JPH1015683A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
- Publication number
- JPH1015683A JPH1015683A JP8176144A JP17614496A JPH1015683A JP H1015683 A JPH1015683 A JP H1015683A JP 8176144 A JP8176144 A JP 8176144A JP 17614496 A JP17614496 A JP 17614496A JP H1015683 A JPH1015683 A JP H1015683A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- processing
- laser beam
- shape
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ光源から射出され、加工対象物を照射
するレーザ光線のエネルギ効率を向上する。 【解決手段】 レーザ光源１から射出されるレーザ光線
を試料台８上に設置された複数個の加工対象物９に導く
光ファイバ２１の射出端２３を複数個に分岐し、それぞ
れの出射端２３から対向する加工対象物９にレーザ光線
を同時に照射して加工を行う。
するレーザ光線のエネルギ効率を向上する。 【解決手段】 レーザ光源１から射出されるレーザ光線
を試料台８上に設置された複数個の加工対象物９に導く
光ファイバ２１の射出端２３を複数個に分岐し、それぞ
れの出射端２３から対向する加工対象物９にレーザ光線
を同時に照射して加工を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光源から射
出されたレーザ光線により加工対象物の加工を行うレー
ザ加工装置に関し、特に、レーザ光線のエネルギ効率を
向上させることのできるレーザ加工装置に関する。
出されたレーザ光線により加工対象物の加工を行うレー
ザ加工装置に関し、特に、レーザ光線のエネルギ効率を
向上させることのできるレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工の応用例として、光子エネル
ギで原子結合を切り離すレーザアブレーション加工が公
知である。このレーザアブレーション加工を行う従来の
レーザ加工装置においては、レーザ光源から射出される
レーザ光線を所定の形状に成形し、必要な倍率をかけた
後、加工形状に合わせて作られたマスクを照明し、照明
されたマスク像をさらに適当な倍率をかけて、加工対象
物の上に投影することにより、レーザ加工を行ってい
た。
ギで原子結合を切り離すレーザアブレーション加工が公
知である。このレーザアブレーション加工を行う従来の
レーザ加工装置においては、レーザ光源から射出される
レーザ光線を所定の形状に成形し、必要な倍率をかけた
後、加工形状に合わせて作られたマスクを照明し、照明
されたマスク像をさらに適当な倍率をかけて、加工対象
物の上に投影することにより、レーザ加工を行ってい
た。
【０００３】図３に、従来のレーザ加工装置の一例の構
成を示す。図３において、レーザ光源１から射出された
レーザ光線は、ビーム成形部２において所定の形状に成
形され、エネルギが均一化される。ビーム成形部２で成
形されたレーザ光線は、図示しないレンズ系を有する照
明側リレー部３に入射し、必要な倍率がかけられる。照
明側リレー部３から射出されたレーザ光線は、マスク４
を照明する。
成を示す。図３において、レーザ光源１から射出された
レーザ光線は、ビーム成形部２において所定の形状に成
形され、エネルギが均一化される。ビーム成形部２で成
形されたレーザ光線は、図示しないレンズ系を有する照
明側リレー部３に入射し、必要な倍率がかけられる。照
明側リレー部３から射出されたレーザ光線は、マスク４
を照明する。
【０００４】マスク４は、図５に示すように、加工する
部分のみにレーザ光線を照射するように、複数の開口１
１が形成されており、これらの開口１１全体が照明側リ
レー部３から射出されたレーザ光線１２で照射されるよ
うになっている。
部分のみにレーザ光線を照射するように、複数の開口１
１が形成されており、これらの開口１１全体が照明側リ
レー部３から射出されたレーザ光線１２で照射されるよ
うになっている。
【０００５】マスク４に形成された開口１１を通ったレ
ーザ光線１２は、図４に示す物体側リレーユニット５に
入射し、物体側リレーユニット５内に設けられた図示し
ないレンズ系によりさらに必要な倍率がかけられ、反射
ミラー６により光軸が直角方向に曲げられる。物体側リ
レーユニット５から射出されたレーザ光線は、対物レン
ズ７により、試料台８上に設置された加工対象物９上に
集光されて、レーザ加工が行われる。
ーザ光線１２は、図４に示す物体側リレーユニット５に
入射し、物体側リレーユニット５内に設けられた図示し
ないレンズ系によりさらに必要な倍率がかけられ、反射
