JPH10203064A - フィルムキャリアテープ及び搬送装置 - Google Patents

フィルムキャリアテープ及び搬送装置

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JPH10203064A
JPH10203064A JP1079197A JP1079197A JPH10203064A JP H10203064 A JPH10203064 A JP H10203064A JP 1079197 A JP1079197 A JP 1079197A JP 1079197 A JP1079197 A JP 1079197A JP H10203064 A JPH10203064 A JP H10203064A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】簡単な処理でモジュールの初期加工位置を含む
加工位置を自動的かつ正確に位置決めできるフィルムキ
ャリアテープ、及び該フィルムキャリアテープを用いて
簡単な装置構成で正確に位置決めできる搬送装置を提供
する。 【解決手段】長さ方向に複数のICチップ13をモジュ
ール抜き領域3に搭載し、モジュール抜き領域3毎に切
り抜いてICカードに内蔵されるICモジュール10を
製造するフィルムキャリアテープであって、フィルムキ
ャリアテープ幅方向の1個又は1列のモジュール抜き領
域3に対して1個以上の位置決め用ホール4をモジュー
ル抜き領域3外の所定の位置に形成する。搬送装置30
はこの位置決め用ホール4を光センサで検出して搬送を
所定の加工位置で停止させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ICカードに内蔵
されるICモジュールを製造するためのフィルムキャリ
アテープ及びそのフィルムキャリアテープの搬送装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】外部接続端子を有するICカード、例え
ばISO準拠のICカードでは、図4に示すように、カ
ード表面又は裏面にC1〜C8の8つの端子を規定して
いる。このような端子を有するICカードは、ICモジ
ュール10とこのICモジュール10を装着するICモ
ジュール用凹部21が形成されたカード基体20とで構
成される形態のものがある。
【0003】ICモジュール10は、例えば図5に示す
ように、モジュール基板11の表側面に銅箔などをパタ
ーニングした上記8つの外部接続端子12が形成され、
モジュール基板11裏面のほぼ中央部にICチップ13
が実装され、このICチップ13と外部接続端子12と
がモジュール基板11に開けられたボンディングホール
14を通してワイヤボンディング15で接続されてい
る。そのICチップ13やワイヤ15等はエポキシ樹脂
等の封止樹脂16で保護されている。
【0004】このようなICモジュールを図4に示すよ
うに、カード基体3に形成されたICモジュール用凹部
21に接着剤を用いて接着し、外部接続端子12を有す
るICカードを製造する。このようなICモジュール1
0は、通常、図6に示すようなフィルムキャリアテープ
100を用い、図7に示すような工程で製造される。即
ち、ポリイミド、ガラスエポキシ等の基板フィルム11
にスプロケットホール101、ボンディングホール(図
示せず)をパンチングし、表側面に銅箔をラミネート
し、この銅箔をフォトレジストによりパターニング加工
し、更に金等のメッキを施してフィルムキャリアテープ
100が製造される。そして、このフィルムキャリアテ
ープのモジュール抜き領域102にICチップをボンデ
ィング(ダイボンディング)し、ワイヤボンディング、
樹脂封止加工後、検査され、各ICモジュール毎にパン
チングされて製造される。
【0005】このようなダイボンディング、ワイヤボン
ディング、樹脂封止、パンチングの各工程では、フィル
ムキャリアテープ100を正確に位置決めする必要があ
り、通常は以下の位置決め方式が採られる。 ステッピングモーター又はサーボモーターあるいは通
常の直流、交流モーターにより、スプロケットローラを
回転駆動させ、スプロケットホール101にスプロケッ
トローラの爪を挿入して定距離分スプロケットローラを
送る。このスプロケットホール101は、通常のCOT
(Chip On Tape)の両端に開けられているスプロケット
送りのための角穴で、等ピッチ(4.75mm)で開け
られている。この仕様には種々の規格があるが、実質的
な業界標準がある。モジュールは、その大きさにもよる
が、幅方向に1個又は複数個を平行に並べ、流れ方向に
は通常スプロケットホール2個分又は3個分をモジュー
ルピッチとした配列とすることが多い。そのため、ある
個数のスプロケットを送ることにより、モジュールの位
置の検出や補正をしなくとも、所定のICモジュール毎
に所定の位置に停止させることが可能である。
