JPH1020154A - 温度制御型光結合構造 - Google Patents

温度制御型光結合構造

Info

Publication number
JPH1020154A
JPH1020154A JP8169734A JP16973496A JPH1020154A JP H1020154 A JPH1020154 A JP H1020154A JP 8169734 A JP8169734 A JP 8169734A JP 16973496 A JP16973496 A JP 16973496A JP H1020154 A JPH1020154 A JP H1020154A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical coupling
substrate
optical
coupling structure
temperature control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8169734A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3047352B2 (ja
Inventor
Naoki Kimura
直樹 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP8169734A priority Critical patent/JP3047352B2/ja
Priority to US08/877,185 priority patent/US5848210A/en
Priority to DE69737276T priority patent/DE69737276T2/de
Priority to EP97110517A priority patent/EP0816884B1/en
Publication of JPH1020154A publication Critical patent/JPH1020154A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3047352B2 publication Critical patent/JP3047352B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • H01S5/02407Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling
    • H01S5/02415Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling by using a thermo-electric cooler [TEC], e.g. Peltier element
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4202Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4266Thermal aspects, temperature control or temperature monitoring
    • G02B6/4268Cooling
    • G02B6/4271Cooling with thermo electric cooling
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4274Electrical aspects
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4249Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02251Out-coupling of light using optical fibres
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/023Mount members, e.g. sub-mount members
    • H01S5/02325Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/06Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
    • H01S5/0607Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying physical parameters other than the potential of the electrodes, e.g. by an electric or magnetic field, mechanical deformation, pressure, light, temperature
    • H01S5/0612Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying physical parameters other than the potential of the electrodes, e.g. by an electric or magnetic field, mechanical deformation, pressure, light, temperature controlled by temperature
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型・安価で温度調整のために必要な消費電
力の小さい温度調整可能な温度制御型光結合構造を提供
する。 【解決手段】 裏面に金属電極1が配置された光結合基
板2と、表面に金属電極3が配置され熱電素子4とリー
ド線5が半田付けされた電極基板6とを備えている。光
結合基板2上には発光素子8等の光素子と光ファイバ7
が光学的に結合するように実装され、温度測定用のサー
ミスタ9が搭載されている。電極基板6に実装された熱
電素子4が光結合基板2の裏面の金属電極1に直接接合
されている。複数の熱電素子4は金属電極1、3により
直列に配線される。リード線5の両端に電圧が印加され
熱電素子4に電流が流れることによりペルチェ効果によ
って光結合基板2が加熱・冷却され、熱電素子4が温度
制御される。

Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信に用いられ
る光デバイスの光結合構造に関し、特に周囲温度の変化
等に迅速に対応できる温度機能付の光結合構造に関す
る。
【0001】
【従来の技術】従来の光モジュール等に用いられている
温度機能付の光結合構造として、例えば特開平3−58
006号公報に記載された技術が知られている。
【0002】図5は、従来の光結合モジュールの構成を
示す縦断面図である。半導体レーザ15から放出された
光は、球レンズ17、18により集光され、光ファイバ
19に結合される。また、光ファイバ19と結合される
側と反対の半導体レーザ15の端面から放出された光
は、光検出器16により受光される。
【0003】これらの光結合系全体を覆うように第1の
パッケージ20が設けられ、このパッケージ全体を温度
制御するペルチェクーラー21が第1のパッケージ20
に外付けされる。さらに、第1のパッケージ20とペル
チェクーラー21を覆うように第2のパッケージ22が
設けられている。
【0004】上記光結合モジュールでは、第2のパッケ
ージ22が外気を遮断し、さらに第1のパッケージ20
と第2のパッケージ22間に空気層が生じることによ
り、第1のパッケージ20内の温度が常に一定に制御さ
れる。
【0005】従来の光結合系を温度制御する技術の例と
して、光結合基板を使用した光結合系の構成例を図6に
示す。基板上に発光素子8と光ファイバ7を結合した光
結合基板2と、配線用の金属電極が形成された2枚の電
極基板6及び23で熱電素子4を挟んで配置したペルチ
ェクーラー24とから構成されている。光結合基板2お
よび温度測定用のサーミスタ9をペルチェクーラー24
上に実装することにより発光素子8の温度調整が行われ
る。
【0006】上記光結合ユニットは被加熱・冷却物であ
る光結合基板2が小型であるため熱容量が小さく、温度
調整のために必要なペルチェクーラー24の消費電力が
小さい。また、部品点数が少ないため低コスト化に有利
である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述した特開平3−5
8006の光結合モジュールは半導体レーザ15から放
出された光を効率よくしかも安定した波長で光ファイバ
19に導くために温度の安定化を図ることを目的として
いるが、光結合系全体を収納した第1のパッケージ20
全体を温度制御する必要があるため、温度制御のために
必要なペルチェクーラー21の消費電力が大きくなる欠
点がある。また、パッケージが2つ必要であること、お
よび球レンズなどの高価な光学部品を使用していること
からコストがかかる問題がある。
【0008】図6に示される光結合基板2を使用した光
結合ユニットでは、被加熱・冷却物である光結合基板2
は小型で熱容量が小さく温度制御のために必要なペルチ
ェクーラー24の低消費電力化を図ることができる。し
かしながら、光結合基板2と上面の電極基板23の大き
さが同程度であるため、被加熱・冷却物が大きいときに
は無視されていた上面の電極基板23の熱容量の影響が
大きくなり、さらに低消費電力化をすすめる場合の障害
となっている。また、光結合基板2を用いた光結合系は
小型であるため光結合モジュールの小型化に有利である
反面、ペルチェクーラー24は特に高さ方向について小
型化に限界があるため、モジュール全体の小型化に制限
を与えている。
【0009】本発明の温度制御型光結合構造の目的は、
小型・安価で温度調整に必要な消費電力の小さい温度調
整可能な温度制御型光結合構造を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上述の従来の温度制御型
光結合構造の欠点を除去するために、本発明の温度制御
型光結合素子は、光半導体素子と、該光半導体素子に光
学的に結合する光ファイバとを実装する第1の基板と、
温度制御素子と、温度制御素子を実装する第2の基板と
を含む温度制御型光結合構造であって、第1の基板は裏
面に配線用の基板電極を備え、温度制御素子は該温度制
御素子の電極が基板電極に接合されていることを特徴と
している。
【0011】また、本発明の温度制御型光結合構造は、
複数の光半導体素子と、該光半導体素子のそれぞれに光
学的に結合する複数の光ファイバを含んでいる。さら
に、光半導体素子は、光変調素子又は光増幅素子である
ことを特徴としている。
【0012】第2の基板は、表面に配線用の電極および
該電極と外部端子を接続する配線とを有するパッケージ
である。また、温度制御素子は、ペルチェ素子であるこ
とを特徴としている。さらに、本発明の温度制御型光結
合構造は、第1の基板に接続され、この第1の基板の温
度を検出するサーミスタと、温度によりペルチェ素子に
流す電流を制御する制御回路とを備えていることを特徴
としている。
【0013】より具体的には、本発明の温度制御型光結
合構造では、光結合基板上に発光素子と光ファイバの光
軸が合うように実装され、温度測定用のサーミスタが搭
載される。また、表面に配線用の金属電極を形成した電
極基板に熱電素子の下側およびリード線が半田付けされ
る。光結合基板の裏面には配線用の金属電極が形成さ
れ、電極基板に実装された熱電素子の上側が金属電極に
接続されるように位置合わせされて半田付けされる。複
数の熱電素子は金属電極により直列に配線される。
【0014】光結合系の構成に光結合基板を用いている
ために光学部品点数を減らすことができ、高価な光学部
品を使用するレンズ系の光結合系に比べて格段の低コス
ト化を図ることができる。
【0015】光結合基板の裏面に配線用の金属電極を形
成し直接熱電素子に半田付けする構成であるため、従来
のペルチェクーラーに必要であった上面の電極基板を省
くことができ被加熱・冷却物は純粋に光結合基板のみと
なる。これにより、被加熱・冷却物の熱容量が小さくな
り光結合系の温度制御に必要なペルチェの消費電力を低
