JPH10205604A - 非接触式磁気搬送装置の位置決め制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 少なくとも２つの磁気搬送装置要素で構成さ
れる非接触式磁気搬送装置で、磁気搬送装置要素の間で
搬送物の受け渡しを行う際に、受け側の磁気搬送装置要
素で安定して再現性良く搬送物の停止制御を行う。 【解決手段】 独立に動作する２つの磁気搬送装置要素
からなり、各々には螺旋状磁極を表面に有する駆動軸18
A-18C とキャリア13を送る案内路14が設けられ、キャリ
アは螺旋状磁極のピッチと等しいピッチの磁極を備え、
駆動軸が回転すると、キャリアは磁気結合作用で案内路
上を移動し、かつ磁気搬送装置要素の間で受け渡され、
さらに、駆動軸の特定回転角度を検出する回転角度セン
サ34と、キャリアの受取りを検出する位置確認センサ35
と、両センサの検出が同期して行われたときに、キャリ
アの位置決めを行う制御部32A ，32B を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は非接触式磁気搬送装
置の位置決め制御装置に関し、特に、例えば直線的に配
列された複数の処理チャンバで基板トレイ等を搬送する
非接触式磁気搬送装置に適し、処理チャンバ間での受渡
し時における受け側の処理チャンバでの当該基板トレイ
等の位置決め制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば真空環境で物体を搬送する場合、
従来、ラック・ピニオン機構、コロ式駆動機構、チェー
ン駆動機構等が多く採用されてきた。これらの駆動機構
は、駆動力を接触作用により直接に伝える方式であり、
接触伝達方式と呼ばれる。かかる駆動機構では、真空環
境は摩擦係数が大きく、また潤滑油が使えないという特
性を有するので、摩耗量が著しく多くなり、大量のゴミ
（塵や埃）が発生するという問題があった。また摩擦係
数が大きいため、接触部のクリアランスも大きくしなけ
ればならず、精密な動きを行う上で支障になっていた。

【０００３】一方、近年では、半導体デバイスに代表さ
れるように、電子部品等へのゴミの付着量を著しく制限
することが要求されている。理想的には、ゴミの発生を
完全になくした駆動機構が望まれている。ゴミの発生を
低減するためには、非接触伝達方式の搬送系が望まし
い。そこで、従来、非接触伝達方式の搬送系として種々
の方式が提案されている。その中で、比較的に構造が簡
単な方式は磁気結合の作用を利用した方式（以下「磁気
搬送装置」という）である。磁気搬送装置については、
例えば、螺旋状の磁気回路と磁極を組み合わせた直線搬
送機構（米国特許第５，３７７，８１６号公報）や、工
作機械等の分野で送り装置として利用される磁気ねじ
（特開平７−２８００６０号公報）が提案されている。

【０００４】螺旋状の磁気回路と磁極を組み合わせ直線
搬送を行う上記磁気搬送装置では、例えば、螺旋状磁極
を表面に有する円筒形の回転駆動部材と、移動体を搬送
する搬送路とが備えられ、移動体は螺旋状磁極のピッチ
と等しいピッチの磁極を備えるように構成される。この
構成によれば、回転駆動部材が回転すると、移動体が、
回転駆動部材の螺旋状磁極と移動体の磁極との磁気結合
に基づき回転駆動部材の回転方向に応じて搬送路上を移
動する。

【０００５】ところで、複数の処理チャンバが直列的に
配列された基板処理装置であって、トレイに載置された
基板が各処理チャンバを直線的に順次に搬送され、各処
理チャンバで処理が行われるように構成されたものがあ
る。かかる基板処理装置のトレイ搬送装置として上述の
非接触式磁気搬送装置を用いる場合、複数の処理チャン
バの各々に、前述の回転駆動部材と搬送路を含む互いに
独立した非接触式磁気搬送装置要素を設けなければなら
ない。従って、このような磁気搬送装置の構成では、処
理チャンバの間でトレイを搬送するとき、１つの処理チ
ャンバの磁気搬送装置要素から隣の他の処理チャンバの
磁気搬送装置要素へトレイを連続的に受け渡すことが必
要になる。

