JPH10165788A - 薬液用フィルターの処理方法およびその装置 - Google Patents
薬液用フィルターの処理方法およびその装置Info
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- JPH10165788A JPH10165788A JP33196696A JP33196696A JPH10165788A JP H10165788 A JPH10165788 A JP H10165788A JP 33196696 A JP33196696 A JP 33196696A JP 33196696 A JP33196696 A JP 33196696A JP H10165788 A JPH10165788 A JP H10165788A
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- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 90
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 80
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 50
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 43
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims abstract description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 3
- 125000003158 alcohol group Chemical group 0.000 claims abstract 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 30
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】薬液用フィルターの親水性化、純水置換精度の
向上を図る。 【解決手段】薬液循環ラインに取り付けられた置換用フ
ィルター４の置換度合いを認識する為、薬液槽１、混合
槽５にアルコール濃度計７ａ、７ｂを取り付け、フィル
ター４の一次側に圧力計３を取り付ける。
向上を図る。 【解決手段】薬液循環ラインに取り付けられた置換用フ
ィルター４の置換度合いを認識する為、薬液槽１、混合
槽５にアルコール濃度計７ａ、７ｂを取り付け、フィル
ター４の一次側に圧力計３を取り付ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は薬液用フィルター
（以下、フィルター、と称す）の処理方法およびその装
置に係わり、特に半導体装置の製造において、半導体基
板を薬液槽に入れて、半導体基板の洗浄、エッチングな
どの薬液処理を行う半導体装置の製造装置で使用するフ
ィルターの純水置換方法およびその装置に関する。
（以下、フィルター、と称す）の処理方法およびその装
置に係わり、特に半導体装置の製造において、半導体基
板を薬液槽に入れて、半導体基板の洗浄、エッチングな
どの薬液処理を行う半導体装置の製造装置で使用するフ
ィルターの純水置換方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体基板の処理に用いる薬液すなわち
実液を清浄化するフィルターを親水性にして循環圧力を
低減させる必要がある。このために特に新しく交換した
フィルターは疎水性であるからこれをアルコールにより
親水性にし、その後、アルコールの成分が実液に混入す
るのを防止するためにアルコールを純水で置換する。
実液を清浄化するフィルターを親水性にして循環圧力を
低減させる必要がある。このために特に新しく交換した
フィルターは疎水性であるからこれをアルコールにより
親水性にし、その後、アルコールの成分が実液に混入す
るのを防止するためにアルコールを純水で置換する。
【０００３】図４を参照して特開昭６３−２４８４１４
号公報に開示されている従来の薬液フィルター純水置換
方法を説明する。図４において、薬液槽１０からバルブ
１８ｃ→ポンプ１２→フィルター１４→バルブ１８ｂ→
