JPH10172868A - Aluminum electrode foil for electrolytic capacitor and method for producing the same - Google Patents
Aluminum electrode foil for electrolytic capacitor and method for producing the sameInfo
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- JPH10172868A JPH10172868A JP8334243A JP33424396A JPH10172868A JP H10172868 A JPH10172868 A JP H10172868A JP 8334243 A JP8334243 A JP 8334243A JP 33424396 A JP33424396 A JP 33424396A JP H10172868 A JPH10172868 A JP H10172868A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アルミ電極箔上のピット径、ピット間隔の均
一性を高めることにより、単位面積当たりの静電容量を
高めた電解コンデンサ用のアルミ電極箔を提供する。
【解決手段】 アルミ箔を塩酸、硫酸およびりん酸を含
む酸性水溶液中に浸漬させ、前記アルミ箔に直流電圧を
印加するエッチングにより、前記アルミ箔上にピットを
形成させることにより、理想的にピットが六方配置した
アルミ電極箔の隣接する2つのピットの間隔をLとし、
実際のエッチドアルミ電極箔のある一つのピットとこれ
に隣接する各ピットとの間隔のうち最も短いピット間隔
を最近接ピット間隔として、各ピットについて求めた最
近接ピット間隔の平均値をLaとした場合の、La/Lの
値が0.58以上、またはピット径の変動係数を0.4
5以下として単位面積当たりの静電容量を高める。
(57) [Problem] To provide an aluminum electrode foil for an electrolytic capacitor in which the capacitance per unit area is increased by increasing the uniformity of the pit diameter and the pit interval on the aluminum electrode foil. The pits are ideally formed by immersing an aluminum foil in an acidic aqueous solution containing hydrochloric acid, sulfuric acid and phosphoric acid, and forming pits on the aluminum foil by etching by applying a DC voltage to the aluminum foil. The distance between two adjacent pits of the aluminum electrode foil arranged hexagonally is L,
As closest pit interval of the shortest pit interval of the interval between each pit adjacent the one pit thereto with actual etched aluminum electrode foil, an average value of the closest pit interval determined for each pit L a and then when the value of L a / L is 0.58 or more, or the coefficient of variation of the pit diameter 0.4
The capacitance per unit area is increased to 5 or less.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はアルミ電解コンデン
サ用電極箔の特性、特に静電容量特性に優れた電極箔と
その製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, and more particularly to an electrode foil having excellent capacitance characteristics and a method for producing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】アルミ電解コンデンサは、近年の電子機
器の小型化に伴ってますますサイズの小さいものが求め
られている。したがって電極箔の単位面積当たりの静電
容量を大きくすることが重要な課題となっている。また
省資源・原材料コスト低減の面からも、このことは重要
である。2. Description of the Related Art With the recent miniaturization of electronic devices, smaller and smaller aluminum electrolytic capacitors are required. Therefore, it is an important issue to increase the capacitance per unit area of the electrode foil. This is also important from the viewpoint of resource saving and reduction of raw material costs.
【0003】従来より、アルミ電解コンデンサ用電極箔
の単位面積当たりの静電容量を大きくするためには、ア
ルミ箔を酸性または中性の水溶液に浸漬させて、化学的
または電気的にエッチングを行うことにより、アルミ箔
表面を粗面化させて表面積を拡大する方法が用いられて
いる。Conventionally, in order to increase the capacitance per unit area of an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, the aluminum foil is immersed in an acidic or neutral aqueous solution and chemically or electrically etched. Accordingly, a method of increasing the surface area by roughening the surface of the aluminum foil has been used.
【0004】一般にエッチングを行うことにより、表面
積は拡大して容量は大きくなるが、箔の機械的強度は弱
くなる。したがって、形成するエッチピットの発生場所
と形状をコントロールして、箔の強度を保ちながら表面
積の拡大を図ることが重要である。[0004] Generally, by performing etching, the surface area is increased and the capacity is increased, but the mechanical strength of the foil is reduced. Therefore, it is important to control the location and shape of the etch pits to be formed to increase the surface area while maintaining the strength of the foil.
