JPH04295704A - ウェーハの中心位置検出装置 - Google Patents
ウェーハの中心位置検出装置Info
- Publication number
- JPH04295704A JPH04295704A JP3084686A JP8468691A JPH04295704A JP H04295704 A JPH04295704 A JP H04295704A JP 3084686 A JP3084686 A JP 3084686A JP 8468691 A JP8468691 A JP 8468691A JP H04295704 A JPH04295704 A JP H04295704A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- center position
- image sensor
- linear image
- central position
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置、又は半
導体検査装置に設けられるウェーハの中心位置検出装置
に関するものである。
導体検査装置に設けられるウェーハの中心位置検出装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造装置、半導体検査装
置のうちウェーハ単位で処理を行う装置に於いては、ウ
ェーハ運搬時にウェーハキャリアと呼ばれるウェーハ収
納治具を用いることが多い。この場合、ウェーハのウェ
ーハキャリア内での姿勢は不確定である為、半導体製造
装置等のウェーハ搬送径路途中に、ウェーハの中心位置
を検出し、ウェーハの姿勢の矯正、位置出しを行ってい
る。
置のうちウェーハ単位で処理を行う装置に於いては、ウ
ェーハ運搬時にウェーハキャリアと呼ばれるウェーハ収
納治具を用いることが多い。この場合、ウェーハのウェ
ーハキャリア内での姿勢は不確定である為、半導体製造
装置等のウェーハ搬送径路途中に、ウェーハの中心位置
を検出し、ウェーハの姿勢の矯正、位置出しを行ってい
る。
【０００３】図３、図４に於いて、ウェーハの中心位置
検出を光学的センサを用いて行うウェーハ中心位置検出
装置の１例を説明する。
検出を光学的センサを用いて行うウェーハ中心位置検出
装置の１例を説明する。
【０００４】図３、図４中、１は光学センサユニット、
２はウェーハ搬送装置のアーム、３はウェーハである。
２はウェーハ搬送装置のアーム、３はウェーハである。
【０００５】光学センサユニット１は、相対峙して設け
られたブロック４，５にそれぞれ設けられた投光素子６
、受光素子７から成る４対のセンサ８，９，１０，１１
を有し、該４対のセンサ８，９，１０，１１はウェーハ
３の半径と同じ半径の円周上に設けられており、これら
センサー８，９，１０，１１によってウェーハ３の周縁
を検出する。
られたブロック４，５にそれぞれ設けられた投光素子６
、受光素子７から成る４対のセンサ８，９，１０，１１
を有し、該４対のセンサ８，９，１０，１１はウェーハ
３の半径と同じ半径の円周上に設けられており、これら
センサー８，９，１０，１１によってウェーハ３の周縁
を検出する。
【０００６】上記した従来のウェーハの中心位置検出装
置でウェーハ３の中心位置を検出するには、４対のセン
サー８，９，１０，１１を左側のグループ８，９、右側
のグループ１０，１１、先端側のグループ９，１０のグ
ループに区分し、搬送装置の動きと前記センサ８，９，
１０，１１のウェーハ検出時期とによってウェーハ中心
位置を検出する。更に、図７によって詳述する。
置でウェーハ３の中心位置を検出するには、４対のセン
サー８，９，１０，１１を左側のグループ８，９、右側
のグループ１０，１１、先端側のグループ９，１０のグ
ループに区分し、搬送装置の動きと前記センサ８，９，
１０，１１のウェーハ検出時期とによってウェーハ中心
位置を検出する。更に、図７によって詳述する。
【０００７】先ず、光学センサユニット１に向ってウェ
ーハ３を直進させる（Ａ）。この時ウェーハ３の周縁を
センサ１１が感知したとすると、この時のウェーハ３の
位置を記憶する。次に、ウェーハ３を左方に移動させ（
Ｂ）、センサ８が感知した位置で停止させ、更に左方へ
の移動量の半分だけ右方へ移動させる（Ｃ）。更に、ウ
ェーハ３を前進させセンサ８，９，１０，１１が同時に
ウェーハ３の周縁を検出するか否を確認する（Ｄ）。 センサ８，９，１０，１１間で検出時期のずれがあると
、更に今迄の手順を繰返して、センサ８，９，１０，１
１が同時にウェーハ３の周縁を検出する状態に収斂させ
る。収斂した状態でのウェーハ３の位置を記憶させ、ウ
ェーハ３の中心位置検出を完了する。
ーハ３を直進させる（Ａ）。この時ウェーハ３の周縁を
センサ１１が感知したとすると、この時のウェーハ３の
位置を記憶する。次に、ウェーハ３を左方に移動させ（
Ｂ）、センサ８が感知した位置で停止させ、更に左方へ
の移動量の半分だけ右方へ移動させる（Ｃ）。更に、ウ
ェーハ３を前進させセンサ８，９，１０，１１が同時に
ウェーハ３の周縁を検出するか否を確認する（Ｄ）。 センサ８，９，１０，１１間で検出時期のずれがあると
、更に今迄の手順を繰返して、センサ８，９，１０，１
１が同時にウェーハ３の周縁を検出する状態に収斂させ
る。収斂した状態でのウェーハ３の位置を記憶させ、ウ
ェーハ３の中心位置検出を完了する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した様に、従来の
装置では、ウェーハの中心位置検出をウェーハの左右の
移動、前進、後退を交互に繰返して行う為、検出に時間
が掛る。中心位置検出に方向性があるので、中心位置検
出装置の設置場所の制限を受ける。又、センサを円弧状
に設けるので光学センサユニット１を小型化できない、
等の問題があった。
装置では、ウェーハの中心位置検出をウェーハの左右の
