JPH10170852A - 光偏向器および動圧気体軸受 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精度な加工および部品を不要にして、安価
で安定した回転を実現すること。 【解決手段】 固定軸１０と該固定軸１０に嵌合され該
固定軸１０を中心として非接触で回転する回転自在のス
リーブ状の回転軸７とから成る動圧気体軸受と、前記回
転軸７に支持され複数の反射面２ａによって構成される
多面鏡２と、該多面鏡２を高速回転させるモータ３とか
ら成る光偏向器において、前記動圧気体軸受けの前記固
定軸１０と前記回転軸とが磁性体材料によって構成さ
れ、磁気的反力が作用する構成を備えている光偏向器、
動圧気体軸受。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光体その他の像
担持体へ情報を含む光ビームを結像させ、光ビームに含
まれた画像情報を記録するようにしたレーザプリンタ、
デジタル複写機等の画像形成装置に用いられ、特に多面
鏡（ポリゴンミラー）、ホログラム・ディスク等を回転
して入射光ビームを走査する光偏向器に関するものであ
って、固定軸と該固定軸に嵌合され該固定軸を中心とし
て非接触で回転する回転自在の回転軸とから成る動圧気
体軸受およびそれを備えた光偏向器において、前記動圧
気体軸受の前記固定軸と前記回転軸とに磁気的反力が作
用する構成を備え、高精度な加工および部品を不要にし
て、安価で安定した回転を実現する動圧気体軸受および
それを備えた光偏向器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の光偏向器その他に用いられる動圧
気体軸受（特開平３−２８８００８、特開平２−１１９
１６）は、図８に示されるように筐体Ｃに固定された固
定軸Ｆの外周面にエッチング、パターンマスクその他に
より、ヘリングボーン溝Ｇが形成され、モータＭが配設
された鏡面仕上げされた内周面を有するスリーブより成
る回転軸Ｋが同軸的に配設され、該回転軸Ｋが回転する
ことによりヘリングボーン溝Ｇと前記回転軸Ｋの前記内
周面との間で空気の動圧が発生し、該動圧により前記回
転軸Ｋが非接触で支持されるものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の動圧気体軸
受は、前記固定軸Ｆの外周面に形成されたヘリングボー
ン溝Ｇと前記回転軸Ｋの内周面との間で空気の動圧が発
生し、該動圧により前記回転軸Ｋが非接触で支持される
ものであるため、前記固定軸Ｆの外周面にヘリングボー
ン溝Ｇを形成するとともに、前記回転軸Ｋの前記内周面
を鏡面仕上げ加工するとともに、該固定軸と回転軸を数
ミクロンレベルで嵌合する必要があるため、加工精度が
高いとともに、組立工程においても高精度が要求される
ため工数がかかり、加工費、組立費が高価になるという
問題があった。

【０００４】また、従来の動圧気体軸受において、上記
加工費を低減するために、前記固定軸の外周壁に形成さ
れるヘリングボーン溝を省いた真円軸受も考えられる
が、該真円軸受では動圧による前記回転軸の支持力が劣
り、回転精度に悪影響を与え安定した回転が得られない
という問題があった。

【０００５】さらに従来の動圧気体軸受は、高精度の部
品を使用しているため、取り扱いにおいても防塵を考慮
する必要があり、取り扱いが大変であり、使用に当たり
困難を伴うという問題があった。

【０００６】そこで本発明者らは、固定軸と該固定軸に
嵌合され該固定軸を中心として非接触で回転する回転自
在の回転軸とから成る動圧気体軸受および動圧気体軸受
を備えた光偏向器において、前記動圧気体軸受の前記固
定軸と前記回転軸とに磁気的反力を作用させ前記回転軸
を支持するという本発明の第１の技術的思想に着眼する
とともに、前記動圧気体軸受の前記固定軸と前記回転軸
とを磁性体材料によって構成し、前記固定軸および回転
軸を半径方向に磁極を配列して、前記固定軸の外周側の
磁極と前記回転軸の内周側の磁極を同極として、半径方
向に磁気的反力を作用させ前記回転軸を支持するという
本発明の第２の技術的思想に着眼し、さらに研究開発を
重ねた結果、高精度な加工および部品を不要にして、安
価で安定した回転を実現するという目的を達成する本発
明に到達したものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明（請求項１に記載
の第１発明）の光偏向器は、固定軸と該固定軸に嵌合さ
れ該固定軸を中心として非接触で回転する回転自在の回
転軸とから成る動圧気体軸受を備えた光偏向器におい
て、前記動圧気体軸受の前記固定軸と前記回転軸とに磁
気的反力が作用する構成を備えているものである。

