JPH10208224A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 情報信号等を高密度に記録した磁気ディスク
から高精度に記録再生を行う。 【解決手段】 ディスク摺動面は、少なくとも磁気ギャ
ップが設けられる曲率半径Ｒ１の凸曲面からなる内周曲
面部１８と、この内周曲面部１８に連続する外側領域に
形成され曲率半径Ｒ２の凸曲面からなる外周曲面部１９
とから構成する。内周曲面部１８と外周曲面部１９と
は、曲率半径Ｒ１＞曲率半径Ｒ２によって構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フロッピーディス
ク等の可撓性磁気ディスク（以下、単に磁気ディスクと
いう。）を対象としてデータ信号、音声信号、画像信号
等の情報信号或いは制御信号（以下、単に情報信号等と
いう。）の記録及び／又は再生を行う磁気ヘッドと、こ
の磁気ヘッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】フロッピーディスク装置は、一般に、磁
気ディスクを比較的低速で回転駆動させるとともにその
主面に磁気ヘッドのディスク摺動面を接触させた状態で
情報信号等の記録及び／又は再生（以下、単に記録再生
という。）を行うことを基本構成としており、低価格で
信頼性が高いといった特徴を有している。例えば、普及
率が極めて高い３．５インチ径の磁気ディスクが用いら
れる標準型フロッピーディスク装置においては、この磁
気ディスク１枚のデータ信号等の記憶容量が１．４４Ｍ
バイト（なお、７２０Ｋバイト、１．２Ｍバイト等の仕
様の磁気ディスクも提供されている。）、情報信号等の
転送レートが２５０Ｋｂ／ｓ（又は５００Ｋｂ／ｓ）、
磁気ディスクの駆動回転数が３００ｒｐｍ等の仕様を基
本仕様としている。

【０００３】ところで、パーソナルコンピュータ等にお
いては、低価格化と操作性の簡易化或いはネットワーク
網の充実等によって普及台数や用途のめざましい拡大が
図られ、これに伴って取り扱う情報信号等も文書データ
信号を中心としたものから画像情報データ信号やグラフ
ィックスデータ信号等のマルチメディアデータへと幅広
い情報信号等を対象として取り扱われるようになってい
る。かかる状況に対応するため、パーソナルコンピュー
タ等には、ディスク交換型外部記憶装置の標準装備が検
討されている。

【０００４】標準型フロッピーディスク装置は、上述し
た記憶容量や駆動回転数等の仕様からかかるニーズに対
応することが困難であった。したがって、フロッピーデ
ィスク装置においても、磁気ディスクに対して情報信号
等を高密度に記録するとともにこの磁気ディスクを数千
回転以上の高速で回転駆動することによりデータ転送レ
ートの改善を図って、記憶容量を１００Ｍバイト以上と
した大容量化装置（上位仕様フロッピーディスク装置）
の検討が図られている。なお、以下の説明において、標
準フロッピーディスクを下位仕様磁気ディスク、高密度
フロッピーディスクを上位仕様磁気ディスクと称するも
のとする。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この上位仕様フロッピ
ーディスク装置は、下位仕様磁気ディスクの互換使用が
必須とされるとともに、上位仕様磁気ディスクが装填さ
れてこれを高速で回転駆動した場合にも情報信号等の記
録再生の信頼性が保持されなければならない。そして、
かかる上位仕様フロッピーディスク装置には、上位仕様
磁気ディスクと下位仕様磁気ディスクとに適合可能であ
りかつ情報信号等の記録再生が確実に行われる磁気ヘッ
ド装置が必須となる。

【０００６】ところで、フロッピーディスク装置は、上
述したように比較的低速で回転駆動される下位仕様磁気
ディスクに対して磁気ヘッド装置に搭載された磁気ヘッ
ドがその主面と疑似接触状態を保持されて情報信号等の
記録再生を行うことを基本仕様としている。かかるフロ
ッピーディスク装置の基本仕様は、情報信号等の記録再
生の信頼性を考慮した場合に最も経済的な構成である。
フロッピーディスク装置は、この基本仕様を前提として
種々の改良が行われ、現状においてその信頼性に充分な
余裕を有する状況にある。

【０００７】フロッピーディスク装置は、磁気ディスク
を高速で回転駆動すると、この磁気ディスクと磁気ヘッ
ド装置に搭載された磁気ヘッドのディスク摺動面との間
に発生する空気流によって磁気ヘッドが磁気ディスクの
主面から浮上する浮上現象が発生することが実験的に確
認されている。そして、フロッピーディスク装置は、こ
の磁気ヘッドの磁気ディスクの主面からの浮上現象によ
って情報信号等の記録再生特性が劣化するといった問題
が生じる。

【０００８】上位仕様フロッピーディスク装置において
も、高速で回転駆動される上位仕様磁気ディスクの主面
に対して磁気ヘッドを標準型フロッピーディスク装置と
同等に、微小な間隙に保持するように構成されなければ
ならない。すなわち、上位仕様フロッピーディスク装置
においては、上位仕様磁気ディスクが高速で回転駆動さ
れて生じる高速の空気流によって生成される大きな浮上
力を抑制するヘッド支持機構が備えられる。ヘッド支持
機構は、磁気ヘッドに対してより大きなロード圧を付与
して、この磁気ヘッドを高速回転される磁気ディスクの
主面に疑似接触状態を保持されるように支持する。

【０００９】しかしながら、かかるヘッド支持機構は、
上述したように磁気ヘッドの全体を磁気ディスクに接近
させた状態で支持することから、衝撃等が加えられた場
合にこの磁気ヘッドが磁気ディスクに衝合するといった
事態を生じさせる危険性があった。フロッピーディスク
装置は、磁気ヘッドと磁気ディスクとの衝合によって磁
気ディスクの主面を傷付けて情報信号等の記録再生を不
能とさせたり、磁気ヘッドの寿命を低下させるといった
問題が生じる。また、かかるフロッピーディスク装置
は、大きなロード圧によって磁気ディスクに対する負荷
を増大させるといった問題があった。

【００１０】上述した問題点は、例えば磁気ヘッドと磁
気ディスクとが充分な間隔を保持されるようにした構成
を採用することによって解決が図られる。しかしなが
ら、かかる構成のフロッピーディスク装置は、磁気ヘッ
ドの電磁変換の損失が大きくなってＳ／Ｎ比が劣化する
ことから、情報信号等が高密度に記録される上位仕様磁
気ディスクが用いられる上位仕様フロッピーディスク装
置には適用し得ない。

