JPH10176925A - 傾斜検出装置 - Google Patents
傾斜検出装置Info
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- JPH10176925A JPH10176925A JP36834497A JP36834497A JPH10176925A JP H10176925 A JPH10176925 A JP H10176925A JP 36834497 A JP36834497 A JP 36834497A JP 36834497 A JP36834497 A JP 36834497A JP H10176925 A JPH10176925 A JP H10176925A
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Abstract
の傾斜検出装置を提供すること。 【解決手段】 ケーシング1の側面にコイル部2が設け
られており、該ケーシング1の内部において移動自在に
収納された磁気応答部材3が、該ケーシング1の傾斜時
において自重により該ケーシング1に対して相対的に変
位する。これによって、該ケーシング1の側面に対する
磁気応答部材3の位置、つまりコイル部2に対する磁気
応答部材3の相対的位置、が変位し、これに応じた出力
信号をコイル部2より得ることができる。検出対象の傾
斜に伴ってケーシングが傾斜するので、コイル部の出力
信号は、該検出対象の傾斜θを示している。
Description
し、建設機械、自動車、工作機械、その他あらゆる分野
で応用可能なものである。
タを用いたものがある。しかし、ポテンショメータにお
いて摺動接触子があるために耐久性の点で難があった。
また、従来知られた誘導型位置検出装置には、直線位置
検出装置としては差動トランスがあり、回転位置検出装
置としてはレゾルバがある。差動トランスは、1つの1
次巻線を1相で励磁し、差動接続された2つの2次巻線
の各配置位置において検出対象位置に連動する鉄心コア
の直線位置に応じて差動的に変化するリラクタンスを生
ぜしめ、その結果として得られる1相の誘導出力交流信
号の電圧振幅レベルが鉄心コアの直線位置を示すように
したものである。レゾルバは、複数の1次巻線を1相で
励磁し、サイン相取り出し用の2次巻線からサイン相の
振幅関数特性を示す出力交流信号を取り出し、コサイン
相取り出し用の2次巻線からコサイン相の振幅関数特性
を示す出力交流信号を取り出すようにしたものである。
この2相のレゾルバ出力は公知のR/Dコンバータとい
われる変換回路を用いて処理し、検出した回転位置に対
応する位相値をディジタル的に測定することができる。
また、サイン相とコサイン相のような複数相の交流信号
によって複数の1次巻線を夫々励磁し、検出対象直線位
置又は回転位置に応じて該交流信号を電気的に位相シフ
トした出力交流信号を出力し、この出力交流信号の電気
的位相シフト量を測定することにより、検出対象直線位
置又は回転位置をディジタル的に測定する技術も知られ
ている(例えば、特開昭49−107758号、特開昭
53−106065号、特開昭55−13891号、実
公平1−25286号など)。
として従来知られたポテンショメータは、前述の通り、
摺動接触子があるために耐久性の点で難があった。ま
た、劣悪な環境で使用するには適していないものであっ
た。また、従来知られた誘導型位置検出装置は、回転位
置または直線位置を検出するものであり、傾斜を検出す
ることのできるような構造を持っていなかった。一般
に、誘導型位置検出装置は、構造的に非接触であり、ま
た、コイルと磁性体(鉄片等)の簡単な構成により、簡
便かつ安価に製造することができ、かつ劣悪な環境下で
の使用にも耐えうるので、これを傾斜検出装置に適用で
きれば、広い応用・用途が見込まれる。本発明は上述の
点に鑑みてなされたもので、従来なかった新規な誘導型
の傾斜検出装置を提供しようとするものである。
置は、検出対象に取り付けられ、該検出対象の傾斜に伴
って傾斜するケーシングと、このケーシングの側面に設
けられ、該ケーシングと共に動くコイル部と、前記ケー
シングの内部において移動自在に収納され、該ケーシン
グの傾斜時において自重により該ケーシングに対して相
対的に変位する磁気応答部材とを具え、該検出対象の傾
斜に応じて前記ケーシングの側面に対する前記磁気応答
部材の位置が変位し、これに応じた出力信号を前記コイ
ル部より得ることにより該検出対象の傾斜を検出するこ
とを特徴とするものである。本発明によれば、ケーシン
グの側面にコイル部が設けられており、該ケーシングの
内部において移動自在に収納された磁気応答部材が、該
ケーシングの傾斜時において自重により該ケーシングに
対して相対的に変位する。これによって、該ケーシング
の側面に対する磁気応答部材の位置、つまりコイル部に
対する磁気応答部材の相対的位置、が変位し、これに応
じた出力信号をコイル部より得ることができる。検出対
象の傾斜に伴ってケーシングが傾斜するので、コイル部
の出力信号は、該検出対象の傾斜量を示している。
形または凹曲線を成していて、そこに沿って磁気応答部
材が動くようにする。これにより、検出対象の傾きに応
じた磁気応答部材の滑らかな動きを得るようにすること
ができる。また、コイル部は磁気応答部材の動きの方向
に沿って複数のコイルを設けてなるようにしてよい。ま
た、コイル部は、1相の交流信号によって励磁され、前
記磁気応答部材の相対的位置に応じて、サイン相の振幅
関数特性を示す出力交流信号と、コサイン相の振幅関数
特性を示す出力交流信号との2相の出力交流信号を出力
するように、レゾルバ型位置検出原理によって構成する
ようにしたものであってよい。その場合、更に、サイン
相の振幅関数特性を示す出力交流信号とコサイン相の振
幅関数特性を示す出力交流信号とに基づき、該サイン相
の振幅関数及びコサイン相の振幅関数の位相値を検出
し、前記磁気応答部材の相対的位置に応じた位相値検出
データを得る位相検出回路を更に備えるようにすれば、