減することが可能となる。
【0016】ペルチェクーラーを使用することにより光
結合モジュールの小型化の制限となっていた高さ方向に
ついても、電極基板を1枚省くことができるため電極基
板1枚分の小型化を図ることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】次に、本発明の温度制御型光結合
構造について、図面を参照して詳細に説明する。
【0018】図1(A)は、本発明の温度制御型光結合
構造の一実施例の構成を示す斜視図である。図1(B)
は、図1(A)の光結合基板2上に構成される光結合系
として発光素子8と光ファイバ7を結合した一例であ
る。
【0019】光結合基板2上には、発光素子8と光ファ
イバ7の光軸が合うように実装され、温度測定用のサー
ミスタ9が搭載される。また、表面に配線用の金属電極
3を形成した電極基板6には熱電素子4の下側およびリ
ード線5が半田付けされる。
【0020】光結合基板2の裏面には配線用の金属電極
1が形成され、電極基板6に実装された熱電素子4の上
側が金属電極1に接続されるように位置合わせされて半
田付けされている。複数の熱電素子4は金属電極1、3
により直列に配線される。
【0021】リード線5の両端に電圧をかけることによ
り金属電極1、3を通して熱電素子4に電流が流れ、熱
電素子4のペルチェ効果により熱電素子4の上側に実装
された光結合基板2が加熱・冷却される。熱電素子4に
流れる電流の向きによつて光結合基板2が加熱されるか
冷却されるかが選択される。加熱・冷却の度合いは熱電
素子4に流れる電流値で決まるので、サーミスタ9で光
る結合基板2上の温度を測定し、それに合わせて熱電素
子4に流れる電流を調整することにより発光素子8の温
度調整を行うことができる。
【0022】図2は、図1(A)の光結合基板2上に構
成される光結合系として多チャンネルアレイ発光素子1
1と多芯ファイバアレイ10を結合した一例である。光
結合基板2上には多チャンネルアレイ発光素子11と多
芯ファイバアレイ10のそれぞれのチャンネルの光軸が
合うように実装され、温度測定用のサーミスタ9が搭載
される。
【0023】図3は、図1(A)の光結合基板2上に構
成される光結合系として光変調素子または光増幅素子1
2と光ファイバ7を結合した一例である。光結合基板2
上には光変調素子または光増幅素子12の両側の端面の
光軸がそれぞれ光ファイバ7の光軸と合うように実装さ
れ、温度測定用のサーミスタ9が搭載される。
【0024】図4は、本発明の温度制御型光結合構造の
一実施例の構成を示す斜視図である。図1(B)、図
2、図3に示した光結合系は光結合基板2上に構成され
る光結合系の例である。また、光結合モジュール用のパ
ッケージ14には金属電極3および金属電極3とパッケ
ージ14の端子を接続する配線13が形成され、熱電素
子4の下側が金属電極3に半田付けされる。
【0025】光結合基板2の裏面には配線用の金属電極
1が形成され、パッケージ14に実装された熱電素子4
の上側が金属電極1に接続されるように位置合わせされ
て半田付けされる。パッケージ14の配線13の接続さ
れた端子に電圧をかけることにより金属電極1、3を通
して熱電素子4に電流が流れ、熱電素子4のペルチェ効
果により光結合基板2が加熱・冷却される。
【0026】
【発明の効果】本発明では、光結合系の構成に光結合基
板を用いているために光学部品点数を減らすことがで
き、高価な光学部品を使用するレンズ系の光結合系に比
べて格段に低コスト化を図ることができる。
【0027】さらに、光結合基板の裏面に配線用の金属
電極を形成し直接熱電素子に半田付けする構成であるた
め、従来のペルチェクーラーに必要であった上面の電極
基板を省くことができ、被加熱・冷却物は純粋に光結合
基板のみとなる。これにより被加熱・冷却物の熱容量が
小さくなり光結合系の温度調整に必要なペルチェの消費
電力を低減することが可能となる。
【0028】また、ペルチェクーラーを使用することに
より光結合モジュールの小型化の制限となっていた高さ
方向についても、電極基板を1枚省くことができるため
電極基板1枚分の小型化を図ることができる。
【0029】図4に示されるパッケージに形成した金属
電極に直接熱電素子を半田付けする構造の場合には下面
の電極基板も省くことができるため、高さ方向について
電極基板2枚分の小型化を図ることができる。さらに、
下面の電極基板を介さずに直接パッケージに接続されて
いるため、光結合基板から吸熱した熱のパッケージ外へ
の放熱性が向上する。その結果、熱電素子の冷却能力が
高まり光結合系の温度調整に必要なペルチェの消費電力
を低減することが可能となる。
【0030】また、電極基板を省くことで部品点数を減
らすことができるため低コスト化にも効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明の温度制御型光結合構造の第1
の実施例の構成を示す斜視図、(B)はその光結合系の
構成を示す斜視図である。
【図2】本発明の温度制御型光結合構造の第2の実施例
の構成を示す斜視図である。
【図3】本発明の温度制御型光結合構造の第3の実施例
の構成を示す斜視図である。
【図4】本発明の温度制御型光結合構造の温度調整機能
部分の構成を示す斜視図である。
【図5】従来技術の光結合モジュールの構成を示す縦断
面図である。
【図6】従来技術の光結合モジュールの構成を示す斜視
図である。
【符号の説明】
1 金属電極 2 光結合基板 3 金属電極 4 熱電素子 5 リード線 6 電極基板 7 光ファイバ 8 発光素子 9 サーミスタ 10 多芯ファイバアレイ 11 多チャンネルアレイ発光素子 12 光変調素子または光増幅素子 13 配線 14 パッケージ 15 半導体レーザ 16 光検出器 17 球レンズ 18 球レンズ 19 光ファイバ 20 第1のパッケージ 21 ペルチェクーラー 22 第2のパッケージ 23 電極基板 24 ペルチェクーラー

