JPH1019706A - 真空圧力測定装置 - Google Patents
真空圧力測定装置Info
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- JPH1019706A JPH1019706A JP19832596A JP19832596A JPH1019706A JP H1019706 A JPH1019706 A JP H1019706A JP 19832596 A JP19832596 A JP 19832596A JP 19832596 A JP19832596 A JP 19832596A JP H1019706 A JPH1019706 A JP H1019706A
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 62
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 30
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 2
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- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 9
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 7
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 減圧空間における真空圧力を、正確かつ
簡単に測定することができる真空圧力測定装置を提供と
することを目的としている。 【解決手段】 所定水位まで水を入れた容器１を備え、
この容器１内の上部空間を圧力を測定すべき減圧空間に
連通し、前記容器１内の水を加熱する加熱手段２を備
え、前記容器１内の水の温度を検出する温度センサ３を
備え、前記加熱手段２により前記容器１内の水を飽和温
度まで加熱したとき、前記温度センサ３の検出温度に基
づいて、予め記憶した飽和温度と飽和蒸気圧力との関係
から圧力を演算する圧力演算手段４を備えた構成。
簡単に測定することができる真空圧力測定装置を提供と
することを目的としている。 【解決手段】 所定水位まで水を入れた容器１を備え、
この容器１内の上部空間を圧力を測定すべき減圧空間に
連通し、前記容器１内の水を加熱する加熱手段２を備
え、前記容器１内の水の温度を検出する温度センサ３を
備え、前記加熱手段２により前記容器１内の水を飽和温
度まで加熱したとき、前記温度センサ３の検出温度に基
づいて、予め記憶した飽和温度と飽和蒸気圧力との関係
から圧力を演算する圧力演算手段４を備えた構成。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、減圧空間におけ
る真空圧力を測定するための装置に関するもので、例え
ば、真空脱気装置や真空冷却装置などに用いられる。
る真空圧力を測定するための装置に関するもので、例え
ば、真空脱気装置や真空冷却装置などに用いられる。
【０００２】
【従来の技術】真空脱気装置は、気体透過性の中空糸膜
中に被処理水を通し、中空糸膜の外側を真空引きして減
圧状態にすることにより、中空糸膜の膜壁を通して被処
理水中の溶存気体を除去する装置である。この真空脱気
装置の真空ラインにおいて、その真空圧力を測定するた
めのセンサとして、歪ゲージ式のものが広く用いられて
いるが、このセンサは高価であり、また校正を必要とす
るため、その管理が煩雑で、精度の維持が困難であっ
た。
中に被処理水を通し、中空糸膜の外側を真空引きして減
圧状態にすることにより、中空糸膜の膜壁を通して被処
理水中の溶存気体を除去する装置である。この真空脱気
装置の真空ラインにおいて、その真空圧力を測定するた
めのセンサとして、歪ゲージ式のものが広く用いられて
いるが、このセンサは高価であり、また校正を必要とす
るため、その管理が煩雑で、精度の維持が困難であっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、減圧空間
における真空圧力を、正確かつ簡単に測定することがで
きる真空圧力測定装置を提供とすることを目的としてい
る。
における真空圧力を、正確かつ簡単に測定することがで
きる真空圧力測定装置を提供とすることを目的としてい
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、上述の課題