周辺環境の温度変化等の影響を受けにくい、精度のよい
装置を提供することができる。
形状を成したものとするとよい。そうすれば、検出対象
の傾斜に応じてケーシング内を滑らかに転動するように
なり、検出精度の向上に役立つ。この場合、磁気応答部
材の円形状は真円に限らず、半円のような部分円形状で
あってもよい。また、磁気応答部材は固形のものに限ら
ず、非固定形状の物体からなるものであってもよい。例
えば、磁性流体や磁性粉体などを使用することができ
る。以上のような傾斜検出装置は一方向のみについての
傾斜を検出する。例えば、建設機械の作業アームの傾斜
検出のように、目的の傾斜方向が所定の一方向に決まっ
ている場合は、この傾斜検出装置を1つ設ければよい。
しかし、車体の前後の傾斜と左右横方向の傾斜を検出す
る場合のように、少なくとも2方向についての傾斜を検
出したい場合は、この傾斜検出装置を少なくとも2個互
いに異なる所定の方向に配置するようにすればよい。本
発明によれば、更に様々な実施の形態をとることがで
き、その詳細は、例示的に以下において示される。
の実施の形態をいくつかの代表例について説明する。図
示された各例は、相互に組み合わせることも可能であ
り、それらの組合せも本発明の実施に含まれる。図1は
本発明に係る傾斜検出装置10の基本的構成例を示す図
であり、(a)は正面略図、(b)は側面一部断面略図
である。図1(a)において、ケーシング1は、その内
部に円形の収納スペース1aを有し、該スペース1a内
に磁気応答部材3が移動自在に収納されている。磁気応
答部材3は、例えば図1(c)に斜視図で示すように、
円板形状をした例えば鉄のような磁性体からなるもので
ある。ケーシング1の側面には、1又は複数のコイル2
1〜24を含むコイル部2が所定の配置で設けられてい
る。レゾルバ原理でコイル部2を構成する場合、ケーシ
ング1の円形スペース1aの中心を中心とする適宜の円
周に沿って4つの極(s,c,/s,/c)を等角度間
隔(つまり90度間隔)で形成するように4つの2次コ
イル21〜24を配置し、これに対応して1次コイル1
1〜14を夫々設ける。なお、各コイルの巻軸方向(磁
束の方向)は、図1(a)において紙面に垂直な方向で
あり、(b)においては紙面に平行な方向である。
の各極(s,c,/s,/c)に対応する2次コイル2
1〜24に生じる誘導出力交流信号の振幅関数が、サイ
ン関数(図でsを付記する)、コサイン関数(図でcを
付記する)、マイナス・サイン関数(図で/s(sバ
ー)を付記する)、マイナス・コサイン関数(図で/c
(cバー)を付記する)、にそれぞれ相当するものとな
るように、各2次コイル21〜24の配置及び磁気応答
部材3(すなわち円板)のサイズを、設定する。種々の
条件によって、各コイルの配置は微妙に変わり得るし、
磁気応答部材3のサイズも変わりうるので、希望の関数
特性が得られるように各コイル配置を適宜調整したり、
あるいは2次出力レベルを電気的増幅によって調整する
ことにより、希望の振幅関数特性が最終的に得られるよ
うにすることができる。従って、各2次コイル21〜2
4の配置と磁気応答部材3のサイズは重要ではあるが、
絶対的精度を要求されるわけではなく、設計上適宜に設
定若しくは変更できる。なお、明細書中では、表記の都
合上、反転を示すバー記号は「/(スラッシュ)」で記
載するが、これは、図中のバー記号に対応している。
(s,c,/s,/c)に対応する2次コイル21〜2
4に対する近接位置関係に応じて、該2次コイルと対応
する1次コイルとの間の磁気結合(すなわち電磁誘導結
合)を変化させるものであり、その近接位置関係に応じ
た出力信号がコイル部2から出力されるようにするもの
である。円板からなる磁気応答部材3の直径は、各極コ
イルの配置間隔と同様に、レゾルバタイプの位置検出原
理に従って適切に設計される。図1(a)の例は一例に
すぎず、直径寸法の適量の減少又は増加が設計上可能で
ある。
出対象20における所定の位置に固定される。すなわ
ち、ケーシング1の円形スペース1aの径方向が、検出
しようとする傾斜の向きに沿うように、該傾斜検出装置
10を検出対象20に取付ける。例えば、図1(a)の
ように、検出対象20の傾斜角θが0のとき、コサイン
極cが真下に位置するように取付ける。図2に示すよう
に、検出対象20が適宜の角度θで傾斜すると、ケーシ
ング1がそれに伴って傾斜し、その内部の磁気応答部材
3は自重によってケーシング1に対して相対的に変位
し、その結果、コイル部2の各極に対する磁気応答部材
3の相対的位置が変化し、これに応じてコイル部2の出
力信号が該傾斜角θに対応する値を示すものとなる。
材3の各2次コイル21〜24に対する対応位置が変化
することにより、各極の1次コイル11〜14と2次コ
イル21〜24間の磁気結合が該傾斜角θに応じて変化
され、これにより、該傾斜角θに応じて振幅変調された
誘導出力交流信号が、各2次コイル21〜24の配置の
ずれに応じて異なる振幅関数特性で、各2次コイル21
〜24に誘起される。レゾルバ原理に従う検出を行なう
場合、各1次コイル11〜14は同相の交流信号で励磁
する。各2次コイル21〜24に誘起される各誘導出力
交流信号は、1次コイル11〜14が1相の交流信号に
よって共通に励磁されるが故に、その電気的位相が同相
であり、その振幅関数が磁気応答部材3の各2次コイル
21〜24に対する接近または遠ざかりに従ってそれぞ
れ変化する。
の回路図であり、1次コイル11〜14には共通の励磁
交流信号(説明の便宜上、sinωtで示す)が印加され
る。この1次コイルの励磁に応じて、傾斜角θに対応し
て変化する各極に対する磁気応答部材3の相対的位置に
応じた振幅値を持つ交流信号が各2次コイル21〜24
に誘導される。夫々の誘導電圧レベルは該傾斜角θに対
応して2相の関数特性sinθ,cosθ及びその逆相の関数
特性−sinθ,−cosθを示す。すなわち、各2次コイル
21〜24の誘導出力信号は、該傾斜角θに対応して2