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光半導体素子と、該光半導体素子に光学
    的に結合する光ファイバとを実装する第1の基板と、 温度制御素子と、 前記温度制御素子を実装する第2の基板とを含む温度制
    御型光結合構造であって、 前記第1の基板は、裏面に配線用の基板電極を備え、 前記温度制御素子は、該温度制御素子の電極が前記基板
    電極に接合されていることを特徴とする温度制御型光結
    合構造。
  2. 【請求項2】 前記温度制御型光結合構造は、 複数の前記光半導体素子と、該光半導体素子のそれぞれ
    に光学的に結合する複数の光ファイバを含んでいること
    を特徴とする請求項1記載の温度制御型光結合構造。
  3. 【請求項3】 前記光半導体素子は、 光変調素子であることを特徴とする請求項1記載の温度
    制御型光結合構造。
  4. 【請求項4】 前記光半導体素子は、 光増幅素子であることを特徴とする請求項1記載の温度
    制御型光結合構造。
  5. 【請求項5】 前記第2の基板は、 表面に配線用の電極および該電極と外部端子を接続する
    配線とを有するパッケージであることを特徴とする請求
    項1または請求項2または請求項3記載の温度制御型光
    結合構造。
  6. 【請求項6】 前記温度制御素子は、 ペルチェ素子であることを特徴とする請求項1記載の温
    度制御型光結合構造。
  7. 【請求項7】 前記温度制御型光結合構造は、さらに、 前記第1の基板に接続され、前記第1の基板の温度を検
    出するサーミスタと、 前記温度により前記ペルチェ素子に流す電流を制御する
    制御回路とを備えていることを特徴とする請求項6記載
    の温度制御型光結合構造。
JP8169734A 1996-06-28 1996-06-28 温度制御型光結合構造 Expired - Fee Related JP3047352B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8169734A JP3047352B2 (ja) 1996-06-28 1996-06-28 温度制御型光結合構造
US08/877,185 US5848210A (en) 1996-06-28 1997-06-17 Temperature controlled optical coupling structure
DE69737276T DE69737276T2 (de) 1996-06-28 1997-06-26 Temperaturgeregelte optische Kopplungsstruktur
EP97110517A EP0816884B1 (en) 1996-06-28 1997-06-26 Temperature controlled optical coupling structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8169734A JP3047352B2 (ja) 1996-06-28 1996-06-28 温度制御型光結合構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1020154A true JPH1020154A (ja) 1998-01-23
JP3047352B2 JP3047352B2 (ja) 2000-05-29