【００１１】したがって、本発明は、高速で回転駆動さ
れる上位仕様磁気ディスクに対してもその主面に疑似接
触状態が保持されて情報信号等の記録再生が高精度に行
われるようにした磁気ヘッド及びその製造方法を提供す
ることを目的に提案されたものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明に係る磁気ヘッドは、回転駆動される可撓性磁気ディ
スクの主面に対して、ディスク摺動面に設けられた磁気
ギャップが疑似接触状態で摺動されて情報信号等の記録
再生を行う。ディスク摺動面は、少なくとも磁気ギャッ
プが設けられる曲率半径をＲ１とした凸曲面からなる内
周曲面部と、この内周曲面部に連続する外側領域に形成
された曲率半径をＲ２とする凸曲面からなる外周曲面部
とによって構成される。内周曲面部と外周曲面部とは、
それぞれの曲率半径Ｒ１と曲率半径Ｒ２とが、Ｒ１＞Ｒ
２によって形成される。

【００１３】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッドによれば、情報信号等が高密度に記録された可撓
性磁気ディスクが装填されて高速で回転駆動される場合
においても、大きなロード圧の負荷を不要とするにもか
かわらず、この可撓性磁気ディスクからの浮上現象が抑
制され、情報信号等の記録再生が高精度に行われる。ま
た、磁気ヘッドは、可撓性磁気ディスクに対するロード
圧が小さいために、ランディング時等においてこの可撓
性磁気ディスクへのダメージの発生を低減させる。

【００１４】上述した目的を達成する本発明に係る磁気
ヘッドの製造方法は、回転駆動される可撓性磁気ディス
クの主面に対して、ディスク摺動面に設けられた磁気ギ
ャップが疑似接触状態で摺動されて情報信号等の記録再
生を行う磁気ヘッドを製造する。磁気ヘッド素材には、
そのディスク摺動面の構成面に対して、曲率半径をＲ２
とする凸曲面の外周曲面部を形成する第１の球面部形成
工程と、この外周曲面部の内側領域に曲率半径をＲ１と
する凸曲面でかつ磁気ギャップが配設される同心の内周
曲面部を形成する第２の球面部形成工程とが施こされ
る。

【００１５】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、内
周曲面部と外周曲面部とがそれぞれの曲率半径Ｒ１と曲
率半径Ｒ２とをＲ１＞Ｒ２とされることにより、ディス
ク摺動面に曲率半径を異にする互いに同心をなす少なく
とも２種類の凸曲面部が形成された磁気ヘッドを製造す
る。

【００１６】以上の工程を経て製造された磁気ヘッド
は、情報信号等が高密度に記録された可撓性磁気ディス
クが装填されてこれが高速で回転駆動される場合におい
ても、大きなロード圧の負荷を不要とするにもかかわら
ず可撓性磁気ディスクの主面からの浮上現象が抑制さ
れ、情報信号等の記録再生が高精度に行われるととも
に、可撓性磁気ディスクに対するロード圧を小ならしめ
てランディング時等におけるダメージの発生を低減させ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施の形
態を図面を参照して詳細に説明する。実施の形態として
図１及び図２に示した磁気ヘッド１は、ディスク支持機
構に支持されて回転駆動される磁気ディスクを挟んで対
向配置され、この磁気ディスクの両主面から情報信号等
の記録再生を行うようにしたいわゆる両面型フロッピー
ディスク装置に備えられる。また、磁気ヘッド１は、例
えばディスク径が３．５インチとされ３００ｒｐｍで回
転駆動される下位仕様磁気ディスクと、情報信号等が高
密度に記録されるとともに例えば１２００ｒｐｍ乃至３
６００ｒｐｍの高速で回転駆動される上位仕様の磁気デ
ィスクとを互換使用可能とするフロッピーディスク装置
に搭載される。

【００１８】フロッピーディスク装置は、磁気ヘッド１
をこれら磁気ディスクの主面に対して略接触した状態に
保持して情報信号等の記録動作又は再生動作を行う。フ
ロッピーディスク装置は、磁気ヘッド１について、下位
仕様磁気ディスクが装填された場合にはノントラッキン
グサーボにより、また上位仕様磁気ディスクが装填され
た場合にトラッキングサーボを行ってこれら磁気ディス
クから情報信号等の記録再生を行う。

【００１９】磁気ヘッド１は、図１及び図２に示すよう
に、下位仕様磁気ディスクから情報信号等の記録再生を
行う第１のヘッド部２と、上位仕様磁気ディスクから情
報信号等の記録再生を行う第２のヘッド部３とが一体に
設けられた複合磁気ヘッドを構成している。磁気ヘッド
１は、リード／ライト・ギャップ（Ｒ／Ｗギャップ）５
が形成された第１のコア部材４と、この第１のコア部材
４に対してガラス溶着部８を介して一体化されるととも
にイレーズ・ギャップ（Ｅギャップ）７が形成された第
２のコア部材６によって第１のヘッド部２を構成し、メ
タル・イン・ギャップ（ＭＩＧギャップ）１０が形成さ
れた第３のコア部材９によって第２のヘッド部３を構成
する。

【００２０】なお、図１及び図２には、詳細にはヘッド
チップが示されているが、以下の説明のように各コア部
材４、６、９に図示しないコイル部材をそれぞれ組み付
けて全体として磁気ヘッド１を構成する。また、磁気ヘ
ッド１は、例えばジンバルバネ等を有するヘッド支持機
構に搭載されることによって磁気ヘッド装置を構成す
る。

【００２１】磁気ヘッド１は、これら第１のコア部材
４、第２のコア部材６及び第３のコア部材９と、第１の
スライダ部材１１と、第２のスライダ部材１２と、スペ
ーサ部材１３及び各コア部材に組み合わされる図示しな
い３個のコイル部材とから構成されている。磁気ヘッド
１は、磁気ディスクの回転方向に対して直列状態で一体
化された第１のコア部材４と第２のコア部材６に対し
て、図２に示すように、第３のコア部材９がスペーサ部
材１３を介して厚み方向に接合されてなる。また、磁気
ヘッド１は、第１のコア部材４と第２のコア部材６の側
面に第１のスライダ部材１１が接合されるとともに第３
のコア部材９の側面に第２のスライダ部材１２が接合さ
れてなる。