【０００８】本発明（請求項２に記載の第２発明）の動
圧気体軸受は、固定軸と該固定軸に嵌合され、該固定軸
を中心として非接触で回転する回転自在の回転軸とから
成る動圧気体軸受において、前記動圧気体軸受の前記固
定軸と前記回転軸とに磁気的反力が作用する構成を備え
ているものである。

【０００９】本発明（請求項３に記載の第３発明）の動
圧気体軸受は、前記第２発明において、前記動圧気体軸
受の前記固定軸と前記回転軸とが、磁性体材料によって
構成されているものである。

【００１０】本発明（請求項４に記載の第４発明）の動
圧気体軸受は、前記第３発明において、前記固定軸およ
び回転軸が、半径方向に磁極を配列するとともに、前記
固定軸の外周側の磁極と前記回転軸の内周側の磁極を同
極として、半径方向に磁気的反力が作用するように構成
されているものである。

【００１１】本発明（請求項５に記載の第５発明）の動
圧気体軸受は、前記第４発明において、前記固定軸の軸
端および回転軸の対向する軸端において、軸方向に異な
った磁極が配設され、前記固定軸の軸端側の磁極と前記
回転軸の軸端側に対向する側の磁極を同極として、スラ
スト方向に磁気的反力が作用するように構成されている
ものである。

【００１２】本発明（請求項６に記載の第６発明）の動
圧気体軸受は、前記第２発明において、前記固定軸の外
周壁および前記回転軸の内周壁が、滑らかに形成され、
真円軸受を構成するものである。

【００１３】本発明（請求項７に記載の第７発明）の動
圧気体軸受は、前記第２発明において、前記固定軸の外
周壁に動圧溝が形成され、動圧軸受を構成するものであ
る。

【００１４】本発明（請求項８に記載の第８発明）の動
圧気体軸受は、前記第２発明において、前記回転軸の内
周壁に動圧溝が形成され、動圧軸受を構成するものであ
る。

【００１５】

【発明の作用および効果】上記構成より成る第１発明の
光偏向器は、前記固定軸と該固定軸に嵌合され該固定軸
を中心として非接触で回転する回転自在の前記回転軸と
から成る動圧気体軸受を備えた光偏向器において、前記
動圧気体軸受の前記固定軸と前記回転軸とに磁気的反力
が作用するので、前記回転軸を磁気的に支持するため、
高精度な加工および部品を不要にして、安価で安定した
回転を実現するという効果を奏するものである。

【００１６】上記構成より成る第２発明の動圧気体軸受
は、前記固定軸と該固定軸に嵌合され、該固定軸を中心
として非接触で回転する回転自在の回転軸とから成る動
圧気体軸受において、前記動圧気体軸受の前記固定軸と
前記回転軸とに磁気的反力が作用するので、前記回転軸
を磁気的に支持するため、高精度な加工および部品を不
要にして、安価で安定した回転を実現するという効果を
奏するものである。

【００１７】上記構成より成る第３発明の動圧気体軸受
は、前記第２発明において、前記動圧気体軸受の前記固
定軸と前記回転軸とが、磁性体材料によって構成されて
いるので、高精度な加工および部品を不要にするととも
に、加工を容易にして安価にするという効果を奏するも
のである。

【００１８】上記構成より成る第４発明の動圧気体軸受
は、前記第３発明において、前記固定軸および回転軸
が、半径方向に磁極を配列するとともに、前記固定軸の
外周側の磁極と前記回転軸の内周側の磁極を同極とし
て、前記回転軸の全内周に亘り半径方向に磁気的反力が
作用して、前記回転軸の全内周に亘り磁気的に一様に支
持するため、回転精度に悪影響を与えることなく安定し
た回転を実現するという効果を奏するものである。

【００１９】上記構成より成る第５発明の動圧気体軸受
は、前記第４発明において、前記固定軸の軸端および回
転軸の対向する軸端において、軸方向に異なった磁極が
配設され、前記固定軸の軸端側の磁極と前記回転軸の軸
端側に対向する側の磁極を同極として、スラスト方向に
磁気的反力が作用するので、前記回転軸をスラスト方向
に支持するという効果を奏する。

