JPH10170274A - 角速度センサの漏れ振動除去方法 - Google Patents
角速度センサの漏れ振動除去方法Info
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- JPH10170274A JPH10170274A JP8331306A JP33130696A JPH10170274A JP H10170274 A JPH10170274 A JP H10170274A JP 8331306 A JP8331306 A JP 8331306A JP 33130696 A JP33130696 A JP 33130696A JP H10170274 A JPH10170274 A JP H10170274A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コリオリ力を利用した角速度センサにおい
て、振動片を破損することもなく、簡単に励振に起因し
た漏れ振動を除去する。 【解決手段】 角速度センサは、互いに直交するＸ，
Ｙ，Ｚ軸のうちのＹ軸方向に延設されてＸ−Ｚ平面に沿
った断面形状を方形状とする励振用振動片１１，１２及
び検出用振動片１３，１４により構成されている。励振
用振動片１１，１２をＸ軸方向に励振させた状態にて、
検出用振動片１３，１４のＺ軸方向の振動を検出するこ
とにより、Ｙ軸回りに作用する角速度が検出される。Ｘ
軸方向の励振に起因した各振動片１１〜１４のＺ軸方向
への漏れ振動を除去するために、Ｘ軸方向への励振によ
る励振用振動片１１，１２の振動方向がＸ−Ｚ平面内で
Ｘ軸方向に対して傾いた側に位置する励振用振動片１
１，１２の根元部１１ａ，１２ａの角部の剛性を、金属
の蒸着、接着剤の塗布などにより高める。
て、振動片を破損することもなく、簡単に励振に起因し
た漏れ振動を除去する。 【解決手段】 角速度センサは、互いに直交するＸ，
Ｙ，Ｚ軸のうちのＹ軸方向に延設されてＸ−Ｚ平面に沿
った断面形状を方形状とする励振用振動片１１，１２及
び検出用振動片１３，１４により構成されている。励振
用振動片１１，１２をＸ軸方向に励振させた状態にて、
検出用振動片１３，１４のＺ軸方向の振動を検出するこ
とにより、Ｙ軸回りに作用する角速度が検出される。Ｘ
軸方向の励振に起因した各振動片１１〜１４のＺ軸方向
への漏れ振動を除去するために、Ｘ軸方向への励振によ
る励振用振動片１１，１２の振動方向がＸ−Ｚ平面内で
Ｘ軸方向に対して傾いた側に位置する励振用振動片１
１，１２の根元部１１ａ，１２ａの角部の剛性を、金属
の蒸着、接着剤の塗布などにより高める。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コリオリ力を利用
した角速度センサにおける励振に起因した漏れ振動を除
去する漏れ振動除去方法に関する。
した角速度センサにおける励振に起因した漏れ振動を除
去する漏れ振動除去方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ軸
のうちのＹ軸方向に延設されてＸ−Ｚ平面に沿った断面
形状を方形状とする振動片を有し、Ｙ軸回りに作用する
角速度を、振動片をＸ軸方向に励振させた状態で同振動
片のＺ軸方向の振動の大きさにより検出するようにした
角速度センサはよく知られている。しかし、このような
角速度センサにおいては、図４の断面図に示すように、
振動片ＰをＸ軸方向に励振させると、振動片Ｐを構成す
る結晶の異方性による断面形状の非対称性や、電極のず
れなどにより、励振方向以外の方向に振動が漏れる。こ
の漏れ振動のうちのＺ軸方向成分が大きいと、角速度の
検出に悪影響を与え、検出角速度の精度が悪化したり、
零点温度ドリフト特性が悪化したりする。
のうちのＹ軸方向に延設されてＸ−Ｚ平面に沿った断面
形状を方形状とする振動片を有し、Ｙ軸回りに作用する
角速度を、振動片をＸ軸方向に励振させた状態で同振動
片のＺ軸方向の振動の大きさにより検出するようにした
角速度センサはよく知られている。しかし、このような