薬液槽１０へ戻る循環経路と、薬液フィルター１４とバ
ルブ１８ｂとの間からバルブ１８ａと通して排液する排
液経路の他に、第二の薬液槽２０からバルブ１８ｄを通
してバルブ１８ｃとポンプ１２との間に接続する経路を
有している。
号公報に開示されている従来の薬液フィルター純水置換
方法を説明する。図４において、薬液槽１０からバルブ
１８ｃ→ポンプ１２→フィルター１４→バルブ１８ｂ→
薬液槽１０へ戻る循環経路と、薬液フィルター１４とバ
ルブ１８ｂとの間からバルブ１８ａと通して排液する排
液経路の他に、第二の薬液槽２０からバルブ１８ｄを通
してバルブ１８ｃとポンプ１２との間に接続する経路を
有している。
【０００４】そして第二薬液層２０にアルコールを入
れ、ポンプ１２を介してフィルター１４のフィルターエ
レメントの親水化処理をし、その後、フィルター内のア
ルコールを純水で洗浄し、通常の循環ラインで使用す
る。テフロン膜フィルターは、疎水性であるため、無機
薬品等を使用する循環ラインに於いては、フィルターに
対する接触抵抗が高く、薬液の通りが悪くなるため、上
述の親水化処理が必要となる。
れ、ポンプ１２を介してフィルター１４のフィルターエ
レメントの親水化処理をし、その後、フィルター内のア
ルコールを純水で洗浄し、通常の循環ラインで使用す
る。テフロン膜フィルターは、疎水性であるため、無機
薬品等を使用する循環ラインに於いては、フィルターに
対する接触抵抗が高く、薬液の通りが悪くなるため、上
述の親水化処理が必要となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の第１の問題
点は、フィルターエレメントが充分に置換され、親水性
になったかどうか、定量的に確認する手段がないことで
ある。
点は、フィルターエレメントが充分に置換され、親水性
になったかどうか、定量的に確認する手段がないことで
ある。
【０００６】その理由は、アルコールで親水性処理を行
うフィルター置換ラインが圧力計で管理されていない為
である。
うフィルター置換ラインが圧力計で管理されていない為
である。
【０００７】従来技術の第２の問題点は、アルコールで
親水性化処理を行った後の純水置換が、確実に行われた
かどうかを定量的に確認する手段がないことである。
親水性化処理を行った後の純水置換が、確実に行われた
かどうかを定量的に確認する手段がないことである。
【０００８】その理由は、フィルター純水置換ラインが
アルコール濃度計管理されていない為である。
アルコール濃度計管理されていない為である。
【０００９】したがって本発明は、テフロン膜のフィル
ターを無機薬品を使用する半導体基板の製造装置で使用
する前に、フィルターをアルコール、純水の順で置換す
る際の置換の信頼性向上を目的とする。
ターを無機薬品を使用する半導体基板の製造装置で使用
する前に、フィルターをアルコール、純水の順で置換す
る際の置換の信頼性向上を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、薬液循
環系に使用されるフィルターを疎水性から親水性にする
ための処理方法において、アルコールで疎水性のテフロ
ン膜フィルターを所定の親水性になったことを圧力計で
検知し、その後、純水を加えていきアルコールが純水に
より置換されたことをアルコール濃度計により検知する
フィルターの処理方法にある。
環系に使用されるフィルターを疎水性から親水性にする
ための処理方法において、アルコールで疎水性のテフロ
ン膜フィルターを所定の親水性になったことを圧力計で
検知し、その後、純水を加えていきアルコールが純水に
より置換されたことをアルコール濃度計により検知する
フィルターの処理方法にある。
【００１１】あるいは本発明の特徴は、混合槽に蓄液し
たアルコールを薬液槽に導入し、前記薬液槽から圧力
計、フィルターを経て前記薬液槽に戻る循環系を前記ア
ルコールを循環させ、前記フィルターの一次圧力および
前記薬液槽に設置されたアルコール濃度計を管理しなが
ら、前記薬液槽に純水を加えていくことにより疎水性の
フィルターを所定の親水性にしたアルコールを純水に置
換するフィルターの処理方法にある。ここで、前記圧力
計により前記フィルターが所定の親水性になったことを
検知した後、前記薬液槽のアルコールを排液し、前記混
合槽に蓄液したアルコールと純水との混合液を前記薬液