【0005】また、従来より高圧用のアルミ電解コンデ
ンサ用電極箔の製造においては、アルミ箔表面からその
内部に向けて垂直に柱状のエッチピットを多数形成する
エッチング法が用いられている。このエッチング法で
は、表面積は発生するピットの数と各ピット径の大きさ
によって決まる。したがって、このエッチング方で得ら
れた電極箔は、隣接するピット同士が重なり合わないよ
うに最密充填されていること、ピット径が使用する化成
電圧に最適な径であること、さらに各ピットが錐形では
なく均一な柱状をしていることが理想的である。[0005] Conventionally, in the production of electrode foil for aluminum electrolytic capacitors for high voltage, an etching method has been used in which a large number of columnar etch pits are formed vertically from the surface of the aluminum foil toward the inside thereof. In this etching method, the surface area is determined by the number of generated pits and the size of each pit diameter. Therefore, the electrode foil obtained by this etching method must be closest-packed so that adjacent pits do not overlap each other, the pit diameter should be the optimum diameter for the formation voltage used, and each pit should be Ideally, it should have a uniform columnar shape rather than a cone.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ようなエッチング法では下記のような問題があった。 (1)エッチング倍率を上げていくと、エッチング減量
に応じて表面積は増加していくが、ある程度までエッチ
ングが進行すると、隣接するエッチピット同士が重なり
合うため、逆に表面積は減少してしまう。 (2)ピット径にばらつきがあると、一定の径より小さ
いピットは化成後に化成被膜によってピットの凹部が埋
まってしまい、容量増大に寄与しないばかりでなく、化
成電力も無駄になってしまう。 (3)前記のようなことから、発生するピットの間隔、
ピット径を一定値以上にし、またピットの形状を均一な
柱状にすることは、エッチング倍率を上げるうえで重要
なポイントとなるが、従来の技術では発生するエッチピ
ットの間隔、形状を理想的にコントロールすることは困
難であった。However, the above-described etching method has the following problems. (1) As the etching magnification is increased, the surface area increases in accordance with the etching loss. However, when the etching proceeds to a certain extent, the adjacent etch pits overlap each other, and conversely, the surface area decreases. (2) If the pit diameter varies, pits smaller than a certain diameter will be filled with the chemical conversion film after conversion, which will not only contribute to an increase in capacity but also waste power for formation. (3) From the above, the interval between the generated pits,
Making the pit diameter more than a certain value and making the pit shape uniform columnar are important points in increasing the etching magnification.However, in the conventional technology, ideally the interval and shape of the etch pits generated are ideal. It was difficult to control.
【0007】本発明は前記従来の問題を解決するもので
あり、エッチピット間隔およびピット径を均一にするこ
とにより、エッチング倍率を上げて、単位面積当たりの
静電容量を大きくした電解コンデンサ用アルミ電極箔お
よびその製造方法を提供することを目的としている。An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and to improve the etching magnification by making the etch pit interval and the pit diameter uniform, thereby increasing the capacitance per unit area. An object is to provide an electrode foil and a method for manufacturing the same.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のアルミ電極箔は、アルミ箔を酸性水溶液に
浸漬させ、前記アルミ箔に直流電圧を印加してエッチン
グを行うことにより、前記アルミ箔上にピットを形成し
た電解コンデンサ用アルミ電極箔であって、理想的にピ
ットが六方配置したアルミ電極箔、すなわちアルミ電極
箔に形成されたある一つのピットとこれに隣接する6つ
の各ピットとの間隔がすべて等しいアルミ電極箔におけ
る隣接する2つのピットの間隔をLとし、実際のエッチ
ドアルミ電極箔のある一つのピットとこれに隣接する各
ピットとの間隔のうち最も短いピット間隔を最近接ピッ
ト間隔として、各ピットについて求めた最近接ピット間
隔の平均値をLaとすると、La/Lの値が0.58以
上、またはピット径の変動係数が0.45以下であるこ
とを特徴とする。In order to achieve the above object, an aluminum electrode foil of the present invention is obtained by immersing an aluminum foil in an acidic aqueous solution and applying a DC voltage to the aluminum foil to perform etching. An aluminum electrode foil for an electrolytic capacitor having pits formed on the aluminum foil, the aluminum electrode foil having pits ideally arranged in hexagons, that is, one pit formed on the aluminum electrode foil and six pits adjacent thereto. The distance between two adjacent pits in an aluminum electrode foil having the same distance from each pit is L, and the shortest pit among the distance between one pit of an actual etched aluminum electrode foil and each pit adjacent thereto apart as the closest pit interval, when the average value of the closest pit interval determined for each pit and L a, the value of L a / L is 0.58 or more, or pit Wherein the coefficient of variation is 0.45 or less.
【0009】本発明のアルミ電極箔によれば、ピット
径、ピット間隔の均一性が高められていることにより、
単位面積当たりの静電容量を高めることができる。According to the aluminum electrode foil of the present invention, the uniformity of the pit diameter and the pit interval is improved,
The capacitance per unit area can be increased.
【0010】次に、本発明のアルミ電極箔の製造方法
は、前記本発明のアルミ電極箔のアルミ電極箔の製造方
法であって、塩酸、硫酸およびりん酸を含む酸性水溶液
中でエッチングを行うことを特徴とする。Next, a method for manufacturing an aluminum electrode foil according to the present invention is a method for manufacturing an aluminum electrode foil according to the present invention, wherein the etching is performed in an acidic aqueous solution containing hydrochloric acid, sulfuric acid and phosphoric acid. It is characterized by the following.
【0011】前記アルミ電極箔の製造方法においては、
りん酸イオンの濃度が2.0〜6.0Nであることが好
ましい。In the method for manufacturing an aluminum electrode foil,
It is preferable that the concentration of phosphate ions is 2.0 to 6.0N.
【0012】また、前記アルミ電極箔の製造方法におい
ては、硫酸イオンの濃度が5.0〜7.0Nであること
が好ましい。Further, in the method for manufacturing an aluminum electrode foil, it is preferable that the concentration of sulfate ions is 5.0 to 7.0 N.
【0013】また、前記アルミ電極箔の製造方法におい
ては、塩素イオンの濃度が0.5〜2.0Nであること
が好ましい。In the method for manufacturing an aluminum electrode foil, the concentration of chlorine ions is preferably 0.5 to 2.0 N.
【0014】前記本発明のアルミ電極箔の製造方法によ
れば、電極箔を、塩酸、硫酸、およびりん酸を含む水溶
液中でエッチングすることにより、ピット間隔、ピット
径の均一性を高めたアルミ電極箔を製造することができ
る。According to the method for manufacturing an aluminum electrode foil of the present invention, the electrode foil is etched in an aqueous solution containing hydrochloric acid, sulfuric acid, and phosphoric acid, thereby improving the uniformity of pit spacing and pit diameter. An electrode foil can be manufactured.
【0015】次に、本発明のアルミ電解コンデンサは、
前記本発明のアルミ電極箔を用いて製造されたことを特
徴とする。Next, the aluminum electrolytic capacitor of the present invention comprises:
It is characterized by being manufactured using the aluminum electrode foil of the present invention.
【0016】前記本発明のアルミ電解コンデンサによれ
ば、アルミ電極箔のピット径、ピット間隔の均一性が高
められていることにより、ESR成分が小さく優れた周
波数特性が得られる。According to the aluminum electrolytic capacitor of the present invention, the uniformity of the pit diameter and the pit interval of the aluminum electrode foil is enhanced, so that an excellent frequency characteristic with a small ESR component is obtained.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て説明する。単位面積当たりの静電容量を上げるために
は、エッチング倍率を上げる必要がある。ただし、エッ
チング倍率は高くても、ピット径のばらつきが大きけれ
ば、一定の径より小さいピットは化成後に化成被膜によ
って、ピットの凹部が埋まってしまい静電容量に寄与し
ないばかりか、化成電力も無駄になる。したがって、ピ
ット径のばらつきを小さくして、化成被膜によって埋ま
るピットの数を少なくするほど、静電容量に寄与する度
合いが高くなることになる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below. In order to increase the capacitance per unit area, it is necessary to increase the etching magnification. However, even if the etching magnification is high, if the pit diameter variation is large, pits smaller than a certain diameter will not fill the pit recesses due to the chemical conversion film after conversion and will not contribute to the capacitance, and the formation power will also be wasted. become. Therefore, the smaller the variation of the pit diameter and the smaller the number of pits buried by the chemical conversion film, the higher the contribution to the capacitance.
【0018】前記のようなことから、本実施形態のアル
ミ電極箔は、静電容量に寄与する度合いの高いアルミ電
極箔は、ピットの間隔およびピット径が均一であること
に着目して製造したものである。From the above, the aluminum electrode foil of the present embodiment was manufactured by focusing on the fact that the aluminum electrode foil having a high degree of contribution to the capacitance has a uniform pit interval and pit diameter. Things.