【００２２】磁気ヘッド１は、図２に示すようにこれら
構成各部材がその一端面を互いに同一面を構成するよう
にして接合されることによって、この接合端面をディス
ク摺動面１４として構成する。ディスク摺動面１４は、
図１に示すように、全体として矩形面を呈して構成され
るとともに、詳細を後述するが曲率を異にした複数の曲
面を組み合わせてなる複合凸曲面として構成されてい
る。

【００２３】磁気ヘッド１は、後述するように第２のス
ライダ部材１２の主面に磁気ディスクの回転方向と平行
なグルーブ１５が形成されており、このグルーブ１５に
よって、ディスク摺動面１４が幅方向に第１のスライダ
レール部１６と第２のスライダレール部１７とに区割り
されてなる。磁気ヘッド１は、第１のスライダレール部
１６側に第１のヘッド部２と第２のヘッド部３とが配設
されている。

【００２４】第１のヘッド部２は、従来の下位仕様フロ
ッピーディスク装置に搭載される磁気ヘッドと同様のト
ンネル・イレーズ型のバルク・タイプ・ヘッドからな
る。すなわち、第１のヘッド部２は、第１のコア部材４
及びこれに組み合わされる図示しないリード／ライト・
コイル部材と、第２のコア部材６及びこれに組み合わさ
れる図示しないイレーズ・コイル部材等の部材から構成
される。第１のコア部材４には、第２のコア部材６がガ
ラス溶着部８を介して磁気ディスクの回転方向に対して
後方に位置して、換言すれば直列状態で一体化されてな
る。

【００２５】第１のコア部材４は、やや薄幅の矩形ブロ
ック状を呈する多結晶フェライトブロック材を素材とし
て後述する工程を経て製作される。第１のコア部材４
は、詳細には、磁気ディスクの回転方向に対して前方側
に配置される略Ｌ字状のヘッドコア半体と、後方側に配
置される略Ｉ字状のヘッドコア半体とを溶融ガラスによ
って接合してなる。したがって、第１のコア部材４は、
磁気ディスクの回転方向に対して磁気的に前後に分離す
るこの接合部がＲ／Ｗギャップ５として構成される。Ｒ
／Ｗギャップ５は、回転駆動される下位仕様磁気ディス
クに記録された情報信号等を再生し或いは下位仕様磁気
ディスクに情報信号等を記録する。

【００２６】また、第２のコア部材６も、第１のコア部
材４と同幅の矩形ブロック状を呈する多結晶フェライト
ブロック材を素材として後述する工程を経て製作され
る。第２のコア部材６は、詳細には、磁気ディスクの回
転方向に対して前方側に配置される略Ｉ字状のヘッドコ
ア半体と、後方側に配置される略Ｌ字状のヘッドコア半
体とを溶融ガラスによって接合してなる。したがって、
第２のコア部材６は、磁気ディスクの回転方向に対して
磁気的に前後に分離するこの接合部がＥギャップ７とし
て構成される。Ｅギャップ７は、詳細を省略するが、第
２のコイル部材６の幅方向に離間して一対が形成されて
なる。これらＥギャップ７は、磁気ディスクの記録トラ
ックに情報信号等が一定幅で記録されることによって各
記録トラック間のガードバンドを保持するために、各記
録トラックの両側部分を情報信号等の無記録部とする。

【００２７】第２のヘッド部３は、ギャップ溝に金属膜
がスバッタ法等により成膜されたメタル・イン・ヘッド
からなる。すなわち、第２のヘッド部３は、第３のコア
部材９及びこれに組み合わされる図示しないリード／ラ
イト・コイル部材とから構成されている。第３のコア部
材９は、狭トラック幅の上位仕様磁気ディスクに対応し
て、上述した第１のコア部材４及び第２のコア部材６よ
りもやや小幅とされるとともに全体の長さが接合された
これら第１のコア部材４及び第２のコア部材６の長さと
ほぼ等しい矩形ブロック状を呈する単結晶フェライトブ
ロック材を素材とし、後述する工程を経て製作される。

【００２８】第３のコア部材９は、詳細には、磁気ディ
スクの回転方向に対して前方側に配置される略Ｌ字状の
ヘッドコア半体と、後方側に配置される略Ｉ字状のヘッ
ドコア半体とを溶融ガラスによって接合してなる。した
がって、第３のコア部材９は、磁気ディスクの回転方向
に対して磁気的に前後に分離するこの接合部がＭＩＧギ
ャップ１０として構成される。

【００２９】第１のスライダ部材１１及び第２のスライ
ダ部材１２は、例えばチタン酸カルシウム等の耐磨耗
性、耐摺動特性及び機械的特性に優れた非磁性体のセラ
ミック材等を素材とし、後述する工程を経てそれぞれ各
コア部材２、４、９に接合される。第１のスライダ部材
１１は、第３のコア部材９とほぼ等しい長さを有する全
体矩形ブロック状を呈し、上述したように第１のコア部
材４及び第２のコア部材６の一方側面の全域に亘って溶
融ガラス等を介して一体に接合される。

【００３０】第１のスライダ部材１１には、第１のコア
部材４及び第２のコア部材６と接合された状態において
これらに形成されたＲ／Ｗギャップ５とＥギャップ７と
に対応するその底面側の部位に、コイル逃げ部１１ａ、
１１ｂがそれぞれ切り欠き形成されている。これらコイ
ル逃げ部１１ａ、１１ｂは、第１のコア部材４及び第２
のコア部材６に対して図示しないリード／ライト・コイ
ル部材とイレーズ・コイル部材の組み付けを可能とさせ
る。

【００３１】第２のスライダ部材１２は、第３のコア部
材９とほぼ等しい長さを有する全体矩形ブロック状を呈
し、この第３のコア部材９の一方側面の全域に亘って溶
融ガラス等を介して一体に接合される。第２のスライダ
部材１２には、上述したようにその主面に長さ方向の全
域に亘ってグルーブ１５が凹設されている。この第２の
スライダ部材１２は、詳細には図２に示すように、グル
ーブ１５の中心軸が磁気ヘッド１の全体の中心軸とほぼ
一致する幅寸法を有している。また、第２のスライダ部
材１２には、グルーブ１５に対応する底面部にコイル逃
げ部１２ａが切り欠き形成されている。このコイル逃げ
部１２ａは、第３のコア部材９に対して図示しないリー
ド／ライト・コイル部材の組み付けを可能とさせる。

