JPH10172878A5 - - Google Patents

Description

また、その照明光学系内にオプティカル・インテグレータ用のリレーレンズや光路折り曲げ用のミラー等が備えられている場合、その照明領域の切り換え時にこれらのリレーレンズやミラー等も切り換えるようにしてもよい。
また、本発明の別の走査型露光装置の調整方法は、照明光（ＩＬ）に対してマスク（Ｒ）と基板（Ｗ）とを同期走査することによりそのマスクのパターンの像を投影光学系（ＰＬ）を介してその基板上に転写する走査型露光装置の調整方法において、走査露光時における第１の照明領域（２２）と異なる第２の照明領域（２３）を設定し、その第２の照明領域のもとで、その投影光学系の結像特性を測定し、この測定結果に基づいてその投影光学系を調整するものである。
本発明によれば、例えばその第２の照明領域としてその第１の照明領域外の領域を含む広い領域を設定すれば、その投影光学系の特に規則的な結像特性（ディストーション、像面湾曲等）を２次元的に正確に把握することができ、それに基づいてその結像特性を所望の状態に高精度に調整できる。
本発明において、その第２の照明領域は、その第１の照明領域外の領域を含むことができる。
また、その投影光学系の結像特性は、その第１の照明領域外における結像特性を含むことができる。
また、その投影光学系の結像特性は、ディストーション又は像面湾曲を含むことができる。

Claims (11)

1. 照明光に対してマスクと基板とを同期走査することにより前記マスクのパターンの像を投影光学系を介して前記基板上に転写する走査型露光装置の調整方法において、
   前記照明光による照明領域を走査露光時と異なるように変更し、
   該照明領域の変更後に、所定のマスクパターンの像を前記投影光学系を介して投影することにより前記投影光学系の結像特性を測定し、
   該測定結果に基づいて前記投影光学系を調整することを特徴とする走査型露光装置の調整方法。
2. 前記走査露光時における照明領域は、前記走査の方向を短辺方向とするスリット状であり、前記投影光学系の結像特性を測定する際の照明領域は前記走査の方向に関して前記スリット状の照明領域の外側を含むように変更されることを特徴とする請求項１に記載の走査型露光装置の調整方法。
3. 前記投影光学系の結像特性を調整した後に、前記照明光による照明領域を走査露光時の照明領域に戻して、前記投影光学系の結像特性を確認することを特徴とする請求項１又は２に記載の走査型露光装置の調整方法。
4. 光源からの照明光に対してマスクと基板とを同期して移動することにより前記マスクのパターンの像を投影光学系を介して前記基板上に転写する走査型露光装置において、
   前記光源からの照明光による照明領域を変更可能な照明光学系と、
   前記投影光学系の結像特性を測定するときと走査露光を行うときとで、前記照明光の照明領域が異なるように前記照明光学系の光学要素を制御する制御系と、
   前記照明光の照明領域が走査露光を行うときとは異なる状態で測定された前記投影光学系の結像特性に応じて前記投影光学系を調整する調整系と、
   を備えたことを特徴とする走査型露光装置。
5. 前記投影光学系を介して投影された所定のマスクパターンの像を検出するセンサと、該センサの検出結果に基づいて前記投影光学系の結像特性を求める演算手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項４に記載の走査型露光装置。
6. 前記照明光学系は、前記照明光の照明領域を規定するための視野絞りを有し、
   前記制御系は、前記投影光学系の結像特性を測定するときと走査露光を行うときとで前記照明光の照明領域が異なるように前記視野絞りを調整することを特徴とする請求項４又は５に記載の走査型露光装置。
7. 前記照明光学系は、前記照明光の照度分布を均一化するためのオプティカル・インテグレータを切り換え可能に複数種類有し、前記投影光学系の結像特性を測定するときと走査露光を行うときとで前記オプティカル・インテグレータの切り換えを行うことを特徴とする請求項４、５、又は６に記載の走査型露光装置。
8. 照明光に対してマスクと基板とを同期走査することにより前記マスクのパターンの像を投影光学系を介して前記基板上に転写する走査型露光装置の調整方法において、
   走査露光時における第１の照明領域と異なる第２の照明領域を設定し、
   前記第２の照明領域のもとで、前記投影光学系の結像特性を測定し、
   該測定結果に基づいて前記投影光学系を調整することを特徴とする走査型露光装置の調整方法。
9. 前記第２の照明領域は、前記第１の照明領域外の領域を含むことを特徴とする請求項８に記載の走査型露光装置の調整方法。
10. 前記投影光学系の結像特性は、前記第１の照明領域外における結像特性を含むことを特徴とする請求項９に記載の走査型露光装置の調整方法。
11. 前記投影光学系の結像特性は、ディストーション又は像面湾曲を含むことを特徴とする請求項８〜１０のいずれか一項に記載の走査型露光装置の調整方法。