【0019】したがって、本実施形態のアルミ電極箔は
従来のアルミ電極箔と比べて、ピットの間隔およびピッ
ト径の均一性が高い。本実施形態では、ピットの間隔の
均一性を比較するためにピット分散性指数、ピット径の
均一性を比較するために変動係数を用いた。Therefore, the aluminum electrode foil of the present embodiment has higher uniformity of the pit interval and pit diameter than the conventional aluminum electrode foil. In this embodiment, the pit dispersibility index is used to compare the uniformity of the pit interval, and the variation coefficient is used to compare the uniformity of the pit diameter.
【0020】以下、ピット分散性指数について説明す
る。ピット分散性指数とは、アルミ電極箔のピットが理
想的に六方配置した場合のピット間隔に対する、実際の
エッチド箔の平均最近接ピット間隔の比を表わした値の
ことである。以下、図面を用いて具体的に説明する。Hereinafter, the pit dispersibility index will be described. The pit dispersibility index is a value representing the ratio of the average closest pit interval of the actual etched foil to the pit interval when the pits of the aluminum electrode foil are ideally arranged in hexagons. Hereinafter, a specific description will be given with reference to the drawings.
【0021】まず、理想的な六方配置について説明す
る。図1は、アルミ電極箔のピットが理想的に六方配置
している図を示している。ある一つのピット1に対し
て、隣接するピットは、ピット2から7の6個のピット
である。ピット1と各ピット(ピット2から6)との距
離はすべて等しくLである。この関係は他のピットにつ
いても同じである。First, an ideal hexagonal arrangement will be described. FIG. 1 shows a diagram in which pits of an aluminum electrode foil are ideally arranged in hexagons. With respect to one pit 1, adjacent pits are six pits 2 to 7. The distances between pit 1 and each pit (pits 2 to 6) are all equal to L. This relationship is the same for other pits.
【0022】次に、アルミ電極箔のピットが理想的に六
方配置した場合のピット間隔Lの計算方法について説明
する。図2は、図1のA部分を拡大したものである。隣
接するピットの中心点を結ぶ3本の線は、長さはすべて
Lであるため、正三角形を形成する。この正三角形の中
には、ピットが1/2個含まれる。この正三角形の面積
S0は、以下の(数1)で表される。Next, a method of calculating the pit interval L when the pits of the aluminum electrode foil are ideally arranged in hexagons will be described. FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG. The three lines connecting the center points of the adjacent pits are all L in length, and thus form an equilateral triangle. This equilateral triangle includes ピ ッ ト pits. The area S 0 of this equilateral triangle is represented by the following (Equation 1).
【0023】[0023]
【数1】 (Equation 1)
【0024】アルミ電極箔の面積をSとし、この面積S
の中にn個のピットが存在するとすると、比例関係より
以下の(数2)の関係が成り立つ。Let S be the area of the aluminum electrode foil, and this area S
If there are n pits in the equation, the following relationship (Equation 2) is established from the proportional relationship.
【0025】[0025]
【数2】 (Equation 2)
【0026】(数2)に(数1)のS0を代入して、展
開するとピット間隔Lは、以下の(数3)で表される。When S 0 of (Equation 1) is substituted for (Equation 2) and developed, the pit interval L is expressed by the following (Equation 3).
【0027】[0027]
【数3】 (Equation 3)
【0028】したがって、面積Sとピット個数nとが分
かれば、理想的に六方配置した場合のピット間隔Lは、
計算で求まることになる。Therefore, if the area S and the number n of pits are known, the pit interval L in an ideal hexagonal arrangement is
It will be obtained by calculation.
【0029】次に、実際のエッチド箔の平均最近接ピッ
ト間隔の計算方法について、説明する。図3は、実際の
エッチド箔のピット分布の一部の一例を示したものであ
る。アルミ電極箔全体の面積はSであり、面積Sの中に
n個のピットが存在する。すべてのピットについて座標
がわかっており、他のピットと区別できる。i番目のピ
ット座標を(xi,yi)、j番目のピット座標を
(xj,yj)とするとi番目のピットと、j番目のピッ
トとの距離Lijは、以下の(数4)で表される。Next, a method of calculating the average closest pit interval of an actual etched foil will be described. FIG. 3 shows an example of a part of the pit distribution of an actual etched foil. The area of the entire aluminum electrode foil is S, and there are n pits in the area S. The coordinates of all pits are known and can be distinguished from other pits. Assuming that the i-th pit coordinate is (x i , y i ) and the j-th pit coordinate is (x j , y j ), the distance L ij between the i-th pit and the j-th pit is given by 4).