【００３２】スペーサ部材１３は、セラミック等の非磁
性材を素材として第３のコア部材９とほぼ等しい長さ寸
法を有するブロック体からなり、その底面に各コイル部
材を組み付け可能とする空間部を構成する高さ寸法を有
している。スペーサ部材１３は、第１のコア部材４及び
第２のコア部材６の接合体と第３のコア部材９との間に
介挿されることによって第１のヘッド部２と第２のヘッ
ド部３との磁気的な影響、すなわちクロストークを抑制
する作用を奏する。

【００３３】なお、上述した磁気ヘッド１においては、
第１のスライダ部材１１、第１のコア部材４、スペーサ
部材１３、第２のコア部材９及び第２のスライダ部材１
２とをそれぞれ厚み方向に対して一体に接合して構成し
たが、かかる構成に限定されるものではない。磁気ヘッ
ドは、例えばスライダ部材が幅広の１個の部材とされる
とともにコア組込穴を設け、このコア組込穴にそれぞれ
第１のコア部材４と第２のコア部材９とを埋設するよう
にして組み込んでなる埋設型磁気ヘッドであってもよ
い。また、磁気ヘッド１は、第２のスライダ部材１２の
主面にグルーブ１５を凹設して第１のスライダレール部
１６と第２のスライダレール部１７とを構成したが、こ
れらスライダレール部をスライダ部材の主面に形成した
凸部によって構成するようにしてもよい。

【００３４】磁気ヘッド１は、図１及び図２に示すよう
に、ディスク摺動面１４が、その中心位置Ｏを中心とし
て半径Ａ内に位置する第１の領域である内周曲面部１８
と、この内周曲面部１８の外周領域でかつ中心位置Ｏか
ら半径Ｂ内に位置する第２の領域である同心円の外周曲
面部１９及びこの外周曲面部１９から外周縁に至る第３
の領域である外周領域部２０とに区割りされて構成され
ている。磁気ヘッド１は、図２に示すように、それぞれ
内周曲面部１８が曲率半径をＲ１とする凸曲面とされる
とともに外周曲面部１９が曲率半径をＲ２とする凸曲面
とされた複合凸曲面として構成されている。内周曲面部
１８の曲率半径Ｒ１は、外周曲面部１９の曲率半径Ｒ２
よりも大きい。

【００３５】磁気ヘッド１は、具体的には、内周曲面部
１８の曲率半径Ｒ１が１０００ｍｍ以上の凸曲面とされ
るとともに外周曲面部１９の曲率半径Ｒ２が５０ｍｍ以
上１０００ｍｍ未満の凸曲面とされている。また、磁気
ヘッド１は、外周領域部２０が後述するようにブレンド
加工を施されることによって、外周曲面部１９から外周
縁に向かって次第に緩やかに傾斜する傾斜曲面として構
成されるとともに外周縁に円弧状の面取りとが施されて
いる。なお、この外周領域部２０の傾斜角は、１５°乃
至２０°とされている。

【００３６】磁気ヘッド１は、上述したようにディスク
摺動面１４に、曲率半径を異にする互いに同心円をなす
内周曲面部１８と外周曲面部１９との複合凸曲面を形成
して構成したことによって、磁気ディスクが高速で回転
駆動された場合においても後述するようにその主面から
の浮上現象が抑制される。また、磁気ヘッド１は、外周
領域部２０にブレンド加工を施こして緩やかな傾斜曲面
と円弧状の面取りとを施したことによって、記録再生時
の磁気ディスクの回転動作に伴ってその主面から接離動
作する場合においても磁気ディスクを傷付けることは無
い。

【００３７】磁気ヘッド１は、例えばディスク摺動面１
４が、磁気ディスクの回転方向の長さ寸法を３．０ｍ
ｍ、磁気ディスクの回転方向と直交する方向の長さ寸法
を２．８ｍｍとした矩形面として構成される。この場
合、磁気ヘッド１は、内周曲面部１８の半径Ａが、下位
仕様磁気ディスクの記録トラックに対してＲ／Ｗギャッ
プ５とＥギャップ７とが対応位置されるように１ｍｍに
設定される。また、磁気ヘッド１は、外周曲面部１９の
半径Ｂが、１．２５ｍｍに設定される。なお、磁気ヘッ
ド１は、全体の厚み寸法が２．７ｍｍとされている。

【００３８】磁気ヘッド１は、高速で回転駆動される磁
気ディスクに対し、ディスク摺動面１４の接触面積が少
ない構成とされている。この磁気ディスク１において
は、グルーブ１５を挟んだ中央部の領域で、０．８ｍｍ
×０．４ｍｍの範囲で磁気ディスクに対して接触する。

【００３９】以上のように構成される磁気ヘッド１は、
図３に示した各工程を経て製造される。すなわち、磁気
ヘッド１の製造工程は、第１のヘッド部２の製作工程
と、第２のヘッド部３の製作工程と、各部材の接合工程
及びディスク摺動面１４の加工工程とからなる。また、
第１のヘッド部２の製作工程は、第１のコア部材４の製
作工程と、第２のコア部材６の製作工程とからなり、そ
れぞれ別工程によって製作された第１のコア部材４と第
２のコア部材６とを一体に接合する工程とからなる。磁
気ヘッド１の製造工程においては、第２のヘッド部３の
製作工程で製作された第３のコア部材９にスペーサ部材
１３を介して、一体化された第１のコア部材４と第２の
コア部材６とを一体に接合する工程を有する。さらに、
磁気ヘッド１の製造工程においては、一体化されたこれ
ら第１のコア部材４、第２のコア部材６及び第３のコア
部材９に対して、第１のスライダ部材１１と第２のスラ
イダ部材１２とをそれぞれ一体に接合する工程を有す
る。

【００４０】すなわち、第１のコア部材４の製作工程
は、素材のフェライトブロック材を所定のブロック形状
に形成するブロック加工工程Ｓ−１を第１の工程とす
る。フェライトブロック材は、多数個の第１のコア部材
４を切り出し可能とする大きさを有している。フェライ
トブロック材には、第２の工程の溝入れ加工工程Ｓ−２
において、Ｒ／Ｗギャップ５を構成するためのギャップ
構成溝が一方主面の全長に亘って形成される。フェライ
トブロック材には、第３の工程の１次ガラス融着工程Ｓ
−３において、ギャップ構成溝内に溶融ガラスが充填さ
れる。さらに、フェライトブロック材は、第４の工程の
サイド加工Ｓ−４において、外周側面が所定の形状、面
精度を以って仕上げられる。フェライトブロック材は、
長手方向の一方側面が磁気ディスクの回転方向の先端面
を構成し、長手方向の他方側面が第２のコア部材６との
接合面を構成する。

