む領域を周波数調整領域ｓとして、該領域にレーザ光
を照射して前記共振電極１１ｃ，１２ｃの一部及び圧電
基１０の一部に微小の孔を複数形成することにより、圧
電振動子の共振周波数を調整するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エネルギー閉じ込
め型圧電振動子の共振周波数調整方法に関する。
め型圧電振動子の共振周波数調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電基板の両面に共振電極を備えたエネ
ルギー閉じ込め型圧電振動子としては、特開平7-263999
号等に開示されるように、圧電基板の表裏一面に、対向
状に入出力側共振電極を配設し、他面に両共振電極を覆
うように共通側共振電極を配設して振動部を構成し、該
入出力側共振電極と電気的に接続する一対の入出力電極
を該圧電基板の一側面に延成し、さらにその他面で、共
通側共振電極に接続する接地電極を配設するようにして
なるものがあり、このエネルギー閉じ込め型圧電振動子
と、該圧電振動子の表面に被着され共振電極を覆う空間
を形成するための凹溝を有する絶縁キャップと、該圧電
振動子の裏面に被着され前記共振電極を覆う空間を形成
するための凹溝を有する絶縁ベースを積層して、チップ
型圧電フィルタが構成される。このチップ型圧電フィル
タは、10MHz 帯域用の圧電フィルタとして用いられてい
る。
ルギー閉じ込め型圧電振動子としては、特開平7-263999
号等に開示されるように、圧電基板の表裏一面に、対向
状に入出力側共振電極を配設し、他面に両共振電極を覆
うように共通側共振電極を配設して振動部を構成し、該
入出力側共振電極と電気的に接続する一対の入出力電極
を該圧電基板の一側面に延成し、さらにその他面で、共
通側共振電極に接続する接地電極を配設するようにして
なるものがあり、このエネルギー閉じ込め型圧電振動子
と、該圧電振動子の表面に被着され共振電極を覆う空間
を形成するための凹溝を有する絶縁キャップと、該圧電
振動子の裏面に被着され前記共振電極を覆う空間を形成
するための凹溝を有する絶縁ベースを積層して、チップ
型圧電フィルタが構成される。このチップ型圧電フィル
タは、10MHz 帯域用の圧電フィルタとして用いられてい
る。
【０００３】このような、エネルギー閉じ込め型圧電振
動子を応用したフィルタにあっては、該圧電基板（主に
ＰＺＴ）自体の厚みと、該基板に成膜する電極の厚み
（質量）によって、共振周波数ｆ0 が決定される。そこ
で、従来は、この共振周波数ｆ0 を、所定の値に調整す
るための方法として、あらかじめ、共振周波数ｆ0 を所
定値よりも少し高くしておいてから、成膜する電極の厚
みを増加させることにより共振周波数ｆ0 を低周波側へ
移行するようにして調整していた。ところがこの手段で
あると、過剰に被覆してしまったものは全て不良品とな
るという問題点があった。さらには、電極上に質量物を
付加し、その上で質量物をリュータにより手作業で必要
量除去するという手段も行なわれていたが、かかる構成
にあっては、質量物を付加しなければならず、かつ手作
業によらなければならず、面倒で、コストがかかるとい
う問題があった。
動子を応用したフィルタにあっては、該圧電基板（主に
ＰＺＴ）自体の厚みと、該基板に成膜する電極の厚み
（質量）によって、共振周波数ｆ0 が決定される。そこ
で、従来は、この共振周波数ｆ0 を、所定の値に調整す
るための方法として、あらかじめ、共振周波数ｆ0 を所
定値よりも少し高くしておいてから、成膜する電極の厚
みを増加させることにより共振周波数ｆ0 を低周波側へ
移行するようにして調整していた。ところがこの手段で
あると、過剰に被覆してしまったものは全て不良品とな
るという問題点があった。さらには、電極上に質量物を
付加し、その上で質量物をリュータにより手作業で必要
量除去するという手段も行なわれていたが、かかる構成
にあっては、質量物を付加しなければならず、かつ手作
業によらなければならず、面倒で、コストがかかるとい
う問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一方、上述の共振周波
数調整方法の問題点を解決しうる手段として、特開昭５
６−１６０１２１号に開示されているように、圧電基板
に質量物を付加してから、所定の共振周波数とのずれ度
合に対応して、レーザ光を質量物に照射し、該質量物を
適当量除去するようにした共振周波数調整方法が提案さ
れた。しかし、この構成にあっても、質量物を付加しな
ければならず、コストの面から、やはり問題があった。
数調整方法の問題点を解決しうる手段として、特開昭５
６−１６０１２１号に開示されているように、圧電基板
に質量物を付加してから、所定の共振周波数とのずれ度
合に対応して、レーザ光を質量物に照射し、該質量物を
適当量除去するようにした共振周波数調整方法が提案さ
れた。しかし、この構成にあっても、質量物を付加しな
ければならず、コストの面から、やはり問題があった。
【０００５】そこで、質量物を省略し、共振電極に直
接、レーザ光を照射することにより共振電極の一部に孔
を明けて電極質量を変化させることも考えられる。とこ
ろが、レーザ光によって電極に形成される孔の直径は0.