移動、前進、後退を交互に繰返して行う為、検出に時間
が掛る。中心位置検出に方向性があるので、中心位置検
出装置の設置場所の制限を受ける。又、センサを円弧状
に設けるので光学センサユニット１を小型化できない、
等の問題があった。
【０００９】本発明は斯かる実情に鑑み、ウェーハの中
心位置検出の時間を短縮し、且検出装置のウェーハ中心
位置検出の方向性を解消しようとするものである。
心位置検出の時間を短縮し、且検出装置のウェーハ中心
位置検出の方向性を解消しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウェーハ搬送
装置によって搬送されるウェーハの搬送路途中に設けた
リニアイメージセンサと、該リニアイメージセンサから
の撮像出力より、最大検出長と最大検出長時に於ける基
準位置からのずれを求めてウェーハ中心位置を演算する
ウェーハ中心位置演算器とを具備することを特徴とする
ものである。
装置によって搬送されるウェーハの搬送路途中に設けた
リニアイメージセンサと、該リニアイメージセンサから
の撮像出力より、最大検出長と最大検出長時に於ける基
準位置からのずれを求めてウェーハ中心位置を演算する
ウェーハ中心位置演算器とを具備することを特徴とする
ものである。
【００１１】
【作用】イメージセンサーが検出した最大長はウェーハ
の直径に他ならず、この時の検出長の中点はウェーハの
中心となる。従って、検出最大長の中点の位置と基準位
置とのずれを求めればウェーハの中心位置を検出するこ
とができる。
の直径に他ならず、この時の検出長の中点はウェーハの
中心となる。従って、検出最大長の中点の位置と基準位
置とのずれを求めればウェーハの中心位置を検出するこ
とができる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１３】図１、図２中１３はウェーハ搬送装置、１
４はウェーハロード部を示し、該ウェーハ搬送装置１３
、ウェーハロード部１４との間にウェーハ直径より充分
長い検出範囲を有するリニアイメージセンサ１５を設け
る。該リニアイメージセンサ１５からの検出結果はウェ
ーハ中心位置演算器１６へ入力する。
４はウェーハロード部を示し、該ウェーハ搬送装置１３
、ウェーハロード部１４との間にウェーハ直径より充分
長い検出範囲を有するリニアイメージセンサ１５を設け
る。該リニアイメージセンサ１５からの検出結果はウェ
ーハ中心位置演算器１６へ入力する。
【００１４】該中心位置演算器１６からの出力は、半導
体製造装置の制御部１７へ入力され、又検出位置は表示
器１８へ表示される。
体製造装置の制御部１７へ入力され、又検出位置は表示
器１８へ表示される。
【００１５】前記ウェーハ搬送装置１３は、駆動部１９
に設けた回転自在の第１アーム２０、該第１アーム２０
に回転自在に設けた第２アーム２１、該第２アーム２１
に回転自在に設けた第３アーム２２を有し、第１、第２
、第３アーム２０，２１，２２の協働によって第３アー
ム先端に載置したウェーハ３を直進、回転等所望の状態
に移動させる様になっている。
に設けた回転自在の第１アーム２０、該第１アーム２０
に回転自在に設けた第２アーム２１、該第２アーム２１
に回転自在に設けた第３アーム２２を有し、第１、第２
、第３アーム２０，２１，２２の協働によって第３アー
ム先端に載置したウェーハ３を直進、回転等所望の状態
に移動させる様になっている。
【００１６】前記ウェーハロード部１４は、ウェーハ３
が多段に装填されたウェーハキャリア２３を、乗載し且
ウェーハのロード状態に合わせてウェーハキャリア２３
を昇降させる様になっている。
が多段に装填されたウェーハキャリア２３を、乗載し且
ウェーハのロード状態に合わせてウェーハキャリア２３
を昇降させる様になっている。
【００１７】次に、作動を説明する。
【００１８】ウェーハ搬送装置１３によりウェーハキャ
リア２３からウェーハ３を取出し、該ウェーハ３を前記
第３アーム２２に載置させた状態で、リニアイメージセ
ンサ１５の下方を通過させる。該リニアイメージセンサ
１５は通過時にウェーハ３の該リニアイメージセンサ１
５に相当する位置の弦の長さを刻々と検出し、該検出結
果は前記ウェーハ中心位置演算器１６へ出力される。
リア２３からウェーハ３を取出し、該ウェーハ３を前記
第３アーム２２に載置させた状態で、リニアイメージセ
ンサ１５の下方を通過させる。該リニアイメージセンサ
１５は通過時にウェーハ３の該リニアイメージセンサ１
５に相当する位置の弦の長さを刻々と検出し、該検出結
果は前記ウェーハ中心位置演算器１６へ出力される。
【００１９】前記ウェーハ中心位置演算器１６では、弦
の最大値、即ちウェーハ３の直径を求めると共に、弦最
大値での装置の中心（基準位置）から弦端、図１中でＣ
，Ｄを求める。
の最大値、即ちウェーハ３の直径を求めると共に、弦最
大値での装置の中心（基準位置）から弦端、図１中でＣ
，Ｄを求める。
【００２０】而して、（Ｃ−Ｄ）／２で基準位置からの
ウェーハ中心位置のずれ、即ちウェーハ３の中心位置を
求めることができる。求められたウェーハ３の中心位置
は、以下ウェーハのハンドリング、搬送のデータとして
利用され、更に必要とあらば表示器１８に表示する。
ウェーハ中心位置のずれ、即ちウェーハ３の中心位置を
求めることができる。求められたウェーハ３の中心位置
は、以下ウェーハのハンドリング、搬送のデータとして
利用され、更に必要とあらば表示器１８に表示する。
【００２１】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、特にウ
ェーハの検出位置の為の動作を必要とせず、通常の搬送
動作中にウェーハの中心位置を検出することができ、処
理時間の短縮を図れる。又、ウェーハがリニアイメージ
センサの検出範囲を通過するだけでよいので方向性がな
く、リニアイメージセンサ設置の制約が少ない。リニア
