JPH10208268A - 光ディスクマーキング装置及び方法、並びに光ディスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ディスクに形成するマークの矩形形状の品
質にばらつきを生じさせない光ディスクマーキング装置
及び方法を提供する。 【解決手段】 レーザ発振器１０が出射するレーザ光を
シリンドリカルレンズ１３にてほぼ矩形形状のレーザ光
に成形し、該矩形のレーザ光を集光レンズ１４にて光デ
ィスクのアルミ膜上に合焦させて矩形形状のマーク１８
を上記アルミ膜上に形成する。スリットを使用していな
いので、上記マークの矩形形状の品質にばらつきは生じ
ない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば光ディスク
の複製防止や、ソフトウエアの製造管理に利用可能な、
光ディスクマーキング装置及び方法、並びにこれらのマ
ーキング装置又は方法にて製造される光ディスクに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、マーキングや、露光によるパター
ン形成は、技術の急激な普及に伴い様々な、応用分野が
模索されている。その一例として、特開昭５７−９４４
８２号公報に開示された技術がある。図１０を参照し
て、露光による矩形形状のマーク形成について説明す
る。図１０は、露光により半導体ウエハ上にマーク形成
を行うためのマーク形成装置の概略図であり、１０１は
半導体ウエハ、１０２はレーザ光、１０３は矩形スリッ
ト、１０４は結像光学系、１０５はレーザ発振器であ
る。このように構成されたマーク形成装置の動作を説明
する。まず、レーザ発振器１０５から出たレーザ光１０
２は、矩形スリット１０３により一部が遮られて矩形の
ビームとなり、該ビームが結像光学系１０４によりウエ
ハ１０１上に結像される。ウエハ１０１上に照射された
レーザビームは、ウエハ１０１上に塗られたフォトレジ
スト(図示せず)を感光させ、露光が完了する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の方法で
矩形のレーザ光を形成して上記フォトレジストのトリミ
ングを行う場合、レーザ光が集光されることにより、矩
形スリット１０３でのエネルギ密度が高くなる。このた
め矩形スリット１０３の矩形の開口部１０３ａがレーザ
光により加工されてしまい、上記開口部１０３ａの形状
が変化してしまう。その結果として、ウエハ１０１上に
結像されたマークの形状が矩形から変化し、形成される
矩形マークの品質にばらつきを生じさせるという欠点を
有していた。一方、従来より、光ディスク原盤上にバー
コード形状のパターンを形成し、該パターンを光ディス
クアルミ薄膜に転写することによって、いわゆる海賊版
ディスクとの違いを明確にするという技術がある。しか
しながら、この方法では、上記転写されたものは光ディ
スク原盤に形成されたパターンと同形状のパターンしか
形成されず、汎用性に乏しいという問題がある。この問
題点を解決するためには、各光ディスク毎に異なる上記
パターンを形成すればよいが、この場合に上述の矩形ス
リット１０３を使用して上記バーコード形状のパターン
を形成したとすると、さらに矩形スリット１０３の使用
頻度が上がり、さらに、上述した、形成される矩形パタ
ーンの品質にばらつきを生じさせることになってしま
う。本発明は、このような問題点を解決するためになさ
れたもので、各光ディスクにそれぞれ異なるパターンを
形成する場合においても、該パターンを構成するそれぞ
れのマークの矩形形状の品質にばらつきを生じさせない
光ディスクマーキング装置及び方法、並びにこれらのマ
ーキング装置又は方法により製造される光ディスクを提
供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の第１態様の光デ
ィスクマーキング装置は、エネルギビーム光源の出射光
にて光ディスクの反射膜をトリミングすることで矩形形
状のマークを上記反射膜に形成する光ディスクマーキン
グ装置であって、上記エネルギビーム光源の出射光をほ
ぼ矩形形状の光として出射するシリンドリカルレンズ
と、上記シリンドリカルレンズの出射光にて上記マーク
を形成するために、上記シリンドリカルレンズの出射光
を上記反射膜上に合焦する集光レンズと、上記エネルギ
ビーム光源、上記シリンドリカルレンズ、及び上記集光
レンズを有する光学系、並びに上記光ディスクを、上記
光ディスクの中心を回転中心として、上記光ディスクの
周方向へ相対的に回転させる回転装置と、それぞれの光
ディスクにそれぞれ異なる上記マークの配列を形成する
ため、上記回転装置による回転角に基づき間欠的に上記
反射膜のトリミングを行わせる制御装置と、を備えたこ
とを特徴とする。

