JPH10186657A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レジスト膜のはがれ、持ち上がり、めっきの
もぐり、現像後の金属面の変色などの問題がない、下地
金属への密着性、耐めっき性及び耐薬品性に優れ、特に
耐金めっき性に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用い
た感光性エレメントを提供する。 【解決手段】 （Ａ）カルボキシル基を有するバインダ
ーポリマー、（Ｂ）分子内に重合可能なエチレン性不飽
和基を有する光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤及び
（Ｄ）下記一般式（１）で表されるイミダゾール化合物
と一般式（２）で表される３−グリシドキシプロピルシ
ランを８０〜２００℃で反応させ生成するイミダゾール
シラン化合物を含む感光性樹脂組成物及びこれを用いた
感光性エレメント。 【化１】 （但し、一般式（１）、（２）において、Ｒ¹は水素又
は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ²は水素、ビニル
基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ³及びＲ⁴は炭素
数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３の整数である。）

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は感光性樹脂組成物及
びこれを用いた感光性エレメントに関し、さらに詳しく
は下地金属への密着性、耐めっき性及び耐薬品性に優
れ、特に耐金めっき性に優れた感光性樹脂組成物及びこ
れを用いた感光性エレメントに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、印刷配線板の製造、金属の精密加
工等の分野において、エッチング、めっき等に用いられ
るレジスト材料としては、感光性樹脂組成物及びこれを
用いて得られる感光性フィルムが広く用いられている。
この感光性フィルムには、塩素系有機溶剤を用いて現像
する溶剤現像型感光性フィルムと、アルカリ水溶液を用
いて現像するアルカリ現像型感光性フィルムとがある
が、コスト、作業環境等の面からアルカリ現像型感光性
フィルムが多く使用されている。また印刷配線板の製造
方法としては、近年印刷配線板が高密度化し、パターン
が細線化しているため、めっき法が主流となりつつあ
る。このめっき法は、チップ搭載のためのスルーホール
及び電気回路を除いてレジストを被履し、電気めっきに
よりスルーホール及び電気回路を作製し、その後レジス
ト剥離、エッチングによって電気回路の作製を行う方法
である。めっき法におけるめっき液としては、ピロリン
酸銅、硫酸銅、はんだ、ニッケル、パラジウム、金等が
用いられるが、これらの耐摩耗性、耐腐食性等の点から
端子部、スルーホール部に金めっきが行われることが多
い。該めっき法においては、主に銅が用いられている下
地金属と感光性フィルムとの密着性を増大させるため、
感光性樹脂組成物に添加剤が配合されている。この添加
剤には、複素環状化合物（特開昭５３−７０２号公
報）、インダール又はその誘導体（特開昭５５−６５２
０３号公報）、フタラゾン又はその誘導体（特開昭５５
−６５２０２号公報）、テトラゾール又はその誘導体
（特開昭５９−１２５７２６号公報）、ロフィン（特開
昭５９−１２５７２７号公報）が知られている。しか
し、これらの添加剤を用いても、現像後の銅面の変色又
はピロリン酸銅めっき、金めっき等のめっきのように非
常に強い処理を行う場合にレジスト膜のはがれ、持ち上
がり、めっきのもぐり（レジストの下にめっきが析出す
る現象）などが発生する問題があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、レジ
スト材料として用いた場合の上記レジスト膜のはがれ、
持ち上がり、めっきのもぐり、現像後の金属面の変色な
どの問題がない、下地金属への密着性、耐めっき性及び
耐薬品性に優れ、特に耐金めっき性に優れた感光性樹脂
組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供するこ
とにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、（Ａ）カルボ
キシル基を有するバインダーポリマー、（Ｂ）分子内に
重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合
物、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）下記一般式（１）で
表されるイミダゾール化合物と一般式（２）で表される
３−グリシドキシプロピルシランを８０〜２００℃で反
応させ生成するイミダゾールシラン化合物を含む感光性
樹脂組成物を提供するものである。