01〜0.02mm と小さく、この質量変化による周波数の変
化は僅かであるため、10〜20kHz の範囲（共振周波数が
10MHz 用振動子の場合）で周波数を調整する場合には、
電極に無数の孔を明ける必要があった。
接、レーザ光を照射することにより共振電極の一部に孔
を明けて電極質量を変化させることも考えられる。とこ
ろが、レーザ光によって電極に形成される孔の直径は0.
01〜0.02mm と小さく、この質量変化による周波数の変
化は僅かであるため、10〜20kHz の範囲（共振周波数が
10MHz 用振動子の場合）で周波数を調整する場合には、
電極に無数の孔を明ける必要があった。
【０００６】しかし、電極に無数の孔を明けることは、
圧電基板を介して対向する表裏電極間の静電容量を変化
して挿入損失の低下を招来したり、共振電極と接続する
細いリード電極を欠損して断線を生じる等の問題を生じ
る。このため、共振電極自体に直接レーザ光を照射する
ことは不適合とされていた。本発明は、かかる問題点を
解決しながら、レーザ光による孔明け加工を可能とする
手段を提供するものである。
圧電基板を介して対向する表裏電極間の静電容量を変化
して挿入損失の低下を招来したり、共振電極と接続する
細いリード電極を欠損して断線を生じる等の問題を生じ
る。このため、共振電極自体に直接レーザ光を照射する
ことは不適合とされていた。本発明は、かかる問題点を
解決しながら、レーザ光による孔明け加工を可能とする
手段を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電基板の両
面に共振電極を備えたエネルギー閉じ込め型圧電振動子
の共振周波数調整方法であって、圧電基板の少なくとも
一面側の共振電極とその周囲の圧電基板部分を含む領域
を周波数調整領域として、該領域にレーザ光を照射して
前記共振電極の一部及び圧電基板の一部に微小の孔を複
数形成することを特徴とするエネルギー閉じ込め型圧電
振動子の共振周波数調整方法である。
面に共振電極を備えたエネルギー閉じ込め型圧電振動子
の共振周波数調整方法であって、圧電基板の少なくとも
一面側の共振電極とその周囲の圧電基板部分を含む領域
を周波数調整領域として、該領域にレーザ光を照射して
前記共振電極の一部及び圧電基板の一部に微小の孔を複
数形成することを特徴とするエネルギー閉じ込め型圧電
振動子の共振周波数調整方法である。
【０００８】本発明者らは、種々の実験により、共振電
極の周辺の圧電基板部分にもレーザ光を照射して孔加工
を施すと、質量除去効果により、共振周波数を高くなる
方向へ調整することができることを見出した。そこで、
共振電極と共に、その周囲の圧電基板面も周波数調整領
域として、この領域にレーザ光を照射するようにした。
これにより、共振電極には必要最小数の孔を明け、該電
極の周辺の圧電基板部分には充分な周波数調整を得られ
るように、無数の孔を明けることが可能となり、これに
より共振電極から過剰な電極除去を防止して静電容量の
低下や断線等を防止できる周波数調整方法を提供できる
こととなる。
極の周辺の圧電基板部分にもレーザ光を照射して孔加工
を施すと、質量除去効果により、共振周波数を高くなる
方向へ調整することができることを見出した。そこで、
共振電極と共に、その周囲の圧電基板面も周波数調整領
域として、この領域にレーザ光を照射するようにした。
これにより、共振電極には必要最小数の孔を明け、該電
極の周辺の圧電基板部分には充分な周波数調整を得られ
るように、無数の孔を明けることが可能となり、これに
より共振電極から過剰な電極除去を防止して静電容量の
低下や断線等を防止できる周波数調整方法を提供できる
こととなる。
【０００９】この調整方法は、各孔が格子配列となった
穿孔パターンにより、前記周波数調整領域に微小の孔を
複数形成すると共に、穿孔パターンの孔の配列間隔を設
定することにより、その間隔が短くなると共振周波数が
高くなる関係に基づいて、共振周波数を調整することに
より実施することができる。
穿孔パターンにより、前記周波数調整領域に微小の孔を
複数形成すると共に、穿孔パターンの孔の配列間隔を設
定することにより、その間隔が短くなると共振周波数が