角速度センサにおいては、図４の断面図に示すように、
振動片ＰをＸ軸方向に励振させると、振動片Ｐを構成す
る結晶の異方性による断面形状の非対称性や、電極のず
れなどにより、励振方向以外の方向に振動が漏れる。こ
の漏れ振動のうちのＺ軸方向成分が大きいと、角速度の
検出に悪影響を与え、検出角速度の精度が悪化したり、
零点温度ドリフト特性が悪化したりする。
【０００３】そのため、これまでは、例えば日本学術振
興会弾性波素子技術第１５０委員会第４６回研究会資料
「単結晶を用いた圧電振動ジャイロ」に示されているよ
うに、Ｘ軸方向への励振による振動片Ｐの振動方向がＸ
−Ｚ平面内でＸ軸方向に対して傾いた側と逆側に位置す
る振動片Ｐの角部Ｐ１を研削することにより、同角部Ｐ
１の剛性を弱めて、前記振動片Ｐの振動方向がＸ軸方向
になるように修正して、励振によるＺ軸方向への漏れ振
動を除去するようにしていた。
興会弾性波素子技術第１５０委員会第４６回研究会資料
「単結晶を用いた圧電振動ジャイロ」に示されているよ
うに、Ｘ軸方向への励振による振動片Ｐの振動方向がＸ
−Ｚ平面内でＸ軸方向に対して傾いた側と逆側に位置す
る振動片Ｐの角部Ｐ１を研削することにより、同角部Ｐ
１の剛性を弱めて、前記振動片Ｐの振動方向がＸ軸方向
になるように修正して、励振によるＺ軸方向への漏れ振
動を除去するようにしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、振動片を研削
することは容易ではなく、前記従来の漏れ振動の除去方
法では、角速度センサの生産性が低くなるとともに、研
削のために高価な装置を必要とする。また、研削の際に
振動片を破損してしまうこともある。
することは容易ではなく、前記従来の漏れ振動の除去方
法では、角速度センサの生産性が低くなるとともに、研
削のために高価な装置を必要とする。また、研削の際に
振動片を破損してしまうこともある。
【０００５】
【本発明の特徴】本発明は、上記問題に対処するために
なされもので、その目的は、振動片を破損することもな
く、比較的安価な装置を用いて生産性を高くするように
した角速度センサの漏れ振動除去方法を提供することに
ある。
なされもので、その目的は、振動片を破損することもな
く、比較的安価な装置を用いて生産性を高くするように
した角速度センサの漏れ振動除去方法を提供することに
ある。
【０００６】この目的を達成するために、本発明の構成
上の特徴は、Ｘ軸方向への励振による同振動片の振動方
向がＸ−Ｚ平面内でＸ軸方向に対して傾いた側に位置す
る振動片の角部の剛性を高めるようにしたことにある。
上の特徴は、Ｘ軸方向への励振による同振動片の振動方
向がＸ−Ｚ平面内でＸ軸方向に対して傾いた側に位置す
る振動片の角部の剛性を高めるようにしたことにある。
【０００７】上記のように構成した本発明によれば、剛
性を高めるためには、金属などの蒸着、接着剤の塗布な
ど、前記角部への物質の添着を採用することができると
ともに同物質の添着は比較的容易であるので、比較的安
価な装置を用いて角速度センサの漏れ振動を簡単に除去
できるとともに、同センサの生産性を高めることができ
る。また、これによれば、漏れ振動の除去作業中に、振
動片を破損することもなくなる。
性を高めるためには、金属などの蒸着、接着剤の塗布な
ど、前記角部への物質の添着を採用することができると
ともに同物質の添着は比較的容易であるので、比較的安
価な装置を用いて角速度センサの漏れ振動を簡単に除去
できるとともに、同センサの生産性を高めることができ
る。また、これによれば、漏れ振動の除去作業中に、振
動片を破損することもなくなる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る角速度センサ
の漏れ振動除去方法の実施形態について説明するが、そ
の前に同発明が適用される角速度センサについて説明し
ておく。
の漏れ振動除去方法の実施形態について説明するが、そ
の前に同発明が適用される角速度センサについて説明し
ておく。
【０００９】この角速度センサ１０は、図１〜図３に示