【0030】[0030]
【数4】 (Equation 4)
【0031】i番目のピットと他のすべてのj番目のピ
ットとの距離を求め、その中で最も小さいものが最近接
ピット間隔Liとなる。同様にして、i=1〜nについ
ても最近接ピット間隔Liとを求める。i番目のピット
の最近接ピット間隔をLiと平均最近接ピット間隔L
aは、以下の(数5)で表される。The calculated distance between the i-th pit and all other j-th pit, the smallest is the closest pit interval L i therein. Similarly, i = Request and recently against pit interval L i also 1 to n. The closest pit interval of the ith pit is Li and the average closest pit interval L
a is represented by the following (Equation 5).
【0032】[0032]
【数5】 (Equation 5)
【0033】(数3)、(数5)を用いれば、ピット分
散性指数Vは、以下の(数6)で表される。Using (Equation 3) and (Equation 5), the pit dispersity index V is represented by the following (Equation 6).
【0034】[0034]
【数6】 (Equation 6)
【0035】したがって、ピット分散性指数の値が大き
いほどピット間隔の均一性が高く、仮に実際のエッチド
箔が理想的な六方配置であれば、ピット間隔は完全に均
一でありピット分散性指数は1となる。Therefore, the greater the value of the pit dispersibility index, the higher the uniformity of the pit spacing. If the actual etched foil is an ideal hexagonal arrangement, the pit spacing is completely uniform and the pit dispersity index is It becomes 1.
【0036】次に、ピット径の変動係数について説明す
る。ピット径の変動係数Cは、ピット径の標準偏差sを
ピット径の平均値RAで割った値であり、i番目のピッ
ト径をRiとすると、以下の(数7)で表される。Next, the pit diameter variation coefficient will be described. The pit diameter variation coefficient C is a value obtained by dividing the pit diameter standard deviation s by the average pit diameter value RA. When the i-th pit diameter is R i , it is expressed by the following (Formula 7).
【0037】[0037]
【数7】 (Equation 7)
【0038】本変動係数Cは、ピット径のばらつきを相
対的に表したものであり、仮にピット径が完全に均一で
あれば、ピット径変動係数Cは0となる。This variation coefficient C relatively represents the variation of the pit diameter. If the pit diameter is completely uniform, the pit diameter variation coefficient C becomes zero.
【0039】以下の実施形態、実施例におけるピット分
散性指数、ピット径の変動係数は、製造されたアルミ電
極箔の走査電子顕微鏡写真を画像解析装置にかけ、各ピ
ットの座標を測定し、さらに円相当径のデータを求め、
これら数値を前記数式に代入することにより求めた。In the following embodiments and examples, the pit dispersibility index and the coefficient of variation of the pit diameter were determined by measuring the coordinates of each pit by applying a scanning electron microscope photograph of the manufactured aluminum electrode foil to an image analyzer. Find equivalent diameter data,
These numerical values were obtained by substituting the numerical values into the above-mentioned mathematical expressions.
【0040】次に、本実施形態のアルミ電極箔およびそ
の製造方法について具体的に説明する。本実施形態に用
いたアルミ箔は、結晶方位が均一に揃った4Nの高純度
箔である。これを塩酸、硫酸、およびりん酸を添加した
水溶液に浸漬し、アルミ箔を正極にして直流電圧を印加
した。第1段階のエッチング終了後、ピット径拡大のた
めの第2段階のエッチングをおこない、最後に520V
で化成をして、アルミ電極箔を完成させた。Next, the aluminum electrode foil of the present embodiment and the method of manufacturing the same will be specifically described. The aluminum foil used in the present embodiment is a 4N high-purity foil having a uniform crystal orientation. This was immersed in an aqueous solution to which hydrochloric acid, sulfuric acid and phosphoric acid were added, and a DC voltage was applied using the aluminum foil as a positive electrode. After the completion of the first stage etching, a second stage etching for enlarging the pit diameter is performed.
To complete the aluminum electrode foil.
【0041】塩素イオン濃度1.0N、硫酸イオン濃度
6.0N、りん酸濃度を0Nから10.0Nまで変化さ
せた場合の、ピット分散性指数、ピット径変動係数、静
電容量の各値を以下の表1に示した。When the chlorine ion concentration was 1.0 N, the sulfate ion concentration was 6.0 N, and the phosphoric acid concentration was changed from 0 N to 10.0 N, the respective values of the pit dispersity index, the pit diameter variation coefficient, and the capacitance were calculated. The results are shown in Table 1 below.