【０００５】

【化２】 （但し、一般式（１）、（２）において、Ｒ¹は水素又
は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ²は水素、ビニル
基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ³及びＲ⁴は炭素
数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３の整数である。） また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を支持体上に塗
布、乾燥後、必要に応じ保護フィルムを積層した感光性
エレメントを提供するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明における、（Ａ）カルボキ
シル基を有するバインダーポリマーとしては、例えば、
アクリル酸又はメタクリル酸とこれらと共重合しうるビ
ニルモノマーとの共重合体等のフィルム性付与ポリマー
が挙げられ、これらの共重合体は、単独で又は２種類以
上を組み合わせて使用される。前記ビニルモノマーとし
ては、特に制限はなく、例えば、アクリル酸メチルエス
テル、メタクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチル
エステル、メタクリル酸エチルエステル、アクリル酸ブ
チルエステル、メタクリル酸ブチルエステル、アクリル
酸２−エチルヘキシルエステル、メタクリル酸２−エチ
ルヘキシルエステル、アクリル酸テトラヒドロフルフリ
ルエステル、メタクリル酸テトラヒドロフルフリルエス
テル、アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、メタ
クリル酸ジメチルアミノエチルエステル、アクリル酸ジ
エチルアミノエチルエステル、メタクリル酸ジエチルア
ミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジルエステ
ル、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレ−ト、
２，２，２−トリフルオロエチルメタクリレ−ト、２，
２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリレート、
２，３，３−テトラフルオロプロピルメタクリレート、
アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレ
ン、ビニルトルエン等が挙げられる。

【０００７】（Ａ）カルボキシル基を有するバインダー
ポリマーは、アルカリ水溶液（例えば１〜３重量％の炭
酸ナトリウム又は炭酸カリウム水溶液等）に可溶又は膨
潤可能であることが、現像性、環境保全等の点で好まし
い。

【０００８】また、酸価は、１００〜５００であること
が好ましい。酸価が１００未満では、現像時間が遅くな
る傾向があり、５００を超えると、光硬化したレジスト
の耐現像液性が低下する傾向がある。

【０００９】また、重量平均分子量（ＧＰＣ測定で、ポ
リスチレン換算したもの）は、２０，０００〜３００，
０００であることが好ましい。重量平均分子量が、２
０，０００未満では、耐現像液性が低下する傾向があ
り、３００，０００を超えると、現像時間が長くなる傾
向がある。

【００１０】本発明における（Ｂ）分子内に重合可能な
エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、
例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
反応させて得られる化合物（ポリエチレングリコール
（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜１４のも
の）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレー
ト、ポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート
（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエリ
スリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ（メタ）アクリレー卜等）、グリシジ
ル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して
得られる化合物（ビスフェノールＡジオキシエチレンジ
（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエ
チレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデカ
オキシエチレンジ（メタ）アクリレート等のビスフェノ
ールＡポリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ト
リメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアク
リレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアク
リレート等）、（メタ）アクリル酸のアルキルエステル
（（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリ
ル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等）などが
挙げられる。これらは単独又は２種類以上を組み合わせ
て使用する。

【００１１】本発明における（Ｃ）光重合開始剤として
は、例えば、芳香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′
−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン
（ミヒラーケトン）、４−メトキシ−４′−ジメチルア
ミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノン、フェ
ナントレンキノン等）、ベンゾイン（ベンゾインメチル
エーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェ
ニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイ
ン、エチルベンゾイン等）、ベンジル誘導体（ベンジル
ジメチルケタール等）、２，４，５−トリアリールイミ
ダゾール二量体（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダソール二量体、２−（ｏ−クロロフ
ェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダ
ゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシ
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、
２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニ
ル）−５−フェニルイミダゾール二重体、２−（２，４
−ジメトキシフェニル）４，５−ジフェニルイミダゾー
ル二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等）、アクリジ
ン誘導体（９−フェニルアクリジン、１，７−ビス
（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等）が挙げられ
る。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用
される。