【0006】ステッピングモーター又はサーボモータ
ーあるいは通常の直流、交流モーターにより、スプロケ
ット又はニップローラーを回転させ、同時にスプロケッ
トホールを透過型又は反射型光電センサーで検知し、ス
プロケットホール通過回数をカウントして所定の回数、
例えばモジュールピッチが3個であれば3回通過時に、
ホールのエッジのところで停止させる。またはとの組
み合わせで、スプロケット2個分または3個分の直前ま
で定距離分スプロケットローラを回転後、低速で回転を
続け、3個目のスプロケットホールをセンサーで検知し
たホールのエッジのところで停止させることも可能であ
る。
【0007】ステッピングモーター又はサーボモータ
ーあるいは通常の直流、交流モーターにより、スプロケ
ット又はニップローラーを回転させ、同時にモジュール
パターンその他の特徴点をCCDカメラ等の光学センサ
で検出し、位置ずれ量を補正してテープ位置をずらす
か、加工位置をソフト的にずらす。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、の方
法では、補正がないために、モーターパルスの設定値に
よっては、またはパルスエンコーダの回路に何らかのノ
イズがのってパルス数のカウントを誤った場合には理論
的な送り量と実際の送り量のずれが累積し、次第に許容
範囲を逸脱するおそれがあり、また、所期位置を、例え
ば人間がセッティングするなどの別の手段を行う必要が
あり、作業の自動化が図れないという問題がある。
【0009】また、の方法も、と同様に、所期位置
を人間がセッティングすることがやはり必要となり、ま
た、何らかの原因でセンサがスプロケットホールを1個
読みとれなかった場合、ずっとずれたまま加工されてし
まうおそれもある。なぜなら、スプロケットホールは全
て同じ形状をしており、どこが加工の基準位置を表すか
わからないからである。
【0010】は、この中では最も有効で、パターン抽
出の技術により、自動的に加工の所期位置の特定と毎回
の送り補正が容易にできるようになるが、高価なカメラ
及び画像処理装置、処理ソフトが必要となり、さらには
品目の切替などの基板のレイアウト変更時に基準パター
ンの設定切替処理が必要になるなど、デメリットも多
い。
【0011】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、簡単な処理でモジュールの初期加工位置を含む加工
位置を自動的かつ正確に位置決めできるフィルムキャリ
アテープ、及び該フィルムキャリアテープを用いて簡単
な装置構成で正確に位置決めできる搬送装置を提供する
ことを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明のフィルムキャリ
アテープは、上記目的を達成するため、長さ方向に複数
のICチップをモジュール抜き領域に搭載し、該モジュ
ール抜き領域毎に切り抜いてICカードに内蔵されるI
Cモジュールを製造するフィルムキャリアテープであっ
て、該フィルムキャリアテープ幅方向の1個又は1列の
モジュール抜き領域に対して1個以上の位置決め用ホー
ルが該モジュール抜き領域外の所定の位置に形成されて
いることを特徴とする。
【0013】また、本発明の搬送装置は、上記目的を達
成するため、ICチップが搭載されるモジュール抜き領
域がフィルム幅方向に1個又は1列に対して1個以上の
位置決め用ホールがICモジュール抜き領域外の所定の
位置に形成されているフィルムキャリアテープを用い、
該フィルムキャリアテープを走行させる搬送手段と、該
フィルムキャリアテープの該位置決め用ホールに光を投
射する発光手段と、該位置決め用ホールからの反射又は
位置決め用ホールを透過する光を受光する受光手段と、
この受光手段の受光する受光量の大きさに基づいて上記
搬送手段を制御して上記フィルムキャリアテープを所定
の位置に停止させる制御手段とを有することを特徴とす
る。
【0014】本発明のフィルムキャリアテープは、スプ
ロケットホール等の従来からのホールに加えて、位置決
め用のホールが、フィルムキャリアテープ幅方向の1個
又は1列のICチップ搭載領域であるモジュール抜き領
域に対して所定の位置に1個以上設けられている。
【0015】このようなフィルムキャリアテープを用い
て、本発明にかかる搬送装置を用いると、発光手段から
の光を位置決め用ホールに透過又は反射させてこの透過
光又は反射光を受光装置で受光し、受光手段の受光する
受光量の大きさに基づいて該フィルムキャリアテープの
走行を制御手段で制御してフィルムキャリアテープを所
定の加工位置に停止させることができる。
【0016】本発明のフィルムキャリアテープには、位
置決め用ホールがフィルム幅方向の1個又は一列のモジ
ュール抜き領域に対して最低1個設けられているため、
先端にあるモジュールの初期加工位置が自動的かつ正確