【0042】[0042]
【表1】 [Table 1]
【0043】表1における、りん酸イオン濃度と静電容
量との関係を図4に示した。図4において、横軸Pはり
ん酸イオン濃度を示し、縦軸Fは静電容量を示してい
る。表1に示したアルミ電極箔のうち、りん酸イオン濃
度が0Nものは従来例であり、1N〜10Nのものが本
実施形態のものである。FIG. 4 shows the relationship between the phosphate ion concentration and the capacitance in Table 1. In FIG. 4, the horizontal axis P indicates the phosphate ion concentration, and the vertical axis F indicates the capacitance. Of the aluminum electrode foils shown in Table 1, those having a phosphate ion concentration of 0N are conventional examples, and those having a phosphate ion concentration of 1N to 10N are those of the present embodiment.
【0044】従来例のものは、ピット分散性指数が0.
57であるのに対して、表1における本実施形態のもの
は、いずれもピット分散性指数が0.58以上またはピ
ット径変動係数が0.45以下である。特に、りん酸イ
オン濃度が2N〜6Nの実施形態は、ピット分散性指数
が0.58以上かつピット径変動係数が0.45以下で
あり、この範囲のものは図4からも分かるように、静電
容量が7.0μF/10cm2以上の大きな容量が確保
されている。In the case of the conventional example, the pit dispersibility index is 0.
In contrast to this, in the case of this embodiment in Table 1, the pit dispersibility index is 0.58 or more or the pit diameter variation coefficient is 0.45 or less. In particular, in the embodiment in which the phosphate ion concentration is 2N to 6N, the pit dispersibility index is 0.58 or more and the pit diameter variation coefficient is 0.45 or less, and as shown in FIG. A large capacitance of 7.0 μF / 10 cm 2 or more is ensured.
【0045】これは、りん酸イオン濃度が本範囲内であ
れば、アルミ電極箔の過剰な溶解が起こらないことに加
えて、ピット径、ピット間隔のばらつきが小さいため、
一定の径より小さいピットが少ないためと考えられる。
すなわち、化成後に化成被膜によって、ピットの凹部が
埋まった静電容量に寄与しないピットが少ないためと考
えられる。This is because if the phosphate ion concentration is within the above range, excessive dissolution of the aluminum electrode foil does not occur, and the dispersion of the pit diameter and pit interval is small.
This is probably because there are few pits smaller than a certain diameter.
That is, it is considered that there are few pits which do not contribute to the capacitance in which the concave portions of the pits are filled by the chemical conversion film after the chemical conversion.
【0046】また、本発明の電解コンデンサ用アルミ電
極箔を用いたアルミ電解コンデンサは、アルミ電極箔の
ピット径、ピット間隔の均一性が高められていることに
より、一定の径より小さいすなわち抵抗の大きいピット
が少ないため、ESR成分が小さく周波数特性に優れた
ものとなる。In the aluminum electrolytic capacitor using the aluminum electrode foil for an electrolytic capacitor according to the present invention, the uniformity of the pit diameter and the pit interval of the aluminum electrode foil is improved, so that the aluminum electrode foil has a smaller diameter, that is, a smaller resistance. Since there are few large pits, the ESR component is small and the frequency characteristics are excellent.
【0047】なお、塩素イオン濃度、硫酸イオン濃度は
本実施形態のものに、限定されるものではなく、塩素イ
オン濃度0.5〜2.0N、硫酸イオン濃度5.0〜
7.0N程度の範囲内で設定してもよい。The chlorine ion concentration and the sulfate ion concentration are not limited to those in the present embodiment, but are 0.5 to 2.0 N for the chloride ion concentration and 5.0 to 5.0 for the sulfate ion concentration.
It may be set within a range of about 7.0N.
【0048】[0048]
【実施例】以下、実施例について説明する。以下の実施
例については、前記実施形態と同様に、用いたアルミ箔
は、結晶方位が均一に揃った4Nの高純度箔である。こ
れを塩酸、硫酸、およびりん酸を添加した水溶液に浸漬
し、アルミ箔を正極にして直流電圧を印加した。第1段
階のエッチング終了後、ピット径拡大のための第2段階
のエッチングをおこない、最後に520Vで化成をし
て、アルミ電極箔を完成させた。 (実施例1)本実施例1では、塩素イオン濃度1.0
N、りん酸イオン濃度4.0N、硫酸イオン濃度を5.