【０００６】連続的な搬送のため、２つの独立した非接
触式磁気搬送装置要素の間でトレイ等の搬送物を受け渡
すとき、搬送物を受けた磁気搬送装置要素では、搬送物
を処理チャンバで所定の位置に停止させなければならな
い。そこで、従来では、パルスモータを利用して高精度
の位置決め制御を行うようにしていた。従来の位置決め
精度によれば、受取り側の処理チャンバにおける磁気搬
送装置のパルスモータの原点位置を、搬送物をセンサに
よって直接に検出することで、仮の原点位置として決め
るようにしていた。この場合には、搬送物の検出位置と
実際の停止位置とが異なるので、搬送物の停止位置の精
度を向上させるため、機械式のストッパを設け、当該ス
トッパで搬送物の正確な停止位置を求め、この位置情報
で原点位置と搬送物の停止位置の差を強制的に補正して
いた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】直列的に配列された少
なくとも２つの処理チャンバからなる基板処理装置に用
いられ、各処理チャンバに対応して独立した少なくとも
２つの磁気搬送装置要素から構成される非接触式磁気搬
送装置において、磁気搬送装置要素の間で搬送物を受け
渡すとき、搬送物と回転駆動部材が非接触であるため、
慣性等により搬送物の進行方向で振動（揺れ）が発生
し、搬送物の位置検出で誤差が生じる。このため、１つ
のセンサによって搬送物のみを検出するようにした従来
の方式によれば、検出した停止位置に関して誤差（ばら
つき）が生じた。さらに機械的ストッパを併用して停止
位置を補正する従来の方式によれば、接触作用でゴミが
発生したり、摩耗が生じるという欠点があった。

【０００８】本発明の目的は、上記の問題を解決するこ
とにあり、少なくとも２つの磁気搬送装置要素で構成さ
れる非接触式磁気搬送装置で、磁気搬送装置要素の間で
搬送物の受け渡しを行う際に、受け側の磁気搬送装置要
素で安定して再現性良く搬送物の停止制御を行える非接
触式磁気搬送装置の位置決め制御装置を提供することに
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段および作用】第１の本発明
（請求項１に対応）に係る非接触式磁気搬送装置の位置
決め制御装置は、上記目的を達成するため、互いに独立
に動作する少なくとも２つの搬送工程要素からなる、移
動体（例えば、基板を搭載するキャリア）を搬送する直
線的搬送工程であって、少なくとも２つの搬送工程要素
の各々には螺旋状磁極を表面に有する回転駆動部材と移
動体を搬送する搬送路（例えば、案内棒とローラから構
成される）とが設けられ、移動体は螺旋状磁極のピッチ
と等しいピッチの磁極を備え、回転駆動部材が回転する
と、移動体は、回転駆動部材の螺旋状磁極と移動体の磁
極との磁気結合に基づき回転駆動部材の回転方向に応じ
て搬送路上を移動し、かつ搬送工程要素の間で受け渡さ
れて移動するように構成されるものであり、さらに、移
動体を受け取る搬送工程要素に、回転駆動部材の特定回
転角度を検出する回転角度センサと、移動体の受取りを
検出する位置確認センサと、回転角度センサと位置確認
センサの各々の検出が同期して行われたときに、受け取
った移動体の位置決めを行う制御手段とを備えるように
構成される。

【００１０】第１の発明では、非接触式磁気搬送装置で
あって、分離され、独立して動作する少なくとも２つの
磁気搬送装置要素からなるものにおいて、磁気搬送装置
要素間で搬送物等の移動体を受け渡しする際、受け側の
磁気搬送装置では、移動体すなわちキャリアの位置を検
出する位置確認センサと、回転駆動部材の回転状態を検
出する回転角度センサとで、キャリアの位置を決めるよ
うにすることによって、キャリアと回転駆動部材の間の
不安定な非接触結合に起因してキャリアの進行方向に振
動が発生する場合に、受け側の磁気搬送装置要素で、機
械式ストッパ等を使用しなくとも、通常のパルスモータ
制御方式を使用し、安価で、安定した再現性のあるキャ
リアの停止制御を行える。