高くなる関係に基づいて、共振周波数を調整することに
より実施することができる。
【００１０】すなわち、孔の配列間隔を短くすると、孔
の形成密度が高くなって、除去される質量が増すことと
なる。従って、レーザ光を放射する制御装置を制御し
て、各孔の間隔を適宜に調整設定することにより、随意
に、かつ無段階的に共振周波数を調整することが可能と
なる。
の形成密度が高くなって、除去される質量が増すことと
なる。従って、レーザ光を放射する制御装置を制御し
て、各孔の間隔を適宜に調整設定することにより、随意
に、かつ無段階的に共振周波数を調整することが可能と
なる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明に係る共振周波数調整方法
が適用されるエネルギー閉じ込め型圧電振動子９を備え
た、チップ型圧電フィルタＦの一例を図１に従って説明
する。このチップ型圧電フィルタＦは、絶縁ベース１
と、絶縁ベース１上に被着されるエネルギー閉じ込め型
圧電振動子９と、該圧電振動子の表面に被着される絶縁
キャップ２０との積層体よりなる。
が適用されるエネルギー閉じ込め型圧電振動子９を備え
た、チップ型圧電フィルタＦの一例を図１に従って説明
する。このチップ型圧電フィルタＦは、絶縁ベース１
と、絶縁ベース１上に被着されるエネルギー閉じ込め型
圧電振動子９と、該圧電振動子の表面に被着される絶縁
キャップ２０との積層体よりなる。
【００１２】ここでエネルギー閉じ込め型圧電振動子９
は、圧電基板１０の表裏面に複数の共振電極１１ａ，１
１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、該共振電極
から圧電基板１０の一側面に伸びる一対の入出力電極１
４ａ，１４ｂ及び接地電極１５とを夫々形成してなる。
すなわち、この圧電振動子９は圧電基板１０を基体とし
て構成され、該圧電基板１０は、PbTiO3系，PbTiO3-PbZ
rO3 系等の圧電セラミック材料からなり、その表面に
は、左右位置で対向状に入出力側共振電極１１ａ，１１
ｂと、入出力側共振電極１２ａ，１２ｂが間隔を置いて
配設されている。そして、内側の共振電極１１ｂ，１２
ｂを内部導電パターン１３で接続している。この内部導
電パターン１３には、幅方向にコンデンサー電極１３ａ
が延出している。また外側の共振電極１１ａ，１２ａは
夫々角部の側面に延出し、これを入出力電極１４ａ，１
４ｂとしている。この入出力電極１４ａ，１４ｂの位置
には絶縁ベース１の側面に延設された外部導体６，７の
端部が上下で対置しており、導電性塗料３０を介してそ
の電気的接続を施し得るようにしている。
は、圧電基板１０の表裏面に複数の共振電極１１ａ，１
１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、該共振電極
から圧電基板１０の一側面に伸びる一対の入出力電極１
４ａ，１４ｂ及び接地電極１５とを夫々形成してなる。
すなわち、この圧電振動子９は圧電基板１０を基体とし
て構成され、該圧電基板１０は、PbTiO3系，PbTiO3-PbZ
rO3 系等の圧電セラミック材料からなり、その表面に
は、左右位置で対向状に入出力側共振電極１１ａ，１１
ｂと、入出力側共振電極１２ａ，１２ｂが間隔を置いて
配設されている。そして、内側の共振電極１１ｂ，１２
ｂを内部導電パターン１３で接続している。この内部導
電パターン１３には、幅方向にコンデンサー電極１３ａ
が延出している。また外側の共振電極１１ａ，１２ａは
夫々角部の側面に延出し、これを入出力電極１４ａ，１
４ｂとしている。この入出力電極１４ａ，１４ｂの位置
には絶縁ベース１の側面に延設された外部導体６，７の
端部が上下で対置しており、導電性塗料３０を介してそ
の電気的接続を施し得るようにしている。
【００１３】一方、前記圧電基板１０の裏面は共振電極
１１ａ，１１ｂと、共振電極１２ａ，１２ｂに対向し
て、これを覆うように共通側の共振電極１１ｃ，１２ｃ
が形成され、さらに、コンデンサー電極１３ａに対向し
てコンデンサー電極１３ｂが形成されており、これらの