【００１２】本発明における（Ｄ）イミダゾールシラン
化合物において、一般式（１）で表わされるイミダゾー
ル化合物として好ましいのは、イミダゾール、２−アル
キルイミダゾール、２，４−ジアルキルイミダゾール、
４−ビニルイミダゾール等である。これらのうち特に好
ましいのは、イミダゾール、２−アルキルイミダゾール
としては、２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダ
ゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデシ
ルイミダゾール、また、２，４−ジアルキルイミダゾー
ルとしては、２−エチル−４−メチルイミダゾール等を
挙げることができる。

【００１３】また、一般式（２）で表わされる３−グリ
シドキシプロピルシラン化合物として好ましいのは、３
−グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン、３−グ
リシドキシプロピルジアルコキシアルキルシラン、３−
グリシドキシプロピルアルコキシジアルキルシランであ
り、これらのうち特に好ましいものを挙げれば、３−グ
リシドキシプロピルトリアルコキシシランとしては、３
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリ
シドキシプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキ
シプロピルジアルコキシアルキルシランとしては、３−
グリシドキシプロピルジメトキシメチルシラン、３−グ
リシドキシプロピルアルコキシジアルキルシランとして
は、３−グリシドキシプロピルエトキシジメチルシラン
等である。

【００１４】上記イミダゾール化合物と３−グリシドキ
シプロピルシラン化合物との反応は、８０〜２００℃の
温度に加熱したイミダゾール化合物に０．１〜１０モル
倍量の３−グリシドキシプロピルシラン化合物を滴下さ
せながら行うと良く、反応時間は５分〜２時間程度で十
分である。この反応は特には溶媒を必要としないが、ク
ロロホルム、ジオキサン、メタノール、エタノール等の
有機溶媒を反応溶媒として使用しても良い。尚、この反
応は、水分を嫌うので、水分が混入しないように、乾燥
した窒素、アルゴン等の水分を含まない気体の雰囲気下
で行うことが好ましい。詳細は、特公平７−６８２５６
号公報に記載されている。

【００１５】この反応において、下記一般式（３）、
（４）、（５）で表されるイミダゾールシラン化合物が
混合物の状態で得られる。

【００１６】

【化３】 （上記式中、Ｒ¹は水素又は炭素数が１〜２０のアルキ
ル基、Ｒ²は水素、ビニル基又は炭素数１〜５のアルキ
ル基、Ｒ³及びＲ⁴は炭素数１〜３のアルキル基、ｎは１
〜３の整数である。） これらの化合物は、溶解度の差を利用する方法、カラム
クロマトグラフィー等の既知の手段により精製され、単
離されうるので、単離されたものを使用することも可能
である。一般的には、必ずしも単離する必要はなく、混
合物のまま用いることが好ましい。なお、生成物中の各
成分組成は、一般に一般式（３）：同（４）：同（５）
＝（４０〜８０）：（１０〜３０）：（５〜４０）（液
体クロマトグラフィーで分析したときの面積比）であ
る。

【００１７】本発明における（Ａ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、４０〜８０重量部とすることが好ましい。この配合
量が、４０重量部未満では、光硬化物が脆くなり易く、
感光性エレメントとして用いた場合に、塗膜性が劣る傾
向があり、８０重量部を超えると、感度が不十分となる
傾向がある。

【００１８】本発明における（Ｂ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、２０〜６０重量部とすることが好ましい。この配合
量が２０重量部未満では、感度が不十分となる傾向があ
り、６０重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向が
ある。

【００１９】本発明における（Ｃ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、０．１〜２０重量部とすることが好ましい。この配
合量が０．１重量部未満では、感度が不十分となる傾向
があり、２０重量部を超えると、露光の際に組成物の表
面での吸収が増大して内部の光硬化が不充分となる傾向
がある。

【００２０】本発明における（Ｄ）成分の配合量は、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し
て、０．００５〜２０重量部とすることが好ましい。さ
らに好ましくは０．０１〜５重量部とする。この配合量
が０．００５重量部未満では、耐金めっき性が不充分と
なる傾向があり、２０重量部を超えると現像後の銅面の
変色が発生する傾向がある。