に位置決めができる。位置決め用ホールは、スプロケッ
トホールと同じ工程でパンチングできるため、正確な位
置精度が保証され、毎回の正確なモジュール位置決めが
可能となる。しかも、これ以外の情報を検出する必要は
なく、1箇所の光電センサ設置という単純な装置構成、
ソフトで実現できる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明するが、本発明は下記の実施の形態に限定される
ものではない。図1は、本発明のフィルムキャリアテー
プの一形態を示す平面図である。このフィルムキャリア
テープ1は、例えばポリイミド、ガラスエポキシ等で構
成される基板フィルム(モジュール基板)11の幅方向
両端部にフィルムを搬送するためのスプロケットホール
2がパンチングで形成されている。このフィルムキャリ
アテープ1では、ICチップを搭載するモジュール抜き
領域3は幅方向に平行に2個配置する構造となってい
る。また、フィルム1を所定の位置に停止させるために
用いる四角穴の位置決め用ホール4が、一対のモジュー
ル抜き領域3間で、フィルム幅方向中心部にフィルム幅
方向の一対のモジュール抜き領域3毎に1個、スプロケ
ットのパンチングと同じパンチング工程で穿設されてい
る。位置決め用ホールの四角穴の2辺は、フィルムキャ
リアテープ1の幅方向に平行に形成されている。このフ
ィルムキャリアテープ1は、並列の一対のチップ当たり
スプロケットホール2が3個設けられている。従って、
位置決めホール4もスプロケットホール2の3個に対し
て1個設けられている。
【0018】モジュール抜き領域3には、図示しないが
基板フィルム11を貫通する8つのボンディングホール
がスプロケットホール2と同じパンチング工程で穿設さ
れている。このフィルムキャリアテープ1には、上述し
たように、例えば表側に銅箔がラミネート加工された
後、リソグラフィによりパターニングされ外部接続端子
12(図5)が形成される。その後、金メッキ処理され
る。そして、図5に示したように、ICチップ13が接
着剤でモジュール抜き領域3にボンディングされ、IC
チップ13と外部接続端子12とをボンディングホール
14を通してワイヤボンディング15で接続し、更にI
Cチップ13とボンディングワイヤ15をエポキシ樹脂
等の樹脂で封止し、パンチングでモジュール抜き領域3
をフィルムキャリアテープ1から切り放してICモジュ
ールを得る。
【0019】以上の工程では、ダイボンディング、ワイ
ヤーボンディング、樹脂封止、パンチングの各工程では
正確にフィルムキャリアテープ1の位置決めをしなけれ
ばならない。本発明のフィルムキャリアテープ1は、上
記位置決め用ホール4が設けられているため、この位置
決めが容易にできる。
【0020】次に、このようなフィルムキャリアテープ
を用いて所定の加工位置に位置決めを行う搬送装置につ
いて図2を参照して説明する。図2は本発明にかかるフ
ィルムキャリアテープ搬送装置の構成を示す概略図であ
る。この搬送装置30は、フィルムキャリアテープ1を
搬送させるスプロケット又はニップローラー等の搬送手
段31と、この搬送手段31を駆動するステップモータ
あるいはサーボモーター等の駆動手段32と、フィルム
キャリアテープ1の位置決め用ホール4に向かって光を
投射する発光手段33と、発光手段33から出射されフ
ィルムキャリアテープ1の位置決め用ホール4を通過し
た光を受光する受光手段34と、受光手段34で受光し
た受光量に基づいて駆動手段32を制御する制御手段3
5とを具備する。
【0021】この搬送装置30は、搬送手段31により
フィルムキャリアテープ1を所定の速度で図示しないリ
ールから繰り出して走行させ、同時に発光手段33から
光をフィルムキャリアテープ1の幅方向中心に向かって
照射する。位置決め用ホール4が発光手段33からの光
を受ける位置にくると、照射光の一部が位置決め用ホー
ル34を通過し、受光手段34に到達する。受光手段3
4からの受光量の信号は制御手段35に送られ、制御手
段35で受光信号に基づいて位置決め用ホール4が所定
の位置に到達したか否かを検出する。具体的には、例え
ば設定された所定のしきい値と受光信号とを比較して、
受光信号が所定のしきい値を超えた場合、あるいは所定
のしきい値以下になった場合には、位置決め用ホール4
が所定の位置に存在すると判断する。そして、位置決め
用ホール4が所定の位置に存在すると判断したときに駆
動手段32を制御してフィルムキャリアテープ1の走行
を停止させる。
【0022】上記のようなフィルムキャリアテープ1の
位置決め用ホール4は、スプロケットホール2やボンデ
ィングホールと同じ工程でパンチングされているため、
正確な位置精度が保証されている。四辺形の位置決め用
ホール4の2辺はフィルムキャリアテープの幅方向に平
行になっているから、この位置決め用ホールの辺(エッ
ジ)による急峻な受光量の立ち上がり又は立ち下がりを