各電極は接続され、コンデンサー電極１３ｂの一端を圧
電基板１０の側縁まで延出して、これを接地電極１５と
している。この接地電極１５の位置には、絶縁ベース１
の側面に延設された外部導体１８が形成され、その電気
的接続を可能としている。
１１ａ，１１ｂと、共振電極１２ａ，１２ｂに対向し
て、これを覆うように共通側の共振電極１１ｃ，１２ｃ
が形成され、さらに、コンデンサー電極１３ａに対向し
てコンデンサー電極１３ｂが形成されており、これらの
各電極は接続され、コンデンサー電極１３ｂの一端を圧
電基板１０の側縁まで延出して、これを接地電極１５と
している。この接地電極１５の位置には、絶縁ベース１
の側面に延設された外部導体１８が形成され、その電気
的接続を可能としている。
【００１４】これにより、共振電極１１ｃに入出力側共
振電極１１ａ，１１ｂを対向して、これを振動部１１と
し、同じく共振電極１２ｃに入出力側共振電極１２ａ，
１２ｂを対向して、これを振動部１２とし、さらに、コ
ンデンサー電極１３ａ，１３ｂの対峙により静電容量を
生ずるコンデンサー部１３を構成し、夫々を入出力電極
１４ａ，１４ｂ及び接地電極１５に接続し、該電極１４
ａ，１４ｂ，１５を介して外部電路との電気的接続を可
能とするようにしている。この圧電基板１０上には、絶
縁キャップ２０が被着される。
振電極１１ａ，１１ｂを対向して、これを振動部１１と
し、同じく共振電極１２ｃに入出力側共振電極１２ａ，
１２ｂを対向して、これを振動部１２とし、さらに、コ
ンデンサー電極１３ａ，１３ｂの対峙により静電容量を
生ずるコンデンサー部１３を構成し、夫々を入出力電極
１４ａ，１４ｂ及び接地電極１５に接続し、該電極１４
ａ，１４ｂ，１５を介して外部電路との電気的接続を可
能とするようにしている。この圧電基板１０上には、絶
縁キャップ２０が被着される。
【００１５】次に本発明の共振周波数調整方法につき説
明する。上述の圧電振動子９にあって、その共振周波数
を所定値に調整するために、図３で示すように、圧電基
板１０の裏面の、共通側共振電極１１ｃ，１２ｃとその
周囲の圧電基板部分を含む領域を周波数調整領域ｓとし
て、格子状配列からなる穿孔パターンＰが形成されるよ
うに、該領域にレーザ光を照射して前記共振電極１１
ｃ，１２ｃの一部及び圧電基板の一部に微小の孔ｈを複
数形成するようにしている。
明する。上述の圧電振動子９にあって、その共振周波数
を所定値に調整するために、図３で示すように、圧電基
板１０の裏面の、共通側共振電極１１ｃ，１２ｃとその
周囲の圧電基板部分を含む領域を周波数調整領域ｓとし
て、格子状配列からなる穿孔パターンＰが形成されるよ
うに、該領域にレーザ光を照射して前記共振電極１１
ｃ，１２ｃの一部及び圧電基板の一部に微小の孔ｈを複
数形成するようにしている。
【００１６】すなわち、本発明者らは、種々の実験によ
り、共振電極の周辺の圧電基板１０の部分にレーザ光を
照射して孔加工を施しても、質量除去効果により、周波
数を調整することができることを見出した。そこで、上
述のように共振電極１１ｃ，１２ｃと共に、その周囲の
圧電基板１０の上面をも周波数調整領域ｓとして、この
領域にレーザ光を照射するようにしたものである。
り、共振電極の周辺の圧電基板１０の部分にレーザ光を
照射して孔加工を施しても、質量除去効果により、周波
数を調整することができることを見出した。そこで、上
述のように共振電極１１ｃ，１２ｃと共に、その周囲の
圧電基板１０の上面をも周波数調整領域ｓとして、この
領域にレーザ光を照射するようにしたものである。
【００１７】ここで、図４は、レーザ加工前の共振特性
イと、図６の縦横８×８点の格子配列からなる穿孔パタ
ーンＰ1 によって、多数の孔ｈを形成した場合の共振特
性ロを比較して示すものである。この特性比較で解るよ
うに、このレーザ光による調整によって、共振周波数は
15.0kHz 上昇し、出力値は0.14dB下降した。ここで、図
６イの格子配列にあって、孔径は0.01mmであり、縦横の
孔の配列間隔ｋ＝0.2mm である。
イと、図６の縦横８×８点の格子配列からなる穿孔パタ
ーンＰ1 によって、多数の孔ｈを形成した場合の共振特
性ロを比較して示すものである。この特性比較で解るよ