相の関数特性sinθ,cosθ及びその逆相の関数特性−si
nθ,−cosθで振幅変調された状態で夫々出力される。
説明の便宜上、コイルの巻数等、その他の条件に従う係
数は省略し、2次コイル21をサイン相として、その出
力信号を「sinθ・sinωt」で示し、2次コイル22を
コサイン相として、その出力信号を「cosθ・sinωt」
で示す。また、2次コイル23をマイナス・サイン相と
して、その出力信号を「−sinθ・sinωt」で示し、2
次コイル24をマイナス・コサイン相として、その出力
信号を「−cosθ・sinωt」で示す。サイン相とマイナ
ス・サイン相の誘導出力を差動的に合成することにより
サイン関数の振幅関数を持つ第1の出力交流信号A(=
2sinθ・sinωt)が得られる。また、コサイン相とマ
イナス・コサイン相の誘導出力を差動的に合成すること
によりコサイン関数の振幅関数を持つ第2の出力交流信
号B(=2cosθ・sinωt)が得られる。なお、表現の
簡略化のために、係数「2」を省略して、以下では、第
1の出力交流信号Aを「sinθ・sinωt」で表わし、第
2の出力交流信号Bを「cosθ・sinωt」で表わす。
値sinθを振幅値として持つ第1の出力交流信号A=sin
θ・sinωtと、同じ傾斜角θに対応する第2の関数値co
sθを振幅値として持つ第2の出力交流信号B=cosθ・s
inωtとが出力される。このようなコイル構成によれ
ば、回転型位置検出装置として従来知られたレゾルバに
おいて得られるのと同様の、同相交流であって2相の振
幅関数を持つ2つの出力交流信号A,B(サイン出力と
コサイン出力)をコイル部2から得ることができること
が理解できる。このコイル部2から出力される2相の出
力交流信号(A=sinθ・sinωtとB=cosθ・sinωt)
は、従来知られたレゾルバの出力と同様の使い方をする
ことができる。例えば、図3に示すように、コイル部2
の出力交流信号A,Bを適切なディジタル位相検出回路
40に入力し、前記サイン関数sinθとコサイン関数cos
θの位相値θをディジタル位相検出方式によって検出
し、傾斜角θのディジタルデータDθを得るようにする
ことができる。ディジタル位相検出回路40で採用する
ディジタル位相検出方式としては、公知のR−D(レゾ
ルバ−ディジタル)コンバータを適用してもよいし、本
発明者らによって開発済の新方式を採用してもよい。
円又はその他の部分円形状であってもよい。また、磁気
応答部材3は固形のものに限らず、例えば磁性流体や磁
性粉体のような非固定形状の物体からなるものであって
もよい。図4は磁気応答部材3のいくつかの変更例を示
すもので、(a)は部分円形状の固形の磁気応答部材3
aを示す。(b)は適量の磁性流体3bを磁気応答部材
3として使用する例を示す。(c)は適量の磁性粉体3
cを磁気応答部材3として使用する例を示す。なお、磁
性粉体3cは、微粉体に限らず、砂鉄のような粒体であ
ってもよい。また、特に図示しないが、利用目的によっ
ては、図1のような固形の磁気応答部材3を使用する場
合にケーシング1のスペース1a内に非磁性の粘性流体
を封入し、傾斜に応じた磁気応答部材3の動きに対して
適量のダンプ作用を及ぼすようにしてもよい。
置は、該1次コイルによって励起した磁界を対応する各
2次コイルに及ぼすことができるような配置であれば適
宜の配置であってよい。上記のように個々の2次コイル
21〜24に対応して同じ位置に重複して個別の1次コ
イル11〜14をそれぞれ設ける例に限らず、図5に示
すように、ケーシング1内の円形スペース1aの最外周
に沿ってすべての2次コイル21〜24を包囲するよう
に1個の1次コイル15を設けてもよい。あるいは、い
くつかのグループに分けて複数の2次コイルを包囲する
ように複数の1次コイルを設けてもよい。
するためのスペースの形状も、上記実施例のような円形
スペース1aに限らず、傾斜検出の目的を果たし得るも
のであれば、どのような形状であってもよい。例えば、
ケーシング1内スペースの縁部が凹曲線を成していて、
そこに沿って磁気応答部材3が動くようになっていれば
よい。図6は、ケーシング1内の、磁気応答部材3を収
納するためのスペース1bを、ドーナツ形状にした例を
示し、(a)は正面略図、(b)は側面略図である。こ
のような場合、磁気応答部材3の形態は、図4に示した
ような部分円形状あるいは流体又は粉体がよい。この場
合も、1次コイルの配置は図5のような変形やその他の
変形が可能である。また、上記各実施例において、コイ
ル部2における2次コイルの数及び配置も様々な変形や
設計変更が可能である。
みについての傾斜を検出するものである。すなわち、ケ
ーシング1のスペース1a,1b内での磁気応答部材3
の動きの方向に沿う一方向の傾斜を検出することができ
る。例えば、建設機械の作業アームの傾斜検出のよう
に、目的の傾斜方向が所定の一方向に決まっている場合
は、この傾斜検出装置10を1つ設ければよい。しか
し、車体の前後の傾斜と左右横方向の傾斜を検出するよ
うな場合のように、少なくとも2方向についての傾斜を
検出したい場合は、この傾斜検出装置10を少なくとも
2個互いに異なる所定の方向に配置するようにすればよ
い。例えば、図7は、その一例を略示するものであり、
互いに90度の角度で交差するように2つの傾斜検出装
置10X,10Yを検出対象20に配置する。各傾斜検
出装置10X,10Yは、上述した傾斜検出装置10と
同一構成である。これによって、検出対象20のX軸方
向の傾斜(傾斜成分)を傾斜検出装置10Xで検出する
ことができ、検出対象20のY軸方向の傾斜(傾斜成
分)を傾斜検出装置10Yで検出することができる。
て、公知のR−D(レゾルバ−ディジタル)コンバータ
を適用した例を示す。コイル部2の2次コイル21〜2
4から出力されるレゾルバタイプの2相の出力交流信号
A=sinθ・sinωtとB=cosθ・sinωtが、それぞれア
ナログ乗算器30,31に入力される。順次位相発生回
路32では位相角φのディジタルデータを発生し、サイ
