JPH1016242A5 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH1016242A5 JPH1016242A5 JP1996169073A JP16907396A JPH1016242A5 JP H1016242 A5 JPH1016242 A5 JP H1016242A5 JP 1996169073 A JP1996169073 A JP 1996169073A JP 16907396 A JP16907396 A JP 16907396A JP H1016242 A5 JPH1016242 A5 JP H1016242A5
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- ink
- recording device
- manufacturing
- resistor
- Prior art date
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Description
【発明の名称】インクジェット記録装置およびその製造方法
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱エネルギを利用してインク液滴を記録媒体に向けて飛翔させる形式のインクジェット記録装置およびその製造方法に関するものである。
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱エネルギを利用してインク液滴を記録媒体に向けて飛翔させる形式のインクジェット記録装置およびその製造方法に関するものである。
【００１１】
【発明が解決するための手段】
上記課題は、インク吐出口近傍に設けられた薄膜抵抗体と金属薄膜導体からなる発熱抵抗体にパルス通電することによってインク液路中のインクの一部を急速に気化させ、この気泡の膨張力によって前記吐出口から液滴状インクを吐出させて記録するインクジェット記録装置の製造方法において、
前記発熱抵抗体を熱酸化処理する前に前記金属薄膜導体と外部回路との接続用金属薄膜電極のうち、少なくとも接続用金属薄膜電極の表面を金めっき処理しておくことによって達成される。
また、上記課題は、インク吐出口近傍に設けられた薄膜抵抗体と金属薄膜導体からなる発熱抵抗体にパルス通電することによってインク液路中のインクの一部を急速に気化させ、この気泡の膨張力によって前記吐出口から液滴状インクを吐出させて記録するインクジェット記録装置であって、
前記発熱抵抗体を熱酸化処理する前に前記金属薄膜導体と外部回路との接続用金属薄膜電極のうち、少なくとも接続用金属薄膜電極の表面を金めっき処理したことによって達成される。
ここで、前記金めっき処理は、置換めっき処理を行った後に無電解めっき処理を行うのが好ましい。
また、前記金めっきの厚さは、１０００Å以上であるのが好ましい。また、前記金めっきの厚さは、１５００Å以上であるのが好ましい。
また、前記合金薄膜抵抗体がＴａ−Ｓｉ−Ｏ三元合金から成り、前記金属薄膜導体及び前記外部回路との接続用金属薄膜電極がＮｉから成るのが好ましい。
【発明が解決するための手段】
上記課題は、インク吐出口近傍に設けられた薄膜抵抗体と金属薄膜導体からなる発熱抵抗体にパルス通電することによってインク液路中のインクの一部を急速に気化させ、この気泡の膨張力によって前記吐出口から液滴状インクを吐出させて記録するインクジェット記録装置の製造方法において、
前記発熱抵抗体を熱酸化処理する前に前記金属薄膜導体と外部回路との接続用金属薄膜電極のうち、少なくとも接続用金属薄膜電極の表面を金めっき処理しておくことによって達成される。
また、上記課題は、インク吐出口近傍に設けられた薄膜抵抗体と金属薄膜導体からなる発熱抵抗体にパルス通電することによってインク液路中のインクの一部を急速に気化させ、この気泡の膨張力によって前記吐出口から液滴状インクを吐出させて記録するインクジェット記録装置であって、
前記発熱抵抗体を熱酸化処理する前に前記金属薄膜導体と外部回路との接続用金属薄膜電極のうち、少なくとも接続用金属薄膜電極の表面を金めっき処理したことによって達成される。
ここで、前記金めっき処理は、置換めっき処理を行った後に無電解めっき処理を行うのが好ましい。
また、前記金めっきの厚さは、１０００Å以上であるのが好ましい。また、前記金めっきの厚さは、１５００Å以上であるのが好ましい。
また、前記合金薄膜抵抗体がＴａ−Ｓｉ−Ｏ三元合金から成り、前記金属薄膜導体及び前記外部回路との接続用金属薄膜電極がＮｉから成るのが好ましい。
Claims (6)
- インク吐出口近傍に設けられた薄膜抵抗体と金属薄膜導体からなる発熱抵抗体にパルス通電することによってインク液路中のインクの一部を急速に気化させ、この気泡の膨張力によって前記吐出口から液滴状インクを吐出させて記録するインクジェット記録装置の製造方法において、
前記発熱抵抗体を熱酸化処理する前に前記金属薄膜導体と外部回路との接続用金属薄膜電極のうち、少なくとも接続用金属薄膜電極の表面を金めっき処理しておくことを特徴とするインクジェット記録装置の製造方法。 - 前記金めっき処理は、置換めっき処理を行った後に無電解めっき処理を行うことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録装置の製造方法。
- 前記金めっきの厚さは、１０００Å以上であることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録装置の製造方法。
- 前記金めっきの厚さは、１５００Å以上であることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録装置の製造方法。
- 前記合金薄膜抵抗体がＴａ−Ｓｉ−Ｏ三元合金から成り、前記金属薄膜導体及び前記外部回路との接続用金属薄膜電極がＮｉから成ることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット記録装置の製造方法。
- インク吐出口近傍に設けられた薄膜抵抗体と金属薄膜導体からなる発熱抵抗体にパルス通電することによってインク液路中のインクの一部を急速に気化させ、この気泡の膨張力によって前記吐出口から液滴状インクを吐出させて記録するインクジェット記録装置であって、
前記発熱抵抗体を熱酸化処理する前に前記金属薄膜導体と外部回路との接続用金属薄膜電極のうち、少なくとも接続用金属薄膜電極の表面を金めっき処理した ことを特徴とするインクジェット記録装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16907396A JP3705652B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | インクジェット記録装置およびその製造方法 |
| US08/761,900 US5790154A (en) | 1995-12-08 | 1996-12-09 | Method of manufacturing an ink ejection recording head and a recording apparatus using the recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16907396A JP3705652B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | インクジェット記録装置およびその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1016242A JPH1016242A (ja) | 1998-01-20 |
| JPH1016242A5 true JPH1016242A5 (ja) | 2004-07-22 |
| JP3705652B2 JP3705652B2 (ja) | 2005-10-12 |
Family
ID=15879832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16907396A Expired - Lifetime JP3705652B2 (ja) | 1995-12-08 | 1996-06-28 | インクジェット記録装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3705652B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6578950B2 (en) | 2000-08-28 | 2003-06-17 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Line head and image recording method |
| US6595622B2 (en) | 2001-03-29 | 2003-07-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Ink jet printhead with thick substrate providing reduced warpage |
| JP2004195688A (ja) | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット用記録ヘッド及びその製造方法 |
| JP5008448B2 (ja) | 2007-04-20 | 2012-08-22 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド用の基板の製造方法 |
-
1996
- 1996-06-28 JP JP16907396A patent/JP3705652B2/ja not_active Expired - Lifetime
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