うに、このレーザ光による調整によって、共振周波数は
15.0kHz 上昇し、出力値は0.14dB下降した。ここで、図
６イの格子配列にあって、孔径は0.01mmであり、縦横の
孔の配列間隔ｋ＝0.2mm である。
【００１８】また、図５は、レーザ加工前の共振特性イ
と、図７の縦横９×９点の格子配列からなる穿孔パター
ンＰ2 によって、多数の孔ｈを形成した場合の共振特性
ロを比較して示すものである。この特性比較で解るよう
に、このレーザ光による調整によって、共振周波数は2
5.0kHz 上昇し、出力値は0.46dB下降した。ここで、図
７の格子配列にあって、孔径は0.01mmであり、縦横の孔
の配列間隔ｋ＝0.175mmである。
と、図７の縦横９×９点の格子配列からなる穿孔パター
ンＰ2 によって、多数の孔ｈを形成した場合の共振特性
ロを比較して示すものである。この特性比較で解るよう
に、このレーザ光による調整によって、共振周波数は2
5.0kHz 上昇し、出力値は0.46dB下降した。ここで、図
７の格子配列にあって、孔径は0.01mmであり、縦横の孔
の配列間隔ｋ＝0.175mmである。
【００１９】上述の方法のように、穿孔パターンの孔の
配列間隔ｋを設定することにより、その間隔が短くなる
と共振周波数が高くなる関係に基づいて、共振周波数を
調整することにより実施することができる。すなわち、
孔ｈの配列間隔ｋを短くすると、孔の形成密度が高くな
って、除去される質量が増すこととなる。従って、レー
ザ光を放射する制御装置を制御して、各孔の間隔を適宜
に調整設定することにより、随意に、かつ無段階的に共
振周波数を調整することが可能となる。尚、縦横の孔の
配列間隔は、等しくする必要はなく、縦横の間隔を夫々
設定することにより、共振周波数の調整を行なうことが
できる。
配列間隔ｋを設定することにより、その間隔が短くなる
と共振周波数が高くなる関係に基づいて、共振周波数を
調整することにより実施することができる。すなわち、
孔ｈの配列間隔ｋを短くすると、孔の形成密度が高くな
って、除去される質量が増すこととなる。従って、レー
ザ光を放射する制御装置を制御して、各孔の間隔を適宜
に調整設定することにより、随意に、かつ無段階的に共
振周波数を調整することが可能となる。尚、縦横の孔の
配列間隔は、等しくする必要はなく、縦横の間隔を夫々
設定することにより、共振周波数の調整を行なうことが
できる。
【００２０】このように、レーザ光を、前記周波数調整
領域ｓに照射して、共振電極１１ｃ，１２だけでなく、
その周囲の圧電基板１０の表面を除去することにより、
共振周波数を上昇させることができる。従って、大きく
向上させようとする場合には、縦横の孔数の多い（配列
間隔の短い）格子配列の穿孔パターンを選ぶ等により、
随意に共振周波数を調整し得ることとなる。
領域ｓに照射して、共振電極１１ｃ，１２だけでなく、
その周囲の圧電基板１０の表面を除去することにより、
共振周波数を上昇させることができる。従って、大きく
向上させようとする場合には、縦横の孔数の多い（配列
間隔の短い）格子配列の穿孔パターンを選ぶ等により、
随意に共振周波数を調整し得ることとなる。
【００２１】而して、かかる調整手段にあって、共振電
極１１ｃ，１２ｃには必要最小数の孔ｈを明け、該電極
の周辺の圧電基板１０の表面に充分な周波数調整を得ら
れるように、無数の孔を明けることが可能となり、これ
により共振電極から過剰な電極除去を防止して静電容量
の低下や断線等を防止できる。
極１１ｃ，１２ｃには必要最小数の孔ｈを明け、該電極
の周辺の圧電基板１０の表面に充分な周波数調整を得ら
れるように、無数の孔を明けることが可能となり、これ
により共振電極から過剰な電極除去を防止して静電容量
の低下や断線等を防止できる。
【００２２】上述の構成は、圧電振動子９裏面の共通側
共振電極１１ｃ，１２ｃに、レーザ加工を行なったもの
であるが、図２で示すように、入出力共振電極１１ａ，
１１ｂ、１２ａ，１２ｂにレーザ加工により穿孔パター
ンＰを形成しても良い。かかる構成にあっても、この穿
孔パターンＰにより共振周波数を上昇させることによ