【０００５】又、本発明の第２態様である光ディスクマ
ーキング装置は、エネルギビーム光源の出射光にて光デ
ィスクの反射膜をトリミングすることで矩形形状のマー
クを上記反射膜に形成する光ディスクマーキング装置で
あって、上記エネルギビーム光源の出射光をほぼ矩形形
状の光として出射する第１シリンドリカルレンズと、上
記第１シリンドリカルレンズと上記光ディスクとの間に
配置され、上記第１シリンドリカルレンズの出射光をよ
り矩形形状に成形するとともに上記直径方向に沿った上
記マークの長さ方向の寸法（I）を定める結像光学系レ
ンズと、上記結像光学系レンズと上記光ディスクとの間
であって上記結像光学系レンズに対して９０度位相を偏
向して配置され、かつ上記マークを形成するために上記
光ディスクの反射膜上への合焦を行うとともに上記マー
クの幅方向の寸法（II）を定める第３シリンドリカルレ
ンズと、上記エネルギビーム光源、上記第１シリンドリ
カルレンズ、上記結像光学系、及び上記第３シリンドリ
カルレンズを有する光学系、並びに上記光ディスクを、
上記光ディスクの中心を回転中心として上記光ディスク
の周方向へ相対的に回転させる回転装置と、それぞれの
光ディスクにそれぞれ異なる上記マークの配列を形成す
るため、上記回転装置による回転角に基づき間欠的に上
記反射膜のトリミングを行わせる制御装置と、を備えた
ことを特徴とする。

【０００６】又、本発明の第３態様である光ディスク
は、上述の第１態様又は第２態様の光ディスクマーキン
グ装置にて光ディスクの反射膜にマークが形成されるこ
とを特徴とする。

【０００７】又、本発明の第４態様の光ディスクマーキ
ング方法は、エネルギビーム光源の出射光にて光ディス
クの反射膜をトリミングすることで矩形形状のマークを
上記反射膜に形成する光ディスクマーキング方法であっ
て、シリンドリカルレンズにて上記エネルギビーム光源
の出射光をほぼ矩形形状の光とし、上記シリンドリカル
レンズの出射光にて上記マークを形成するために、上記
シリンドリカルレンズの出射光を上記反射膜上に合焦
し、それぞれの光ディスクにそれぞれ異なる上記マーク
の配列を形成するため、上記光ディスクの周方向へ間欠
的に上記反射膜のトリミングを行わせる、ことを特徴と
する。

【０００８】又、本発明の第５態様である光ディスクマ
ーキング方法は、エネルギビーム光源の出射光にて光デ
ィスクの反射膜をトリミングすることで矩形形状のマー
クを上記反射膜に形成する光ディスクマーキング方法で
あって、シリンドリカルレンズにて上記エネルギビーム
光源の出射光をほぼ矩形形状の光として出射し、上記シ
リンドリカルレンズの出射光を多重反射させてより矩形
形状に成形するとともに光ディスクの直径方向に沿った
上記マークの長さ方向の寸法（I）を定め、上記マーク
を形成するために上記光ディスクの反射膜上への合焦を
行うとともに上記マークの幅方向の寸法（II）を定め、
それぞれの光ディスクにそれぞれ異なる上記マークの配
列を形成するため、上記光ディスクの周方向へ間欠的に
上記反射膜のトリミングを行わせる、ことを特徴とす
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態である光ディ
スクマーキング装置、マーキング方法、及びこれらのマ
ーキング装置又は方法を使用して製造される光ディスク
について、図を参照しながら以下に説明する。尚、光デ
ィスクマーキング方法は、上記光ディスクマーキング装
置にて実行されるものである。尚、各図において、同じ
構成部分については同じ符号を付している。又、エネル
ギビーム光源の機能を果たす一実施形態がレーザ発振器
１０に相当する。又、本実施形態では、反射膜の一実施
形態であるアルミ膜の表裏面を例えばポリカーボネート
材にてなる保護層にてサンドイッチした、完成された光
ディスク１１に対して、後加工にて、上記アルミ膜をト
リミングすることで上記アルミ膜にマーキングを施すも
のである。