ン・コサイン発生回路33から該位相角φに対応するサ
イン値sinφとコサイン値cosφのアナログ信号を発生す
る。乗算器30では、サイン相の出力交流信号A=sin
θ・sinωtに対してサイン・コサイン発生回路33から
のコサイン値cosφを乗算し、「cosφ・sinθ・sinωt」
を得る。もう一方の乗算器31では、コサイン相の出力
交流信号B=cosθ・sinωtに対してサイン・コサイン
発生回路33からのサイン値sinφを乗算し、「sinφ・c
osθ・sinωt」を得る。引算器34で、両乗算器30,
31の出力信号の差を求め、この引算器34の出力によ
って順次位相発生回路32の位相発生動作を次のように
制御する。すなわち、順次位相発生回路32の発生位相
角φを最初は0にリセットし、以後順次増加していき、
引算器34の出力が0になったとき増加を停止する。引
算器34の出力が0になるのは、「cosφ・sinθ・sinω
t」=「sinφ・cosθ・sinωt」が成立したときであ
り、すなわち、φ=θが成立し、順次位相発生回路32
から位相角φのディジタルデータが出力交流信号A,B
の振幅関数の位相角θのディジタル値に一致している。
従って、任意のタイミングで周期的にリセットトリガを
与えて順次位相発生回路32の発生位相角φを0にリセ
ットして、該位相角φのインクリメントを開始し、引算
器34の出力が0になったとき、該インクリメントを停
止し、位相角θのディジタルデータを得る。なお、順次
位相発生回路32をアップダウンカウンタ及びVCOを
含んで構成し、引算器34の出力によってVCOを駆動
してアップダウンカウンタのアップ/ダウンカウント動
作を制御するようにすることが知られており、その場合
は、周期的なリセットトリガは不要である。
2次コイルのインピーダンスが変化することにより2次
出力交流信号における電気的交流位相ωtに誤差が生じ
るが、上記のような位相検出回路においては、sinωt
の位相誤差は自動的に相殺されるので、好都合である。
これに対して、従来知られた2相交流信号(例えばsin
ωtとcosωt)で励磁することにより1相の出力交流
信号に電気的位相シフトが生じるようにした方式では、
そのような温度変化等に基づく出力位相誤差を除去する
ことができない。ところで、上記のような従来のR−D
コンバータからなる位相検出回路は、追従比較方式であ
るため、φを追従カウントするときのクロック遅れが生
じ、応答性が悪い、という問題がある。そこで、本発明
者等は、以下に述べるような新規な位相検出回路を開発
したので、これを使用すると好都合である。
される新規なディジタル位相検出回路40の一実施形態
を示している。図9において、検出回路部41では、カ
ウンタ42で所定の高速クロックパルスCKをカウント
し、そのカウント値に基づき励磁信号発生回路43から
励磁用の交流信号(例えばsinωt)を発生し、コイ
ル部2の1次コイル11〜14与える。カウンタ42の
モジュロ数は、励磁用の交流信号の1周期に対応してお
り、説明の便宜上、そのカウント値の0は、基準のサイ
ン信号sinωtの0位相に対応しているものとする。コ
イル部2の2次コイル21〜24から出力される2相の
出力交流信号A=sinθ・sinωtとB=cosθ・sinωt
は、検出回路部41に入力される。
信号A=sinθ・sinωtが位相シフト回路44に入力さ
れ、その電気的位相が所定量位相シフトされ、例えば9
0度進められて、位相シフトされた交流信号A’=sin
θ・cosωtが得られる。また、検出回路部41において
は加算回路45と減算回路46とが設けられており、加
算回路45では、位相シフト回路44から出力される上
記位相シフトされた交流信号A’=sinθ・cosωtとコ
イル部10の2次コイル21〜24から出力され第2の
交流出力信号B=cosθ・sinωtとが加算され、その加
算出力として、B+A’=cosθ・sinωt+sinθ・cosω
t=sin(ωt+θ)なる略式で表わせる第1の電気的
交流信号Y1が得られる。減算回路46では、上記位相
シフトされた交流信号A’=sinθ・cosωtと上記第2
の交流出力信号B=cosθ・sinωtとが減算され、その
減算出力として、B−A’=cosθ・sinωt−sinθ・cos
ωt=sin(ωt−θ)なる略式で表わせる第2の電気
的交流信号Y2が得られる。このようにして、検出対象
傾斜角θに対応して正方向にシフトされた電気的位相角
(+θ)を持つ第1の電気的交流信号Y1=sin(ωt
+θ)と、同じ前記検出対象位置(x)に対応して負方
向にシフトされた電気的位相角(−θ)を持つ第2の電
気的交流信号Y2=sin(ωt−θ)とが、電気的処理
によって夫々得られる。
Y1,Y2は、夫々ゼロクロス検出回路47,48に入
力され、それぞれのゼロクロスが検出される。ゼロクロ
スの検出の仕方としては、例えば、各信号Y1,Y2の
振幅値が負から正に変化するゼロクロスつまり0位相を
検出する。各回路47,48で検出したゼロクロス検出
パルスつまり0位相検出パルスは、ラッチパルスLP
1,LP2として、ラッチ回路49,50に入力され
る。ラッチ回路49,50では、カウンタ42のカウン
ト値を夫々のラッチパルスLP1,LP2のタイミング
でラッチする。前述のように、カウンタ42のモジュロ
数は励磁用の交流信号の1周期に対応しており、そのカ
ウント値の0は基準のサイン信号sinωtの0位相に対
応しているものとしたので、各ラッチ回路49,50に
ラッチしたデータD1,D2は、それぞれ、基準のサイ
ン信号sinωtに対する各出力信号Y1,Y2の位相ず
れに対応している。各ラッチ回路49,50の出力は誤
差計算回路51に入力されて、「(D1+D2)/2」
の計算が行なわれる。なお、この計算は、実際は、「D
1+D2」のバイナリデータの加算結果を1ビット下位
にシフトすることで行われるようになっていてよい。
配線ケーブル長の長短による影響や、コイル部2の各1
次及び2次コイルにおいて温度変化等によるインピーダ