0〜7.0Nとした。また、硫酸イオン濃度3.0〜
4.0Nのものを比較例とした。Embodiments will be described below. In the following examples, the aluminum foil used is a 4N high-purity foil having a uniform crystal orientation, similarly to the above embodiment. This was immersed in an aqueous solution to which hydrochloric acid, sulfuric acid and phosphoric acid were added, and a DC voltage was applied using the aluminum foil as a positive electrode. After the completion of the first-stage etching, the second-stage etching for enlarging the pit diameter was performed, and finally, formation was performed at 520 V to complete an aluminum electrode foil. (Example 1) In Example 1, a chlorine ion concentration of 1.0
N, phosphate ion concentration 4.0N, sulfate ion concentration 5.
0 to 7.0N. In addition, the sulfate ion concentration of 3.0 to 3.0
The thing of 4.0N was made into the comparative example.
【0049】各硫酸イオン濃度におけるピット分散性指
数、ピット径変動係数の値を以下の表2に示す。Table 2 below shows the values of the pit dispersibility index and the pit diameter variation coefficient at each sulfate ion concentration.
【0050】[0050]
【表2】 [Table 2]
【0051】表2から分かるように、硫酸イオン濃度が
5.0〜7.0Nのいずれにおいても、ピット分散性指
数は0.58以上で、かつピット径変動係数0.45以
下の良好な結果が得られた。前記実施形態で示した表1
の関係より、このようなピット分散性指数、ピット径変
動係数の値であれば、静電容量についても7.0μF/
10cm2以上の大きな容量であることが予想される。 (実施例2)本実施例2では、硫酸イオン濃度6.0
N、りん酸イオン濃度4.0N、塩素イオン濃度0.5
〜2.0Nとした。各塩素イオン濃度におけるピット分
散性指数、ピット径変動係数の値を以下の表3に示す。As can be seen from Table 2, good results with a pit dispersibility index of 0.58 or more and a pit diameter variation coefficient of 0.45 or less at any of the sulfate ion concentrations of 5.0 to 7.0 N. was gotten. Table 1 shown in the above embodiment
From such a relationship, if the pit dispersity index and the pit diameter variation coefficient are such values, the capacitance is also 7.0 μF /
A large capacity of 10 cm 2 or more is expected. (Embodiment 2) In Embodiment 2, the sulfate ion concentration is 6.0.
N, phosphate ion concentration 4.0N, chloride ion concentration 0.5
2.02.0 N. The values of the pit dispersibility index and the pit diameter variation coefficient at each chlorine ion concentration are shown in Table 3 below.
【0052】[0052]
【表3】 [Table 3]
【0053】表3から分かるように、硫酸イオン濃度が
5.0〜7.0Nのいずれにおいても、ピット分散性指
数は0.58以上で、かつピット径変動係数0.45以
下の良好な結果が得られた。前記実施形態で示した表1
の関係より、このようなピット分散性指数、ピット径変
動係数の値であれば、静電容量についても7.0μF/
10cm2以上の大きな容量であることが予想される。As can be seen from Table 3, good results were obtained in which the pit dispersibility index was 0.58 or more and the pit diameter variation coefficient was 0.45 or less at any of the sulfate ion concentrations of 5.0 to 7.0 N. was gotten. Table 1 shown in the above embodiment
From such a relationship, if the pit dispersity index and the pit diameter variation coefficient are such values, the capacitance is also 7.0 μF /
A large capacity of 10 cm 2 or more is expected.
【0054】[0054]
【発明の効果】以上のように本発明の電解コンデンサ用
アルミ電極箔によれば、ピット径、ピット間隔の均一性
を高めることにより、単位面積当たりの静電容量を高め
ることができる。As described above, according to the aluminum electrode foil for an electrolytic capacitor of the present invention, the capacitance per unit area can be increased by improving the uniformity of the pit diameter and the pit interval.
【0055】また、本発明の電解コンデンサ用アルミ電
極箔を用いたアルミ電解コンデンサは、アルミ電極箔の
ピット径、ピット間隔の均一性が高められていることに
より、ESR成分が小さく周波数特性に優れたものとな
る。Further, the aluminum electrolytic capacitor using the aluminum electrode foil for an electrolytic capacitor of the present invention has a small ESR component and excellent frequency characteristics because the uniformity of the pit diameter and the pit interval of the aluminum electrode foil is enhanced. It will be.