【００１１】第２の本発明（請求項２に対応）に係る非
接触式磁気搬送装置の位置決め制御装置は、第１の発明
において、好ましくは、回転角度センサは、回転伝達部
に固定されたスリット板の回転動作を利用して特定回転
角度を検出する。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施形態
を添付図面に基づいて説明する。

【００１３】本発明による位置決め制御装置を備えた非
接触式磁気搬送装置は、例えば、基板に対して成膜等の
処理を行う真空処理装置に適用され、基板を搭載するキ
ャリア（基板トレイ）を移動させる機構として使用され
る。この実施形態では、複数の真空処理チャンバを直列
に接続してなるロードロック型真空処理装置に適用した
例を説明する。

【００１４】図１において、真空処理装置１は例えば３
つのチャンバ（仕切り室）２Ａ，２Ｂ，２Ｃを備え、各
チャンバの間には仕切り弁１１が設けられる。各チャン
バ２Ａ，２Ｂ，２Ｃの内部は、減圧され、高い真空度を
有する空間であり、各チャンバは仕切り弁１１によって
互いに隔離され，閉ざされた真空処理室を形成する。仕
切り弁１１が開放されるときには、各チャンバは連通状
態になる。各チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃでは、開放され
た仕切り弁１１を通して搬入された被処理物に対し、予
め設定された異なる処理が実行される。仕切り弁１１は
例えばゲートバルブである。直列に接続されたチャンバ
２Ａ，２Ｂ，２Ｃの各々には、仕切り弁１１を通って順
次に基板等の被処理物１２を載置したキャリア１３が搬
送される。各チャンバに送り込まれた被処理物１２は、
各チャンバで処理のため所定の位置に停止する。

【００１５】被処理物１２が載置されたキャリア１３
は、下側に設けられた一対の案内棒１４の上で、かつ当
該案内棒１４に沿って移動する。２本の案内棒１４は、
図２に示すように、キャリア１３の下側位置にて平行に
設置され、直線的なレール状の形態を有する。２本の案
内棒１４の各々には、キャリア１３を支える複数のロー
ラ（コロ）１４ａが側部と下部の所定箇所に一定間隔で
設けられている。図２中手前側の案内棒１４のローラの
図示は省略されている。この構成によって、案内棒１４
上に載置されて移動するキャリア１３は直線的に搬送さ
れる。

【００１６】案内棒１４は、仕切り弁１１が設けられた
箇所ではその一部が切断されて不連続な状態にあり、各
チャンバごとに分離されて構成される。またキャリア１
３を移動させるためのモータ等の駆動装置（図１中図示
せず）も、チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃのそれぞれに個別
に設けられる。

【００１７】キャリア１３は、最初、チャンバ２Ａの入
り口部１５からその内部に入り、次に、後述する磁気搬
送装置によって、適当なタイミングで開放される仕切り
弁１１を通過しながら、各チャンバ２Ｂ，２Ｃに順次に
送られる。各チャンバでは、停止状態にあるキャリア１
３上の被処理物１２に対して所定の処理が行われる。最
後に、チャンバ２Ｃの出口部１６から外部に取り出され
る。真空処理装置１におけるキャリア１３と被処理物１
２の移動状態を矢印ａで示す。

【００１８】図２において、平行に配置された２本の案
内棒１４上を移動するキャリア１３が示される。キャリ
ア１３の上には被処理物（基板）１２が載置される。キ
ャリア１３は、移動のための駆動力を受けると、ローラ
１４ａを備えた案内棒１４で支持・案内されて移動す
る。キャリア１３の例えば側面部には、案内棒１４に平
行に、後述するような磁気結合部２１が外表面に形成さ
れたスライダ１７に固定される。スライダ１７は、後述
する回転駆動部材の磁気結合部からの駆動力を受けて直
線方向に滑るように移動するので、この意味で「スライ
ダ」と呼ぶ。スライダ１７が移動すれば、これと一体化
されたキャリア１３も共に移動する。従ってキャリア１
３は、当該回転駆動部材から磁気的な駆動力を受けて移
動する。