ンス変化が生じていることを考慮して、その出力信号の
位相変動誤差を「±d」で示すと、検出回路部41にお
ける上記各信号は次のように表わされる。 A=sinθ・sin(ωt±d) A’=sinθ・cos(ωt±d) B=cosθ・sin(ωt±d) Y1=sin(ωt±d+θ) Y2=sin(ωt±d−θ) D1=±d+θ D2=±d−θ
2は、基準のサイン信号sinωtを基準位相に使用して
位相ずれカウントを行なうので、上記のように位相変動
誤差「±d」を含む値が得られてしまう。そこで、誤差
計算回路51において、「(D1+D2)/2」の計算
を行なうことにより、 (D1+D2)/2={(±d+θ)+(±d−θ)}/2 = ±2d/2 = ±d により、位相変動誤差「±d」を算出することができ
る。
差「±d」のデータは、減算回路52に与えられ、一方
の位相ずれ測定データD1から減算される。すなわち、
減算回路52では、「D1−(±d)」の減算が行なわ
れるので、 D1−(±d)=±d+θ−(±d)=θ となり、位相変動誤差「±d」を除去した正しい検出位
相差θを示すディジタルデータが得られる。このよう
に、本発明によれば、位相変動誤差「±d」が相殺され
て、検出対象傾斜角θに対応する正しい位相差θのみが
抽出されることが理解できる。
10においては、位相測定の基準となるサイン信号sin
ωtと前記第1及び第2の交流信号Y1,Y2の0位相
付近の波形を示しており、同図(a)は位相変動誤差が
プラス(+d)の場合、(b)はマイナスの場合(−
d)を示す。同図(a)の場合、基準のサイン信号sin
ωtの0位相に対して第1の信号Y1の0位相は「θ+
d」だけ進んでおり、これに対応する位相差検出データ
D1は「θ+d」に相当する位相差を示す。また、基準
のサイン信号sinωtの0位相に対して第2の信号Y2
の0位相は「−θ+d」だけ遅れており、これに対応す
る位相差検出データD2は「−θ+d」に相当する位相
差を示す。この場合、誤差計算回路51では、 (D1+D2)/2={(+d+θ)+(+d−θ)}/2 = +2d/2 = +d により、位相変動誤差「+d」を算出する。そして、減
算回路52により、 D1−(+d)=+d+θ−(+d)=θ が計算され、正しい位相差θが抽出される。
nωtの0位相に対して第1の信号Y1の0位相は「θ
−d」だけ進んでおり、これに対応する位相差検出デー
タD1は「θ−d」に相当する位相差を示す。また、基
準のサイン信号sinωtの0位相に対して第2の信号Y
2の0位相は「−θ−d」だけ遅れており、これに対応
する位相差検出データD2は「−θ−d」に相当する位
相差を示す。この場合、誤差計算回路51では、 (D1+D2)/2={(−d+θ)+(−d−θ)}/2 = −2d/2 = −d により、位相変動誤差「−d」を算出する。そして、減
算回路52により、 D1−(−d)=−d+θ−(−d)=θ が計算され、正しい位相差θが抽出される。なお、減算
回路52では。「D2−(±d)」の減算を行なうよう
にしてもよく、原理的には上記と同様に正しい位相差θ
を反映するデータ(−θ)が得られることが理解できる
であろう。
1の信号Y1と第2の信号Y2との間の電気的位相差は
2θであり、常に、両者における位相変動誤差「±d」
を相殺した正確な位相差θの2倍値を示していることに
なる。従って、図9におけるラッチ回路49,50及び
誤差計算回路51及び減算回路52等を含む回路部分の
構成を、信号Y1,Y2の電気的位相差2θをダイレク
トに求めるための構成に適宜変更するようにしてもよ
い。例えば、ゼロクロス検出回路47から出力される第
1の信号Y1の0位相に対応するパルスLP1の発生時
点から、ゼロクロス検出回路48から出力される第2の
信号Y2の0位相に対応するパルスLP2の発生時点ま
での間を適宜の手段でゲートし、このゲート期間をカウ
ントすることにより、位相変動誤差「±d」を相殺し
た、電気的位相差(2θ)に対応するディジタルデータ
を得ることができ、これを1ビット下位にシフトすれ
ば、θに対応するデータが得られる。
するためのラッチ回路49と、−θをラッチするための
ラッチ回路50とでは、同じカウンタ42の出力をラッ
チするようにしており、ラッチしたデータの正負符号に
ついては特に言及していない。しかし、データの正負符
号については、本発明の趣旨に沿うように、適宜の設計
的処理を施せばよい。例えば、カウンタ42のモジュロ
数が4096(10進数表示)であるとすると、そのデ
ィジタルカウント0〜4095を0度〜360度の位相
角度に対応させて適宜に演算処理を行なうようにすれば
よい。最も単純な設計例は、カウンタ42のカウント出
力の最上位ビットを符号ビットとし、ディジタルカウン
ト0〜2047を+0度〜+180度に対応させ、ディ
ジタルカウント2048〜4095を−180度〜−0
度に対応させて、演算処理を行なうようにしてもよい。
あるいは、別の例として、ラッチ回路50の入力データ
又は出力データを2の補数に変換することにより、ディ
ジタルカウント4095〜0を−360度〜−0度の負
の角度データ表現に対応させるようにしてもよい。
に問題ないのであるが、検出対象傾斜角θが時間的に変
化するときは、それに対応する位相角θも時間的に変動
することになる。その場合、加算回路45及び減算回路
46の各出力信号Y1,Y2の位相ずれ量θが一定値で
はなく、移動速度に対応して時間的に変化する動特性を
示すものとなり、これをθ(t)で示すと、各出力信号Y
1,Y2は、 Y1=sin{ωt±d+θ(t)} Y2=sin{ωt±d−θ(t)} となる。すなわち、基準信号sinωtの周波数に対し
て、進相の出力信号Y1は+θ(t)に応じて周波数が高
くなる方向に周波数遷移し、遅相の出力信号Y2は−θ
(t)に応じて周波数が低くなる方向に周波数遷移する。
このような動特性の下においては、基準信号sinωtの
1周期毎に各信号Y1,Y2の周期が互いに逆方向に次