【００１０】図１に示す、本実施形態の光ディスクマー
キング装置１は、大別して、レーザ発振器１０、シリン
ドリカルレンズ１３、集光レンズ１４、回転テーブル１
５、及び制御装置１６を備える。レーザ発振器１０は、
Ｑ−ＳＷ発振のＹＡＧレーザ光１２を出射する半導体素
子を備えている。上述したように本実施形態では、完成
後の光ディスク１１のアルミ膜に対してマーキングを施
すため、レーザ光が保護層であるポリカーボネート材に
て吸収されず、かつ上記アルミ膜には吸収されやすい波
長のレーザ光を使用する必要がある。したがって上記保
護層のない状態で直接に上記アルミ膜にマーキングを施
す、従来の場合に使用される３３０ｎｍの波長のレーザ
光に対し、本実施形態では１０６０ｎｍの波長を有する
赤外線の上記ＹＡＧレーザ光１２を使用する。尚、本実
施形態では、上述のようにＱ−ＳＷ発振のＹＡＧレーザ
光１２を用いているが、エネルギビームをＱ−ＳＷレー
ザに限定するものではなく、パルスレーザや、若干レー
ザ光のパワーは低下するが波長変換したグリーンレーザ
等でも上記マーキング加工は可能である。

【００１１】上記レーザ発振器１０から出射されたレー
ザ光１２は、シリンドリカルレンズ１３に入射され、シ
リンドリカルレンズ１３を透過することでレーザ光１２
は矩形形状のレーザ光１７となる。レーザ光１７は、半
月状の断面にてなる集光レンズ１４の平坦面１４ａに入
射される。集光レンズ１４は、後述の回転テーブル１５
に載置された光ディスク１１における上記アルミ膜上の
マーキング領域１１ａに上記矩形形状のレーザ光１７を
合焦して、レーザ光１７における矩形形状とほぼ相似形
にてなるマーク１８を上記マーキング領域１１ａに形成
する。尚、本実施形態では、マーク１８の長さ方向が光
ディスク１１の直径方向に沿うように、マーク１８を形
成している。

【００１２】回転テーブル１５は、光ディスク１１を載
置し、当該光ディスク１１の回転中心を中心としてその
周方向IIIへ回転装置１９にて当該光ディスク１１を例
えば２回転／秒の速度にて回転させる。尚、光ディスク
１１を上記周方向へ回転させたとき、当該光ディスク１
１の反りに起因して、当該光ディスク１１はその厚さ方
向へ振幅する。このような振幅が発生した場合において
も、常に一定形状のマーク１８を上記マーキング領域１
８に形成するため、光ディスク１１に対する集光レンズ
１４の焦点距離を一定に維持する必要がある。そこで、
常に一定の上記焦点距離を維持するため、回転テーブル
１５には、上記振幅の量を補償するように回転テーブル
１５を光ディスク１１の厚さ方向へ移動させる昇降装置
２０が設けられている。尚、昇降装置２０は、マーク１
８を形成する場所の上記振幅を検出する振幅検出器２１
の出力情報に基づき制御装置１６によって動作制御さ
れ、回転テーブル１５を上記厚さ方向へ最大０．２ｍｍ
程度移動させる。

【００１３】尚、マーク１８の長さ方向の寸法Iは、シ
リンドリカルレンズ１３と集光レンズ１４との間の距離
を変化させることで変更することができる。このためシ
リンドリカルレンズ１３は、駆動装置２２によりレーザ
光１２の光軸方向へ移動可能である。尚、シリンドリカ
ルレンズ１３の移動量は、１０ｍｍ前後である。本実施
形態では、レーザ発振器１０とシリンドリカルレンズ１
３とは一体的なユニットにて構成しているので、レーザ
発振器１０とシリンドリカルレンズ１３とがともに移動
する。又、上記寸法Iは、一旦、設定すればよく、例え
ば各光ディスク毎に変更するものではない。尚、シリン
ドリカルレンズ１３と集光レンズ１４との間の距離を変
更する方法として、集光レンズ１４における上記焦点距
離を保持したまま、集光レンズ１４及び回転テーブル１
５を一体的に上記光軸方向へ移動させてもよい。

【００１４】制御装置１６には、上述の回転装置１９、
駆動装置２２及びレーザ発振器１０も接続されている。
よって、制御装置１６は、回転装置１９にて一定速度に
て連続的に回転されている光ディスク１１に対してレー
ザ発振器１０からレーザ光１２を間欠的に出力させるこ
とで、上記マーキング領域１１ａにおいて光ディスク１
１の回転方向に複数のマーク１８が配列されたパターン
を形成することができる。したがって、レーザ発振器１
０からある時刻にて出射されるレーザ光１２と次に出射
されるレーザ光１２との時間的間隔を制御することで、
マーク１８の異なった配列パターンを各光ディスク１１
毎に形成することができる。尚、レーザ発振器１０から
は一回につき、５０〜１００ｎｓの時間にてレーザ光１
２が出射される。又、本実施形態では、光ディスク１１
の１周で上記マーキング領域１１ａに最大約５０００本
のマーク１８を形成することができる。