【００２１】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じて、染料、発色剤、可塑剤、顔料、難燃剤、安定剤、
密着性付与剤等を添加することができる。

【００２２】本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分
を、これらを溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセト
ン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチル
ケトン、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、クロロ
ホルム、塩化メチレン、メチルアルコール、エチルアル
コール等に溶解、混合させることにより、均一な溶液と
することができる。

【００２３】本発明の感光性エレメントは、前記本発明
の感光性樹脂組成物を、支持体上に塗布、乾燥すること
により作製できる。

【００２４】支持体としては、重合体フィルム、例え
ば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポ
リエチレン等からなるフィルムが挙げられ、中でも、ポ
リエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。これら
の重合体フィルムは、後に感光層から除去する必要があ
るため、除去が不可能となるような表面処理が施された
ものであったり、材質であってはならない。

【００２５】これらの重合体フィルムの厚さは、５〜１
０μｍとすることが好ましく、１０〜３０μｍであるこ
とがさらに好ましい。また、これらの重合体フィルム
は、ｌつは感光層の支持フィルムとして、他の１つは感
光層の保護フィルムとして感光層の両面に積層すること
ができる。

【００２６】本発明の感光性エレメントを用いてフォト
レジスト画像を製造する方法としては、前記の保護フィ
ルムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、
感光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層
する方法が挙げられる。積層される表面は、通常金属面
であるが、特に制限はない。

【００２７】感光層の加熱温度は、特に制限はなく、９
０〜１３０℃とすることが好ましい。また、感光層の圧
着圧力は、特に制限はなく、１〜６ｋｇｆ／ｃｍ²とす
ることが好ましい。

【００２８】尚、感光層を前記のように加熱すれば、予
め基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性を
さらに向上させるために、基板の予熱処理を行うことも
できる。

【００２９】このようにして積層が完了した感光層は、
次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて、活性
光に画像的に露光される。この際、感光層上に存在する
重合体フィルムが透明の場合には、そのまま露光しても
よく、また不透明の場合には、当然除去する必要があ
る。

【００３０】感光層の保護という点からは、重合体フィ
ルムは透明で、この重合体フィルムを残存させたまま、
それを通して露光することが好ましい。

【００３１】活性光は、公知の活性光源、例えば、カー
ボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク等から発
生する光が用いられる。

【００３２】感光層に含まれる光重合開始剤の感受性
は、通常、紫外領域において最大であるので、その場合
は活性光源は紫外線を有効に放射するものが好ましい。
また、光重合開始剤が可視光線に感受するもの、例え
ば、９，１０−フェナンスレンキノン等である場合に
は、活性光としては可視光が用いられ、その光源として
は前記のもの以外に、写真用フラッド電球、太陽ランプ
等も用いられる。

【００３３】次いで、露光後、感光層上に重合体フィル
ムが存在している場合には、これを除去した後、アルカ
リ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラ
ッシング、スクラッビング等の公知方法により未露光部
を除去して現像する。アルカリ水溶液の塩基としては、
水酸化アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウムの
水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム、ナトリウム若
しくはカリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等）、アルカリ金
属リン酸塩（リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等）、
アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリウム、ピ
ロリン酸カリウム等）などが挙げられ、炭酸ナトリウム
の水溶液が好ましい。

【００３４】現像に用いるアルカリ水溶液のｐＨは、９
〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光
層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ水溶
液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるため
の少量の有機溶剤等を混入させることもできる。

【００３５】さらに、印刷配線板を製造する方法として
は、現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露光
している基板の表面を、エッチング、めっき等の公知方
法で処理する方法等が挙げられる。

【００３６】次いで、フォトレジスト画像は、通常現像
に用いたアルカリ水溶液よりさらに強アルカリ性の水溶
液で剥離することができる。この強アルカリ性の水溶液
としては、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水
溶液等が用いられる。

【００３７】

【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例に基づいて
詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。