すように、水晶などの圧電材料でＨ型に一体的に形成し
た振動子により構成されている。このセンサ１０は、各
一対の励振用振動片１１，１２と検出用振動片１３，１
４を備え、これらの各振動片１１〜１４は連結片１５に
より振動伝達可能に接続されるとともに、連結片１６を
介して基部１７に接続されている。各振動片１１〜１４
は互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ軸のうちのＹ軸方向に延設
されるとともに、それらのＸ−Ｚ平面に沿った断面形状
は方形状に成形されており、同方形の各辺はＸ−Ｚ平面
内にてＸ軸又はＺ軸に平行である。
すように、水晶などの圧電材料でＨ型に一体的に形成し
た振動子により構成されている。このセンサ１０は、各
一対の励振用振動片１１，１２と検出用振動片１３，１
４を備え、これらの各振動片１１〜１４は連結片１５に
より振動伝達可能に接続されるとともに、連結片１６を
介して基部１７に接続されている。各振動片１１〜１４
は互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ軸のうちのＹ軸方向に延設
されるとともに、それらのＸ−Ｚ平面に沿った断面形状
は方形状に成形されており、同方形の各辺はＸ−Ｚ平面
内にてＸ軸又はＺ軸に平行である。
【００１０】各振動片１１〜１４及び連結片１５，１６
の表面には導電パターン１８が設けられており、励振用
振動片１１，１２上の導電パターン１８は励振用電極を
構成している。検出用振動片１３，１４上の導電パター
ンは検出用電極を構成している。基部１７は角速度の被
検出物体に固定されるもので、同基部１７上には各導電
パターン１８の下端に形成した端子部１８ａが設けられ
ている。端子部１８ａは図示しない電気回路に電気的に
接続されるもので、その一部は励振用電気信号の入力用
であるとともに、その一部は振動検出信号の出力用であ
る。
の表面には導電パターン１８が設けられており、励振用
振動片１１，１２上の導電パターン１８は励振用電極を
構成している。検出用振動片１３，１４上の導電パター
ンは検出用電極を構成している。基部１７は角速度の被
検出物体に固定されるもので、同基部１７上には各導電
パターン１８の下端に形成した端子部１８ａが設けられ
ている。端子部１８ａは図示しない電気回路に電気的に
接続されるもので、その一部は励振用電気信号の入力用
であるとともに、その一部は振動検出信号の出力用であ
る。
【００１１】このように構成した角速度センサ１０の使
用においては、いくつかの端子部１８ａを介して励振用
振動片１１，１２の励振用電極を構成する導電パターン
１８に周波数ｆxの電気信号を付与することにより、励
振用振動片１１，１２をＸ軸方向に周波数ｆxで振動さ
せる。この状態で、Ｙ軸回りに角速度ωが作用すると、
励振用振動片１１，１２が、コリオリ力によって前記周
波数ｆxを有しかつ角速度ωの大きさに比例する振幅で
Ｚ軸方向に振動し始める。この励振用振動片１１，１２
のＺ軸方向の振動が検出用振動片１３，１４に伝達さ
れ、検出用振動片１３，１４の振動を検出用電極を構成
する導電パターン１８により電気信号に変換し、同電気
信号をいくつかの端子部１８ａより取り出することによ
り、前記角速度ωを検出できる。
用においては、いくつかの端子部１８ａを介して励振用
振動片１１，１２の励振用電極を構成する導電パターン
１８に周波数ｆxの電気信号を付与することにより、励
振用振動片１１，１２をＸ軸方向に周波数ｆxで振動さ
せる。この状態で、Ｙ軸回りに角速度ωが作用すると、
励振用振動片１１，１２が、コリオリ力によって前記周
波数ｆxを有しかつ角速度ωの大きさに比例する振幅で
Ｚ軸方向に振動し始める。この励振用振動片１１，１２
のＺ軸方向の振動が検出用振動片１３，１４に伝達さ
れ、検出用振動片１３，１４の振動を検出用電極を構成
する導電パターン１８により電気信号に変換し、同電気
信号をいくつかの端子部１８ａより取り出することによ
り、前記角速度ωを検出できる。
【００１２】しかし、上記構成の角速度センサ１０にお