Family

ID=15891867

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8169734A Expired - Fee Related JP3047352B2 (ja) 1996-06-28 1996-06-28 温度制御型光結合構造

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5848210A (ja)
EP (1) EP0816884B1 (ja)
JP (1) JP3047352B2 (ja)
DE (1) DE69737276T2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9093811B2 (en) 2012-12-03 2015-07-28 Electronics And Telecommunications Research Institute Multi channel transmitter optical sub-assembly

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3064969B2 (ja) * 1997-07-03 2000-07-12 日本電気株式会社 受光モジュールとその製造方法
JPH11125731A (ja) * 1997-10-22 1999-05-11 Nec Corp 単芯アレイ変換光装置
JP3226854B2 (ja) * 1997-10-24 2001-11-05 日本電気株式会社 半導体レーザモジュール
DE69801648T2 (de) * 1998-05-25 2002-04-18 Alcatel, Paris Optoelektronisches Modul mit wenigstens einem optoelektronischen Bauelement und Verfahren zur Temperaturstabilisierung
KR100330597B1 (ko) * 1999-06-07 2002-03-29 윤종용 하나의 소자 위에 설치된 배열 격자 도파로 다중화기 및 역다중화기 그리고 그 제작 방법
US6837059B2 (en) * 2002-09-17 2005-01-04 The Furukawa Electric Co., Ltd. Temperature adjustment device and laser module
US20050094949A1 (en) * 2002-10-25 2005-05-05 Jan Mink Hermetically sealed package for an electro-optic device
JP2004362144A (ja) * 2003-06-03 2004-12-24 Hitachi Ltd 運用管理方法及び実施装置並びに処理プログラム
JP4727916B2 (ja) * 2003-10-22 2011-07-20 富士通株式会社 光デバイスモジュール
RU2525151C1 (ru) * 2013-04-17 2014-08-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") Способ термостабилизации фотодиода для измерения его электрических характеристик
CN104466663A (zh) * 2014-12-04 2015-03-25 国家电网公司 一种高偏超辐射发光二极管

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04355706A (ja) * 1991-06-03 1992-12-09 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体レーザモジュール

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62158850A (ja) * 1985-12-28 1987-07-14 Mitsubishi Alum Co Ltd 熱交換器用Al合金フイン材
JPH0325988A (ja) * 1989-06-23 1991-02-04 Nec Corp 半導体レーザチップキャリアの構造
JPH0358006A (ja) * 1989-07-27 1991-03-13 Toshiba Corp 光結合モジュール
JPH0484480A (ja) * 1990-07-27 1992-03-17 Nec Corp チップキャリア型複合光素子
JPH04273176A (ja) * 1991-02-27 1992-09-29 Fujitsu Ltd 電気−光変換装置
US5355386A (en) * 1992-11-17 1994-10-11 Gte Laboratories Incorporated Monolithically integrated semiconductor structure and method of fabricating such structure
JPH07254746A (ja) * 1994-03-16 1995-10-03 Fujitsu Ltd 光変調器付発光装置の駆動装置
JP3426717B2 (ja) * 1994-07-22 2003-07-14 京セラ株式会社 光半導体素子収納用パッケージ
JPH09138325A (ja) * 1995-11-13 1997-05-27 Nec Corp 光ファイバ実装構造とその製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04355706A (ja) * 1991-06-03 1992-12-09 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体レーザモジュール

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9093811B2 (en) 2012-12-03 2015-07-28 Electronics And Telecommunications Research Institute Multi channel transmitter optical sub-assembly

Also Published As

Publication number Publication date
US5848210A (en) 1998-12-08
DE69737276T2 (de) 2007-07-05
JP3047352B2 (ja) 2000-05-29
DE69737276D1 (de) 2007-03-15
EP0816884A1 (en) 1998-01-07
EP0816884B1 (en) 2007-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3047352B2 (ja) 温度制御型光結合構造
JP4080593B2 (ja) 光センサ
JP2697700B2 (ja) 温度制御型半導体レーザ装置およびその温度制御方法
EP0632550A2 (en) Modulation of laser diodes
JPH04216656A (ja) 熱電冷却器を有する集積回路パッケージ
US7218657B2 (en) Optical transmitting module having a can type package and providing a temperature sensor therein
JP2009064829A (ja) 光送信モジュールおよび光送信装置
JP4718135B2 (ja) 光モジュール
US6829263B1 (en) Semiconductor laser
US7103284B2 (en) Light-emitting module
JP2003309312A (ja) 光モジュール
JP7600630B2 (ja) 光半導体モジュール
JP2004179197A (ja) ペルチェクーラ及び半導体レーザモジュール
JPH11295560A (ja) 光通信用モジュール及びその検査方法
JP2599226Y2 (ja) 光送信モジュール
JP4945874B2 (ja) 発光モジュールおよび発光モジュール基板生産物
JP3116900B2 (ja) 電子冷却器およびこれを用いた光部品モジュール
KR100480265B1 (ko) 무냉각 광통신 모듈
KR100416967B1 (ko) 열전달 장치를 구비한 평면 광도파로 소자 모듈
US7232264B2 (en) Optoelectronic arrangement having a laser component, and a method for controlling the emitted wavelength of a laser component
JP2675927B2 (ja) 光半導体素子固定方法
JP7774766B2 (ja) 光モジュール
JPH0532917B2 (ja)
JP2000232251A (ja) 電子冷却装置
JP2004296988A (ja) レーザダイオードモジュール及び光送信機

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19980908

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080324

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090324

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090324

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100324

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees