JPH10190221A - 印刷配線板の製造方法 - Google Patents

印刷配線板の製造方法

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JPH10190221A
JPH10190221A JP35696296A JP35696296A JPH10190221A JP H10190221 A JPH10190221 A JP H10190221A JP 35696296 A JP35696296 A JP 35696296A JP 35696296 A JP35696296 A JP 35696296A JP H10190221 A JPH10190221 A JP H10190221A
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JP
Japan
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metal foil
copper plating
hole
base metal
resin film
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Application number
JP35696296A
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English (en)
Inventor
Hiroshi Asami
浅見  博
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SUMISE DEVICE KK
Original Assignee
SUMISE DEVICE KK
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Publication date
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  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安価にしてワイヤーボンディングのし易い印
刷配線板を得る。 【解決手段】 絶縁板の表面に箔状に形成された非銅製
の下地金属箔を固着してスルーホール孔を明けた後、化
学銅メッキ処理して前記下地金属箔の表面および前記ス
ルーホール孔の内面に化学銅メッキ層を形成し、前記下
地金属箔の表面を研磨して該下地金属箔の表面に固着し
た化学銅メッキ層を除去した後、露出した下地金属箔の
表面を感光樹脂膜により被覆した後、該感光樹脂膜を写
真処理して予定回路パーン部及びスルーホール孔周縁の
感光樹脂膜を除去し、次いで電気銅メッキ処理して前記
感光樹脂膜から露出した下地金属箔の表面及びスルーホ
ール孔の化学銅メッキ層の表面に電気銅メッキ膜を形成
し、次いで感光樹脂膜を除去した後、電気銅メッキ膜か
ら露出した下地金属箔部分をエッチング液で溶解除去す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、絶縁板に回路パタ
ーン、スルーホール等を有する印刷配線板の製造方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の技術として特公昭57−4963
2号公報に記載されたものがあった。即ち、絶縁板の両
面にアクリルニトリルゴムと熱硬化性樹脂を主成分とす
る化学メッキ用接着剤を塗布し、これを熱硬化させて接
着剤層を形成した後、スルーホール孔をあけた後、親水
化、活性化し、引続き化学ニッケルメッキ処理してスル
ーホール孔を含む絶縁板全面に化学ニッケルメッキ層を
形成する。次いでスルーホール孔及び形成すべき回路パ
ターンを除く化学ニッケル層全面にメッキレジスト膜を
被覆した後、電気メッキ処理してスルーホール孔内壁及
び所定の回路パターンに電気銅メッキ膜を形成する。
【0003】その後メッキレジスト膜を除去し、露出し
た化学ニッケルメッキ層部分をエッチング液で溶解除去
して化学ニッケルメッキ層と電気銅メッキ膜からなる二
層構造のスルーホール、回路パターンを有する印刷配線