り、所定の共振周波数に調整し得ることとなる。
共振電極１１ｃ，１２ｃに、レーザ加工を行なったもの
であるが、図２で示すように、入出力共振電極１１ａ，
１１ｂ、１２ａ，１２ｂにレーザ加工により穿孔パター
ンＰを形成しても良い。かかる構成にあっても、この穿
孔パターンＰにより共振周波数を上昇させることによ
り、所定の共振周波数に調整し得ることとなる。
【００２３】また前記方法は、孔ｈを同径として孔当た
りの除去質量を同一とし、穿孔パターンＰの孔ｈの配列
間隔ｋを設定調整するようにしたものであるが、孔ｈの
径や、孔ｈの深さを変えることにより共振周波数を調整
するようにしても良い。さらには穿孔パターンＰを格子
状以外の配列を含めた種々のパターンを用意して、その
パターン選定により削除質量を変更することにより、共
振周波数を調整しても良い。
りの除去質量を同一とし、穿孔パターンＰの孔ｈの配列
間隔ｋを設定調整するようにしたものであるが、孔ｈの
径や、孔ｈの深さを変えることにより共振周波数を調整
するようにしても良い。さらには穿孔パターンＰを格子
状以外の配列を含めた種々のパターンを用意して、その
パターン選定により削除質量を変更することにより、共
振周波数を調整しても良い。
【００２４】すなわち、共振周波数の調整は穿孔パター
ンＰの孔の配列間隔，パターン自体の選定，孔の径，孔
の深さ等の種々の変更因子を選定して、共振周波数調整
を行なうことができる。
ンＰの孔の配列間隔，パターン自体の選定，孔の径，孔
の深さ等の種々の変更因子を選定して、共振周波数調整
を行なうことができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明に係るエネルギー閉じ込め型圧電
振動子の共振周波数調整方法であって、圧電基板の少な
くとも一面側の共振電極とその周囲の圧電基板部分を含
む領域を周波数調整領域とし、該領域にレーザ光を照射
して前記共振電極の一部及び圧電基板の一部に微小の孔
を複数形成することにより、圧電振動子の共振周波数を
調整するようにしたものであるから、質量の付加を要し
ないため、低コストであり、かつ手作業を要せず、調整
が簡単であると共に、共振電極には必要最小数の孔を明
け、該電極の周辺の圧電基板部分には充分な周波数調整
を得られるように、無数の孔を明けることが可能とな
り、これにより共振電極から過剰な電極除去を防止して
静電容量の低下や断線等を防止できる等の優れた効果が
ある。
振動子の共振周波数調整方法であって、圧電基板の少な
くとも一面側の共振電極とその周囲の圧電基板部分を含
む領域を周波数調整領域とし、該領域にレーザ光を照射
して前記共振電極の一部及び圧電基板の一部に微小の孔
を複数形成することにより、圧電振動子の共振周波数を
調整するようにしたものであるから、質量の付加を要し
ないため、低コストであり、かつ手作業を要せず、調整
が簡単であると共に、共振電極には必要最小数の孔を明
け、該電極の周辺の圧電基板部分には充分な周波数調整
を得られるように、無数の孔を明けることが可能とな
り、これにより共振電極から過剰な電極除去を防止して
静電容量の低下や断線等を防止できる等の優れた効果が
ある。
【００２６】また、各孔が格子配列となった穿孔パター
ンにより、前記周波数調整領域に微小の孔を複数形成す
るようにし、その穿孔パターンの孔の配列間隔を設定す
ることにより、除去する質量を調整し、これにより共振
周波数調整を行なうようにした方法にあっては、レーザ
光を放射する制御装置を制御して、各孔の間隔を適宜に
調整設定することにより、随意に、かつ無段階的に共振
周波数を調整することが可能となる優れた効果がある。
ンにより、前記周波数調整領域に微小の孔を複数形成す
るようにし、その穿孔パターンの孔の配列間隔を設定す
ることにより、除去する質量を調整し、これにより共振
周波数調整を行なうようにした方法にあっては、レーザ
光を放射する制御装置を制御して、各孔の間隔を適宜に
調整設定することにより、随意に、かつ無段階的に共振
周波数を調整することが可能となる優れた効果がある。
【図１】本発明に係るチップ型圧電フィルタＦの一部切
欠斜視図である。
欠斜視図である。
【図２】圧電振動子９の平面図である。