いては、励振用振動片１１，１２をＸ軸方向へ励振して
も、各振動片１１〜１４を構成する水晶の結晶の異方性
による断面形状の非対称性や、電極のずれなどにより、
Ｚ軸方向にも振動が漏れる。この漏れ振動は、角速度ω
の検出に悪影響を与え、検出角速度の精度が悪化した
り、零点温度ドリフト特性が悪化したりする原因とな
る。したがって、この漏れ振動を小さくしたり、なくし
たりする必要がある。以下、その方法について説明す
る。
いては、励振用振動片１１，１２をＸ軸方向へ励振して
も、各振動片１１〜１４を構成する水晶の結晶の異方性
による断面形状の非対称性や、電極のずれなどにより、
Ｚ軸方向にも振動が漏れる。この漏れ振動は、角速度ω
の検出に悪影響を与え、検出角速度の精度が悪化した
り、零点温度ドリフト特性が悪化したりする原因とな
る。したがって、この漏れ振動を小さくしたり、なくし
たりする必要がある。以下、その方法について説明す
る。
【００１３】上記構成の角速度センサ１０をＸ軸方向に
励振するために、励振用振動片１１，１２の励振用電極
を構成する導電パターン１８に周波数ｆxの電気信号を
付与し、角速度ωが「０」の状態で、励振用振動片１
１，１２又は検出用振動片１３，１４のＸ−Ｚ平面内の
振動方向を検出する。その結果、励振用振動片１１，１
２又は検出用振動片１３，１４の振動方向が、図２に示
すように、Ｘ軸方向に対して図示左上がりに傾いていれ
ば、励振用振動片１１，１２の根元部１１ａ，１２ａで
あって図示左上の角部１１ａ１，１２ａ２に、２酸化ケ
イ素ＳｉＯ2、クロムＣｒ、金Ａｕ、銀Ａｇなどを蒸着
したり、接着剤などを塗布する。なお、上記実施形態の
ように振動片１１〜１４を水晶で構成した場合には、２
酸化ケイ素ＳｉＯ2などの同質の材料、クロムＣｒなど
の密着性のよいものを蒸着することが好ましい。
励振するために、励振用振動片１１，１２の励振用電極
を構成する導電パターン１８に周波数ｆxの電気信号を
付与し、角速度ωが「０」の状態で、励振用振動片１
１，１２又は検出用振動片１３，１４のＸ−Ｚ平面内の
振動方向を検出する。その結果、励振用振動片１１，１
２又は検出用振動片１３，１４の振動方向が、図２に示
すように、Ｘ軸方向に対して図示左上がりに傾いていれ
ば、励振用振動片１１，１２の根元部１１ａ，１２ａで
あって図示左上の角部１１ａ１，１２ａ２に、２酸化ケ
イ素ＳｉＯ2、クロムＣｒ、金Ａｕ、銀Ａｇなどを蒸着
したり、接着剤などを塗布する。なお、上記実施形態の
ように振動片１１〜１４を水晶で構成した場合には、２
酸化ケイ素ＳｉＯ2などの同質の材料、クロムＣｒなど
の密着性のよいものを蒸着することが好ましい。
【００１４】また、励振用振動片１１，１２又は検出用
振動片１３，１４の振動方向が前記のようにＸ軸方向に
対して図示左上がりに傾いている場合には、励振用振動
片１１，１２の前記左上の角部１１ａ１，１２ａ１に代
えて、図２の破線で示すように、右下の角部１１ａ２，
１２ａ２に前記蒸着又は塗布を行うようにしてもよい。
さらに、励振用振動片１１，１２の前記図示左上の角部
１１ａ１，１２ａ１及び右下の角部１１ａ２，１２ａ２
の両者に前記蒸着又は塗布を行うようにしてもよい。
振動片１３，１４の振動方向が前記のようにＸ軸方向に
対して図示左上がりに傾いている場合には、励振用振動
片１１，１２の前記左上の角部１１ａ１，１２ａ１に代
えて、図２の破線で示すように、右下の角部１１ａ２，
１２ａ２に前記蒸着又は塗布を行うようにしてもよい。
さらに、励振用振動片１１，１２の前記図示左上の角部
１１ａ１，１２ａ１及び右下の角部１１ａ２，１２ａ２
の両者に前記蒸着又は塗布を行うようにしてもよい。
【００１５】一方、前記Ｘ軸方向への励振の結果、励振
用振動片１１，１２又は検出用振動片１３，１４の振動
方向が、図３に示すように、Ｘ軸方向に対して図示左下
がりに傾いていれば、励振用振動片１１，１２の根元部
１１ａ，１２ａであって図示左下の角部１１ａ３，１２
ａ３に、前記蒸着又は塗布を行う。また、この場合に
は、図３の破線で示すように、励振用振動片１１，１２