【００３８】実施例１〜４及び比較例１〜３ カルボキシル基含有フィルム性付与バインダーポリマー
としてのメタクリル酸／メタクリル酸メチル／メタクリ
ル酸ブチル／アクリル酸２−エチルへキシル共重合体
（重量比２５／５０／５／２０、重量平均分子量８万）
の４０重量％メチルセロソルブ／トルエン（重量比６／
４）溶液１５０ｇ（ポリマー成分６０ｇ）、イルガキュ
ア６５１（チバガイギー社製商品名、ベンジルジメチル
ケタール）６ｇ、トリブロモフェニルスルホン０．８
ｇ、ロイコクリスタルバイオレット１ｇ、マラカイトグ
リーン０．０８ｇ、メチルエチルケトン２５ｇ、メタノ
ール３ｇ、ＴΑ−４０１（三洋化成工業社製商品名、ト
リメチロールプロパントリアクリレート）２０ｇ及びＢ
ＰＥ−１０（新中村化学工業社製商品名、ビスフェノー
ルＡポリオキシエチレンジメタクリレート）１０ｇを配
合して溶液を得た。

【００３９】この溶液に、（Ｄ）成分として、表１に示
すイミダゾールシラン化合物０．３ｇを溶解させて感光
性樹脂組成物溶液を得た。比較例は（Ｄ）成分として、
別の密着性付与剤０．３ｇを溶解させた。

【００４０】次いでこの感光性樹脂組成物溶液を２５μ
ｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に
塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥
して感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾
燥後の膜厚は５０μｍであった。

【００４１】一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層
したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工
業社製、ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を＃８００のサン
ドペーパーで研磨し、水洗して空気流で乾燥し、得られ
る銅張り積層板を６０℃で加温し、その銅面上に前記感
光性樹脂組成物層を、１２０℃に加熱しながらラミネー
トした。

【００４２】次いでこのようにして得られた基板に、ネ
ガフィルムを使用し、３ｋＷ高圧水銀灯（オーク製作所
社製、ＨＭＷ−２０１Ｂ）で１２０ｍＪ／ｃｍ²の露光
を行った。この際感度を評価できるように、光透過量が
段階的に少なくなるように作られたネガフィルム（光学
密度０．０５を１段目とし、１段ごとに光学密度が０．
１５ずつ増加するステップタブレット）を用いた。

【００４３】次いでポリエチレンテレフタレートフィル
ムを除去し、３０℃で２ｗｔ％炭酸ナトリウム水溶液を
５０〜１５０秒間スプレーすることにより、未露光部分
を除去した。さらに銅張り積層板上に形成された光硬化
膜のステップタブレットの段数を測定することにより、
感光性樹脂組成物の光感度を測定した。その結果を表１
に示す。光感度はステップタブレットの段数で示され、
このステップタブレットの段数が高い程光感度が高いこ
とを示している。

【００４４】次いで現像処理したものを、脱脂後、流水
水洗を１分間行い、次いで２５０ｇ／ｌ過硫酸アンモニ
ウム水溶液中に２分間浸漬した。さらに流水水洗を１分
間行った後、１０％硫酸水溶液中に１分間浸漬し、再び
流水水洗を行った。次いで、ニッケルめっき浴［硫酸ニ
ッケル３５０ｇ／ｌ、塩化ニッケル４５ｇ／ｌ、ホウ酸
４５ｇ／ｌ、ナイカルＰＣ−３（メルテックス社製商品
名、ニッケルメッキ液用添加剤）３０ｍｌ／ｌ及びニッ
ケルグリームＮΑＷ−４（メルテックス社製商品名、ニ
ッケルメッキ液用添加剤）０．１ｍｌ／ｌ］に入れ、ニ
ッケルめっきを５０℃、３Ａ／ｄｍ²で１０分間行っ
た。ニッケルめっき終了後直ちに水洗し、続いて金スト
ライクめっき［めっき浴：オーロボンドＴＮ（日本エレ
クトロプレーティングエンジニャース社製商品名］を４
０℃、５Ａ／ｄｍ²で２０秒間行った。金ストライクめ
っき終了後直ちに水洗し、引き続き金めっき［めっき
浴：オートロネクスＣＩ（日本エレクトロプレーティン
グエンジニャース社製商品名）］を３０℃、１Ａ／ｄｍ
²で６分間行った。金めっき終了後水洗を行い、乾燥し
た。耐めっき性を調べるため乾燥後直ちにセロテープを
貼り、これを垂直方向に引き剥がして（９０°ピールオ
フ試験）、レジストの剥がれの有無を調べた。その後、
上方から光学顕微鏡で金めっきもぐりの有無を観察し
た。金めっきのもぐりを生じた場合は透明なレジストを
介してその下部に金めっきのもぐりが観察される。その
結果を表１に示す。