【００４１】第２のコア部材６の製作工程は、素材のフ
ェライトブロック材を所定のブロック形状に形成するブ
ロック加工工程Ｓ−５を第１の工程とする。このフェラ
イトブロック材は、多数個の第２のコア部材６を切り出
し可能とする大きさを有している。フェライトブロック
材には、第２の工程の溝入れ加工工程Ｓ−６においてＥ
ギャップ７を構成するためのギャップ構成溝が一方主面
の全長に亘って形成される。フェライトブロック材に
は、第３の工程の１次ガラス融着工程Ｓ−７においてギ
ャップ構成溝内に溶融ガラスが充填される。さらに、フ
ェライトブロック材は、第４の工程のサイド加工Ｓ−８
において側面が所定の形状、面精度を以って仕上げられ
る。フェライトブロック材は、長手方向の一方側面が磁
気ディスクの回転方向の後端面を構成し、長手方向の他
方側面が第１のコア部材４との接合面を構成する。

【００４２】以上の工程を経て製作された第１のコア部
材４と第２のコア部材６とは、２次ガラス融着工程Ｓ−
９において相対する端面が互いに突き合わされて、換言
すれば磁気ディスクの回転方向に対して直列状態とされ
て溶融ガラスによって一体されて接合フェライトブロッ
ク体を構成する。この接合部に充填された溶融ガラス
は、上述したガラス溶着部８を構成し、第１のコア部材
４と第２のコア部材６とを磁気的に隔離する。さらに、
接合フェライトブロック体は、カッティング工程Ｓ−１
０において、所定の厚みにカッティングされることによ
って第１のヘッド部２を構成する多数個のコアチップを
形成する。

【００４３】なお、第１のヘッド部２は、上述したよう
に第１のコア部材４と第２のコア部材６によって構成さ
れ、２次ガラス融着工程Ｓ−９において一体化された
後、カッティング工程Ｓ−１０においてチップカッティ
ングされるようにしたが、１個のフェライトブロック材
から製作するようにしてもよいことは勿論である。この
場合、フェライトブロック材は、Ｒ／Ｗギャップ５やＥ
ギャップ７或いはガラス溶着部８に対応して切り分けら
れるとともに溶融ガラスを介して再び一体化されて接合
フェライトブロック体を構成し、しかる後チップカッテ
ィングされる。

【００４４】第３のコア部材９の製作工程は、素材のフ
ェライトブロック材を所定のブロック形状に形成するブ
ロック加工工程Ｓ−１１を第１の工程とする。このフェ
ライトブロック材は、多数個の第３のコア部材９を切り
出し可能とする大きさを有している。フェライトブロッ
ク材には、第２の工程の溝入れ加工工程Ｓ−１２におい
て、ＭＩＧギャップ１０を構成するためのギャップ構成
溝が一方主面の全長に亘って形成される。フェライトブ
ロック材には、第３の工程のメタル・スバッタ工程Ｓ−
１３において、形成されたギャップ構成溝の溝壁にメタ
ル・スバッタ法によって金属膜が被膜形成される。さら
に、フェライトブロック材には、第４の工程の１次ガラ
ス融着工程Ｓ−１４において、溝壁に金属膜が成膜され
たギャップ構成溝内に溶融ガラスが充填される。

【００４５】フェライトブロック材は、第５の工程のサ
イド加工Ｓ−１５において、外周側面が所定の形状、面
精度を以って仕上げられる。フェライトブロック材は、
長手方向の両側面が磁気ディスクの回転方向の先端面及
び後端面を構成する。フェライトブロック材は、カッテ
ィング工程Ｓ−１６において、所定の厚みにカッティン
グされることによって第２のヘッド部３を構成する多数
個のコアチップを形成する。

【００４６】上述した工程を経て製作された第１のコア
部材４、第２のコア部材６及び第３のコア部材９は、ス
ライダ接合工程Ｓ−１７において、第１のスライダ部材
１１と第２のスライダ部材１２及びスペーサ部材１３と
がそれぞれ接合されて第１の磁気ヘッド中間体２５を構
成する。すなわち、一体化された第１のコア部材４と第
２のコア部材６には、磁気ディスクの回転方向と平行な
一方側面に第１のスライダ部材１１が溶融ガラスによっ
て接合される。また、第１のコア部材４と第２のコア部
材６には、磁気ディスクの回転方向と平行な他方の側面
にスペーサ部材１３が溶融ガラスによって接合される。
第１のコア部材４と第２のコア部材６には、このスペー
サ部材１３を介して、その他方側面に第２のスライダ部
材１２が溶融ガラスによって接合される。

【００４７】第１のコア部材４、第２のコア部材６及び
第３のコア部材９、並びに第１のスライダ部材１１、第
２のスライダ部材１２及びスペーサ部材１３の各部材
は、上述したようにそれぞれ厚み方向に接合されて一体
化され、第１の磁気ヘッド中間体２５を構成する。この
第１の磁気ヘッド中間体２５には、斜面・グルーブ加工
工程Ｓ−１８において、第２のスライダ部材１２のディ
スク摺動面１４を構成する主面にグルーブ１５が凹設さ
れるとともに外周縁部に面取り加工が施される。

【００４８】第１の磁気ヘッド中間体２５は、平面加工
工程Ｓ−１９において、そのディスク摺動面１４に平面
研磨加工が施される。すなわち、第１の磁気ヘッド中間
体２５は、錫、ケメットからなる定盤にそのディスク摺
動面１４が押し当てられることによって、このディスク
摺動面１４が段差の無い平滑面として仕上げる。

【００４９】第１の磁気ヘッド中間体２５には、詳細を
後述する球面研磨装置３０により、ディスク摺動面１４
に曲率半径をＲ２とするＲ２球面加工工程Ｓ−２０が施
される。すなわち、第１の磁気ヘッド中間体２５には、
ディスク摺動面１４の中心Ｏから半径Ａの内周曲面部１
８の外側領域で半径Ｂの間に構成される外周曲面部１９
が曲率半径をＲ２とした凸曲面として構成することによ
って第２の磁気ヘッド中間体２６を構成する。この場
合、球面研磨装置３０は、第１の磁気ヘッド中間体２５
に対して２０００番乃至１００００番のラッピングシー
トによるラップ加工を行う。