ミラー６により光軸が直角方向に曲げられる。物体側リ
レーユニット５から射出されたレーザ光線は、対物レン
ズ７により、試料台８上に設置された加工対象物９上に
集光されて、レーザ加工が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように構成された従来のレーザ加工装置においては、マ
スク４に形成された開口１１を透過したレーザ光線のみ
がレーザ加工に寄与し、他の部分のレーザ光線は加工対
象物９に到達しない。このため、非常にエネルギ効率が
悪く、加工に時間がかかり、生産性が低下するという問
題があった。
ように構成された従来のレーザ加工装置においては、マ
スク４に形成された開口１１を透過したレーザ光線のみ
がレーザ加工に寄与し、他の部分のレーザ光線は加工対
象物９に到達しない。このため、非常にエネルギ効率が
悪く、加工に時間がかかり、生産性が低下するという問
題があった。
【０００７】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、レーザ光線のエネルギ効率を向上し、高い
生産性を維持することのできる、簡単な構造のレーザ加
工装置を提供することを目的とする。
ものであり、レーザ光線のエネルギ効率を向上し、高い
生産性を維持することのできる、簡単な構造のレーザ加
工装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、レーザ光源から射出されたレーザ光線を導光部材を
通して加工対象物に照射して加工を行うレーザ加工装置
において、導光部材の射出端を複数に分岐し、分岐され
た射出端からそれぞれレーザ光線を加工対象物に射出し
て、同時に加工を行うようにしたことを特徴とする。
は、レーザ光源から射出されたレーザ光線を導光部材を
通して加工対象物に照射して加工を行うレーザ加工装置
において、導光部材の射出端を複数に分岐し、分岐され
た射出端からそれぞれレーザ光線を加工対象物に射出し
て、同時に加工を行うようにしたことを特徴とする。
【０００９】請求項１に記載のレーザ加工装置において
は、導光部材に入射したレーザ光線を複数に分岐された
射出端からそれぞれ加工対象物に射出して、同時に複数
のレーザ加工を行うことができる。
は、導光部材に入射したレーザ光線を複数に分岐された
射出端からそれぞれ加工対象物に射出して、同時に複数
のレーザ加工を行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明のレーザ加工装置の
一実施例を図面を参照して説明する。
一実施例を図面を参照して説明する。
【００１１】図１に、本発明のレーザ加工装置の一実施
例の構成を示す。図１において、図３に示す従来例の部
分と対応する部分には同一の符号を付してあり、その説
明は適宜省略する。レーザ光源１、ビーム成形部２及び
照明側リレー部３の配置及び構成は、従来例と同様であ
る。本実施例の特徴は、従来例におけるマスク４及び物
体側リレーユニット５の代わりに、射出端が分岐された
導光部材としての光ファイバ２１を設けた点にある。
例の構成を示す。図１において、図３に示す従来例の部
分と対応する部分には同一の符号を付してあり、その説
明は適宜省略する。レーザ光源１、ビーム成形部２及び
照明側リレー部３の配置及び構成は、従来例と同様であ
る。本実施例の特徴は、従来例におけるマスク４及び物
体側リレーユニット５の代わりに、射出端が分岐された
導光部材としての光ファイバ２１を設けた点にある。
【００１２】光ファイバ２１の入射端２２は、照明側リ
レー部３の射出端に対向しており、照明側リレー部３か
ら射出される、成形され倍率をかけられたれレーザ光線
が、光ファイバ２１の入射端２２に入射する。光ファイ
バ２１の射出端２３は、複数本、例えば４本に分岐され
ており、入射光軸に対して直角に折り曲げられている。
また、射出端２３に対向して、それぞれ対物レンズ２４
が配置されており、射出端２３から射出されるレーザ光
線を試料台８上に設置された、例えば４個の加工対象物
９上に集光するようになっている。
レー部３の射出端に対向しており、照明側リレー部３か
ら射出される、成形され倍率をかけられたれレーザ光線
が、光ファイバ２１の入射端２２に入射する。光ファイ
バ２１の射出端２３は、複数本、例えば４本に分岐され
ており、入射光軸に対して直角に折り曲げられている。
また、射出端２３に対向して、それぞれ対物レンズ２４
が配置されており、射出端２３から射出されるレーザ光
線を試料台８上に設置された、例えば４個の加工対象物
９上に集光するようになっている。
【００１３】光ファイバ２１の射出端２３には、加工対
象物９の加工形状に合わせて、スリトが一体に成形され
ている。図２に、スリット３１の形状例を示す。（ａ）
に示すスリット３１ａは円形状、（ｂ）に示すスリット
３１ｂは矩形状、（ｃ）に示すスリット３１ｃは十字形
状である。
象物９の加工形状に合わせて、スリトが一体に成形され
ている。図２に、スリット３１の形状例を示す。（ａ）
