JPH1019930A - 導電性接触子 - Google Patents

導電性接触子

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JPH1019930A
JPH1019930A JP8188198A JP18819896A JPH1019930A JP H1019930 A JPH1019930 A JP H1019930A JP 8188198 A JP8188198 A JP 8188198A JP 18819896 A JP18819896 A JP 18819896A JP H1019930 A JPH1019930 A JP H1019930A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高周波数に対応するべく低インダクタンス化
及び低抵抗化可能な導電性接触子を提供する。 【解決手段】 積層された絶縁体２・３・４の上側及び
下側の各絶縁体３・４に設けられた支持孔３ａ・４ａに
より、互いに相反する向きの突出方向にそれぞれ抜け止
めされかつ出没自在に一対の導電性針状体５・６を支持
し、各導電性針状体５・６をそれぞれ突出方向に弾発付
勢するべく、両導電性針状体５・６と一体的に結合され
た導電性コイルばね７を中間絶縁体２の中間孔２ａ内に
受容する。そのコイルばね７の一部に定常巻き部７ａよ
りも比較的粗いピッチの粗巻き部７ｂを設ける。 【効果】 巻き数を増やすことなく、粗巻き部によりた
わみ代を確保して、低インダクタンス化及び低抵抗化を
向上して高周波数に対応できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に半導体素子の
ウェハやウェハから切り出されたベアチップの電気テス
トを行う際に用いるのに適する導通検査用のコンタクト
プローブに用いられる導電性接触子に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント配線板の導体パターンや
電子素子などの電気的検査を行うためのコンタクトプロ
ーブに用いられる導電性接触子には、ホルダ内に圧縮コ
イルばねを同軸的に受容すると共に、一対の導電性接触
子をホルダの軸線方向両端部にてそれぞれ出没自在に支
持し、それら両導電性針状体と圧縮コイルばねの両端部
とをそれぞれ半田付けして接続したものがある。そし
て、一方の導電性針状体から入力した電気信号を導電性
の圧縮コイルばねを介して他方の導電性針状体に伝達す
るようにしている。
【０００３】しかしながら、上記導電性接触子に流れる
電気信号が高周波信号である場合には、コイル状の導体
に電流が流れることになり、悪影響が生じる。すなわ
ち、コイル状の導体に高周波信号を流すと、インダクタ
ンスが増加し、検出信号に対する抵抗となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近年、半導体素子のウ
ェハ状態でのテストでは、テスト信号周波数が高速化さ
れ、数百ＭHzのものも使用されるようになっている。し
たがって、そのような高周波数の電気信号を伝えるテス
ト用コンタクトプローブに適用される導電性接触子にあ
っては、低インダクタンス化及び低抵抗化をより一層促
進することが要求される。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決し
て、高周波数に対応するべく低インダクタンス化及び低
抵抗化可能な導電性接触子を実現するために、本発明に
於いては、絶縁性支持部材に設けられた貫通孔に互いに
相反する向きの突出方向にそれぞれ抜け止めされかつ出
没自在に支持された一対の導電性針状体と、前記各導電
性針状体を前記突出方向に弾発付勢するべく前記貫通孔
内に受容されかつ前記両導電性針状体と一体的に結合さ
れた導電性コイルばねとを有し、前記コイルばねの一部
に他の部分よりも比較的粗いピッチの粗巻き部を設けた
ものとした。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下に添付の図面に示された具体
例に基づいて本発明の実施の形態について詳細に説明す
る。
【０００７】図１は、本発明が適用された両端可動型の
導電性接触子１の１例を示す模式的縦断面図である。こ
の導電性接触子１は、例えば図における上側の検査装置
に取り付けられた状態で、下側に配設された被検査対象
に接触させて、電気的検査を行う際に用いるのに適し、
図では１本の導電性接触子のみを示しているが、端子の
数に応じて複数を並列に配設されている。なお、図では
軸線方向長さに対して半径方向長さを極端に長くして図
示しているが、実際には極めて細長いものである。
【０００８】本導電性接触子１のホルダは、図１に示さ
れるように比較的厚い中間絶縁体２と、その中間絶縁体
２を間に挟むように上下に積層された上側絶縁体３及び
下側絶縁体４とにより構成されている。中間絶縁体２に
はその厚さ方向に貫通する中間孔２ａが形成されてお
り、上側及び下側の各絶縁体３・４には、中間孔２ａよ
りも若干縮径された各支持孔３ａ・４ａがそれぞれ厚さ
方向に貫通して形成されており、中間孔２ａ及び各支持
孔３ａ・４ａが互いに同軸的に整合するように各絶縁体
２〜４が積層されかつ図示されない締結手段により固定
されている。なお、これら各絶縁体２・３・４は、合成
樹脂材または金属材であって良く、金属材の場合には孔
の内周面を絶縁コーティングする。
【０００９】本導電性接触子１は、前記したように両端
可動型であり、上下の各支持孔３ａ・４ａにより、上側
及び下側の各導電性針状体５・６が軸線方向に変位自在