【図３】圧電振動子９の底面図である。
【図４】共振周波数を示す特性図であり、レーザ加工前
の特性イと、穿孔パターンＰ1によるレーザ加工後の特
性ロを比較して示す。
の特性イと、穿孔パターンＰ1によるレーザ加工後の特
性ロを比較して示す。
【図５】共振周波数を示す特性図であり、レーザ加工前
の特性イと、穿孔パターンＰ2によるレーザ加工後の特
性ロを比較して示す。
の特性イと、穿孔パターンＰ2によるレーザ加工後の特
性ロを比較して示す。
【図６】穿孔パターンＰ1 を示すパターン図である。
【図７】穿孔パターンＰ2 を示すパターン図である。
Ｆ チップ型圧電フィルタ １ 絶縁ベース ９ 圧電振動子 １０ 圧電基板 １１，１２ 振動部 １１ａ，１１ｂ 共振電極 １２ａ，１２ｂ 共振電極 ２０ 絶縁キャップ Ｐ，Ｐ1 ，Ｐ2 穿孔パターン ｓ 周波数調整領域 ｈ 孔
Claims (2)
- 【請求項１】圧電基板の両面に共振電極を備えたエネル
ギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方法であっ
て、圧電基板の少なくとも一面側の共振電極とその周囲
の圧電基板部分を含む領域を周波数調整領域として、該
領域にレーザ光を照射して前記共振電極の一部及び圧電
基板の一部に微小の孔を複数形成することを特徴とする
エネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方
法。 - 【請求項２】各孔が格子配列となった穿孔パターンによ
り、前記周波数調整領域に微小の孔を複数形成すると共
に、穿孔パターンの孔の配列間隔を設定することによ
り、その間隔が短くなると共振周波数が高くなる関係に
基づいて、共振周波数を調整するようにした請求項１記
載のエネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32616596A JPH10154916A (ja) | 1996-11-20 | 1996-11-20 | エネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32616596A JPH10154916A (ja) | 1996-11-20 | 1996-11-20 | エネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10154916A true JPH10154916A (ja) | 1998-06-09 |
Family
ID=18184785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32616596A Pending JPH10154916A (ja) | 1996-11-20 | 1996-11-20 | エネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10154916A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002164759A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Daishinku Corp | 音叉型振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
| US7019604B2 (en) | 2002-07-23 | 2006-03-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric filter, duplexer, composite piezoelectric resonator, communication device and method for adjusting frequency of piezoelectric filter |
| CN116761495A (zh) * | 2022-03-02 | 2023-09-15 | 何正荣 | 振荡器频率调制的方法及振荡器压电结构 |
-
1996