【００１９】３つのチャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃの各々に
は、案内棒１４に沿って、スライダ１７が付加されたキ
ャリア１３を直線的に移動させるための駆動力を与える
回転駆動部材（以下「駆動軸」という）１８Ａ，１８
Ｂ，１８Ｃが配置される。各駆動軸は、円柱形または円
筒形の形状を有し、その軸回りに回転自在になるように
軸支される。駆動軸１８Ａ〜１８Ｃの表面には螺旋状ま
たは螺旋形に配置された磁極が設けられる。これらの駆
動軸１８Ａ〜１８Ｃは、パルスモータ１９Ａ，１９Ｂ，
１９Ｃから動力を伝達され、正逆の任意の方向に回転さ
れる。パルスモータ１９Ａ〜１９Ｂから駆動軸１８Ａ〜
１８Ｃへ動力を伝達する部分の構成の後述される。

【００２０】パルスモータは各チャンバごとに設けら
れ、それらの間には同期制御は適用されず、各チャンバ
２Ａ〜２Ｃの駆動軸１８Ａ〜１８Ｃは独立に回転動作す
るように構成される。駆動軸１８Ａ〜１８Ｃの各々は、
対応するチャンバ内に上記キャリア１３が搬入されてき
た時、当該キャリア１３のスライダ１７の近くであっ
て、これに対向する位置関係となるように配置される。
各チャンバ２Ａ，２Ｂ，２Ｃでの搬送路としての案内棒
と駆動軸とパルスモータ等は非接触式磁気搬送装置要素
を構成する。これらの要素が直列的に接続されることに
よって、全体として、非接触式磁気搬送装置が形成され
る。

【００２１】またチャンバの間は上記仕切り弁１１で仕
切られるので、この仕切り弁１１によって駆動軸と駆動
軸の間も仕切られる。そのため、隣り合う駆動軸の間に
隙間が生じる。駆動軸と駆動軸の間の隙間（渡り部分）
の距離はキャリア１３の長さに比べて十分小さく設定さ
れる。かかる渡り部分が存在するため、キャリアを或る
駆動軸から次の他の駆動軸へ移動させるとき、２つの磁
気搬送装置要素の間で受け渡しが行われる。

【００２２】なお図２に示した真空処理装置１におい
て、１ａは上記入り口部１５が設けられる前壁、１ｂは
上記出口部１６が設けられる後壁、１ｃは上記仕切り弁
１１が設けられる仕切り壁である。またチャンバ２Ａに
おいてキャリア１３、スライダ１７、被処理物１２を実
線で描き、キャリア１３等がチャンバ２Ａ内に存在して
いることを示している。チャンバ２Ｂ，２Ｃではキャリ
ア１３等を想像線で示し、チャンバ２Ａに存在したチャ
ンバ１３がチャンバ２Ｂ，２Ｃへ順次に搬送されていく
様子を示している。被処理物１２は各チャンバごとに位
置決めがなされる。また被処理物の連続搬送が行われ、
チャンバ２Ａ〜２Ｃの各々に被処理物１２が存在し、各
々のチャンバで被処理物に対して処理が行われるように
構成することもできる。

【００２３】図３を参照して、非接触式磁気搬送装置の
各チャンバにおける磁気搬送装置要素の詳細を説明す
る。図３は、隣接する２つのチャンバ２Ａ，２Ｂの間で
キャリア１３が受け渡されて搬送されるときの状態を示
している。図示されるように、駆動軸１８Ａ，１８Ｂは
それぞれパルスモータ１９Ａ，１９Ｂで回転駆動され
る。３１は動力伝達軸である。パルスモータ１９Ａ，１
９Ｂには、一定の速度で制御するモード（以下「速度制
御モード」と略す）と、設定パルス数によって移動距離
を制御するモード（以下「位置制御モード」または「位
置決め制御」と略す）のいずれかに設定する制御部３２
Ａ，３２Ｂが備えられている。キャリア１３を搬送する
ための通常の動作制御では、パルスモータ１９Ａ，１９
Ｂは、速度制御モードから位置制御モードに切換えられ
る。