【００２０】上記構成より成る第６発明の動圧気体軸受
は、前記第２発明において、前記固定軸の外周壁および
前記回転軸の内周壁が、滑らかに形成され、真円軸受を
構成するので、従来のヘリングボーン溝の加工を不要に
して、加工を容易にして安価にするという効果を奏する
ものである。

【００２１】上記構成より成る第７発明の動圧気体軸受
は、前記第２発明において、前記固定軸の外周壁に動圧
溝が形成され、動圧軸受を構成するので、前記固定軸と
前記回転軸とに作用する磁気的反力による前記回転軸の
磁気的な支持に、前記固定軸に形成された前記動圧溝に
よる動圧支持を加えるので、前記回転軸の一層安定した
支持を可能にするため、一層安定した回転を実現すると
いう効果を奏するものである。

【００２２】上記構成より成る第８発明の動圧気体軸受
は、前記第２発明において、前記回転軸の内周壁に動圧
溝が形成され、動圧軸受を構成するので、前記固定軸と
前記回転軸とに作用する磁気的反力による前記回転軸の
磁気的な支持に、前記回転軸に形成された前記動圧溝に
よる動圧支持を加えるので、前記回転軸のさらに一層安
定した支持を可能にするため、さらに一層安定した回転
を実現するという効果を奏するものである。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき、
図面を用いて説明する。

【００２４】（第１実施形態）本第１実施形態の光偏向
器および動圧気体軸受は、図１に示すように、固定軸１
０と該固定軸１０に嵌合され該固定軸１０を中心として
非接触で回転する回転自在のスリーブ状の回転軸７とか
ら成る動圧気体軸受と、前記回転軸７に支持され複数の
反射面２ａによって構成される多面鏡２と、該多面鏡２
を高速回転させるモータ３とから成る光偏向器１におい
て、前記動圧気体軸受の前記固定軸１０と前記回転軸７
とが磁性体材料によって構成され、磁気的反力が作用す
る構成を備えているものである。

【００２５】筐体４は、図１に示されるように前記回転
軸７に支持され複数の反射面２ａによって構成される多
面鏡２と該多面鏡２を高速回転させるモータ３およびこ
れらの構成部品を防塵のために密封収容するように構成
されている。

【００２６】前記筐体４は、前記多面鏡２に対応する部
分を覆う上部筐体４ａと、前記モータ３に対応する部分
を覆う下部筐体４ｂとから成り、前記上部筐体４ａには
光ビーム６を案内する窓４ｃが形成され、該窓４ｃには
防塵ガラスが配設されている。

【００２７】前記下部筐体４ｂの底面中央にビスによっ
て外周面が磁性体より成る前記固定軸１０が、同軸的に
固定されている。

【００２８】本第１実施形態における前記動圧気体軸受
は、前記固定軸１０と、該固定軸１０に嵌合され、該固
定軸１０を中心として非接触で回転する回転自在のスリ
ーブよって構成される回転軸７とから成る。

【００２９】前記固定軸１０は、図２に示されるように
磁性体の例えば、プラマグ（又はプラスチック製マグネ
ット）より成る中実円筒体によって構成され、中心側部
分１０１にＳ極が形成され、外周側部分１０２にＮ極が
形成されるように着磁され、該固定軸１０の半径方向に
磁極を配列して、半径方向に磁力線が形成されるように
構成されている。

【００３０】前記回転軸７は、図３に示されるように磁
性体のプラマグ（又はプラスチック製マグネット）より
成るフランジ部７２を備えた中空円筒体７０によって構
成され、筒状部７１の内周側部分７１１にＮ極が形成さ
れ、外周側部分７１２にＳ極が形成されるように着磁さ
れ、該回転軸７の半径方向に磁極を配列して、半径方向
に磁力線が形成されるように構成されている。

【００３１】前記回転軸７は、図１に示されるように前
記固定軸１０に対して同軸的に配設され、前記固定軸１
０の前記外周側部分１０２に形成されたＮ極と、前記回
転軸７の前記内周側部分７１１に形成されたＮ極とが対
向して、すなわち同極同志が対向するようにして、半径
方向に磁気的反力が作用するように構成されている。