々に遷移していくので、各ラッチ回路49,50におけ
る各ラッチデータD1,D2の計測時間基準が異なって
くることになり、両データD1,D2を単純に回路5
1,52で演算するだけでは、正確な位相変動誤差「±
d」を得ることができない。
な方法は、図9の構成において、傾斜角θが時間的に動
いているときの出力を無視し、静止状態のときの出力の
みを用いて、静止状態が得られた時の傾斜角θを測定す
るように装置の機能を限定することである。すなわち、
そのような限定された目的のために本発明を実施するよ
うにしてもよいものである。しかし、検出対象傾斜角θ
が時間的に変化している最中であっても時々刻々の該検
出対象傾斜角θに対応する位相差θを正確に検出できる
ようにすることが望ましい。そこで、上記のような問題
点を解決するために、検出対象傾斜角θが時間的に変化
している最中であっても時々刻々の該検出対象傾斜角θ
に対応する位相差θを検出できるようにした改善策につ
いて図11を参照して説明する。
誤差計算回路51と減算回路52の部分の変更例を抽出
して示しており、他の図示していない部分の構成は図9
と同様であってよい。検出対象傾斜角θが時間的に変化
している場合における該傾斜角θに対応する位相差θ
を、+θ(t)および−θ(t)で表わすと、各出力信
号Y1,Y2は前記のように表わせる。そして、夫々に
対応してラッチ回路49,50で得られる位相ずれ測定
値データD1,D2は、 D1=±d+θ(t) D2=±d−θ(t) となる。この場合、±d+θ(t) は、θの時間的変化に
応じて、プラス方向に0度から360度の範囲で繰り返
し時間的に変化してゆく。また、±d−θ(t) は、θの
時間的変化に応じて、マイナス方向に360度から0度
の範囲で繰り返し時間的に変化してゆく。従って、±d
+θ(t) ≠ ±d−θ(t) のときもあるが、両者の変化
が交差するときもあり、そのときは±d+θ(t) = ±
d−θ(t) が成立する。このように、±d+θ(t) =
±d−θ(t) が成立するときは、各出力信号Y1,Y2
の電気的位相が一致しており、かつ、夫々のゼロクロス
検出タイミングに対応するラッチパルスLP1,LP2
の発生タイミングが一致していることになる。
出力信号Y1,Y2ののゼロクロス検出タイミングに対
応するラッチパルスLP1,LP2の発生タイミング
が、一致したことを検出し、この検出に応答して一致検
出パルスEQPを発生する。一方、時変動判定回路54
では、適宜の手段により(例えば一方の位相差測定デー
タD1の値の時間的変化の有無を検出する等の手段によ
り)、検出対象傾斜角θが時間的に変化するモードであ
ることを判定し、この判定に応じて時変動モード信号T
Mを出力する。誤差計算回路51と減算回路52との間
にセレクタ55が設けられており、上記時変動モード信
号TMが発生されていないとき、つまりTM=“0”す
なわち検出対象傾斜角θが時間的に変化していないと
き、セレクタ入力Bに加わる誤差計算回路51の出力を
選択して減算回路52に入力する。このようにセレクタ
55の入力Bが選択されているときの図11の回路は、
図9の回路と等価的に動作する。すなわち、検出対象傾
斜角θが静止しているときは、誤差計算回路51の出力
データがセレクタ55の入力Bを介して減算回路52に
直接的に与えられ、図9の回路と同様に動作する。
れているとき、つまりTM=“1”すなわち検出対象傾
斜角θが時間的に変化しているときは、セレクタ55の
入力Aに加わるラッチ回路56の出力を選択して減算回
路52に入力する。上記時変動モード信号TMが“1”
で、かつ前記一致検出パルスEQPが発生されたとき、
アンドゲート57の条件が成立して、該一致検出パルス
EQPに応答するパルスがアンドゲート57から出力さ
れ、ラッチ回路56に対してラッチ命令を与える。ラッ
チ回路56は、このラッチ命令に応じてカウンタ42の
出力カウントデータをラッチする。ここで、一致検出パ
ルスEQPが生じるときは、カウンタ42の出力をラッ
チ回路49,50に同時にラッチすることになるので、
D1=D2であり、ラッチ回路56にラッチするデータ
は、D1又はD2(ただしD1=D2)に相当してい
る。
号Y1,Y2のゼロクロス検出タイミングが一致したと
き、すなわち「±d+θ(t) = ±d−θ(t)」が成立し
たとき、発生されるので、これに応答してラッチ回路5
6にラッチされるデータは、D1又はD2(ただしD1
=D2)に相当しているが故に、(D1+D2)/2と
等価である。このことは、 (D1+D2)/2=[{±d+θ(t)}+{±d−θ(t)}]/2 =2(±d)/2=±d であることを意味し、ラッチ回路56にラッチされたデ
ータは、位相変動誤差「±d」を正確に示しているもの
であることを意味する。
動しているときは、位相変動誤差「±d」を正確に示す
データが一致検出パルスEQPに応じてラッチ回路56
にラッチされ、このラッチ回路56の出力データがセレ
クタ55の入力Aを介して減算回路52に与えられる。
従って、減算回路52では、位相変動誤差「±d」を除
去した検出対象傾斜角θのみに正確に応答するデータθ
(時間的に変動する場合はθ(t) )を得ることができ
る。なお、図11において、アンドゲート57を省略し
て、一致検出パルスEQPを直接的にラッチ回路56の
ラッチ制御入力に与えるようにしてもよい。また、ラッ
チ回路56には、カウンタ42の出力カウントデータに
限らず、図11で破線で示すように誤差計算回路51の
出力データ「±d」をラッチするようにしてもよい。そ
の場合は、一致検出パルスEQPの発生タイミングに対
して、それに対応する誤差計算回路51の出力データの
出力タイミングが、ラッチ回路49,50及び誤差計算
回路51の回路動作遅れの故に、幾分遅れるので、適宜
の時間遅れ調整を行なった上で、誤差計算回路51の出
力をラッチ回路56にラッチするようにするとよい。ま
た、動特性のみを考慮して検出回路部41を構成する場
合は、図11の回路51及びセレクタ55と図1の一方