検出することで、各モジュール毎のモジュール位置の位
置決めが可能となる。また、このように位置決め用ホー
ル4のエッジがテープの幅方向に平行になっているた
め、フィルムキャリアテープ1が幅方向に若干蛇行して
走行した場合、あるいはスプロケットホール2とスプロ
ケット間にも若干の遊びがあり、フィルムキャリアテー
プ1とセンサ34の相対位置がテープ幅方向に若干ずれ
ても、位置精度に影響がないようになっている。
【0023】このような見地から、位置決め用ホールの
形態は上記のような四辺形のものに限らず、図3に示す
ように、(a)の三角形、(b)の長方形、(c)のレ
ーストラック状、(d)の切欠円形状の如き形状でもよ
い。この場合、フィルムキャリアテープ1の幅方向に平
行な少なくとも一つの直線辺があることが上記理由から
好ましい。この直線片の長さは、スプロケットホールと
スプロケットの遊びが約0.05mm、テープに対する
スプロケットホール位置精度が約0.05mmであり、
その他テープのたわみ等を考慮して0.2mm以上とす
ることにより、蛇行やスプロケットの遊びに対して位置
精度を確保することができる。直線片の長さが長すぎる
と、モジュールパンチングの際にテープに亀裂が入りパ
ンチング不良になる恐れがあるため、0.2〜5.0m
m程度が好ましい。
【0024】また、万一位置決め用ホールの検出に失敗
したとしても、送りの距離、時間を計算できればソフト
的にエラー又はやり直し命令を出すこともでき、最悪で
も1個の位置決め用ホールを飛ばして次の位置決め用ホ
ールで停止することができるため、ずれたまま加工が進
行するおそれはなく、不良品を混入させることを防止で
きる。
【0025】従って、高価な光学的センサ、画像処理装
置、画像処理ソフトを用いなくても、フィルムキャリア
テープ1側に開けられた位置決め用ホール4とこれを検
出するための光電センサ33、34と制御装置35を取
り付けるだけで、正確なテープの位置決めができ、結果
的に製品品質、歩留まり向上につながり、装置の自動化
も容易になる。
【0026】なお、既存のフィルムキャリアテープに
は、いわゆるリードカットホールが開けられており、こ
れを位置決め用ホールと兼用することも考えられる。し
かし、このリードカットホールは、銅箔ラミネート後、
所定のパターンにエッチング後、ニッケルメッキ、金メ
ッキ形成するために各モジュールをつなげている配線を
切断して各モジュールを電気的に分離させるためにフィ
ルムキャリアテープに穿設されるものであるため、最初
のスプロケットホールに対する位置精度が悪く、これを
位置決め用ホールに兼用することは無理である。
【0027】上記態様では、光センサー配置決め用ホー
ルの透過光を測定しているが、反射光を測定するように
してもよい。この場合、受光装置は光照射装置と同じ側
に設置される。また、位置決め用ホールは、フィルムキ
ャリアテープの幅方向中心に限らず、モジュール抜き領
域外でモジュールの製造に影響を与えない部位に形成す
ることができる。
【0028】更に、発光手段に集光レンズ33aを設
け、発光手段から投射される光を位置決め用ホールに集
光させ、受光量の立ち上がり又は立ち下がりをより急峻
にすることができる。
【0029】
【発明の効果】本発明のフィルムキャリアテープは、簡
単な装置構成で確実な位置決めが可能である。また、本
発明の搬送装置は、このフィルムキャリアテープを用い
てICチップのボンディング、ワイヤボンディング、樹
脂封止等の工程に必要な位置決めを簡単な装置構成で確
実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のフィルムキャリアテープの一形態を示
す平面図である。
【図2】本発明にかかる搬送装置の装置構成を示す構成
図である。
【図3】(a)〜(d)は、本発明のフィルムキャリア
テープに設けられる位置決め用ホールの種々の形態を示
した概念図である。
【図4】本発明にかかるICカードの一形態の構成を示
す斜視図である。
【図5】本発明にかかるICカードに用いるICモジュ
ールの一形態を示す断面図である。
【図6】従来のフィルムキャリアテープの一形態を示す
平面図である。
【図7】ICカード用のICモジュールの製造工程を示
すフローチャートである。
【符号の説明】
1…フィルムキャリアテープ、2…スプロケットホー
ル、3…モジュール抜き領域、4…位置決め用ホール、
11…基板フィルム(モジュール基板)、12…外部電
極、13…ICチップ、16…封止樹脂、31…搬送手
段、32…駆動手段、33…発光手段、34…受光手
段、35…制御手段

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】長さ方向に複数のICチップをモジュール
    抜き領域に搭載し、該モジュール抜き領域毎に切り抜い
    てICカードに内蔵されるICモジュールを製造するフ