【００３２】図４に示されるように、前記固定軸１０の
上端には円盤状のＮ極とＳ極が対向して形成された第１
のスラストマグネット１７１が配設され、前記回転軸７
の前記フランジ部７２に対応する中心部分に円盤状のＮ
極とＳ極が対向して形成された第２のスラストマグネッ
ト１７２が配設され、前記第１および第２のスラストマ
グネット１７１、１７２はＮ極同志が対向するように配
設され、スラスト方向に磁気的反力が作用して、前記回
転軸７をスラスト方向に支持するように構成されてい
る。

【００３３】本第１実施形態においては、前記固定軸１
０の外周壁および前記回転軸７の内周壁が、滑らかに形
成され、真円軸受を構成するものである。

【００３４】前記モータ３は、図３に示されるように、
回転軸を構成する中空円筒体の前記スリーブ状の回転軸
７の上端に一体的にフランジ部７２が形成され、前記多
面鏡２が、前記フランジ部７２と前記モータ３のロータ
マグネット８を支承する円盤形状の支持部材９との間に
押圧挾持されている。

【００３５】前記支持部材９は、止め輪１５によって前
記回転軸７に位置決めして固定されている。またステー
タコイル１２は、前記ロータマグネット８に対向する位
置の前記下部筐体４ｂに固定され、制御回路１３より制
御電流が流れると図１中上下方向に磁界が発生するよう
に構成されている。

【００３６】前記回転軸７のフランジ部７２の上面に
は、円周方向に沿って溝７ｂが形成されており、該溝７
ｂ内には、前記回転軸７の動バランス調整用の所定重量
のバランスウエイト１４が適切な位置に付着されてい
る。

【００３７】上記構成より成る第１実施形態の光偏向器
および動圧気体軸受は、前記ロータマグネット８に対向
する位置の前記下部筐体４ｂに固定された前記ステータ
コイル１２に、制御回路１３より制御電流が流れると図
１中上下方向に磁界が発生し、前記ロータマグネット８
が回転される。

【００３８】この時、前記前記固定軸１０および回転軸
７が、図１ないし図３に示されるように、半径方向に磁
極を配列するとともに、前記固定軸１０の外周側の磁極
と前記回転軸７の内周側の磁極を同極として、前記回転
軸１０の全内周に亘り半径方向に磁気的反力が作用し
て、前記回転軸の全内周に亘り磁気的に一様に支持する
ものである。

【００３９】また、前記固定軸１０の上端および前記回
転軸７の対向する軸端において、軸方向に異なった磁極
が配設され、前記固定軸１０の軸端側の磁極と前記回転
軸７の軸端側に対向する側の磁極を同極として、スラス
ト方向に磁気的反力が作用するので、前記回転軸７をス
ラスト方向に支持するものである。

【００４０】したがって、電源から駆動電流が供給され
前記モータ３の回転軸として回転すると、滑らかに形成
された前記固定軸１０の外周面と前記回転軸７の内周面
との間で空気の動圧が発生し、前記回転軸７が前記固定
軸１０に対して、磁気的反力とこの動圧により、半径方
向へ支持され、回転軸７のスラスト方向も同様に固定軸
１０に対して非接触で支持される。

【００４１】さらに前記ロータマグネット８と一体的に
回転するとともに、前記ロータマグネット８の上部の前
記回転軸７に配設された前記多面鏡２は、前記反射面２
ａによって反射させることにより、前記窓４ｃを介して
入射光ビーム６を走査するものである。

【００４２】上記作用を奏する第１実施形態の光偏向器
および動圧気体軸受は、前記固定軸１０と該固定軸１０
に嵌合され、該固定軸１０を中心として非接触で回転す
る回転自在の前記回転軸７とから成る動圧気体軸受にお
いて、前記動圧気体軸受の前記固定軸１０と前記回転軸
７とに磁気的反力が作用するので、前記回転軸７を磁気
的作用力によって支持するため、高精度な加工および部
品を不要にして、安価で安定した回転を実現するという
効果を奏するものである。

【００４３】また第１実施形態の光偏向器は、前記固定
軸１０の軸端および回転軸７の対向する軸端において、
軸方向に異なった磁極が配設され、前記固定軸１０の軸
端側の磁極と前記回転軸７の軸端側に対向する側の磁極
を同極とした前記第１および第２のスラストマグネット
１７１、１７２によって、前記回転軸７にスラスト方向
の磁気的反力が作用するので、前記回転軸７をスラスト
方向に支持するという効果を奏するものである。