【００４５】表１の結果から本発明の感光性樹脂組成物
は光感度が良好であり、下地金属への密着性、耐金めっ
き性に優れ、耐薬品性に優れていることが示される。

【００４６】

【表１】 ※イミダゾール化合物とＧＰＳを等モル（０．０５ｍｏ
ｌ）使用し、ＧＰＳを３０分かけてイミダゾール化合物
に滴下後、９５℃で１時間反応させて得られた反応生成
物。実施例１の反応生成物は［化３］の（３）：
（４）：（５）の液体クロマトグラフィーで分析したと
きの面積比は４５：２２：３３であった。

【００４７】表１の結果から本発明の感光性樹脂組成物
は光感度が良好であり、下地金属への密着性、耐金めっ
き性に優れ、耐薬品性に優れていることが示される。

【００４８】

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エ
レメントは、レジスト材料として用いた場合の上記レジ
スト膜のはがれ、持ち上がり、めっきのもぐり、現像後
の金属面の変色などの問題がなく、下地金属への密着
性、耐めっき性及び耐薬品性に優れている。特に金属積
層板、特に印刷配線板に用いられる銅張り積層板に対
し、下地金属への優れた密着性を有し、また耐金めっき
性及び耐薬品性に優れ、特に耐金めっき性に優れてお
り、金めっき工法に使用可能である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｇ０３Ｆ 7/085 Ｇ０３Ｆ 7/085 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ 3/18 3/18 Ｄ 3/28 3/28 Ｄ (72)発明者 千葉 達男 茨城県日立市東町４丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 土田 克之 埼玉県戸田市新曽南３丁目17番35号 株式 会社ジャパンエナジー内 (72)発明者 熊谷 正志 埼玉県戸田市新曽南３丁目17番35号 株式 会社ジャパンエナジー内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （Ａ）カルボキシル基を有するバインダ
   ーポリマー、（Ｂ）分子内に重合可能なエチレン性不飽
   和基を有する光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤及び
   （Ｄ）下記一般式（１）で表されるイミダゾール化合物
   と一般式（２）で表される３−グリシドキシプロピルシ
   ランを８０〜２００℃で反応させ生成するイミダゾール
   シラン化合物を含む感光性樹脂組成物。 【化１】 （但し、一般式（１）、（２）において、Ｒ¹は水素又
   は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ²は水素、ビニル
   基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ³及びＲ⁴は炭素
   数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３の整数である。）
2. 【請求項２】 （Ａ）成分がアルカリ水溶液に可溶又は
   膨潤可能であり、酸価が１００〜５００であり、重量平
   均分子量が２０，０００〜３００，０００である請求項
   １記載の感光性樹脂組成物。
3. 【請求項３】 （Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及
   び（Ｄ）成分の使用割合が、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分
   の総量１００重量部に対し、（Ａ）成分が４０〜８０重
   量部、（Ｂ）成分が２０〜６０重量部、（Ｃ）成分が
   ０．１〜２０重量部及び（Ｄ）成分が０．００５〜２０
   重量部である請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物。
4. 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の感光性樹脂組
   成物を支持体上に塗布、乾燥後必要に応じ保護フィルム
   を積層した感光性エレメント。