槽に導入してこの混合液の循環を行い、純水パイプから
純水を前記薬液槽に導入していくことができる。あるい
は、前記混合液の循環以降に前記圧力が一時的に上昇し
た場合には、アルコールパイプからアルコールを前記薬
液槽に導入することができる。
たアルコールを薬液槽に導入し、前記薬液槽から圧力
計、フィルターを経て前記薬液槽に戻る循環系を前記ア
ルコールを循環させ、前記フィルターの一次圧力および
前記薬液槽に設置されたアルコール濃度計を管理しなが
ら、前記薬液槽に純水を加えていくことにより疎水性の
フィルターを所定の親水性にしたアルコールを純水に置
換するフィルターの処理方法にある。ここで、前記圧力
計により前記フィルターが所定の親水性になったことを
検知した後、前記薬液槽のアルコールを排液し、前記混
合槽に蓄液したアルコールと純水との混合液を前記薬液
槽に導入してこの混合液の循環を行い、純水パイプから
純水を前記薬液槽に導入していくことができる。あるい
は、前記混合液の循環以降に前記圧力が一時的に上昇し
た場合には、アルコールパイプからアルコールを前記薬
液槽に導入することができる。
【００１２】本発明の他の特徴は、薬液循環系に使用さ
れる薬液用フィルターを疎水性から親水性にするための
純水置換装置において、前記薬液フィルターの一次圧
力、アルコール濃度を管理するために、圧力計及び濃度
計を取り付けたフィルターの処理装置にある。
れる薬液用フィルターを疎水性から親水性にするための
純水置換装置において、前記薬液フィルターの一次圧
力、アルコール濃度を管理するために、圧力計及び濃度
計を取り付けたフィルターの処理装置にある。
【００１３】あるいは本発明の他の特徴は、アルコール
供給ラインと純水供給ラインとを有し、薬液槽内のアル
コール濃度及びフィルター一次圧力を管理しながら純水
置換を行うために、薬液用フィルターの一次圧力の変化
に伴い、アルコール濃度を変化させるフィードバック機
能を設けたフィルターの処理装置にある。
供給ラインと純水供給ラインとを有し、薬液槽内のアル
コール濃度及びフィルター一次圧力を管理しながら純水
置換を行うために、薬液用フィルターの一次圧力の変化
に伴い、アルコール濃度を変化させるフィードバック機
能を設けたフィルターの処理装置にある。
【００１４】このような本発明によれば、フィルター一
次圧力の変化を定量的に確認し、置換ラインのアルコー
ル濃度を定量的に確認することができる。すなわち、フ
ィルターの膜質状態を管理するために、圧力計を取り付
け、圧力変動により、アルコールの濃度を制御してい
る。このためフィルターの置換特性が均一になり、より
多くの循環流量を確保することが出来る。この為、フィ
ルターの親水化の信頼性が向上し、循環流量の安定化が
図られる。またアルコール濃度計で純水の置換を確実に
することが出来る。
次圧力の変化を定量的に確認し、置換ラインのアルコー
ル濃度を定量的に確認することができる。すなわち、フ
ィルターの膜質状態を管理するために、圧力計を取り付
け、圧力変動により、アルコールの濃度を制御してい
る。このためフィルターの置換特性が均一になり、より
多くの循環流量を確保することが出来る。この為、フィ
ルターの親水化の信頼性が向上し、循環流量の安定化が
図られる。またアルコール濃度計で純水の置換を確実に
することが出来る。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して詳細に説明する。
て、図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】図１は本発明の第１の実施の形態を示す概
略図である。半導体基板の洗浄、エッチングなどの薬液
処理を行う薬液槽１には、低レベルの液面ＬＬを検知す
るセンサと高レベルの液面Ｈを検知するセンサからなる
エアーセンサー６ａが設けられ、さらにアルコールの濃
度を測定するアルコール濃度計７ａが設けられている。
略図である。半導体基板の洗浄、エッチングなどの薬液
処理を行う薬液槽１には、低レベルの液面ＬＬを検知す
るセンサと高レベルの液面Ｈを検知するセンサからなる
エアーセンサー６ａが設けられ、さらにアルコールの濃
度を測定するアルコール濃度計７ａが設けられている。
【００１７】薬液槽１からポンプ２→バルブ８ｇ→フィ
ルター４→バルブ８ｆ→薬液槽１へ戻る循環経路と、ポ
ンプ２とバルブ８ｂとの間からバルブ８ｈと通して排液