【００２４】各動力伝達軸３１には、１つのスリット３
３ａが形成されたスリット板３３が固定されている。こ
のスリット３３ａは、駆動軸と伝達率が一対一（駆動軸
一回転でスリット一回転）で接続された駆動軸の回転角
度検出用のスリットである。スリット板３３には回転角
度（スリット）検出用センサ３４（以下「回転角度セン
サ」と略す）が配置されている。回転角度センサ３４は
駆動軸１８Ａ，１８Ｂの或る特定の回転角度を検出す
る。またチャンバ２Ａ，２Ｂの入口付近には、キャリア
１３の位置を検出するセンサ３５（以下「位置確認セン
サ」と略す）が配置されている。

【００２５】各チャンバ２Ａ，２Ｂで、前述の回転角度
センサ３４と位置確認センサ３５の検出信号は、制御部
３２Ａ，３２Ｂに入力される。制御部３２Ａ，３２Ｂ
は、入力される検出信号の条件に応じてパルスモータ１
９Ａ，１９Ｂの制御モードが決定される。

【００２６】次に、チャンバ２Ａからチャンバ２Ｂへの
キャリア１３の搬送について説明する。キャリア１３が
チャンバ２Ｂに搬入される際、その位置確認センサ３５
がキャリア１３を検出するまで、パルスモータ１９Ａ，
１９Ｂは速度制御モードで回転し、キャリア１３をａ方
向に移動させる。キャリア１３がチャンバ２Ｂの入口付
近に到達し、位置確認センサ３５を通過した後、回転角
度センサ３４がスリット板３３のスリット３４ａを検出
する。位置確認センサ３５と回転角度センサ３４の出力
信号は制御部３２Ｂに入力され、入力された信号に基づ
いて制御部３２Ｂはパルスモータ１９Ｂに対してモード
切換え指令信号を出力する。位置確認センサ３５と回転
角度センサ３４の検出動作を条件に、パルスモータ１９
Ｂの動作モードは、速度制御モードから位置制御モード
に切換えられる。またこの時、キャリア１３はチャンバ
２Ａの駆動軸１８Ａの駆動力から切り離され、チャンバ
２Ｂの駆動軸１８Ｂのみの駆動力で位置決め制御を行う
ことになる。

【００２７】次に、図４を参照して、位置確認センサ３
５と回転角度センサ３４の検出動作に関する位置的な関
係を説明する。図４において、４０は、通常のパルスモ
ータによる位置決め制御時の速度−時間の関係を概略的
に示したグラフである。グラフ４０に示すａ１点は、一
定速度の速度制御モードから位置決め制御モードに推移
する時点を示し、ｂ１点は位置決め制御モードが完了す
る時点、すなわちキャリア１３が停止する時点を示す。
従って、グラフ４０のａ１点からｂ１点までの面積がキ
ャリア１３の位置決め制御モードによる移動距離にな
り、この移動距離を再現性のある安定した点から制御す
ることがキャリア１３の停止位置精度を向上させること
になる。

【００２８】前述の従来方式では、ａ１点を取得するた
めに、出力４１Ａで示すキャリア位置検出センサのみで
検出を行っていた。出力４１Ａはキャリア進行方向での
振動がないことを想定した出力特性である。しかし従来
方式では、実際上、駆動軸とキャリアが非接触な結合の
関係にあるため、キャリア進行方向での振動（揺れ）が
発生する傾向にある。当該振動が発生した場合には、出
力特性４１Ｂに示すようにキャリアの進行方向に対しプ
ラス方向のキャリアの振動を検出して４３Ａに示す距離
分少なめにキャリアを停止させるか、あるいは、出力特
性４１Ｃに示すようにキャリアの進行方向に対しマイナ
ス方向のキャリアの振動を検出し、４３Ｂに示す距離分
多めにキャリアを停止させるという結果をもたらす。