【００５０】第２の磁気ヘッド中間体２６には、ブレン
ド加工工程Ｓ−２１において、外周曲面部１９から外周
縁までの領域である外周領域部２０を次第に緩やかに傾
斜する傾斜曲面とするとともに外周縁に面取りを施すブ
レンド加工が施される。さらに、第２の磁気ヘッド中間
体２６には、詳細を後述する球面研磨装置４０によって
Ｒ１球面加工工程Ｓ−２２が施されて、内周曲面部１８
が曲率半径をＲ１とする凸曲面として構成され磁気ヘッ
ド１を完成させる。勿論、内周曲面部１８は、全体が平
滑面として構成される。

【００５１】なお、磁気ヘッド１には、第１のコア部材
４にリード／ライト・コイル部材が組み合わされ、第２
のコア部材６にイレーズ・コイル部材が組み合わされ、
さらに第３のコア部材９にリード／ライト・コイル部材
がそれぞれ組み合わされる。また、磁気ヘッド１には、
第１のコア部材４、第２のコア部材６及び第３のコア部
材９の底面部にそれぞれ閉ループを構成するための磁性
材が接合される。

【００５２】磁気ヘッド１は、ヘッド支持機構を介して
磁気ディスクを挟んで上下に対向位置するようにして一
対がフロッピーディスク装置に組み付けられて磁気ヘッ
ド装置を構成する。この場合、一対の磁気ヘッド１は、
磁気ディスクの表裏面で、互いに数トラック分ずれた状
態でヘッド支持機構によって支持される。なお、ヘッド
支持機構は、上下一対の磁気ヘッド１が磁気ディスクに
対してそれぞれ可動自在に支持されるようにした両側可
動支持機構や、例えば上側の磁気ヘッド１のみを磁気デ
ィスクに対して可動自在に支持する片側可動支持機構等
が採用される。

【００５３】上述したＲ２球面加工工程Ｓ−２０に用い
られる球面研磨装置３０について、図４を参照して説明
する。球面研磨装置３０は、同図に示すように、回転軸
３２に支持されて回転駆動される円盤状の定盤３１と、
シリコーン・シート３３と、ラッピング・シート３４と
を備えている。シリコーン・シート３３は、６０度の硬
度で厚み寸法が３ｍｍとされたシリコーンシート体から
なり、定盤３１の主面に貼着される。また、ランピング
・シート３４には、２０００番乃至１００００番のラン
ピング・シートが用いられ、シリコーン・シート３３上
に貼着される。また、この球面研磨装置３０には、第１
のヘッド中間体２５を取り付ける研磨治具３５が備えら
れる。研磨治具３５は、全体円盤状を呈しており、詳細
を省略するが球面研磨装置３０の定盤３１に対して接離
動作されるとともに回転軸３６に取り付けられて回転駆
動される。

【００５４】第１のヘッド中間体２５は、研磨治具３５
の主面に取り付けられ、この研磨治具３５が球面研磨装
置３０に接近動作されることによって、そのディスク摺
動面１４がランピング・シート３４に押し当てられてラ
ップ加工が施される。第１の磁気ヘッド中間体２５に
は、図５に示すように、外周曲面部１９に対応するディ
スク摺動面１４の中心から半径Ａが１ｍｍの領域の外側
の外側領域面２５ａに対して曲率半径Ｒ２が１００ｍｍ
以上１０００ｍｍ未満とされた凸曲面加工が施される。
磁気ヘッド中間体２５は、内周曲面部１８に対応する半
径１ｍｍの内周領域２５ｂが平坦面として構成される。

【００５５】この場合、第１の磁気ヘッド中間体２５
は、研磨治具３５の主面にそれぞれ同一円周上に位置し
て放射状に並べられて複数個が取り付けられる。また、
研磨治具３５は、回転駆動される定盤に対して回転軸３
６が所定角度傾けられた状態で押し当てられて回転駆動
される。球面研磨装置３０は、第１の磁気ヘッド中間体
２５から、そのディスク摺動面１４の上述した外側領域
面２５ａに曲率半径Ｒ２を１００ｍｍ以上１０００ｍｍ
未満とした凸曲面のラップ加工を行うとともに内周領域
２５ｂを平坦面とした第２の磁気ヘッド中間体２６を製
作する。

【００５６】なお、上述したラップ加工において、第１
の磁気ヘッド中間体２５に対して、例えば２０００番の
ラッピング・シートを用いて荒仕上げ加工を行った後、
８０００番のラッピング・シートを用いて仕上げ加工を
行うようにしてもよい。

【００５７】次に、上述したＲ１球面加工工程Ｓ−２２
に用いられる球面研磨装置４０について、図６乃至図８
を参照して説明する。球面研磨装置４０は、図６に示す
ように、回転軸４２に支持されて回転駆動される円盤状
の定盤４１と、この定盤４１に対して接離動作される研
磨治具４３とを備える。定盤４１は、錫やケメットから
なり、図７に示すようにその主面４１ａが曲率半径Ｒ１
を１０００ｍｍ以上とした凹面として構成されている。
研磨治具４３は、全体円盤状を呈しており、詳細を省略
するが定盤４１に対して接離動作されるとともに回転軸
４４に取り付けられて回転駆動される。

【００５８】研磨治具４３には、図８に示すように、そ
の主面４３ａ上に複数個の第２の磁気ヘッド中間体２６
を同一円周上に位置して放射状に並べて取り付けてい
る。球面研磨装置４０は、回転駆動される定盤４１に対
して研磨治具４３が押し当てられて回転駆動される。球
面研磨装置４０は、これによって第２の磁気ヘッド中間
体２６の平坦な内周領域２５ｂに曲率半径Ｒ１を１００
０ｍｍ以上とする凸曲面の内周曲面部１８を形成する。