する排液経路を有し、循環経路において、バルブ８ｇと
フィルター４との間にフィルター４の一次圧力の変化を
定量的に確認する圧力計３が設けられている。
ルター４→バルブ８ｆ→薬液槽１へ戻る循環経路と、ポ
ンプ２とバルブ８ｂとの間からバルブ８ｈと通して排液
する排液経路を有し、循環経路において、バルブ８ｇと
フィルター４との間にフィルター４の一次圧力の変化を
定量的に確認する圧力計３が設けられている。
【００１８】さらに、アルコールを溜めたり、アルコー
ルと純水を混合して溜める混合槽５には、低レベルの液
面ＬＬを検知するセンサーと中間レベルの液面Ｌを検知
するセンサーと高レベルの液面Ｈを検知するセンサーか
らなるエアーセンサー６ｂが設けられ、またアルコール
の濃度を測定するアルコール濃度計７ｂが設けられてお
り、混合槽５からのアルコールやアルコールと純水の混
合液を薬液槽１にバルブ８ｅを通して供給できるように
なっている。この混合槽５は薬液槽１より上方に位置し
ているから、混合槽５からの液体は自重のみによっても
薬液槽１に導入することが出来る。
ルと純水を混合して溜める混合槽５には、低レベルの液
面ＬＬを検知するセンサーと中間レベルの液面Ｌを検知
するセンサーと高レベルの液面Ｈを検知するセンサーか
らなるエアーセンサー６ｂが設けられ、またアルコール
の濃度を測定するアルコール濃度計７ｂが設けられてお
り、混合槽５からのアルコールやアルコールと純水の混
合液を薬液槽１にバルブ８ｅを通して供給できるように
なっている。この混合槽５は薬液槽１より上方に位置し
ているから、混合槽５からの液体は自重のみによっても
薬液槽１に導入することが出来る。
【００１９】また、アルコールＩＰＡ用の配管により、
アルコールをバルブ８ａを通して混合槽５に供給し、バ
ルブ８ｄを通して薬液槽１に供給することが出来るよう
になっている。
アルコールをバルブ８ａを通して混合槽５に供給し、バ
ルブ８ｄを通して薬液槽１に供給することが出来るよう
になっている。
【００２０】さらに純水ＤＩＷ用の配管により、純水を
バルブ８ｂを通して混合槽５に供給し、バルブ８ｃを通
して薬液槽１に供給することが出来るようになってい
る。
バルブ８ｂを通して混合槽５に供給し、バルブ８ｃを通
して薬液槽１に供給することが出来るようになってい
る。
【００２１】次に、新規に取り替えたフィルター４を親
水性にする本発明の第１の実施の形態の動作について、
図２を参照して詳細に説明する。
水性にする本発明の第１の実施の形態の動作について、
図２を参照して詳細に説明する。
【００２２】まずバルブ８ａを開にし、バルブ８ｂ、８
ｄ、８ｅを閉にして混合槽５に高レベルＨまでアルコー
ルを溜める。
ｄ、８ｅを閉にして混合槽５に高レベルＨまでアルコー
ルを溜める。
【００２３】アルコールが高レベルＨになったことをエ
アーセンサー６ｂで検知したら、バルブ８ａを閉にし、
バルブ８ｅを開にして、混合槽５にアルコールを投入す
る。エアーセンサー６ａで薬液槽１に投入されたアルコ
ールレベルＨを認識し、定量の高レベルＨになったら、
ポンプ２が動作し、アルコールの循環が開始される。こ
こで「異常」とは、混合槽５のアルコールが低レベルＬ
Ｌになっても薬液槽１のアルコールがいつまでも高レベ
ルＨとならない場合であり、これは設備のトラブル発生
であるからその対策がとられる。
アーセンサー６ｂで検知したら、バルブ８ａを閉にし、
バルブ８ｅを開にして、混合槽５にアルコールを投入す
る。エアーセンサー６ａで薬液槽１に投入されたアルコ
ールレベルＨを認識し、定量の高レベルＨになったら、
ポンプ２が動作し、アルコールの循環が開始される。こ
こで「異常」とは、混合槽５のアルコールが低レベルＬ
Ｌになっても薬液槽１のアルコールがいつまでも高レベ
ルＨとならない場合であり、これは設備のトラブル発生
であるからその対策がとられる。
【００２４】循環開始直後の圧力計３の指示は高い値を
示すが、フィルター４が親水性になるにしたがい徐々に
低下してくる。循環圧力の低下が落ち着いたら、フィル
ターエレメントが所定の親水性になったと判断し、バル
ブ８ｇを閉にし、バルブ８ｈを開にしてポンプ２により
薬液槽１のアルコールを低レベルＬまで一度に全てのア
ルコールを排液する。
示すが、フィルター４が親水性になるにしたがい徐々に
低下してくる。循環圧力の低下が落ち着いたら、フィル
ターエレメントが所定の親水性になったと判断し、バル