【００４４】さらに第１実施形態の光偏向器は、前記動
圧気体軸受の前記固定軸１０と前記回転軸７とが、磁性
体材料によって構成されているので、従来のような高精
度な加工および部品を不要にするとともに、加工を容易
にして安価にするという効果を奏するものである。

【００４５】また第１実施形態の光偏向器および動圧気
体軸受は、前記固定軸１０および回転軸７が、半径方向
に磁極を配列するとともに、前記固定軸１０の外周側の
磁極と前記回転軸７の内周側の磁極を同極として、前記
回転軸７の全内周に亘り半径方向に磁気的反力が作用し
て、前記回転軸７の全内周に亘り磁気的に一様に支持す
るため、回転精度に悪影響を与えることなく安定した回
転を実現するという効果を奏するものである。

【００４６】さらに第１実施形態の光偏向器および動圧
気体軸受は、前記固定軸１０の外周壁および前記回転軸
７の内周壁が、滑らかに形成され、真円軸受を構成する
ので、従来のヘリングボーン溝の加工を不要にして、加
工を容易にして安価にするという効果を奏するものであ
る。

【００４７】（第２実施形態）本第２実施形態の光偏向
器および動圧気体軸受は、図５に示されるように前記第
１実施形態の前記固定軸１０の外周壁に動圧溝としての
ヘリングボーン溝１０３を形成して、前記真円軸受を溝
付き動圧軸受に変更する点が、前記第１実施形態との相
違点であり、以下相違点を中心に説明する。

【００４８】上記構成より成る第２実施形態の光偏向器
および動圧気体軸受は、前記固定軸１０の外周壁に動圧
溝としての前記ヘリングボーン溝１０３が形成され、動
圧軸受を構成するので、前記固定軸１０と前記回転軸７
とに作用する磁気的反力による前記回転軸７の磁気的な
支持に、前記固定軸１０に形成された前記動圧溝による
動圧支持を加えるので、前記回転軸７の一層安定した支
持を可能にするため、一層安定した回転を実現するとい
う効果を奏するものである。

【００４９】（第３実施形態）本第３実施形態の光偏向
器および動圧気体軸受は、前記第２実施形態における前
記固定軸１０の外周壁に形成された動圧溝としての前記
ヘリングボーン溝１０３の代わりに、図６および図７に
示されるように前記回転軸７の内周壁に動圧溝が形成さ
れ、動圧軸受を構成する点が相違点であり、以下相違点
を中心に説明する。

【００５０】前記回転軸７は、中空円筒体のスリーブの
内周壁に、前記第２実施形態の前記固定軸１０の外周壁
に形成された前記ヘリングボーン溝に比べて軸受半径が
大きい前記動圧溝としての複数のヘリングボーン溝７３
が形成されている。

【００５１】すなわち、前記回転軸７の内周壁には、図
７に示されるように複数の前記ヘリングボーン溝７３
が、前記回転軸の円周方向において一定角度毎に、前記
回転軸の内周壁に半径方向に一定深さ穿設され、放射状
に形成されているとともに、前記回転軸７の軸方向に対
して傾斜して形成されている。前記ヘリングボーン溝７
３の深さは、０．００５〜０．０１ｍｍの範囲内に設定
されている。

【００５２】前記回転軸７は、図６および図７に示され
るようにその内周壁に複数の前記ヘリングボーン溝７３
が形成されているので、電源から駆動電流が供給され前
記モータ３の回転軸として回転すると、前記固定軸１０
の外周面と複数の前記ヘリングボーン溝７３が形成され
た前記回転軸７の内周壁との間で空気の動圧が発生し、
前記回転軸７が前記固定軸１０に対して、磁気的反力と
この動圧により半径方向へ支持され、回転軸７のスラス
ト方向も同様に固定軸１０に対して非接触で支持され
る。

【００５３】上記作用を奏する第３実施形態の光偏向器
および動圧気体軸受は、前記動圧気体軸受の前記回転軸
７の内周壁に前記ヘリングボーン溝７３が形成されてい
るので、上述したように前記軸受半径が大きいため、動
圧を高め光偏向器における動圧気体軸受の負荷能力を高
めるという効果を奏する。

【００５４】さらに第３実施形態の光偏向器および動圧
気体軸受は、前記ヘリングボーン溝７３が、前記回転軸
７の円周方向において一定角度毎に形成されているの
で、前記回転軸の円周方向における一様な支持を可能に
するという効果を奏する。