板を得る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のものは、化
学ニッケルメッキ液内のニッケルが固着するための特殊
な化学メッキ用接着剤を絶縁板に塗布、熱硬化させ、こ
れを親水化、活性化処理するようにしていたので、高価
になるとともに、電気銅メッキ膜が固着される下地金属
がニッケルに限定される等の欠点があった。本発明は上
記欠点を解消した新規な印刷配線板の製造方法を得るこ
とを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために以下の如く構成したものである。即ち、絶
縁板の表面に箔状に形成された非銅製の下地金属箔を固
着してスルーホール孔を明けた後、化学銅メッキ処理し
て前記下地金属箔の表面および前記スルーホール孔の内
面に化学銅メッキ層を形成し、次いで前記下地金属箔の
表面を研磨して該下地金属箔の表面に固着した化学銅メ
ッキ層を除去した後、露出した下地金属箔の表面を感光
樹脂膜により被覆した後、該感光樹脂膜を写真処理して
予定回路パーン部及びスルーホール孔周縁の感光樹脂膜
を除去し、次いで電気銅メッキ処理して前記感光樹脂膜
から露出した下地金属箔の表面及びスルーホール孔の化
学銅メッキ層の表面に電気銅メッキ膜を形成し、次いで
前記感光樹脂膜を除去した後、前記電気銅メッキ膜から
露出した下地金属箔部分をエッチング液で溶解除去する
構成にしたものである。また、絶縁板の表面に箔状に形
成された非銅製の下地金属箔を固着した後スルーホール
孔を明け、下地金属箔の表面および前記スルーホール孔
の内面に化学銅メッキ処理、次いで電気銅メッキ処理し
て順次化学銅メッキ層、電気銅メッキ膜を形成した後前
記スルーホール孔内に絶縁樹脂を充填し、下地金属箔の
表面に形成した電気銅メッキ膜をエッチング液で溶解除
去した後両面を研磨し、次いで露出した下地金属箔の表
面を感光樹脂膜により被覆した後、該感光樹脂膜を写真
処理して予定回路パーン部及びスルーホール孔周縁の感
光樹脂膜を除去し、次いで電気銅メッキ処理して前記感
光樹脂膜から露出した下地金属箔の表面に電気銅メッキ
膜を形成し、次いで前記感光樹脂膜を除去した後、前記
電気銅メッキ膜から露出した下地金属箔部分をエッチン
グ液で溶解除去する構成にしたものである。この場合、
前記下地金属箔はニッケル箔にするとよい。
【0006】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施例を図面に基い
て説明する。図1〜図7は本発明の製造工程図である。
まず図1に示すように、熱硬化性の絶縁板1の上下両面
に厚さ約5μの非銅製の下地金属箔3を重ね、加熱圧縮
して両者を一体的に固着した後、所定箇所にスルーホー
ル孔2を明けて1次基板A−1を得る。上記下地金属箔
3は圧延または電解により形成したニッケル箔からな
る。なお、この下地金属箔3は銅以外の他の金属、例え
ばアルミ箔としてもよい。
【0007】次いで上記1次基板A−1を化学銅メッキ
処理して上記下地金属箔3の上面および上記スルーホー
ル孔2の内面を含む1次基板A−1の全面に、厚さ約
0.3μの化学銅メッキ層4(4a,4b)を形成し、
図2に示す2次基板A−2を得る。次いでこの2次基板
A−2の上下両面をバフ等により研磨して下地金属箔3
の上面に固着した化学銅メッキ層4aを除去し、図3に
示す3次基板A−3を得る。
【0008】次いで、露出した下地金属箔3の表面をド
ライフィルムタイプの感光樹脂膜5により被覆した後、
上記感光樹脂膜5を写真処理して線幅約40μの予定回
路パーン部3a、及びスルーホール孔2の周縁部3bの
感光樹脂膜5を除去し、図4に示す4次基板A−4を得
る。次いで4次基板A−4を電気銅メッキ処理して下地
金属箔3の上記予定回路パーン部3a、スルーホール孔
2の周縁部3bの各上面、及びスルーホール孔2の化学
銅メッキ層4bの表面に厚さ約25μの電気銅メッキ膜
6a,6b,6cを形成し、図5に示す5次基板A−5
を得る。
【0009】次いで上記感光樹脂膜5を除去して予定回
路パーン部3a、スルーホール孔2の周縁部3bを除く
下地金属箔3cを露出させ、図6に示す6次基板A−6
を得た後、上記露出した下地金属箔3cをエッチング液
で溶解除去し、図7に示すように、絶縁板1の上下両面