ブ８ｇを閉にし、バルブ８ｈを開にしてポンプ２により
薬液槽１のアルコールを低レベルＬまで一度に全てのア
ルコールを排液する。
【００２５】これらの間に、バルブ８ａを開にし、バル
ブ８ｂ、８ｄ、８ｅを閉にして混合槽５に中間レベルＬ
までアルコールをため、次にバルブ８ｂを開にし、バル
ブ８ａ、８ｃ、８ｅを閉にして混合槽５に混合液が高レ
ベルＨまで純水を導入して、混合槽５にアルコールと純
水で１：１の混合液をつくる。
ブ８ｂ、８ｄ、８ｅを閉にして混合槽５に中間レベルＬ
までアルコールをため、次にバルブ８ｂを開にし、バル
ブ８ａ、８ｃ、８ｅを閉にして混合槽５に混合液が高レ
ベルＨまで純水を導入して、混合槽５にアルコールと純
水で１：１の混合液をつくる。
【００２６】次に、バルブ８ｂを閉にしにし、バルブ８
ｅを開にして混合液を薬液槽１に投入して循環を開始す
る。この場合も、混合槽５の混合液が低レベルＬＬにな
っても薬液槽１の混合液がいつまでも高レベルＨとなら
ない場合であり、設備のトラブル発生の「異常である」
からその対策がとられる。
ｅを開にして混合液を薬液槽１に投入して循環を開始す
る。この場合も、混合槽５の混合液が低レベルＬＬにな
っても薬液槽１の混合液がいつまでも高レベルＨとなら
ない場合であり、設備のトラブル発生の「異常である」
からその対策がとられる。
【００２７】その後、アルコールの濃度を低下させる為
に、純水のバルブ８ｃを開にして純水ＤＩＷ用の配管か
ら純水を薬液槽１に投入していく。
に、純水のバルブ８ｃを開にして純水ＤＩＷ用の配管か
ら純水を薬液槽１に投入していく。
【００２８】この際に純水の割合が多すぎてフィルター
エレメントに対する表面エネルギーが若干高くなり、そ
れに伴い一時的に循環圧力が上昇する場合には、バルブ
８ｄを開にしてアルコールＩＰＡ用の配管からアルコー
ルを薬液槽に導入して薬液槽１のアルコール濃度を上げ
て、循環圧力の上昇を抑える。
エレメントに対する表面エネルギーが若干高くなり、そ
れに伴い一時的に循環圧力が上昇する場合には、バルブ
８ｄを開にしてアルコールＩＰＡ用の配管からアルコー
ルを薬液槽に導入して薬液槽１のアルコール濃度を上げ
て、循環圧力の上昇を抑える。
【００２９】その後、また純水を投入し、アルコール濃
度計７ａにより検出されるアルコールの濃度をゼロへ近
づけ、これにより１００％純水置換がされたと判断す
る。
度計７ａにより検出されるアルコールの濃度をゼロへ近
づけ、これにより１００％純水置換がされたと判断す
る。
【００３０】ここで混合槽５を設けるのは、アルコール
置換をしたフィルター内のアルコールを一度全て排液
し、新たに１：１= 純水：アルコールの混合液で循環さ
せるためであり、この混合槽により薬液投入時の時間を
短縮することが出来る。そしてこのように１００％アル
コールによる循環の後、純水のみの循環を行わずにアル
コールと純水（１：１）の混合液を用いることにより、
フィルターエレメントに余分な圧力をかけず徐々に純水
置換を行い、かつ置換効率を上げることが出来る。
置換をしたフィルター内のアルコールを一度全て排液
し、新たに１：１= 純水：アルコールの混合液で循環さ
せるためであり、この混合槽により薬液投入時の時間を
短縮することが出来る。そしてこのように１００％アル
コールによる循環の後、純水のみの循環を行わずにアル
コールと純水（１：１）の混合液を用いることにより、
フィルターエレメントに余分な圧力をかけず徐々に純水
置換を行い、かつ置換効率を上げることが出来る。
【００３１】このようにしてフィルターの所定の処理が
完了した後、純水を排液し、半導体基板を処理する薬
液、すなわち実液を薬液槽１に溜めて循環経路を実液を
循環させながら、薬液槽１内で半導体基板の処理が行わ
れる。
完了した後、純水を排液し、半導体基板を処理する薬
液、すなわち実液を薬液槽１に溜めて循環経路を実液を
循環させながら、薬液槽１内で半導体基板の処理が行わ
れる。
【００３２】次に本発明の第２の実施の形態について、
図３を参照して説明する。尚、図３において図１と同一
もしくは類似の箇所は同じ符号を付してあるから、重複
する説明は省略する。
図３を参照して説明する。尚、図３において図１と同一
もしくは類似の箇所は同じ符号を付してあるから、重複
する説明は省略する。
【００３３】図３の本発明の第２の実施の形態は、薬液
槽１からポンプ２を介してフィルター４を通り薬液槽１