【００５９】上述した製造工程を経て製造された磁気ヘ
ッド１は、ヘッド支持機構に搭載されて下位仕様磁気デ
ィスクと上位仕様の磁気ディスクとを互換使用可能とす
るフロッピーディスク装置に用いられる。磁気ヘッド１
は、上位仕様の磁気ディスクが装填されてこれが例えば
３６００ｒｐｍの高速で回転駆動される場合において
も、この磁気ディスクからの浮上量が下位仕様磁気ディ
スクとほぼ同等に抑制される。図９及び図１０は、ディ
スク摺動面１４の形状仕様をそれぞれ異にした磁気ヘッ
ドＨ１乃至磁気ヘッドＨ６について、３．５インチ径の
磁気ディスクを３６００ｒｐｍで回転駆動した場合にお
けるそれぞれの浮上量を干渉縞法によって測定し、その
測定結果の平均値を示した図である。

【００６０】これらの図において、縦軸は、磁気ディス
クが回転駆動された状態におけるその主面からの各磁気
ヘッドＨ１乃至磁気ヘッドＨ６の浮上量（単位：ｎｍ）
を示しており、また横軸は、磁気ヘッド１と磁気ディス
クとの相対速度（単位：ｍ／ｓ）を示している。磁気ヘ
ッド１と磁気ディスクとの相対速度は、それぞれ内周部
において８．６７ｍ／ｓであり、また外周部において１
４．９ｍ／ｓである。

【００６１】図９は、ディスク摺動面１４が平坦面とし
て構成された従来の磁気ヘッドＨ１と、ディスク摺動面
１４が曲率半径Ｒを１０００ｍｍの単一の凸曲面として
構成された磁気ヘッドＨ２と、ディスク摺動面１４が曲
率半径Ｒを９０００ｍｍの単一の凸曲面として構成され
た磁気ヘッドＨ３との浮上量を示している。同図に示す
ように、磁気ヘッドＨ１は、内周部の浮上量が約２００
ｎｍであり、また外周部の浮上量が約２５０ｎｍであっ
た。磁気ヘッドＨ２においては、内周部の浮上量が約１
５０ｎｍであり、また外周部の浮上量が約２００ｎｍで
あった。磁気ヘッドＨ３においては、内周部の浮上量が
約１２０ｎｍであり、また外周部の浮上量が約１８０ｎ
ｍであった。

【００６２】したがって、磁気ヘッドにおいては、磁気
ヘッドＨ２や磁気ヘッドＨ３のように、ヘッド摺動面１
４を凸曲面として構成することによって、平坦面に構成
された従来の磁気ヘッドＨ１と比較して浮上量の抑制が
図られることが確認された。また、磁気ヘッドにおいて
は、磁気ヘッドＨ２と磁気ヘッドＨ３との比較から、ヘ
ッド摺動面１４をより大きな曲率の凸曲面とすることに
よって浮上量の抑制が図られることが確認された。

【００６３】一方、図１０は、ディスク摺動面１４が曲
率を異にした凸曲面を組み合わせてなる複合凸曲面に構
成された磁気ヘッドの浮上量を測定した図である。同図
において、磁気ヘッドＨ４は、内周部を平面とするとと
もに外周部を曲率半径が１００ｍｍの凸曲面とされた磁
気ヘッドの浮上量を示す。磁気ヘッドＨ５は、内周曲面
部１８の曲率半径Ｒ１を１０００ｍｍ、外周曲面部１９
の曲率半径Ｒ２を１００ｍｍとした磁気ヘッドを示す。
磁気ヘッドＨ６は、内周曲面部１８の曲率半径Ｒ１を９
０００ｍｍ、外周曲面部１９の曲率半径Ｒ２を１００ｍ
ｍとした磁気ヘッドを示す。

【００６４】磁気ヘッドＨ４においては、内周部の浮上
量が約１８０ｎｍであり、また外周部の浮上量が約２２
０ｎｍであった。したがって、複合凸曲面を有する磁気
ヘッドＨ４は、上述した平面形状の従来の磁気ヘッドＨ
１と比較して浮上量の抑制が図られることが確認され
る。また、磁気ヘッドＨ５においては、内周部の浮上量
が約８０ｎｍであり、また外周部の浮上量が約１２０ｎ
ｍであった。したがって、複合凸曲面を有する磁気ヘッ
ドＨ５は、上述したディスク摺動面１４の曲率半径Ｒ１
が１０００ｍｍの単一の凸曲面の磁気ヘッドＨ２と比較
して浮上量の抑制が図られることが確認される。さら
に、複合凸曲面を有する磁気ヘッドＨ６においては、内
周部ばかりでなく外周部においても浮上現象がほとんど
生じない結果が得られる。

【００６５】磁気ヘッド１は、上述したように磁気ギャ
ップが形成される内周曲面部１８を曲率半径が１０００
ｍｍ以上とされた凸曲面とするとともにその外周領域の
外周曲面部１９を曲率半径が５０ｍｍ以上１０００ｍｍ
未満とされた凸曲面とからなる複合凸曲面によってディ
スク摺動面１４を構成したことにより、高速で回転駆動
される磁気ディスクの主面からの浮上量が抑制される。
したがって、磁気ヘッド１は、大きなロード圧を不要と
して上位仕様磁気ディスクに対して略接触状態を保持さ
れて情報信号等の記録再生を行うことから、各磁気ギャ
ツプから磁気ディスクに対して磁気力が効率的に作用さ
れる。磁気ヘッド１は、これにより上位仕様磁気ディス
クについても下位仕様磁気ディスクと同等のＳ／Ｎ比に
よって高密度に記録された情報信号等の記録再生を高精
度に行う。

【００６６】また、磁気ヘッド１は、大きなロード圧を
負荷して磁気ディスクとの間隔を近接して保持する構成
を不要とし、所定の間隔を保持してヘッド支持機構に搭
載されることからフロッピーディスク装置に衝撃等が加
えられた場合においても、磁気ディスクに衝合してこれ
を傷付けるといった不都合の発生を回避する構成とする
ことができる。

【００６７】上述した実施の形態として示した磁気ヘッ
ド１は、上位仕様磁気ディスクに対応した第１のヘッド
部２と、下位仕様磁気ディスクに対応した第２のヘッド
部３とを備え、両面型フロッピーディスク装置に用いら
れる複合磁気ヘッドが示されている。本発明は、かかる
磁気ヘッドに限定されるものではなく、比較的高速で回
転駆動される可撓性磁気ディスクから情報信号等の記録
再生を行う磁気ヘッドに適用可能である。したがって、
磁気ヘッドは、ディスク摺動面１４の外形寸法が３ｍｍ
×２．８ｍｍ以下である場合に、内周曲面部１８がその
中心Ｏから半径１．２５ｍｍ以下の領域に形成されれば
よい。