のラッチ回路49又は50を省略してもよいことが、理
解できるであろう。
ることができる位相差検出演算法についての別の実施例
を示す。コイル部2の2次コイル21〜24から出力さ
れるレゾルバタイプの前記第1及び第2の交流出力信号
A,Bは、検出回路部60に入力され、図9の例と同様
に、第1の交流出力信号A=sinθ・sinωtが位相シフ
ト回路44に入力され、その電気的位相が所定量位相シ
フトされて、位相シフトされた交流信号A’=sinθ・co
sωtが得られる。また、減算回路46では、上記位相
シフトされた交流信号A’=sinθ・cosωtと上記第2
の交流出力信号B=cosθ・sinωtとが減算され、その
減算出力として、B−A’=cosθ・sinωt−sinθ・cos
ωt=sin(ωt−θ)なる略式で表わせる電気的交流
信号Y2が得られる。減算回路46の出力信号Y2はゼ
ロクロス検出回路48に入力され、ゼロクロス検出に応
じてラッチパルスLP2が出力され、ラッチ回路50に
入力される。
は、検出対象傾斜に対応する電気的位相ずれを含む交流
信号Y2=sin(ωt−θ)から、その位相ずれ量θを
測定する際の基準位相が相違している点である。図9の
例では、位相ずれ量θを測定する際の基準位相は、基準
のサイン信号sinωtの0位相であり、これは、傾斜検
出装置10のコイル部2に入力されるものではないの
で、温度変化等によるコイルインピーダンス変化やその
他の各種要因に基づく位相変動誤差「±d」を含んでい
ないものである。そのために、図9の例では、2つの交
流信号Y1=sin(ωt+θ)及びY2=sin(ωt−
θ)を形成し、その電気的位相差を求めることにより、
位相変動誤差「±d」を相殺するようにしている。これ
に対して、図12の実施例では、コイル部2から出力さ
れる第1及び第2の交流出力信号A,Bを基にして、位
相ずれ量θを測定する際の基準位相を形成し、該基準位
相そのものが上記位相変動誤差「±d」を含むようにす
ることにより、上記位相変動誤差「±d」を排除するよ
うにしている。
ル部2から出力された前記第1及び第2の交流出力信号
A,Bがゼロクロス検出回路61,62に夫々入力さ
れ、それぞれのゼロクロスが検出される。なお、ゼロク
ロス検出回路61,62は、入力信号A,Bの振幅値が
負から正に変化するゼロクロス(いわば0位相)と正か
ら負に変化するゼロクロス(いわば180度位相)のど
ちらにでも応答してゼロクロス検出パルスを出力するも
のとする。これは信号A,Bの振幅の正負極性を決定す
るsinθとcosθがθの値に応じて任意に正又は負となる
ため、両者の合成に基づき360度毎のゼロクロスを検
出するためには、まず180度毎のゼロクロスを検出す
る必要があるためである。両ゼロクロス検出回路61,
62から出力されるゼロクロス検出パルスがオア回路6
3でオア合成され、該オア回路63の出力が適宜の1/
2分周パルス回路64(例えばT−フリップフロップの
ような1/2分周回路とパルス出力用アンドゲートを含
む)に入力されて、1つおきに該ゼロクロス検出パルス
が取り出され、360度毎のゼロクロスすなわち0位相
のみに対応するゼロクロス検出パルスが基準位相信号パ
ルスRPとして出力される。この基準位相信号パルスR
Pは、カウンタ65のリセット入力に与えられる。カウ
ンタ65は所定のクロックパルスCKを絶えずカウント
するものであるが、そのカウント値が、前記基準位相信
号パルスRPに応じて繰返し0にリセットされる。この
カウンタ65の出力がラッチ回路50に入力され、前記
ラッチパルスLP2の発生タイミングで、該カウント値
が該ラッチ回路50にラッチされる。ラッチ回路50に
ラッチしたデータDが、検出対象傾斜角θに対応した位
相差θの測定データとして出力される。
交流出力信号A,Bは、それぞれ、A=sinθ・sinω
t、B=cosθ・sinωt、であり、電気的位相は同相で
ある。従って、同じタイミングでゼロクロスが検出され
るはずであるが、振幅係数がサイン関数sinθ及びコサ
イン関数cosθで変動するので、どちらかの振幅レベル
が0か又は0に近くなる場合があり、そのような場合
は、一方については、事実上、ゼロクロスを検出するこ
とができない。そこで、この実施例では、2つの交流出
力信号A=sinθ・sinωt、B=cosθ・sinωtのそれぞ
れについてゼロクロス検出処理を行ない、両者のゼロク
ロス検出出力をオア合成することにより、どちらか一方
が振幅レベル小によってゼロクロス検出不能であって
も、他方の振幅レベル大の方のゼロクロス検出出力信号
を利用できるようにしたことを特徴としている。
ンピーダンス変化等による位相変動誤差が、例えば「−
d」であるとすると、減算回路46から出力される交流
信号Y2は、図13の(a)に示すように、Y2=sin
(ωt−d−θ)となる。この場合、コイル部2の出力
信号A,Bは、角度θに応じた振幅値sinθ及びcosθを
夫々持ち、図13の(b)に例示するように、A=sin
θ・sin(ωt−d)、B=cosθ・sin(ωt−d)、と
いうように位相変動誤差分を含んでいる。従って、この
ゼロクロス検出に基づいて図13の(c)のようなタイ
ミングで得られる基準位相信号パルスRPは、本来の基
準のサイン信号sinωtの0位相から位相変動誤差−d
だけずれたものである。従って、この基準位相信号パル
スRPを基準として、減算回路46の出力交流信号Y2
=sin(ωt−d−θ)の位相ずれ量を測定すれば、位
相変動誤差−dを除去した正確な値θが得られることに
なる。
定まると、そのインピーダンス変化は主に温度に依存す
ることになる。そうすると、上記位相変動誤差±dは、
この傾斜検出装置が配備された周辺環境の温度を示すデ
ータに相当する。従って、図9の実施例のような位相変
動誤差±dを演算する回路51を有するものにおいて
は、そこで求めた位相変動誤差±dのデータを温度検出
データとして適宜出力することができる。従って、その
ような本発明の構成によれば、1つの傾斜検出装置によ
って検出対象の傾斜を検出することができるのみなら
ず、該傾斜検出装置の周辺環境の温度を示すデータをも
得ることができる、という優れた効果を有するものであ
る。勿論、温度変化等によるセンサ側のインピーダンス
変化や配線ケーブル長の長短の影響を受けることなく、
検出対象の傾斜に応答した高精度の検出が可能となる、
という優れた効果をも奏するものである。また、図9や
図12の例は、交流信号における位相差を測定する方式
であるため、図8のような検出法に比べて、高速応答性
にも優れた検出を行なうことができる、という優れた効
果を奏する。
と磁気応答部材3による検出原理を、公知の位相シフト
タイプ位置検出原理によって構成してもよい。例えば、
図3に示されたコイル部2において、1次コイルと2次
コイルの関係を逆にして、サイン相のコイル21とマイ
ナス・サイン相のコイル23を互いに逆相のサイン信号
sinωt,−sinωtによって励磁し、コサイン相
のコイル22とマイナス・コサイン相のコイル24を互
いに逆相のコサイン信号cosωt,−cosωtによ
って励磁し、コイル11〜14から検出対象傾斜θに応
じた電気的位相シフトθを含む出力信号sin(ωt−
θ)を得るようにしてもよい。あるいは、コイル部2と
磁気応答部材3による検出原理を、公知の差動トランス
型の位置検出原理に基づいてアナログ検出出力を得るよ
うに構成してもよい。
部2の構成として、1次コイルと2次コイルの対を含む
ように構成せずに、1つのコイルのみによって構成し、
該1つのコイルを所定の交流信号によって定電圧駆動
し、該コイルへの磁性体(磁気応答部材3)の侵入量に
応じて生じるインダクタンス変化に基づく電流変化を計
測することにより、傾斜θの検出データを得るようにし
てもよい。その場合、該電流変化に応答する出力信号の
振幅変化を測定する方法、あるいは該電流変化に応答す
るコイル各端部での出力信号間の位相変化を測定する方
法などによって所要の測定を行うことができる。
例のような円板や部分円形状に限らず、球体あるいはそ
の他任意の形状であってよい。また、材質も、鉄等の磁
性体に限らず、銅のような良導電体であってもよい。良
導電体を磁気応答部材として使用した場合は渦電流損に
よって磁気抵抗変化が得られ、1次及び2次コイル間の
結合係数が変化されることは既に知られている。また、
磁性体と良導電体の組合せによって、相補的に磁気結合
係数の変化率を高めて検出感度を向上させることも知ら
れているので、これを採用してもよい。その他、コイル
部2と磁気応答部材3による検出手段の構成は任意の変
形が可能である。そのほか、上記実施例で示した新規か
つ有意義な構成の一部を選択的に採用して傾斜検出装置
を構成してもよい。
グの側面にコイル部が設けられており、該ケーシングの
内部において移動自在に収納された磁気応答部材が、該
ケーシングの傾斜時において自重により該ケーシングに
対して相対的に変位し、これによって、該ケーシングの
側面に対する磁気応答部材の位置、つまりコイル部に対
する磁気応答部材の相対的位置、が変位し、これに応じ
た出力信号をコイル部より得ることにより、検出対象の
傾斜を検出することができるものである。従って、非接
触で傾斜検出を行なうことができ、耐久性や耐環境性に
も優れており、従来にない有用な傾斜検出装置を提供す
ることができる。
図。
図。
図。
す図。
を示す図。
組合せて2軸方向の傾斜を検出する例を示す略図。
検出タイプの測定回路の一例を示すブロック図。
検出タイプの測定回路の別の例を示すブロック図。
ック図。
相検出タイプの測定回路の更に別の例を示すブロック
図。
Claims (7)
- 【請求項1】 検出対象に取り付けられ、該検出対象の
傾斜に伴って傾斜するケーシングと、 このケーシングの側面に設けられ、該ケーシングと共に
動くコイル部と、 前記ケーシングの内部において移動自在に収納され、該
ケーシングの傾斜時において自重により該ケーシングに
対して相対的に変位する磁気応答部材とを具え、該検出
対象の傾斜に応じて前記ケーシングの側面に対する前記
磁気応答部材の位置が変位し、これに応じた出力信号を
前記コイル部より得ることにより該検出対象の傾斜を検
出することを特徴とする傾斜検出装置。 - 【請求項2】 前記ケーシングの内部は円形または凹曲
線を成していて、そこに沿って前記磁気応答部材が動く
ようにした請求項1に記載の傾斜検出装置。 - 【請求項3】 前記コイル部は前記磁気応答部材の動き
の方向に沿って複数のコイルを設けてなるものである請
求項1又は2に記載の傾斜検出装置。 - 【請求項4】 前記コイル部は、1相の交流信号によっ
て励磁され、前記磁気応答部材の相対的位置に応じて、
サイン相の振幅関数特性を示す出力交流信号と、コサイ
ン相の振幅関数特性を示す出力交流信号との2相の出力
交流信号を出力するものである請求項1乃至3のいずれ
かに記載の傾斜検出装置。 - 【請求項5】 前記磁気応答部材は、円形状を成したも
のである請求項1乃至4のいずれかに記載の傾斜検出装
置。 - 【請求項6】 前記磁気応答部材は、非固定形状の物体
からなるものである請求項1乃至4のいずれかに記載の
傾斜検出装置。 - 【請求項7】 1つの前記検出対象において、前記請求
項1乃至5のいずれかに記載の傾斜検出装置を、少なく
とも2個互いに異なる方向に配置し、少なくとも2方向
についての傾斜を検出することを特徴とする傾斜検出装
置。
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Cited By (2)
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-
1997
- 1997-12-29 JP JP36834497A patent/JP3733399B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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