JPH10180679A - クリーンルーム用ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】フレームのサイズを小さくし、かつ、フレーム
内の塵やガスを均一に吸引することができるクリーンル
ーム用ロボットを提供することを目的としている。 【構成】直方体状のフレーム３と、このフレーム３の一
端部に設けたモータ５と、軸に中空孔を形成し該中空孔
に貫通する複数の吸引口をネジ溝間に設けたボールネジ
４と、このボールネジ４に形成した中空孔６に接続され
る吸引ダクト接続部材１０と、ボールネジ４によりフレ
ーム３の長手方向に沿って直線移動するスライダ２とか
ら構成された、従来よりもフレームのサイズが小型化さ
れ、かつ、フレーム内の空気をほぼ均一に吸引すること
ができクリーンルーム用ロボット１である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、直方体状のフレームを
直線上に移動するスライダを有する産業用ロボットであ
って、クリーンルーム用のロボットに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、直方体状のフレーム内部に、
ボールネジを設けて、このボールネジに沿ってスライダ
が移動する産業ロボットがある。このロボットを駆動す
ることにより、微細な塵が発生したり、また、摺動部の
温度上昇によりわずかではあるがグリスが揮発したりし
ている。

【０００３】これらの現象は、一般の工場で使用する場
合には、特に問題にならないが、クリーンルームなど塵
を極端に嫌う特殊室内で使用する場合には問題になる。

【０００４】以上の理由により、クリーンルームに使用
するロボットの場合、フレーム内にダクトを配設し、こ
のダクトを利用して塵やガスなどを吸引する方式が取ら
れている。

【０００５】従来例の一例を３図に示す。この図を用い
て説明すれば、このクリーンルーム用ロボット１ｂはフ
レーム３ｂ内にダクト１３が備えられている。このダク
ト１３は、ボールネジ４ｂに平行で、かつ、スライダが
移動しても接触しない位置に配設されている。そして、
このダクト１３の一端は吸引ダクト接続部材１０ｂと接
続されている。

【０００６】この様な構成において、前記接続部材１０
ｂを吸引ダクトを介して吸引装置に接続し、吸引するこ
とにより、フレーム内の塵やガス等がダクトに設けられ
た吸引口より吸引される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記の様な構成のクリ
ーンルーム用ロボットは、ダクトを収納するためのスペ
ースが新たに必要であり、この分だけフレームのサイズ
が大きくなる。また、ボールネジと平行にダクトを配置
することになるので、ボールネジの反ダクト側にある塵
やガスは吸引しにくいという問題がある。これを解決す
るためには、ダクトを両側に配置すればよいが、しか
し、このようにするとフレームのサイズがさらに大きく
なる。

【０００８】本発明は、この様な事情を鑑みてなされた
ものであり、フレームのサイズを小さくし、かつ、フレ
ーム内の塵やガスを均一に吸引することができるクリー
ンルーム用ロボットを提供することを課題としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】ロボットの保持体である
直方体状のフレームと、前記フレームの一端部に設けた
駆動用モータと、軸に中空孔を形成し、該中空孔に貫通
する複数の吸引口をネジ溝間に設けたボールネジと、前
記ボールネジに形成した中空孔に接続される吸引ダクト
接続部材と、前記ボールネジにより前記フレームの長手
方向に沿って直線移動するスライダとから構成すること
により、従来よりもフレームのサイズが小型化され、か
つ、フレーム内の空気をほぼ均一に吸引することができ
課題を解決している。

【００１０】

【作用】ロボットの電源を投入することにより、吸引装
置の電源が同時に投入される。この吸引装置の作動によ
り、フレーム内の塵やガスを含んだ空気が吸引口より吸
入され、ボールネジに形成された孔を経由し吸引装置に
導かれる。

【００１１】この様な構成にすることにより、フレーム
のサイズを小さくすることができ、かつ、ダクトを兼ね
たボールネジがフレームの中央部近傍に配置されている
のでフレーム内の空気をほぼ均一に吸引することができ
る。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の一実施例であるクリーンルー
ム用ロボット１について、図１及び図２に基づいて説明
する。図１は本発明の一実施例を示すクリーンルーム用
ロボットの斜視図であり、図２は同じく要部拡大部分断
面図である。

