JPH1020197A5

JPH1020197A5 -

Info

Publication number: JPH1020197A5
Application number: JP1996188365A
Authority: JP
Filing date: 1996-06-28
Publication date: 2004-10-21

Description

【発明の名称】反射屈折光学系、その調整方法、投影露光装置及び投影露光方法

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は第１面に配置した物体上のパターンを、中間像を介して第２面に配置した物体上に投影露光するための反射屈折光学系、該反射屈折光学系の調整方法、該反射屈折光学系を用いた投影露光装置及び該反射屈折光学系を用いた投影露光方法に関するものである。

Claims

第１面からの光束が往路のみ透過する往路光学系と、凹面鏡と該凹面鏡への入射光と反射光との双方が透過するレンズ群とからなる往復光学系とによって第１結像光学系を形成し、該第１結像光学系によって前記第１面の中間像を形成し、該中間像の近傍に前記第１結像光学系からの光束を第２結像光学系へ導くように第１のミラーを配置し、前記第２結像光学系によって前記中間像の再結像を第２面上に形成した反射屈折光学系において、
前記往路光学系内の少なくとも１枚のレンズを、光軸に沿って移動可能に、又は光軸と直交する方向に移動可能に、若しくは光軸と直交する軸を中心として回転可能に配置したことを特徴とする反射屈折光学系。
第１面からの光束が往路のみ透過する往路光学系と、凹面鏡と該凹面鏡への入射光と反射光との双方が透過するレンズ群とからなる往復光学系とによって第１結像光学系を形成し、該第１結像光学系によって前記第１面の中間像を形成し、該中間像の近傍に前記第１結像光学系からの光束を第２結像光学系へ導くように第１のミラーを配置し、前記第２結像光学系によって前記中間像の再結像を第２面上に形成した反射屈折光学系の調整方法であって、
前記往路光学系内の少なくとも１枚のレンズを、光軸に沿って移動可能に、又は光軸と直交する方向に移動可能に、若しくは光軸と直交する軸を中心として回転可能に配置し、
前記第１面にテストパターンを配置し、前記第２面に投影されるテストパターン上の一部分の結像位置を検出する位置検出手段を設け、
該位置検出手段を移動して前記テストパターン上の複数部分の結像位置を検出し、これら複数部分の結像位置に基づいて前記少なくとも１枚のレンズを移動することを特徴とする反射屈折光学系の調整方法。
第１面に配置される第１物体上のパターンを第２面に配置される第２物体上に投影する反射屈折光学系において、
凹面鏡を含み前記第１面の中間像を形成する第１結像光学系と、
前記中間像の像を前記第２面上に再結像する第２結像光学系と、
前記第１及び第２結像光学系の間に配置された第１のミラーとを備え、
前記第１結像光学系は、前記第１面と前記凹面鏡との間の光路中に配置されて前記第１面からの光路が往路のみ透過する往路光学系と、前記往路光学系と前記凹面鏡との間の光路中に配置されて前記凹面鏡への入射光と反射光との双方が透過する往復光学系とを備え、
前記往路光学系内の少なくとも１つのレンズは、光軸に沿って移動可能、前記光軸と直交する方向に移動可能、又は前記光軸と直交する軸を中心として回転可能であることを特徴とする反射屈折光学系。
前記第１のミラーは、前記第１結像光学系からの光束を前記第２結像光学系へ導くように配置されることを特徴とする請求項３記載の反射屈折光学系。
第１面に配置される第１物体上のパターンの中間像を形成し、該中間像の像を第２面に配置される第２物体上に投影する反射屈折光学系において、
凹面鏡と、
前記第１面からの光束が往路のみ透過する往路光学系と、
前記凹面鏡への入射光と反射光との双方が透過する往復光学系とを備え、
前記往復光学系内の少なくとも１つのレンズは、光軸に沿って移動可能、前記光軸と直交する方向に移動可能、又は前記光軸と直交する軸を中心として回転可能であることを特徴とする反射屈折光学系。
第１面に配置される第１物体上のパターン中間像を形成し、該中間像の像を第２面に配置される第２物体上に投影する反射屈折光学系の調整方法であって、
前記反射屈折光学系は、凹面鏡と、前記第１面からの光束が往路のみ通過する往路光学系と、前記凹面鏡への入射光と反射光との双方が透過する往復光学系とを備え、
前記往復光学系内の少なくとも１つのレンズは、光軸に沿って移動可能、前記光軸と直交する方向に移動可能、又は前記光軸と直交する軸を中心として回転可能であって、
前記反射屈折光学系を介した前記第１面からの光に基づいて、前記少なくとも１つのレンズを移動させて、前記反射屈折光学系の収差を補正することを特徴とする反射屈折光学系の調整方法。
前記反射屈折光学系により前記第２面上に形成された前記第１面の像の検出結果に基づいて前記反射屈折光学系の収差を補正することを特徴とする請求項６記載の反射屈折光学系の調整方法。
第１面に配置される第１物体上のパターンを第２面に配置される第２物体上に投影する投影露光装置において、
前記第１物体上の前記パターンの像を前記第２物体上に投影するために、請求項１、３〜５の何れか一項記載の反射屈折光学系、または請求項２、６、７の何れか一項記載の調整方法により調整された反射屈折光学系を備えることを特徴とする投影露光装置。
第１面に配置される第１物体上のパターンを第２面に配置される第２物体上に投影する投影露光方法において、
請求項１、３〜５の何れか一項記載の反射屈折光学系、または請求項２、６、７の何れか一項記載の調整方法により調整された反射屈折光学系を用いて、前記第１物体上の前記パターンの像を前記第２物体上に投影する工程を含むことを特徴とする投影露光方法。