へ戻る循環ラインと、純水、アルコールを混合する混合
槽５の他に、実液を貯液する第二薬液槽９を有して構成
される。
槽１からポンプ２を介してフィルター４を通り薬液槽１
へ戻る循環ラインと、純水、アルコールを混合する混合
槽５の他に、実液を貯液する第二薬液槽９を有して構成
される。
【００３４】この第二薬液槽９には実液の低レベルの液
面ＬＬを検知するセンサーと高レベルの液面Ｈを検知す
るセンサーからなるエアーセンサー６ｃが設けられ、さ
らに実液パイプからバルブ８ｉを通して実液を第二薬液
槽９に導入し、第二薬液槽９に溜まった実液をバルブ８
ｉを通して第一薬液槽１の送り込むようになっている。
面ＬＬを検知するセンサーと高レベルの液面Ｈを検知す
るセンサーからなるエアーセンサー６ｃが設けられ、さ
らに実液パイプからバルブ８ｉを通して実液を第二薬液
槽９に導入し、第二薬液槽９に溜まった実液をバルブ８
ｉを通して第一薬液槽１の送り込むようになっている。
【００３５】また混合槽５と同様に第二の薬液槽９も第
一の薬液槽１より上方に位置しているから、第二の薬液
槽９からの実液も自重のみによっても薬液槽１に導入す
ることが出来る。
一の薬液槽１より上方に位置しているから、第二の薬液
槽９からの実液も自重のみによっても薬液槽１に導入す
ることが出来る。
【００３６】第１の実施の形態と同様にフィルター４の
親水性化、純水置換が完了したら、第一薬液槽１からポ
ンプ２を介して排液する。
親水性化、純水置換が完了したら、第一薬液槽１からポ
ンプ２を介して排液する。
【００３７】この間にこの第二薬液槽９にバルブ８ｉを
開にして実液を入れ、エアセンサー６ｃの定量検知でバ
ルブ８ｉを閉じる。その後、バルブ８ｊを開にして第一
薬液槽１に実液を投入し、エアセンサー６ａで定量を認
識したら、バルブ８ｊを閉じ、ポンプ２を始動させ循環
を開始する。
開にして実液を入れ、エアセンサー６ｃの定量検知でバ
ルブ８ｉを閉じる。その後、バルブ８ｊを開にして第一
薬液槽１に実液を投入し、エアセンサー６ａで定量を認
識したら、バルブ８ｊを閉じ、ポンプ２を始動させ循環
を開始する。
【００３８】
【発明の効果】上記本発明では、フィルターエレメント
の性質を圧力計で管理しながらアルコール置換を行う為
に、フィルターの親水化の信頼性が向上する。
の性質を圧力計で管理しながらアルコール置換を行う為
に、フィルターの親水化の信頼性が向上する。
【００３９】また本発明では、フィルター循環ラインの
アルコール濃度を管理しながら純水置換を行う為に、フ
ィルターの純水置換精度が向上する。
アルコール濃度を管理しながら純水置換を行う為に、フ
ィルターの純水置換精度が向上する。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態の動作を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す図である。
【図４】従来の技術を示す図である。
１ 薬液槽、第一薬液槽 ２ ポンプ ３ 圧力計 ４ フィルター ５ 混合槽 ６ａ、６ｂ、６ｃ エアーセンサー ７ａ、７ｂ 濃度計 ８ａ〜８ｊ バルブ ９ 第二薬液槽 １０ 薬液槽 １２ ポンプ １４ フィルター １８ａ〜１８ｄ バルブ
Claims (6)
- 【請求項１】 薬液循環系に使用される薬液フィルター
を疎水性から親水性にするための処理方法において、ア
ルコールで疎水性のテフロン膜フィルターを所定の親水
性になったことを圧力計で検知し、その後、純水を加え
ていきアルコールが純水により置換されたことをアルコ
ール濃度計により検知することを特徴とする薬液用フィ
ルターの処理方法。 - 【請求項２】 混合槽に蓄液したアルコールを薬液槽に
導入し、前記薬液槽から圧力計、薬液用フィルターを経
て前記薬液槽に戻る循環系に前記アルコールを循環さ
せ、前記薬液用フィルターの一次圧力および前記薬液槽
に設置されたアルコール濃度計を管理しながら、前記薬
液槽に純水を加えていくことにより疎水性の薬液用フィ
ルターを所定の親水性にしたアルコールを純水に置換す
ることを特徴とする薬液用フィルターの処理方法。 - 【請求項３】 前記圧力計により前記薬液用フィルター
が所定の親水性になったことを検知した後、前記薬液槽
のアルコールを排液し、前記混合槽に蓄液したアルコー
ルと純水との混合液を前記薬液槽に導入してこの混合液