イメージセンサを設けるだけでよいのでセンサがコンパ
クトになり装置を小型化することができる。
ェーハの検出位置の為の動作を必要とせず、通常の搬送
動作中にウェーハの中心位置を検出することができ、処
理時間の短縮を図れる。又、ウェーハがリニアイメージ
センサの検出範囲を通過するだけでよいので方向性がな
く、リニアイメージセンサ設置の制約が少ない。リニア
イメージセンサを設けるだけでよいのでセンサがコンパ
クトになり装置を小型化することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】該実施例の側面図である。
【図３】従来例の説明図である
【図４】図３のＡ矢視図である。
【図５】該従来例に於けるセンサのグループ分けを示す
説明図である。
説明図である。
【図６】該従来例に於けるセンサのグループ分けを示す
説明図である。
説明図である。
【図７】該従来例に於けるウェーハの中心位置検出作動
を示す説明図である。
を示す説明図である。
３ ウェーハ
１３ ウェーハ搬送装置
１５ リニアイメージセンサ
１６ ウェーハ中心位置演算器
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハ搬送装置によって搬送される
ウェーハの搬送路途中に設けたリニアイメージセンサと
、該リニアイメージセンサからの撮像出力より、最大検
出長と最大検出長時に於ける基準位置からのずれを求め
てウェーハ中心位置を演算するウェーハ中心位置演算器
とを具備することを特徴とするウェーハの中心位置検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3084686A JPH04295704A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | ウェーハの中心位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3084686A JPH04295704A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | ウェーハの中心位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04295704A true JPH04295704A (ja) | 1992-10-20 |
Family
ID=13837567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3084686A Pending JPH04295704A (ja) | 1991-03-25 | 1991-03-25 | ウェーハの中心位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04295704A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5917601A (en) * | 1996-12-02 | 1999-06-29 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Position difference detecting device and method thereof |
| JP2006521704A (ja) * | 2003-03-24 | 2006-09-21 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 高速で対象物を取り扱う方法および装置 |
| JP2009072909A (ja) * | 1996-03-22 | 2009-04-09 | Genmark Automation Inc | ロボットアーム構造をコントロールする方法、ロボットアーム機構、ロボットアーム構造、センサアレイ及び製品製造方法 |
| KR101037724B1 (ko) * | 2009-03-04 | 2011-05-30 | (주)한국시스톰 | 웨이퍼 손상 방지 시스템 및 방법 |
-
1991
- 1991-03-25 JP JP3084686A patent/JPH04295704A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009072909A (ja) * | 1996-03-22 | 2009-04-09 | Genmark Automation Inc | ロボットアーム構造をコントロールする方法、ロボットアーム機構、ロボットアーム構造、センサアレイ及び製品製造方法 |
| JP2012223880A (ja) * | 1996-03-22 | 2012-11-15 | Genmark Automation Inc | ロボットアーム構造をコントロールする方法、ロボットアーム機構、ロボットアーム構造、ワークピース処理システム及び製品製造方法 |
| US5917601A (en) * | 1996-12-02 | 1999-06-29 | Kabushiki Kaisha Toyoda Jidoshokki Seisakusho | Position difference detecting device and method thereof |
| JP2006521704A (ja) * | 2003-03-24 | 2006-09-21 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 高速で対象物を取り扱う方法および装置 |
| KR101037724B1 (ko) * | 2009-03-04 | 2011-05-30 | (주)한국시스톰 | 웨이퍼 손상 방지 시스템 및 방법 |
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