【００５５】さらに第３実施形態の光偏向器および動圧
気体軸受は、前記ヘリングボーン溝７３が、前記回転軸
７の内周壁に半径方向に穿設され、半径方向外方に窪み
放射状に形成され半径方向内方への突出部が無いので、
前記回転軸７の回転抵抗を低減するとともに、該回転軸
７の円周方向における一様な支持を可能にするという効
果を奏する。

【００５６】また第３実施形態の光偏向器および動圧気
体軸受は、前記回転軸７の内周壁に前記ヘリングボーン
溝７３が形成され動圧軸受を構成するので、前記固定軸
１０と前記回転軸７とに作用する磁気的反力による前記
回転軸７の磁気的な支持に、前記回転軸７に形成された
前記動圧溝による動圧支持を加えるので、前記回転軸７
のさらに一層安定した支持を可能にするため、さらに一
層安定した回転を実現するという効果を奏するものであ
る。

【００５７】上述の実施形態は、説明のために例示した
もので、本発明としてはそれらに限定されるものでは無
く、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記
載から当業者が認識することができる本発明の技術的思
想に反しない限り、変更および付加が可能である。

【００５８】上述の第２および第３実施形態において、
前記固定軸または回転軸に動圧溝を形成する例について
説明したが、本発明としてはそれらに限定されるもので
は無く、前記固定軸および回転軸に動圧溝を形成する態
様を採用することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態の光偏向器および動圧気
体軸受を示す断面図である。

【図２】本第１実施形態における固定軸を示す平面図お
よび正面図である。

【図３】本第１実施形態における回転軸としてのスリー
ブを示す平面図および縦断面図である。

【図４】本第１実施形態におけるスラストマグネットを
示す平面図および縦断面図である。

【図５】本発明の第２実施形態の光偏向器および動圧気
体軸受を示す断面図である。

【図６】本発明の第３実施形態の光偏向器および動圧気
体軸受を示す断面図である。

【図７】本第３実施形態の回転軸の筒状部を示す斜視図
である。

【図８】従来の光偏向器を示す断面図である。

【符号の説明】

２ 多面鏡 ２ａ 反射面 ３ モータ １０ 固定軸 ７ 回転軸

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定軸と該固定軸に嵌合され該固定軸を
   中心として非接触で回転する回転自在の回転軸とから成
   る動圧気体軸受を備えた光偏向器において、 前記動圧気体軸受の前記固定軸と前記回転軸とに磁気的
   反力が作用する構成を備えていることを特徴とする光偏
   向器。
2. 【請求項２】 固定軸と該固定軸に嵌合され、該固定軸
   を中心として非接触で回転する回転自在の回転軸とから
   成る動圧気体軸受において、 前記動圧気体軸受の前記固定軸と前記回転軸とに磁気的
   反力が作用する構成を備えていることを特徴とする動圧
   気体軸受。
3. 【請求項３】 請求項２において、 前記動圧気体軸受の前記固定軸と前記回転軸とが、磁性
   体材料によって構成されていることを特徴とする動圧気
   体軸受。
4. 【請求項４】 請求項３において、 前記固定軸および回転軸が、半径方向に磁極を配列する
   とともに、 前記固定軸の外周側の磁極と前記回転軸の内周側の磁極
   を同極として、半径方向に磁気的反力が作用するように
   構成されていることを特徴とする動圧気体軸受。
5. 【請求項５】 請求項４において、 前記固定軸の軸端および回転軸の対向する軸端におい
   て、軸方向に異なった磁極が配設され、 前記固定軸の軸端側の磁極と前記回転軸の軸端側に対向
   する側の磁極を同極として、 スラスト方向に磁気的反力が作用するように構成されて
   いることを特徴とする動圧気体軸受。
6. 【請求項６】 請求項２において、 前記固定軸の外周壁および前記回転軸の内周壁が、滑ら
   かに形成され、真円軸受を構成することを特徴とする動
   圧気体軸受。
7. 【請求項７】 請求項２において、 前記固定軸の外周壁に動圧溝が形成され、動圧軸受を構
   成することを特徴とする動圧気体軸受。
8. 【請求項８】 請求項２において、 前記回転軸の内周壁に動圧溝が形成され、動圧軸受を構
   成することを特徴とする動圧気体軸受。