- 1996-11-20 JP JP32616596A patent/JPH10154916A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002164759A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Daishinku Corp | 音叉型振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子 |
| US7019604B2 (en) | 2002-07-23 | 2006-03-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric filter, duplexer, composite piezoelectric resonator, communication device and method for adjusting frequency of piezoelectric filter |
| CN116761495A (zh) * | 2022-03-02 | 2023-09-15 | 何正荣 | 振荡器频率调制的方法及振荡器压电结构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3936695A1 (de) | Piezoelektrischer resonator | |
| DE69124339T2 (de) | Elektroden- und elektrodenleitungsstruktur eines piezoelektrischen resonators aus einer ultradünnen schicht | |
| US5369862A (en) | Method of producing a piezoelectric device | |
| JP2000156626A (ja) | 圧電共振子及びその製造方法 | |
| JPH10150308A (ja) | 積層型電子部品 | |
| JP3450926B2 (ja) | 誘電体フィルタ及びその周波数帯域幅の調整方法 | |
| JPH10215119A (ja) | 電圧制御発振器 | |
| JPH0523331A (ja) | 超音波探触子及び該探触子に使用する圧電振動子板の製造方法 | |
| US6677827B2 (en) | Temperature compensated crystal oscillator and method for adjusting output frequency thereof | |
| JPH04148514A (ja) | 印刷コイルのインダクタンス調整方法 | |
| JP2949200B2 (ja) | 電圧制御発振器の周波数調整方法 | |
| JPH11234084A (ja) | 圧電共振子とその製造方法及びその共振周波数調整方法 | |
| JPH0865016A (ja) | ストリップライン共振器 | |
| JPH021856Y2 (ja) | ||
| JP3505773B2 (ja) | 誘電体フィルタの周波数調整方法 | |
| JPH05129810A (ja) | 共振器の共振周波数調整法 | |
| JP2000244268A (ja) | Ｌｃ複合部品及びその共振周波数調整方法 | |
| JP2005210404A (ja) | 負荷容量内蔵型圧電発振子の製造方法 | |
| JP2004235706A (ja) | 電圧制御型共振器及び電圧制御型発振器のトリミング方法 | |
| JPH0613808A (ja) | 発振器の周波数調整方法 | |
| JPH05315820A (ja) | 誘電体共振器の共振周波数調整方法 | |
| JPH11219836A (ja) | インダクタンス成分調整方法 | |
| JP2001308616A (ja) | Ｌｃ共振器 | |
| JPH08186459A (ja) | チップ型圧電フィルタの製造方法 | |
| JPH09260191A (ja) | トリマコンデンサ |