に支持されている。各導電性針状体５・６は、その各突
出先端部をそれぞれ各支持孔３ａ・４ａから外方に突出
する方向に先鋭にされ、それぞれ抜け止め用に各支持孔
３ａ・４ａよりも拡径されて中間孔２ａ内に受容された
拡径部５ａ・６ａを有している。
【００１０】中間孔２ａには両導電性針状体５・６間に
介装された導電性コイルばね７が同軸的に受容されてお
り、そのコイルばね７の両端部が、上記各導電性針状体
５・６の中間孔２ａ内に受容された各拡径部５ａ・６ａ
から互いに対向して突設されたピン状の各結合部５ｂ・
６ｂに、巻き付きまたは半田付けにて結合されている。
【００１１】このようにして構成された導電性接触子１
をウェハテストに使用する場合には、例えば図に示され
るように予め検査装置側の基板８に絶縁性支持部材とし
ての絶縁体２・３・４を図示されないねじなどで固設し
ておく。基板８の絶縁体３を固設される面（図における
下面）には回路の一部として設けられた内部回路導電体
８ａの端部が露出している。
【００１２】上記したように導電性接触子１を基板８に
固設することにより、その内部回路導電体８ａの露出部
に一方の導電性針状体５が弾発的に衝当し、両者が電気
的に接続される（図１）。そして、他方の導電性針状体
６をテスト対象のワーク９のワークパッド９ａに接触さ
せて、ワーク９と検査装置側の基板８とを電気的に接続
し、ウェハテストを行う。
【００１３】ところで、コイルばねを導体とする場合、
その巻き数ＮとインダクタンスＨとの間には、係数をＡ
とし、ばね長さをＬとすると、Ｈ＝Ａ・Ｎ2／Ｌの関係
があり、低インダクタンス化のためにはＮを極力少なく
することが重要である。しかしながら、弾発的に接触さ
せて使用する場合にはある程度のたわみ代も必要であ
り、十巻き前後から数十巻き必要である。
【００１４】本発明によるコイルばね７は、比較的ピッ
チの細かい定常巻き部７ａと、その定常巻き部７ａに対
して比較的ピッチの粗い粗巻き部７ｂとを設けるように
巻回され形成されている。ここで、定常巻き部７ａより
も粗巻き部７ｂのばね定数が大きい。
【００１５】従って、前記したように導電性接触子１を
基板８に固設した場合には、内部回路導電体８ａに一方
の導電性針状体５が当接して、まず定常巻き部７ａがた
わんで密着状態になる。次に、他方の導電性針状体６を
ワークパッド９ａに接触させるべく図２に示されるよう
に導電性接触子１をワーク９に近接させた位置で固定状
態にすると、粗巻き部７ｂがたわむようになる。
【００１６】このようにすることにより、例えば粗巻き
部７ｂを数巻きとすることにより、定常巻き部７ａが密
接した状態にあっては、粗巻き部７ｂのみがコイル状の
導体部分になり、ばね部の全長にわたってコイル状に電
気が伝わる場合に対してインダクタンスを小さくするこ
とができる。そのときのインダクタンスＨとしては、例
えば粗巻き部７ｂを１巻きとした場合には上記式のＮに
１を代入した結果になるため、インダクタンスを極めて
小さくすることができる。さらに、１巻き以下にするこ
ともでき、より一層低インダクタンス化し得る。
【００１７】また、粗巻き部７ｂのたわみ代を被接触体
としてのワークパッド９ａの加工誤差などによる高さ違
いに対するたわみ量を吸収し得る程度に設定することに
より、コイルばね７の実質の巻き数を極力少なくするこ
とができる。例えば上記したように粗巻き部７ｂの１巻
き分で高さの違いを吸収することができるように設定す
ると、図３に示されるように、ワークパッド９ａ・９ｂ
・９ｃの種々の高さの違いに対して、コイル部分はいず
れも１巻きであり、インダクタンスに対してはばね長さ
Ｌのみの違いでしかなく、高さ違いによる影響は極めて
小さい。
【００１８】また、抵抗値が高くなるコイル部分である
粗巻き部７ｂが略１巻きであれば、十数巻きや数十巻き
のものに対して抵抗値が相対的に低く、導電性接触子１
に流せる許容電流を大きくすることができ、大電流対応
可能になる。
【００１９】
【発明の効果】このように本発明によれば、導電性針状
体を弾発付勢する導電性コイルばねに粗巻き部を設けた
ことから、たわみ代を粗巻き部により吸収することがで
き、巻き数を増やすことなくたわみ代を確保して、低イ
ンダクタンス化及び低抵抗化を向上して高周波数に対応
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用された導電性接触子を示す模式的
縦断面図。
【図２】導電性接触子をワークパッドに接触させた状態
を示す模式的縦断面図。
【図３】たわみ量の違いに応じた導電性接触子の状態を
示す模式的縦断面図。
【符号の説明】
１ 導電性接触子 ２ 中間絶縁体 ３ 上側絶縁体 ４ 下側絶縁体 ２ａ 中間孔 ３ａ・４ａ 支持孔 ５・６ 導電性針状体 ５ａ・６ａ 拡径部 ７ コイルばね ７ａ 定常巻き部 ７ｂ 粗巻き部 ８ 基板 ８ａ 内部回路導電体 ９ ワーク ９ａ・９ｂ・９ｃ ワークパッド

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 絶縁性支持部材に設けられた貫通孔に互
    いに相反する向きの突出方向にそれぞれ抜け止めされか
    つ出没自在に支持された一対の導電性針状体と、前記各
    導電性針状体を前記突出方向に弾発付勢するべく前記貫
    通孔内に受容されかつ前記両導電性針状体と一体的に結
    合された導電性コイルばねとを有し、前記コイルばねの
    一部に他の部分よりも比較的粗いピッチの粗巻き部を設
    けたことを特徴とする導電性接触子。
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