に示すスリット３１ａは円形状、（ｂ）に示すスリット
３１ｂは矩形状、（ｃ）に示すスリット３１ｃは十字形
状である。
【００１４】本実施例によれば、レーザ光線を加工対象
物９に導く光ファイバ２１の射出端２３を複数に分岐し
たので、成形されたレーザ光線をエネルギの無駄なく使
用することができる。また、複数個の加工対象物９を同
時に加工するので、生産性を向上させることができる。
さらに、射出端２３に加工形状に合わせた形状のスリッ
ト３１を一体に成形したので、従来必要であったマスク
が不要となり、種々の形状の加工が可能となる。
物９に導く光ファイバ２１の射出端２３を複数に分岐し
たので、成形されたレーザ光線をエネルギの無駄なく使
用することができる。また、複数個の加工対象物９を同
時に加工するので、生産性を向上させることができる。
さらに、射出端２３に加工形状に合わせた形状のスリッ
ト３１を一体に成形したので、従来必要であったマスク
が不要となり、種々の形状の加工が可能となる。
【００１５】上記実施例では、光ファイバ２１の射出端
２３に加工形状に合わせたスリット３１を一体に成形し
た場合について説明したが、図３に示すように、射出端
の先端にキャップ状のマスク４１を着脱可能に装着して
もよい。このマスク４１の端面には、図２に示すスリッ
ト３１と同様の形状のスリット４２が形成されている。
すなわち、（ａ）に示すスリット４２ａは円形状、
（ｂ）に示すスリット４２ｂは矩形状、（ｃ）に示すス
リット４２ｃは十字形状である。
２３に加工形状に合わせたスリット３１を一体に成形し
た場合について説明したが、図３に示すように、射出端
の先端にキャップ状のマスク４１を着脱可能に装着して
もよい。このマスク４１の端面には、図２に示すスリッ
ト３１と同様の形状のスリット４２が形成されている。
すなわち、（ａ）に示すスリット４２ａは円形状、
（ｂ）に示すスリット４２ｂは矩形状、（ｃ）に示すス
リット４２ｃは十字形状である。
【００１６】上記実施例では、試料台８上に複数個の加
工対象物９を設置して同時に加工する場合について説明
したが、試料台８上に設置された１個の加工対象物の複
数箇所に同時に加工する場合にも適用することができ、
同様の効果が得られる。
工対象物９を設置して同時に加工する場合について説明
したが、試料台８上に設置された１個の加工対象物の複
数箇所に同時に加工する場合にも適用することができ、
同様の効果が得られる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
レーザ加工装置によれば、レーザ光源から射出されたレ
ーザ光線を加工対象物に導く導光部材の射出端を複数に
分岐し、分岐された射出端からそれぞれレーザ光線を加
工対象物に射出して同時に加工を行うようにしたので、
射出されたレーザ光線のエネルギを無駄なく使用するこ
とができ、しかも生産性を向上させることができる。
レーザ加工装置によれば、レーザ光源から射出されたレ
ーザ光線を加工対象物に導く導光部材の射出端を複数に
分岐し、分岐された射出端からそれぞれレーザ光線を加
工対象物に射出して同時に加工を行うようにしたので、
射出されたレーザ光線のエネルギを無駄なく使用するこ
とができ、しかも生産性を向上させることができる。
【図１】本発明のレーザ加工装置の一実施例の構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】図１の光ファイバの射出端に形成されたスリッ
トの形状例を示す斜視図である。
トの形状例を示す斜視図である。
【図３】図１の光ファイバの射出端に装着するキャップ
の形状例を示す斜視図である。
の形状例を示す斜視図である。
【図４】従来のレーザ加工装置の一例の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図５】図４のマスクの形状を示す正面図である。
１ レーザ光源 ９ 加工対象物 ２１ 光ファイバ（導光部材） ２３ 射出端 ４１ マスク
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光源から射出されたレーザ光線を
導光部材を通して加工対象物に照射して加工を行うレー
ザ加工装置において、 前記導光部材の射出端を複数に分岐し、分岐された前記
射出端からそれぞれ前記レーザ光線を前記加工対象物に
射出して、同時に加工を行うようにしたことを特徴とす
るレーザ加工装置。 - 【請求項２】 前記導光部材の射出端の形状を前記加工
対象物の加工形状に合わせて形成したことを特徴とする
請求項１に記載のレーザ加工装置。 - 【請求項３】 前記導光部材の射出端に前記加工対象物
の加工形状を有するマスクを挿脱可能に設けたことを特
徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8176144A JPH1015683A (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8176144A JPH1015683A (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1015683A true JPH1015683A (ja) | 1998-01-20 |
Family
ID=16008438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8176144A Withdrawn JPH1015683A (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1015683A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009175504A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Fujifilm Corp | 光ファイバ構造体 |
| JP2012042798A (ja) * | 2010-08-20 | 2012-03-01 | Yokogawa Electric Corp | 光ガイド |
-
1996
- 1996-07-05 JP JP8176144A patent/JPH1015683A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009175504A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Fujifilm Corp | 光ファイバ構造体 |
| JP2012042798A (ja) * | 2010-08-20 | 2012-03-01 | Yokogawa Electric Corp | 光ガイド |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2261528A (en) | High power light source | |
| CA2084408A1 (en) | Illumination system and method for a high definition light microscope | |
| GR3003938T3 (ja) | ||
| GB2029562A (en) | Illuminator emitting light along a defined axis | |
| EP1189089A3 (de) | Vorrichtung zum Bündeln der Strahlung einer Lichtquelle | |
| US5562842A (en) | Material treatment apparatus combining a laser diode and an illumination light with a video imaging system | |
| JPH1015683A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH0727993A (ja) | 光ビーム均一化光学系 | |
| JPS5727551A (en) | Electron microscope | |
| JPH1058179A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP3057110B2 (ja) | レーザー加工用マスク照射装置 | |
| JP3406946B2 (ja) | 照明光学系およびこれを用いた光学装置ならびにその光学装置を用いたデバイス製造方法 | |
| JPS62186219A (ja) | 半導体レ−ザ−装置 | |
| JPS57176017A (en) | Spectral microscope device using optical fiber | |
| US7248404B2 (en) | Microscope | |
| KR0181352B1 (ko) | 레이저 가공장치 | |
| RU2113724C1 (ru) | Осветитель | |
| JPH053214Y2 (ja) | ||
| JPH1195109A (ja) | 共焦点用光スキャナ | |
| JP3673255B2 (ja) | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 | |
| JPH11274618A (ja) | レーザビーム照射光学系及びレーザ装置 | |
| JPH112763A (ja) | レーザー加工機用照明光学系 | |
| JPH04306549A (ja) | 顕微レーザ質量分析計 | |
| JP2001347389A (ja) | レーザ加工機 | |
| JP2001018083A (ja) | レーザ加工装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031007 |