に回路パターン7、スルーホール8を有する印刷配線板
Aを得る。この場合、上記回路パターン7はその上層が
銅(電気銅メッキ膜6a)、下層がニッケル(下地金属
箔3)となっているため、上記下地金属箔3cをエッチ
ング液で溶解除去した際に、回路パターン7の上層(電
気銅メッキ膜6a)は溶解されず、図7に示すように、
所定の幅が維持され、後工程のワイヤーボンディングが
円滑に行われることになる。
【0010】ここで、前述した図2に示す2次基板A−
2を得た後、図8〜図14の工程を経て印刷配線板Aを
得るようにしてもよい。即ち、2次基板A−2を電気銅
メッキ処理して上記化学銅メッキ層4(4a,4b)の
上面全面に、厚さ約25μの電気銅メッキ膜10(10
a,10b)を形成し、図8に示す3次基板B−3を得
る。次いでこの3次基板B−3のスルーホール孔2内に
樹脂材からなる充填材12を充填して図9に示す4次基
板B−4を得る。次いで、上記4次基板B−4の上下両
面に形成した電気銅メッキ膜10(10a,10b)を
エッチング液で溶解除去して下地金属箔3を露出させた
後、研磨して上記充填材12の上下突出部12a,12
bを除去して図10に示すように、上下面が平坦な5次
基板B−5を得る。
【0011】次いで、露出した下地金属箔3の表面をド
ライフィルムタイプの感光樹脂膜5により被覆した後、
前述と同様に、上記感光樹脂膜5を写真処理して線幅約
40μの予定回路パーン部3a、及びスルーホール孔2
の周縁部3bの感光樹脂膜5を除去し、図11に示す6
次基板B−6を得る。次いで6次基板B−6を電気銅メ
ッキ処理して下地金属箔3の予定回路パーン部3a、ス
ルーホール孔2周縁部3bの各上面に厚さ約25μの電
気銅メッキ膜11a,11bを形成し、図12に示す7
次基板B−7を得る。
【0012】次いで上記感光樹脂膜5を除去して下地金
属箔3の予定回路パーン部3a、スルーホール孔2周縁
部3bを除く下地金属箔3cを露出させ、図13に示す
8次基板B−8を得た後、上記露出した下地金属箔3c
をエッチング液で溶解除去し、図14に示すように、絶
縁板1の上下両面に回路パターン7、充填材12が充填
されたスルーホール8を有する印刷配線板Bを得る。こ
の印刷配線板Bの回路パターン7も、前述した印刷配線
板Aの回路パターン7と同様に、上層の電気銅メッキ膜
11aが、ニッケルエッチング液で溶解しないので、図
14に示すように、所定の幅が維持され、後工程のワイ
ヤーボンディングが円滑に行われることになる。
【0013】上記実施例によれば、圧延または電解によ
り形成した非銅製の下地金属箔3を絶縁板1の上面に固
着するようにしたから、必要な厚さの下地金属箔3を容
易に得ることができ、研磨工程で下地金属箔3の上面に
固着した化学銅メッキ層4a、又はスルーホール孔2内
に充填した充填材12の上下突出部12a,12bを除
去する際に、下地金属箔3が消滅しなくなり、電気銅メ
ッキ膜による回路パターンを円滑に形成できる。また、
非銅製の下地金属箔3の予定回路パーン部3aの上面に
電気銅メッキ膜を固着し、不要部分の下地金属箔3cを
銅が溶解しないエッチングで溶解・除去することができ
るので回路パターン7のトップの幅を所定値に保持する
ことができ、後工程のワイヤーボンディングが円滑に行
われることになる。また、下地金属箔3は、ニッケル、
アルミ等の材料を適宜選択して絶縁板1の上面に固着す
ることができ、材料の選択の自由度が増すことになる。
【0014】
【発明の効果】以上の説明から明らかな如く、本発明
は、絶縁板の上面に固着する下地金属箔を、圧延または
電解により形成した非銅製の下地金属箔としたので、所
定の厚さを有する下地金属箔を安価に得ることができる
とともに、下地金属箔の材質を適宜選択、例えばニッケ
ル箔、アルミ箔等を選択することができ、材料の選択の
自由度が増すことになる。また、銅を溶解しないエッチ
ング液で回路パターンを形成することができ、安価にし
てワイヤーボンディングが円滑にできる印刷配線板を得
ることができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による絶縁板の上面に下地金属箔を固着
した1次基板の要部断面図である。
【図2】1次基板に化学銅メッキ層を形成した2次基板
の要部断面図である。
【図3】2次基板の上下面の化学銅メッキ層を除去した
3次基板の要部断面図である。
【図4】3次基板の上面に感光樹脂膜を形成した4次基
板の要部断面図である。
【図5】4次基板に電気銅メッキ膜を形成した5次基板
の要部断面図である。
【図6】5次基板の感光樹脂膜を除去した6次基板の要
部断面図である。
【図7】6次基板の露出した下地金属箔を除去して仕上
げた印刷配線板の要部断面図である。
【図8】図2の2次基板に電気銅メッキ層を形成した3
次基板の要部断面図である。
【図9】図8の3次基板のスルーホール孔に充填材を充
填した4次基板の要部断面図である。
【図10】図9の上下面の化学銅メッキ層及び電気銅メ
ッキ層を除去した5次基板の要部断面図である。
【図11】図10の5次基板の上面に感光樹脂膜を形成
した6次基板の要部断面図である。
【図12】図11の6次基板に電気銅メッキ膜を形成し
た7次基板の要部断面図である。
【図13】図12の7次基板の感光樹脂膜を除去した8
次基板の要部断面図である。
【図14】図13の8次基板の露出した下地金属箔を除
去して仕上げた印刷配線板の要部断面図である。
【符号の説明】
A 印刷配線板 A−1 1次基板 A−2 2次基板 A−3 3次基板 A−4 4次基板 A−5 5次基板 B 印刷配線板 B−3 3次基板 B−4 4次基板 B−5 5次基板 B−6 6次基板 B−7 7次基板 B−8 8次基板 1 絶縁板 2 スルーホール 3(3a,3b,3c) 下地金属箔 4(4a,4b) 化学銅メッキ層 5 感光樹脂膜 6a,6b,6c 電気銅メッキ膜 7 パターン回路 8 スルーホール 10(10a,10b) 電気銅メッキ膜 11a,11b 電気銅メッキ膜 12 充填材(樹脂) 12a,12b 上下突出部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】絶縁板の表面に箔状に形成された非銅製の
    下地金属箔を固着してスルーホール孔を明けた後、化学
    銅メッキ処理して前記下地金属箔の表面および前記スル
    ーホール孔の内面に化学銅メッキ層を形成し、次いで前
    記下地金属箔の表面を研磨して該下地金属箔の表面に固
    着した化学銅メッキ層を除去した後、露出した下地金属
    箔の表面を感光樹脂膜により被覆した後、該感光樹脂膜
    を写真処理して予定回路パーン部及びスルーホール孔周
    縁の感光樹脂膜を除去し、次いで電気銅メッキ処理して
    前記感光樹脂膜から露出した下地金属箔の表面及びスル
    ーホール孔の化学銅メッキ層の表面に電気銅メッキ膜を
    形成し、次いで前記感光樹脂膜を除去した後、前記電気
    銅メッキ膜から露出した下地金属箔部分をエッチング液
    で溶解除去したことを特徴とする印刷配線板の製造方
    法。
  2. 【請求項2】前記下地金属箔はニッケル箔としたことを
    特徴とする請求項1記載の印刷配線板の製造方法。
  3. 【請求項3】絶縁板の表面に箔状に形成された非銅製の
    下地金属箔を固着した後スルーホール孔を明け、下地金
    属箔の表面および前記スルーホール孔の内面に化学銅メ
    ッキ処理、次いで電気銅メッキ処理して順次化学銅メッ
    キ層、電気銅メッキ膜を形成した後前記スルーホール孔
    内に絶縁樹脂を充填し、下地金属箔の表面に形成した電
    気銅メッキ膜をエッチング液で溶解除去した後両面を研
    磨し、次いで露出した下地金属箔の表面を感光樹脂膜に
    より被覆した後、該感光樹脂膜を写真処理して予定回路
    パーン部及びスルーホール孔周縁の感光樹脂膜を除去
    し、次いで電気銅メッキ処理して前記感光樹脂膜から露
    出した下地金属箔の表面に電気銅メッキ膜を形成し、次
    いで前記感光樹脂膜を除去した後、前記電気銅メッキ膜
    から露出した下地金属箔部分をエッチング液で溶解除去
    したことを特徴とする印刷配線板の製造方法。
  4. 【請求項4】前記下地金属箔はニッケル箔としたことを
    特徴とする請求項3記載の印刷配線板の製造方法。
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