【0056】また、本発明のアルミ電極箔の製造方法に
よれば、電極箔を、塩酸、硫酸、およびりん酸を含む水
溶液中でエッチングすることにより、ピット間隔、ピッ
ト径の均一性を高めたアルミ電極箔を製造することがで
きる。According to the method of manufacturing an aluminum electrode foil of the present invention, the electrode foil is etched in an aqueous solution containing hydrochloric acid, sulfuric acid, and phosphoric acid, thereby improving the uniformity of the pit interval and the pit diameter. Aluminum electrode foil can be manufactured.
【図1】アルミ電極箔のピットが理想的に六方配置して
いることを示す図FIG. 1 is a diagram showing that pits of an aluminum electrode foil are ideally arranged in hexagons.
【図2】図1のA部を拡大した図FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG. 1;
【図3】エッチド箔のピット分布の一部の一例を示す図FIG. 3 is a diagram showing an example of a part of a pit distribution of an etched foil.
【図4】本発明の一実施形態における、りん酸イオン濃
度Pと静電容量Fとの関係を示す図FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a phosphate ion concentration P and a capacitance F in one embodiment of the present invention.
1,2,3,4,5,6 ピット 1,2,3,4,5,6 pit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 義樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 棚橋 正和 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Yoshiki Murakami, Inventor 1006 Kadoma, Kazuma, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (6)
アルミ箔に直流電圧を印加してエッチングを行うことに
より、前記アルミ箔上にピットを形成した電解コンデン
サ用アルミ電極箔であって、理想的にピットが六方配置
したアルミ電極箔、すなわちアルミ電極箔に形成された
ある一つのピットとこれに隣接する6つの各ピットとの
間隔がすべて等しいアルミ電極箔における隣接する2つ
のピットの間隔をLとし、実際のエッチドアルミ電極箔
のある一つのピットとこれに隣接する各ピットとの間隔
のうち最も短いピット間隔を最近接ピット間隔として、
各ピットについて求めた最近接ピット間隔の平均値をL
aとすると、La/Lの値が0.58以上、またはピット
径の変動係数が0.45以下であることを特徴とするア
ルミ電極箔。1. An aluminum electrode foil for an electrolytic capacitor in which pits are formed on the aluminum foil by immersing the aluminum foil in an acidic aqueous solution and applying a DC voltage to the aluminum foil to perform etching. The aluminum electrode foil in which pits are arranged hexagonally, that is, the interval between two adjacent pits in the aluminum electrode foil where the interval between one pit formed on the aluminum electrode foil and each of the six adjacent pits is all equal. L, and the shortest pit interval among the intervals between one pit of the actual etched aluminum electrode foil and each adjacent pit is defined as the closest pit interval.
The average value of the closest pit interval obtained for each pit is L
When a, aluminum electrode foil, wherein the value of L a / L is 0.58 or more, or coefficient of variation of the pit diameter is 0.45 or less.
であって、塩酸、硫酸およびりん酸を含む酸性水溶液中
でエッチングを行うことを特徴とするアルミ電極箔の製
造方法。2. The method for producing an aluminum electrode foil according to claim 1, wherein the etching is performed in an acidic aqueous solution containing hydrochloric acid, sulfuric acid and phosphoric acid.
である請求項2記載のアルミ電極箔の製造方法。3. A phosphate ion concentration of 2.0 to 6.0 N.
The method for producing an aluminum electrode foil according to claim 2, wherein
ある請求項2記載のアルミ電極箔の製造方法。4. The method for producing an aluminum electrode foil according to claim 2, wherein the concentration of sulfate ions is 5.0 to 7.0 N.
ある請求項2記載のアルミ電極箔の製造方法。5. The method for producing an aluminum electrode foil according to claim 2, wherein the concentration of chlorine ions is 0.5 to 2.0 N.
造されたことを特徴とするアルミ電解コンデンサ。6. An aluminum electrolytic capacitor manufactured using the aluminum electrode foil according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8334243A JPH10172868A (en) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Aluminum electrode foil for electrolytic capacitor and method for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8334243A JPH10172868A (en) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Aluminum electrode foil for electrolytic capacitor and method for producing the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10172868A true JPH10172868A (en) | 1998-06-26 |
Family
ID=18275153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8334243A Pending JPH10172868A (en) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | Aluminum electrode foil for electrolytic capacitor and method for producing the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10172868A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101273348B1 (en) * | 2011-12-08 | 2013-06-11 | 삼영전자공업(주) | Electrode for aluminun electrolytic condenser and method thereof |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP8334243A patent/JPH10172868A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101273348B1 (en) * | 2011-12-08 | 2013-06-11 | 삼영전자공업(주) | Electrode for aluminun electrolytic condenser and method thereof |
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