    ィルムキャリアテープであって、 該フィルムキャリアテープ幅方向の1個又は1列のモジ
    ュール抜き領域に対して1個以上の位置決め用ホールが
    該モジュール抜き領域外の所定の位置に形成されている
    ことを特徴とするフィルムキャリアテープ。
  2. 【請求項2】上記位置決め用ホールが、フィルムキャリ
    アテープの幅方向に平行な辺を有する請求項1記載のフ
    ィルムキャリアテープ。
  3. 【請求項3】上記位置決め用ホールが、フィルムキャリ
    アテープのスプロケットホールと同時に形成されている
    請求項1記載のフィルムキャリアテープ。
  4. 【請求項4】ICチップが裏面側に装着され、表面側に
    形成されている外部接続端子と該ICチップとがフィル
    ムキャリアを貫通するボンディングホールを介してボン
    ディングにより接続され、該ICチップが樹脂により封
    止された構造のICモジュールを製造する請求項1記載
    のフィルムキャリアテープ。
  5. 【請求項5】ICチップが搭載されるモジュール抜き領
    域がフィルム幅方向に1個又は1列に対して1個以上の
    位置決め用ホールがICモジュール抜き領域外の所定の
    位置に形成されているフィルムキャリアテープを用い、 該フィルムキャリアテープを走行させる搬送手段と、 該フィルムキャリアテープの該位置決め用ホールに光を
    投射する発光手段と、 該位置決め用ホールからの反射又は位置決め用ホールを
    透過する光を受光する受光手段と、 この受光手段の受光する受光量の大きさに基づいて上記
    搬送手段を制御して上記フィルムキャリアテープを所定
    の位置に停止させる制御手段とを有することを特徴とす
    るフィルムキャリアテープの搬送装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006350611A (ja) * 2005-06-15 2006-12-28 Dainippon Printing Co Ltd Icカード用icモジュールとその製造方法
JP2007193395A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Dainippon Printing Co Ltd 非接触icタグの製造方法
JP2009133866A (ja) * 2003-10-28 2009-06-18 Biomerieux Inc 試験試料担体用運搬システム
JP2017504970A (ja) * 2014-01-13 2017-02-09 メルツァー マシーネンバウ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングMelzer Maschinenbau GmbH 基板を加工する方法及び装置
CN111231358A (zh) * 2020-03-04 2020-06-05 昆山贝松精密电子有限公司 一种铜箔导电胶带多层材料复合组贴工艺

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101855048B1 (ko) * 2017-10-19 2018-05-04 주식회사 세진엠에스 접착필름 타발 장치 및 접착필름 타발 방법

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009133866A (ja) * 2003-10-28 2009-06-18 Biomerieux Inc 試験試料担体用運搬システム
US8741655B2 (en) 2003-10-28 2014-06-03 Biomerieux, Inc Transport system for test sample carrier
JP2006350611A (ja) * 2005-06-15 2006-12-28 Dainippon Printing Co Ltd Icカード用icモジュールとその製造方法
JP2007193395A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Dainippon Printing Co Ltd 非接触icタグの製造方法
JP2017504970A (ja) * 2014-01-13 2017-02-09 メルツァー マシーネンバウ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングMelzer Maschinenbau GmbH 基板を加工する方法及び装置
CN111231358A (zh) * 2020-03-04 2020-06-05 昆山贝松精密电子有限公司 一种铜箔导电胶带多层材料复合组贴工艺

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