に鑑みてなされたもので、所定水位まで水を入れた容器
を備え、この容器内の上部空間を圧力を測定すべき減圧
空間に連通し、前記容器内の水を加熱する加熱手段を備
え、前記容器内の水の温度を検出する温度センサを備
え、前記加熱手段により前記容器内の水を飽和温度まで
加熱したとき、前記温度センサの検出温度に基づいて、
予め記憶した飽和温度と飽和蒸気圧力との関係から圧力
を演算する圧力演算手段を備えたことを第１の特徴とし
ている。また、この発明は、前記圧力演算手段が、前記
加熱手段による容器内の水の加熱時、前記温度センサに
よる検出温度が一定状態となり、この一定状態が所定時
間継続したとき、容器内の水が飽和温度に達したと判定
する機能を有することを第２の特徴としている。
に鑑みてなされたもので、所定水位まで水を入れた容器
を備え、この容器内の上部空間を圧力を測定すべき減圧
空間に連通し、前記容器内の水を加熱する加熱手段を備
え、前記容器内の水の温度を検出する温度センサを備
え、前記加熱手段により前記容器内の水を飽和温度まで
加熱したとき、前記温度センサの検出温度に基づいて、
予め記憶した飽和温度と飽和蒸気圧力との関係から圧力
を演算する圧力演算手段を備えたことを第１の特徴とし
ている。また、この発明は、前記圧力演算手段が、前記
加熱手段による容器内の水の加熱時、前記温度センサに
よる検出温度が一定状態となり、この一定状態が所定時
間継続したとき、容器内の水が飽和温度に達したと判定
する機能を有することを第２の特徴としている。
【０００５】
【発明の実施の形態】所定水位まで水を入れた容器を設
置し、この容器の上部空間を、圧力を測定すべき減圧空
間に連通する。前記容器には、容器内の水を加熱するヒ
ータ等の加熱手段と、容器内の水の温度を検出する温度
センサを設ける。この温度センサとしては、熱電対ある
いはサーミスタなどを用いる。前記加熱手段は、容器の
内部に設けてもよいし、容器の外部に設けて、容器内の
水を外側から加熱するようにしてもよい。
置し、この容器の上部空間を、圧力を測定すべき減圧空
間に連通する。前記容器には、容器内の水を加熱するヒ
ータ等の加熱手段と、容器内の水の温度を検出する温度
センサを設ける。この温度センサとしては、熱電対ある
いはサーミスタなどを用いる。前記加熱手段は、容器の
内部に設けてもよいし、容器の外部に設けて、容器内の
水を外側から加熱するようにしてもよい。
【０００６】圧力演算手段に予め飽和温度と飽和蒸気圧
力との関係を記憶させておき、前記加熱手段により前記
容器内の水を飽和温度まで加熱したとき、前記温度セン
サの検出温度に基づいて、前記圧力演算手段により圧力
を演算する。演算した圧力は、適宜の表示手段により表
示する。
力との関係を記憶させておき、前記加熱手段により前記
容器内の水を飽和温度まで加熱したとき、前記温度セン
サの検出温度に基づいて、前記圧力演算手段により圧力
を演算する。演算した圧力は、適宜の表示手段により表
示する。
【０００７】容器内の水が飽和温度に達したかどうか
は、水の温度変化に基づいて判定する。すなわち、前記
加熱手段により容器内の水を加熱したとき、水の温度は
上昇し飽和温度に達すると平衡状態となる。この平衡に
達した温度一定状態が所定時間継続したとき、飽和温度
に達したと判定する。圧力測定後は、加熱手段を停止さ
せる。
は、水の温度変化に基づいて判定する。すなわち、前記
加熱手段により容器内の水を加熱したとき、水の温度は
上昇し飽和温度に達すると平衡状態となる。この平衡に
達した温度一定状態が所定時間継続したとき、飽和温度
に達したと判定する。圧力測定後は、加熱手段を停止さ
せる。
【０００８】この発明は、真空脱気装置の他、真空冷却
装置、真空乾燥装置などの減圧空間を有する装置に適用
できる。
装置、真空乾燥装置などの減圧空間を有する装置に適用
できる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の好ましい実施例を図面に基
づいて説明する。図１は、この発明の一実施例を示す説
明図である。所定水位まで水を入れた容器１を設け、こ
の容器１内の上部空間を、圧力を測定すべき減圧空間と
しての真空ライン７に連通させている。図示した実施例
では、真空ライン７の下部に容器１を接続している。
づいて説明する。図１は、この発明の一実施例を示す説
明図である。所定水位まで水を入れた容器１を設け、こ
の容器１内の上部空間を、圧力を測定すべき減圧空間と
しての真空ライン７に連通させている。図示した実施例
では、真空ライン７の下部に容器１を接続している。
【００１０】前記容器１には、内部の水を加熱するヒー
タ等の加熱手段２を設けている。図示した実施例では、
加熱手段２を容器１の下端より挿入し、内側から加熱す
る構成にしているが、加熱手段２を容器１の側壁部を覆
うように設け、容器１内の水を外側から加熱する構成に
することもできる。加熱手段２の稼動・停止は、加熱制
御装置６により制御する。
タ等の加熱手段２を設けている。図示した実施例では、
加熱手段２を容器１の下端より挿入し、内側から加熱す
る構成にしているが、加熱手段２を容器１の側壁部を覆
うように設け、容器１内の水を外側から加熱する構成に
することもできる。加熱手段２の稼動・停止は、加熱制
御装置６により制御する。
【００１１】前記容器１には、内部の水の温度を検出す
る温度センサ３を設けている。この温度センサ３として
は、熱電対あるいはサーミスタなどを用い、先端の感温
部を水面下に水没させている。
る温度センサ３を設けている。この温度センサ３として
は、熱電対あるいはサーミスタなどを用い、先端の感温
部を水面下に水没させている。
【００１２】圧力演算手段４には、予め飽和温度と飽和
蒸気圧力との関係を記憶させておき、前記加熱手段２に
より容器１内の水を飽和温度まで加熱したとき、温度セ
ンサ３の検出温度に基づいて、前記圧力演算手段４によ
り圧力を演算するようにしている。演算した圧力は、圧
力表示手段５により表示する。
蒸気圧力との関係を記憶させておき、前記加熱手段２に
より容器１内の水を飽和温度まで加熱したとき、温度セ
ンサ３の検出温度に基づいて、前記圧力演算手段４によ
り圧力を演算するようにしている。演算した圧力は、圧
力表示手段５により表示する。
【００１３】上述の実施例について、その作用を説明す
る。加熱手段２により容器１内の水を加熱すると、水の
温度は上昇し飽和温度に達すると平衡状態となる。よっ
て、この平衡に達した温度一定状態が所定時間（例えば
２０秒）継続したとき、飽和温度に達したと判定し、こ
のときの検出温度に基づいて圧力演算手段４にて、予め
記憶した飽和温度と飽和蒸気圧力との関係から圧力を演
算する。演算した圧力は、圧力表示手段５により表示す
る。例えば、検出温度が３２．６℃であれば、圧力は３
８Torrになる。
る。加熱手段２により容器１内の水を加熱すると、水の
温度は上昇し飽和温度に達すると平衡状態となる。よっ
て、この平衡に達した温度一定状態が所定時間（例えば
２０秒）継続したとき、飽和温度に達したと判定し、こ
のときの検出温度に基づいて圧力演算手段４にて、予め
記憶した飽和温度と飽和蒸気圧力との関係から圧力を演
算する。演算した圧力は、圧力表示手段５により表示す
る。例えば、検出温度が３２．６℃であれば、圧力は３
８Torrになる。
【００１４】圧力測定後は、水の蒸発を抑えるために加
熱手段２を停止させる。また、容器１内の水量が少なく
なれば、適宜、補給してやるようにする。容器１内の水
の量は１０ｃｃ程度とする。減圧状態時は飽和温度も低
くなっているので加熱手段２の熱容量も小さくてよい。
熱手段２を停止させる。また、容器１内の水量が少なく
なれば、適宜、補給してやるようにする。容器１内の水
の量は１０ｃｃ程度とする。減圧状態時は飽和温度も低
くなっているので加熱手段２の熱容量も小さくてよい。
【００１５】図２は、この発明を真空脱気装置に適用し
た実施例を示すものである。多数の気体透過性の中空糸
膜９を収納した脱気モジュール８を備え、この中空糸膜
９の一端から他端に向かって被処理水を流通させると
き、中空糸膜９の外側を真空引きして減圧状態にするこ
とにより、中空糸膜９の膜壁を通して被処理水中の溶存
気体を除去するようになっている。真空引きの手段とし
ては、逆止弁１０および水封式真空ポンプ１１を挿設し
て成る真空ライン７を、前記脱気モジュール８に接続し
ている。前記水封式真空ポンプ１１には、封水供給ライ
ン１２を接続している。
た実施例を示すものである。多数の気体透過性の中空糸
膜９を収納した脱気モジュール８を備え、この中空糸膜
９の一端から他端に向かって被処理水を流通させると
き、中空糸膜９の外側を真空引きして減圧状態にするこ
とにより、中空糸膜９の膜壁を通して被処理水中の溶存
気体を除去するようになっている。真空引きの手段とし
ては、逆止弁１０および水封式真空ポンプ１１を挿設し
て成る真空ライン７を、前記脱気モジュール８に接続し
ている。前記水封式真空ポンプ１１には、封水供給ライ
ン１２を接続している。
【００１６】前記真空ライン７における逆止弁１０と水
封式真空ポンプ１１との間に、この発明の真空圧力測定
装置を設けている。すなわち、真空ライン７に連通させ
て、所定水位まで水を入れた容器１を設け、この容器１
内の水を加熱する加熱手段２と、容器１内の水の温度を
検出する温度センサ３を設けている。温度センサ３には
圧力演算手段４を接続し、容器１内の水が加熱手段２の
加熱により飽和温度に達したとき、検出温度に基づい
て、予め記憶した飽和温度と飽和蒸気圧力との関係から
圧力を演算する。
封式真空ポンプ１１との間に、この発明の真空圧力測定
装置を設けている。すなわち、真空ライン７に連通させ
て、所定水位まで水を入れた容器１を設け、この容器１
内の水を加熱する加熱手段２と、容器１内の水の温度を
検出する温度センサ３を設けている。温度センサ３には
圧力演算手段４を接続し、容器１内の水が加熱手段２の
加熱により飽和温度に達したとき、検出温度に基づい
て、予め記憶した飽和温度と飽和蒸気圧力との関係から
圧力を演算する。
【００１７】演算した圧力は、適宜の表示手段により表
示することもできるし、真空脱気装置の運転制御装置
（図示せず）に入力して、水封式真空ポンプ１１の運転
制御に用いることもできる。
示することもできるし、真空脱気装置の運転制御装置
（図示せず）に入力して、水封式真空ポンプ１１の運転
制御に用いることもできる。
【００１８】容器１内の水は、蒸発により少しずつ減少
するが、水封式真空ポンプ１１の封水を補給水として用
いる。真空脱気処理後、水封式真空ポンプ１１を停止さ
せると、逆止弁１０の直下流位置まで空気および封水が
逆流するので、その逆流した封水を容器１に供給してや
ることができる。
するが、水封式真空ポンプ１１の封水を補給水として用
いる。真空脱気処理後、水封式真空ポンプ１１を停止さ
せると、逆止弁１０の直下流位置まで空気および封水が
逆流するので、その逆流した封水を容器１に供給してや
ることができる。
【００１９】前記水封式真空ポンプ１１の替わりに、他
の形式の真空吸引手段を用いることもできる。また、こ
の発明の真空圧力測定装置は、膜式の真空脱気装置の他
に脱気塔式のものにも適用できる。
の形式の真空吸引手段を用いることもできる。また、こ
の発明の真空圧力測定装置は、膜式の真空脱気装置の他
に脱気塔式のものにも適用できる。
【００２０】
【発明の効果】この発明は、以上のような構成であるの
で、容器内の水を飽和温度まで加熱し、このときの水の
温度より、飽和温度と飽和蒸気圧力の関係から圧力を求
めることができ、減圧空間における真空圧力を、正確か
つ簡単に測定することができる。実際の使用にあたって
は、校正が不要であるので管理が煩雑でなく、また、安
価な測定装置とすることができる。
で、容器内の水を飽和温度まで加熱し、このときの水の
温度より、飽和温度と飽和蒸気圧力の関係から圧力を求
めることができ、減圧空間における真空圧力を、正確か
つ簡単に測定することができる。実際の使用にあたって
は、校正が不要であるので管理が煩雑でなく、また、安
価な測定装置とすることができる。
【図１】この発明の一実施例を示す説明図である。
【図２】この発明を真空脱気装置に適用した実施例を示
す説明図である。
す説明図である。
１ 容器 ２ 加熱手段 ３ 温度センサ ４ 圧力演算手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山尾 卓宏 愛媛県松山市堀江町７番地 三浦工業株式 会社内 (72)発明者 一色 克文 愛媛県松山市堀江町７番地 三浦工業株式 会社内 (72)発明者 安部 元 愛媛県松山市堀江町７番地 三浦工業株式 会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 所定水位まで水を入れた容器１を備え、
この容器１内の上部空間を圧力を測定すべき減圧空間に
連通し、前記容器１内の水を加熱する加熱手段２を備
え、前記容器１内の水の温度を検出する温度センサ３を
備え、前記加熱手段２により前記容器１内の水を飽和温
度まで加熱したとき、前記温度センサ３の検出温度に基
づいて、予め記憶した飽和温度と飽和蒸気圧力との関係
から圧力を演算する圧力演算手段４を備えたことを特徴
とする真空圧力測定装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の真空圧力測定装置にお
いて、前記圧力演算手段４が、前記加熱手段２による容
器１内の水の加熱時、前記温度センサ３による検出温度
が一定状態となり、この一定状態が所定時間継続したと
き、容器１内の水が飽和温度に達したと判定する機能を
有することを特徴とする真空圧力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19832596A JPH1019706A (ja) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | 真空圧力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19832596A JPH1019706A (ja) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | 真空圧力測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1019706A true JPH1019706A (ja) | 1998-01-23 |
Family
ID=16389238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19832596A Pending JPH1019706A (ja) | 1996-07-08 | 1996-07-08 | 真空圧力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1019706A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11101704A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Miura Co Ltd | 真空圧力測定方法およびその装置 |
| JP2008224369A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Toshinori Kanemitsu | 容器内の気相部の圧力管理方法とその装置 |
| CN104755896A (zh) * | 2012-06-29 | 2015-07-01 | 英瑞杰汽车系统研究公司 | 测量在净化系统或能量存储系统中的气体压强的设备 |
| JP2018146190A (ja) * | 2017-03-07 | 2018-09-20 | 荏原冷熱システム株式会社 | 吸収式冷凍機、制御プログラム及び吸収式冷凍機の制御方法 |
| US10354079B2 (en) | 2000-12-19 | 2019-07-16 | Google Llc | Location-based security rules |
| CN114002375A (zh) * | 2021-09-27 | 2022-02-01 | 浙江泰林医学工程有限公司 | 一种过氧化氢浓度传感器校准装置及方法 |
-
1996
- 1996-07-08 JP JP19832596A patent/JPH1019706A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11101704A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Miura Co Ltd | 真空圧力測定方法およびその装置 |
| US10354079B2 (en) | 2000-12-19 | 2019-07-16 | Google Llc | Location-based security rules |
| JP2008224369A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Toshinori Kanemitsu | 容器内の気相部の圧力管理方法とその装置 |
| CN104755896A (zh) * | 2012-06-29 | 2015-07-01 | 英瑞杰汽车系统研究公司 | 测量在净化系统或能量存储系统中的气体压强的设备 |
| JP2018146190A (ja) * | 2017-03-07 | 2018-09-20 | 荏原冷熱システム株式会社 | 吸収式冷凍機、制御プログラム及び吸収式冷凍機の制御方法 |
| CN114002375A (zh) * | 2021-09-27 | 2022-02-01 | 浙江泰林医学工程有限公司 | 一种过氧化氢浓度传感器校准装置及方法 |
| CN114002375B (zh) * | 2021-09-27 | 2024-05-17 | 浙江泰林医学工程有限公司 | 一种过氧化氢浓度传感器校准装置及方法 |
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