の循環を行い、純水パイプから純水を前記薬液槽に導入
していくことを特徴とする請求項２記載の薬液用フィル
ターの処理方法。 - 【請求項４】 前記混合液の循環以降に前記圧力が一時
的に上昇した場合には、アルコールパイプからアルコー
ルを前記薬液槽に導入することを特徴とする請求項２ま
たは請求項３記載の薬液用フィルターの処理方法。 - 【請求項５】 薬液循環系に使用される薬液用フィルタ
ーを疎水性から親水性にするための純水置換装置におい
て、前記薬液フィルターの一次圧力、アルコール濃度を
管理するために、圧力計及び濃度計を取り付けたことを
特徴とする薬液用フィルターの処理装置。 - 【請求項６】 アルコール供給ラインと純水供給ライン
とを有し、薬液槽内のアルコール濃度及びフィルター一
次圧力を管理しながら純水置換を行うために、薬液用フ
ィルターの一次圧力の変化に伴い、アルコール濃度を変
化させるフィードバック機能を設けることを特徴とする
薬液用フィルターの処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8331966A JP2994288B2 (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | 薬液用フィルターの処理方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8331966A JP2994288B2 (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | 薬液用フィルターの処理方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10165788A true JPH10165788A (ja) | 1998-06-23 |
| JP2994288B2 JP2994288B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=18249646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8331966A Expired - Fee Related JP2994288B2 (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | 薬液用フィルターの処理方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2994288B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013131530A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Japan Organo Co Ltd | 液体管理システム、および洗浄液の回収再生装置 |
| CN109411387A (zh) * | 2017-08-16 | 2019-03-01 | 株式会社斯库林集团 | 药液供给装置、基板处理装置、药液供给方法、以及基板处理方法 |
-
1996
- 1996-12-12 JP JP8331966A patent/JP2994288B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013131530A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Japan Organo Co Ltd | 液体管理システム、および洗浄液の回収再生装置 |
| CN109411387A (zh) * | 2017-08-16 | 2019-03-01 | 株式会社斯库林集团 | 药液供给装置、基板处理装置、药液供给方法、以及基板处理方法 |
| CN109411387B (zh) * | 2017-08-16 | 2022-03-25 | 株式会社斯库林集团 | 药液供给装置、基板处理装置、药液供给方法、以及基板处理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2994288B2 (ja) | 1999-12-27 |
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