【００２９】図４では、さらに、その最下段に、本実施
形態で使用した回転角度センサ３４の出力４２に示して
いる。回転角度センサ３４の検出出力は駆動軸１８Ａの
一回転ごとに出力される。また、キャリア進行方向での
振動がない場合の位置確認センサ３５の出力４１Ａに示
される検出位置が、回転角度センサ３４から出力される
パルスの間の中央に位置するように配置されている。

【００３０】また、出力特性４１Ｂに示すプラス側の振
動および出力特性４１Ｃに示すマイナス側の振動によっ
て決まる共有範囲（Ｘ＋Ｙ）が、回転角度センサ３４の
出力パルス間のスペースとして設定される不感帯（Ｚ）
内に収めることができる範囲であるならば、位置確認セ
ンサ３５の検出と回転角度センサ３４の検出が最初に同
期する検出点ｃ１（基準点）を得ることができる。

【００３１】上記の作用は、次のように説明することも
できる。例えば、一般的に知られているボールネジを使
用したパルスモータによる位置決め制御を想定すると、
移動範囲内に一点しか存在しないすべての動作の基点と
なる位置（以下「原点」と略す）から或る所定の位置に
パルス制御により移動させるとき、その所定の位置での
ボールネジの回転角度は必ず一定であり、当然のことな
がら、原点の回転角度も一定である。従って、ボールネ
ジによる位置決めは、搬送を開始する時のボールネジの
回転角度を決め、その位置から移動距離に相当する回転
数の分を制御していることになる。換言すれば、回転軸
の或る特定な回転角度が、ボールネジの進行方向上のど
の位置に存在するかを一点だけ検出することができれ
ば、その検出位置を基準にして完全な位置決めのための
制御は可能となる。本実施形態による位置決め制御装置
も、チャンバ内でキャリアを正確に停止させるため、同
様な原理で位置決めのための制御を行っている。

【００３２】以上の説明では、主にチャンバ２Ｂについ
て説明したが、チャンバ２Ａ，２Ｃにおけるキャリア１
３の停止における停止位置の制御でも同様である。

【００３３】次に、図５と図６を参照して、駆動軸の螺
旋形磁極に対応した回転角度検出用のスリット板の例を
説明する。

【００３４】図５の（Ａ）では、駆動軸の表面にＳ極５
１とＮ極５２の磁極を交互に配置した二重螺旋駆動軸５
３と、この二重螺旋駆動軸５３の磁極と同一ピッチで
Ｓ，Ｎの磁極５４を交互に設けたスライダ５５とが示さ
れている。そのため、図５の（Ｂ）に示すように、この
二重螺旋駆動軸５３は、その任意の断面で１８０°対角
上に磁極Ｓと磁極Ｎが存在する。従って図５の（Ｃ）に
示すように、スリット板５６は、円周上に一ヶ所の検出
用のスリット（切欠き）５６ａを備えるように形成され
る。

【００３５】上記に対して、図６の（Ａ）では、駆動軸
の表面にＳ極６１とＮ極６２を共に、二重に、かつ交互
に配置した多重螺旋駆動軸６３と、この多重螺旋駆動軸
６３の磁極と同一ピッチでＳ，Ｎの磁極６４を交互に設
けたスライダ６５とが示されている。そのため、図６の
（Ｂ）に示すように、この駆動軸６３は、その任意の断
面で１８０°対角上に同じ磁極同士が存在する。従っ
て、図６の（Ｃ）に示すように、スリット板６６は、円
周上にその１８０°対角上に二ヶ所の検出用のスリット
６６ａが形成されている。これは、独立した２つの駆動
軸の間でのキャリア受け渡しの際、当該キャリアのスラ
イダ６５が多重螺旋駆動軸６３の１８０°対角上の二ヶ
所のいずれかで非接触に結合されるからである。従っ
て、この場合、スライダ６５は多重螺旋駆動軸６３に対
して二ヶ所の停止位置を持つことになる。また同様に多
重螺旋駆動軸６３とスライダ６５の組み合わせにおい
て、多重螺旋駆動軸６３とスリット板６６を一対二の伝
達率に変更すれば、円周上に一ヶ所の検出用のスリット
を持つ回転軸位置検出用のスリット板を使用することも
できる。