【００１３】符号１は、本実施例のクリーンルーム用ロ
ボットであって、直方体状のフレーム３の上面及び内部
を、その長手方向である左右にスライダ２が移動する。

【００１４】符号４はボールネジである。このボールネ
ジ４の中心部には中空の孔６が形成されており、この６
孔に貫通する複数の吸引口７がネジ溝１９とネジ溝１９
との間に設けられている。そして、このボールネジ４の
モータ５側の軸端近傍及び他端は、軸受９ｂ、９ａを介
してフレーム３の両端部に回転自在に支持されている。

【００１５】また、このボールネジ４の端部と、このボ
ールネジ４を保持しているフレーム３との間にはオイル
シール８が装着されており、このシール８の側面には押
エ板１８が設けられている。

【００１６】符号５はフレーム３の右端部に内蔵された
駆動用モータである。このモータ５の回転軸には、カッ
プリング１２を介してボールネジ４が連結されている。
なお、このモータ５は制御部１７により回転方向及び回
転数が制御されている。

【００１７】符号１０は吸引ダクト接続部材である。こ
の接続部材１０はボールネジ４に形成された中空の孔６
と接続されている。さらに、この接続部材は真空ポンプ
などの吸引装置（図示していない）に接続されている。

【００１８】符号１１はボールナットであり、スライダ
ー２に形成された孔に保持されている。

【００１９】符号１４はカバーであり、フレーム３及び
モータ５の上面を覆っている。

【００２０】符号１５は、スライダ２の底面に設けられ
た接触部である。この接触部２は、フレーム３に設けら
れた一対のレール１６に沿って軸方向に移動する。な
お、このレール１６は、フレーム３の左端部から右端部
に設けられている。

【００２１】この様な構成において、クリーンルーム用
ロボットの動作状態について説明する。

【００２２】ロボット１の電源を投入することにより、
吸引装置の電源が同時に投入される。

【００２３】制御部１７で制御されている駆動用モータ
５の回転によりボールネジ４が回され、この回転により
スライダ２が直線運動をする。この吸引装置の作動によ
りフレーム３内の塵やグリスの気化ガスなどが含んだ空
気が吸引口７より吸入され、ボールネジ４に形成された
孔６を経由し吸引装置に導かれる。

【００２４】この様に、ボールネジ４を中空にして、こ
のネジ４の外周に複数個の吸引口７を設け、ボールネジ
４とダクトを兼ねることにより、フレーム３のサイズを
小さくすることができ、かつ、ダクトをフレームの中央
部近傍に配置することができるのでフレーム内の空気を
ほぼ均一に吸引することができ、コンパクトで吸塵効率
の高いロボットになる。

【００２５】

【発明の効果】以上により、本発明のクリーンルーム用
ロボットは、ボールネジを中空に形成し、この中空部に
貫通する吸引口を設けることにより、フレームが小型化
され、かつ、吸塵効率が高くなる。

【００２６】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すクリーンルーム用ロボ
ットの斜視図である。

【図２】同じく要部拡大部分断面図である。

【図３】従来のクリーンルーム用ロボットの要部拡大部
分断面図である。

【符号の説明】

１、１ｂ・・・クリーンルーム用ロボット ２・・・・・・スライダ ３、３ｂ・・・フレーム ４、４ｂ・・・ボールネジ ５・・・・・・駆動用モータ ６・・・・・・孔 ７、７ｂ・・・吸引口 ８・・・・・・オイルシール ９、９ｂ・・・軸受 １０、１０ｂ・・吸引ダクト接続部材 １１・・・・・・ボールナット １２・・・・・・カップリング １３・・・・・・ダクト １４・・・・・・カバー １７・・・・・・制御部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ロボットの保持体である直方体状のフレー
   ムと、 前記フレームの一端部に設けた駆動用モータと、 軸に中空孔を形成し、該中空孔に貫通する複数の吸引口
   をネジ溝間に設けたボールネジと、 前記ボールネジに形成した中空孔に接続される吸引ダク
   ト接続部材と、 前記ボールネジにより前記フレームの長手方向に沿って
   直線移動するスライダとからなることを特徴とするクリ
   ーンルーム用ロボット。