【００６８】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る磁気ヘッドによれば、高速で回転駆動される情報信号
等を高密度に記録した可撓性磁気ディスクに対しも近接
若しくは略接触状態が保持されることから、電磁変換の
損失が低減されてＳ／Ｎ比の改善が図られ、可撓性磁気
ディスクが低速で回転駆動される場合と同等に高精度の
再生或いは記録を行うことを可能とするとともに衝撃等
が加えられたりランディング時における可撓性磁気ディ
スクに対する負荷を低減させる。

【００６９】また、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
によれば、高速で回転駆動される情報信号等を高密度に
記録した可撓性磁気ディスクに対しも近接若しくは略接
触状態に保持されて情報信号等の記録再生を高精度に行
う磁気ヘッドを簡易に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの実施の形態を示す平
面図である。

【図２】同磁気ヘッドの縦断面図である。

【図３】同磁気ヘッドの製造工程を説明する工程ブロッ
ク図である。

【図４】同磁気ヘッドの製造工程に用いられて外周曲面
部を形成する球面研磨装置の要部斜視図である。

【図５】同球面研磨装置によって製作された第１の磁気
ヘッド中間体の要部縦断面図である。

【図６】同磁気ヘッドの製造工程に用いられて内周曲面
部を形成する球面研磨装置の要部斜視図である。

【図７】同球面研磨装置の定盤の構成を説明する要部縦
断面図である。

【図８】同球面研磨装置を構成する研磨治具に第２の磁
気ヘッド中間体を搭載した状態を示した図である。

【図９】磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上量を測
定した図であり、従来の磁気ヘッド及びディスク摺動面
を単一凸曲面で構成した磁気ヘッドの浮上量の測定図で
ある。

【図１０】磁気ディスクに対する磁気ヘッドの浮上量を
測定した図であり、ディスク摺動面が曲率半径を異にし
た複合凸曲面で構成された磁気ヘッドの浮上量の測定図
である。

【符号の説明】 １ 磁気ヘッド、２ 第１のヘッド部、３ 第２のヘッ
ド部、４ 第１のコア部材、５ リード／ライト・ギャ
ップ、６ 第２のコア部材、７ イレーズ・ギャップ、
９ 第３のコア部材、１０ メタル・イン・ギャップ、
１１ 第１のスライダ部材、１２ 第２のスライダ部
材、１４ ディスク摺動面、１５ グルーブ、１８ 内
周曲面部、１９ 外周曲面部、２０ 外周領域部、２１
エッジ部、Ｏ ディスク摺動面の中心、Ａ 内周曲面
部の領域半径、Ｂ 外周曲面部の領域半径、Ｒ１ 内周
曲面部の曲率半径、Ｒ２ 外周曲面部の曲率半径、３
０，４０ 球面研磨装置、３５、４３ 研磨治具

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 正信 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転駆動される可撓性磁気ディスクの主
   面に対してディスク摺動面に設けられた磁気ギャップが
   疑似接触状態を保持して摺動することにより情報信号等
   の記録再生を行う磁気ヘッドにおいて、 上記ディスク摺動面は、少なくとも上記磁気ギャップが
   設けられる曲率半径をＲ１とした凸曲面からなる内周曲
   面部と、この内周曲面部に連続する外側領域に形成され
   曲率半径をＲ２とする凸曲面からなる外周曲面部とによ
   って構成され、 上記内周曲面部と外周曲面部とは、それぞれの曲率半径
   Ｒ１と曲率半径Ｒ２とが、Ｒ１＞Ｒ２によって形成され
   ることを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 上記内周曲面部は、その曲率半径Ｒ１が
   １０００ｍｍ以上とされた凸曲面であるとともに、上記
   外周曲面部は、その曲率半径Ｒ２が５０ｍｍ以上１００
   ０ｍｍ未満とされた凸曲面であることを特徴とする請求
   項１に記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 外形寸法が３ｍｍ×２．８ｍｍ以上とさ
   れた上記ディスク摺動面に対して、 上記内周曲面部は、ディスク摺動面の中心からの半径Ａ
   が１ｍｍの領域に形成されるとともに、上記外周曲面部
   は、ディスク摺動面の中心からの半径Ｂが１ｍｍ以上
   １．２５ｍｍの領域に形成されることを特徴とする請求
   項１に記載の磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 上記ディスク摺動面は、上記外周曲面部
   から外周縁の間の外周領域部が１５°乃至２０°の傾斜
   を付された複合曲面として構成されたことを特徴とする
   請求項１に記載の磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 回転駆動される可撓性磁気ディスクの主
   面に対してディスク摺動面に設けられた磁気ギャップが
   疑似接触状態を保持して摺動することにより情報信号等
   の記録再生を行う磁気ヘッドの製造方法において、 ヘッド素材のディスク摺動面の構成面に対して、その中
   心から半径Ｂの領域に曲率半径をＲ２とする凸曲面の外
   周曲面部を形成する第１の球面部形成工程と、 上記ディスク摺動面の構成面の中心から半径Ａの領域に
   曲率半径をＲ１とする凸曲面でありかつ上記磁気ギャッ
   プが配設される外周曲面部と同心の内周曲面部を形成す
   る第２の球面部形成工程とを施し、 上記内周曲面部と外周曲面部とがそれぞれの曲率半径Ｒ
   １と曲率半径Ｒ２とをＲ１＞Ｒ２とされることにより、
   上記ディスク摺動面の構成面に、曲率半径を異にする互
   いに同心円をなす少なくとも２種類の凸曲面部を形成す
   ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】 上記ディスク摺動面の構成面に対して、
   その外周縁と上記外周曲面部との間の外周領域部に、１
   ５°乃至２０°の傾斜が付された複合曲面を形成するブ
   レンド加工を施すことを特徴とする請求項５に記載の磁
   気ヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】 上記第１の球面部形成工程と第２の球面
   部形成工程とは、上記ディスク摺動面に曲率半径Ｒ１又
   は曲率半径Ｒ２の凸曲面を研削する研磨手段がそれぞれ
   主面に設けられた定盤と、上記研磨手段に対して上記デ
   ィスク摺動面の構成面を対向させてヘッド素材が固定さ
   れ上記定盤に接離動作される球面研磨治具とが用いら
   れ、 上記球面研磨治具には、複数個のヘッド素材が同心円上
   に配置されることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘ
   ッドの製造方法。