【００３６】図７は、従来方式のキャリア位置確認セン
サのみの検出方法による位置決め制御によるキャリア停
止位置と、本発明による同期方式の位置決め制御による
同一キャリアの停止位置の測定結果を示す。この測定
は、ＣＣＤカメラを利用した画像処理にて行われた。な
お従来方式に係る測定結果７１と本発明に係る測定結果
７２の間では、比較しやすいように停止位置をシフトさ
せ、一致させてある。測定結果７１，７２より明らかな
ように、停止位置のばらつき幅は、従来方式では約０．
８ｍｍの誤差があるのに対し、本発明による方式では約
０．０６ｍｍの誤差内に収めることができた。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、非接触式磁気搬送装置であって、分離され、独
立して動作する少なくとも２つの磁気搬送装置要素から
なるものにおいて、磁気搬送装置要素間で搬送物を受け
渡しする際、搬送物と回転駆動部材の間の不安定な非接
触結合に起因して搬送物の進行方向に振動が発生する場
合に、受け側の磁気搬送装置要素で、機械式ストッパ等
を使用しなくとも、通常のパルスモータ制御方式を使用
し、安価で、安定した再現性のある搬送物の停止制御を
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る非接触磁気搬送装置が使用される
基板処理装置の一例を示す模式的側面図である。

【図２】本発明に係る非接触式磁気搬送装置の全体的な
構成を示した模式的構成図である。

【図３】本発明に係る非接触式磁気搬送装置の各チャン
バごとの構成を示す模式的構成図である。

【図４】図３で示した構成において回転角度センサと位
置確認センサの動作を示すタイミングチャートである。

【図５】螺旋駆動軸の磁極配置の一例とこれに関連する
スリット板の一例を示す図である。

【図６】螺旋駆動軸の磁極配置の他の例とこれに関連す
るスリット板の例を示す図である。

【図７】ＣＣＤカメラを使用した画像処理による従来方
式と本発明による方式の比較を示すグラフである。

【符号の説明】

１ 真空処理装置 ２Ａ，２Ｂ，２Ｃ チャンバ １２ 被処理物 １３ キャリア １７ スライダ １８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ 駆動軸 １９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ パルスモータ ３１ 動力伝達軸 ３２Ａ，３２Ｂ 制御部 ３３ スリット板 ３３ａ スリット ３４ 回転角度センサ ３５ 位置確認センサ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに独立に動作する少なくとも２つの
   搬送工程要素からなる、移動体を搬送する直線的搬送工
   程であって、前記少なくとも２つの搬送工程要素の各々
   には螺旋状磁極を表面に有する回転駆動部材と前記移動
   体を搬送する搬送路とが設けられ、前記移動体は前記螺
   旋状磁極のピッチと等しいピッチの磁極を備え、前記回
   転駆動部材が回転すると、前記移動体は、前記回転駆動
   部材の前記螺旋状磁極と前記移動体の前記磁極との磁気
   結合に基づき前記回転駆動部材の回転方向に応じて前記
   搬送路上を移動し、かつ前記搬送工程要素の間で受け渡
   されて移動する非接触式磁気搬送装置において、 前記移動体を受け取る前記搬送工程要素に、前記回転駆
   動部材の特定回転角度を検出する回転角度センサと、前
   記移動体の受取りを検出する位置確認センサと、前記回
   転角度センサと前記位置確認センサの各々の検出が同期
   して行われたときに、受け取った前記移動体の位置決め
   を行う制御手段とを備えることを特徴とする非接触式磁
   気搬送装置の位置決め制御装置。
2. 【請求項２】 前記回転角度センサは、回転伝達部に固
   定されたスリット板の回転動作を利用して前記特定回転
   角度を検出することを特徴とする請求項１記載の非接触
   式磁気搬送装置の位置決め制御装置。