の右上の角部１１ａ４，１２ａ４に前記蒸着又は塗布を
行ったり、さらに左下の角部１１ａ３，１２ａ３及び右
上の角部１１ａ４，１２ａ４の両者に前記蒸着又は塗布
を行うようにしてもよい。
用振動片１１，１２又は検出用振動片１３，１４の振動
方向が、図３に示すように、Ｘ軸方向に対して図示左下
がりに傾いていれば、励振用振動片１１，１２の根元部
１１ａ，１２ａであって図示左下の角部１１ａ３，１２
ａ３に、前記蒸着又は塗布を行う。また、この場合に
は、図３の破線で示すように、励振用振動片１１，１２
の右上の角部１１ａ４，１２ａ４に前記蒸着又は塗布を
行ったり、さらに左下の角部１１ａ３，１２ａ３及び右
上の角部１１ａ４，１２ａ４の両者に前記蒸着又は塗布
を行うようにしてもよい。
【００１６】このような角部１１ａ１〜１１ａ４及び１
２ａ１〜１２ａ４の前記蒸着又は塗布による物質の添着
により、励振用振動片１１，１２のこの添着部分の剛性
が増し、同部分が変形し難くなる。しかも、前記添着を
励振用振動片１１，１２の根元部１１ａ，１２ａに行う
ようにしたので、前記励振による漏れ振動の除去に対す
る効果が大きく、励振用振動片１１，１２及び検出用振
動片１３，１４の励振に起因した漏れ振動が減少して、
各振動片１１〜１４の振動方向はＸ軸方向に近づく。そ
して、この振動方向がＸ軸方向と一致した時点で、前記
蒸着又は塗布作業による物質の添着を停止する。その結
果、このＸ軸方向の励振に起因したＺ軸方向の漏れ振動
が除去され又は減少し、検出角速度の精度が良好になる
とともに零点温度ドリフト特性も良好になる。
２ａ１〜１２ａ４の前記蒸着又は塗布による物質の添着
により、励振用振動片１１，１２のこの添着部分の剛性
が増し、同部分が変形し難くなる。しかも、前記添着を
励振用振動片１１，１２の根元部１１ａ，１２ａに行う
ようにしたので、前記励振による漏れ振動の除去に対す
る効果が大きく、励振用振動片１１，１２及び検出用振
動片１３，１４の励振に起因した漏れ振動が減少して、
各振動片１１〜１４の振動方向はＸ軸方向に近づく。そ
して、この振動方向がＸ軸方向と一致した時点で、前記
蒸着又は塗布作業による物質の添着を停止する。その結
果、このＸ軸方向の励振に起因したＺ軸方向の漏れ振動
が除去され又は減少し、検出角速度の精度が良好になる
とともに零点温度ドリフト特性も良好になる。
【００１７】上記説明のように本実施形態によれば、金
属などの蒸着、接着剤の塗布などの物質の添着により、
Ｘ軸方向への励振による励振用振動片１１，１２の振動
方向がＸ−Ｚ平面内でＸ軸方向に対して傾いた側に位置
する振動片１１，１２の根元部１１ａ，１２ａの角部１
１ａ１〜１１ａ４，１２ａ１〜１２ａ４の剛性を高める
ようにした。そして、前記剛性を高めるための金属など
の蒸着、接着剤の塗布などの物質の添着は比較的容易に
行えるものであるので、比較的安価な装置を用いて角速
度センサの漏れ振動を簡単に除去でき、同センサの生産
性を高めることができる。また、これによれば、漏れ振
動の除去作業中に、振動片を破損することもなくなる。
属などの蒸着、接着剤の塗布などの物質の添着により、
Ｘ軸方向への励振による励振用振動片１１，１２の振動
方向がＸ−Ｚ平面内でＸ軸方向に対して傾いた側に位置
する振動片１１，１２の根元部１１ａ，１２ａの角部１
１ａ１〜１１ａ４，１２ａ１〜１２ａ４の剛性を高める
ようにした。そして、前記剛性を高めるための金属など
の蒸着、接着剤の塗布などの物質の添着は比較的容易に
行えるものであるので、比較的安価な装置を用いて角速
度センサの漏れ振動を簡単に除去でき、同センサの生産
性を高めることができる。また、これによれば、漏れ振
動の除去作業中に、振動片を破損することもなくなる。
【００１８】なお、上記実施形態においては、本発明を
水晶などの圧電材料で振動子を構成した角速度センサ１
０に適用したが、本発明は、ジュラルミン等の軽金属、
ガラス、セラミックなどの非圧電材料で振動子を構成
し、励振用振動片及び検出用振動片に圧電素子で構成し
た電極を添着するようにした角速度センサにも適用でき
る。また、振動子の形状もＨ型でなくても例えばＵ字形
などをしていて、励振用振動片と検出用振動片として共
通の振動片を用いる角速度センサにも適用できる。
水晶などの圧電材料で振動子を構成した角速度センサ１
０に適用したが、本発明は、ジュラルミン等の軽金属、
ガラス、セラミックなどの非圧電材料で振動子を構成
し、励振用振動片及び検出用振動片に圧電素子で構成し
た電極を添着するようにした角速度センサにも適用でき
る。また、振動子の形状もＨ型でなくても例えばＵ字形
などをしていて、励振用振動片と検出用振動片として共
通の振動片を用いる角速度センサにも適用できる。
【図１】 本発明の適用される角速度センサの一例を示
す正面図である。
す正面図である。
【図２】 図１のＳ−Ｓ線に沿って見た角速度センサの
端面図であって第１の漏れ振動状態を説明するための図
である。
端面図であって第１の漏れ振動状態を説明するための図
である。
【図３】 図１のＳ−Ｓ線に沿って見た角速度センサの
端面図であって第２の漏れ振動状態を説明するための図
である。
端面図であって第２の漏れ振動状態を説明するための図
である。
【図４】 従来の漏れ振動除去方法を説明するための角
速度センサの端面図である。
速度センサの端面図である。
１０…角速度センサ、１１，１２…励振用振動片、１１
ａ，１２ａ…根元部、１１ａ１〜１１ａ４，１２ａ１〜
１２ａ４…角部、１３，１４…検出用振動片、１８…導
電パターン。
ａ，１２ａ…根元部、１１ａ１〜１１ａ４，１２ａ１〜
１２ａ４…角部、１３，１４…検出用振動片、１８…導
電パターン。
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ軸のうちのＹ
軸方向に延設されてＸ−Ｚ平面に沿った断面形状を方形
状とする振動片を有し、Ｙ軸回りに作用する角速度を、
前記振動片をＸ軸方向に励振させた状態で同振動片のＺ
軸方向の振動の大きさにより検出するようにした角速度
センサに適用され、前記Ｘ軸方向の励振に起因した振動
片のＺ軸方向への漏れ振動を除去する漏れ振動除去方法
において、前記Ｘ軸方向への励振による振動片の振動方
向がＸ−Ｚ平面内でＸ軸方向に対して傾いた側に位置す
る前記振動片の角部の剛性を高めるようにした角速度セ
ンサの漏れ振動除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8331306A JPH10170274A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | 角速度センサの漏れ振動除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8331306A JPH10170274A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | 角速度センサの漏れ振動除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10170274A true JPH10170274A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18242218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8331306A Pending JPH10170274A (ja) | 1996-12-11 | 1996-12-11 | 角速度センサの漏れ振動除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10170274A (ja) |
Cited By (4)
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1996
- 1996-12-11 JP JP8331306A patent/JPH10170274A/ja active Pending
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