【００１５】尚、レーザ発振器１０から間欠的にレーザ
光１２を出射する代わりに、レーザ光１２、レーザ光１
７、又は集光レンズ１４の出射光を遮光する方法を採る
こともできる。

【００１６】このように構成される光ディスクマーキン
グ装置１の動作を以下に説明する。アルミ膜の表裏面を
ポリカーボネート材にてサンドイッチした完成された光
ディスク１１を回転テーブル１５に載置する。マーク１
８の長さ方向の寸法Iが所望の寸法になるようにシリン
ドリカルレンズ１３と集光レンズ１４との間の距離を設
定した後、回転装置１９を駆動して光ディスク１１をII
I方向へ回転させる。そして制御装置１６により、各光
ディスク１１毎に、ある時刻にて出射されるレーザ光１
２と次に出射されるレーザ光１２との時間的間隔を制御
することで、図３に示す隣接するマーク１８間の距離IV
を制御して、マーキング領域１１ａにマーク１８が配列
されたパターンを形成していく。このようにして形成さ
れた上記パターンを図３に模擬的に示す。尚、図３で
は、各マーク１８を図の左右方向へ直線状に並べて図示
しているが、実際には、図１に示すように円弧状に並ぶ
ものである。又、図３及び図１において寸法I、IIにて
示される部分はそれぞれ対応しており、具体的に寸法I
は約１ｍｍであり、寸法IIは約１０μｍである。

【００１７】このように光ディスクマーキング装置１に
よれば、マーク１８を形成するための矩形形状のレーザ
光を作成するためにシリンドリカルレンズ１３を用いた
ので、従来のようなスリット部の劣化は発生しない。さ
らに、上記完成後の光ディスク１１に対して、後加工と
してマーク１８を形成することから、マーク１８の異な
る配列パターンを、各光ディスク１１毎に形成すること
ができる。尚、光ディスクマーキング装置１にて形成さ
れるマーク１８は、シリンドリカルレンズ１３の形状に
起因して図３に示すように、微視的には完全な矩形形状
ではなく凸レンズにおける断面のような形状である。特
に、光ディスク１１の直径方向に位置するマーク１８の
端部１８ａは、先細り形状となっており、又、各マーク
１８の長さ方向の寸法Iには、点線２３を付すことでよ
り明らかなように、ばらつきがある。そこで、以下に説
明する、第２の実施形態の光ディスクマーキング装置２
ではこの点を改善している。

【００１８】図２を参照して光ディスクマーキング装置
２の構造を説明する。光ディスクマーキング装置２で
は、光ディスクマーキング装置１に比べて以下の点で相
異する。即ち、集光レンズ１４の代わりに第２シリンド
リカルレンズ２４及び第３シリンドリカルレンズ２５を
設け、さらに、第１シリンドリカルレンズに対応するシ
リンドリカルレンズ１３と上記第２シリンドリカルレン
ズ２４との間にカライドレンズ２６を新たに設けた点が
異なる。その他の構造は、上述した光ディスクマーキン
グ装置１の構造を変わるところはない。よって、以下に
は、上述した相異する部分のみについて説明を行う。
尚、光ディスクマーキング装置２によって光ディスク１
１に形成されるマークを符号２８にて表す。尚、多重反
射レンズの機能を果たす一実施形態が上記カライドレン
ズ２６に相当する。

【００１９】カライドレンズ２６は、シリンドリカルレ
ンズ１３から出射される矩形形状のレーザ光１７の長辺
が延在する長辺方向と、図２にて寸法VIIにて示すカラ
イドレンズ２６の厚さに対応するカライドレンズ２６の
厚さ方向とが直交するように、シリンドリカルレンズ１
３に対して配置される。カライドレンズ２６の入射面２
６ａには、シリンドリカルレンズ１３が出射するほぼ矩
形形状のレーザ光１７が合焦されて入射され、カライド
レンズ２６は、入射されたレーザ光１７をその内部にて
多重反射して、レーザ光１７のエネルギ分布を一様にす
る。よって、カライドレンズ２６を設けることで、マー
ク２８を形成するに当たりマーク２８の全体にわたり均
一なレーザ光エネルギにてトリミングを行うことがで
き、光ディスクマーキング装置１にて形成されるマーク
１８に比べてその輪郭をよりシャープにすることができ
る。又、カライドレンズ２６の上記厚さ方向がマーク２
８の長さ方向に対応するため、出射端面２６ｂにおける
厚さ方向の寸法VIIが小さい、即ち厚さの薄いカライド
レンズ２６を用いたこと、さらに後述するように第２シ
リンドリカルレンズ２４の配置位置を調整すること、さ
らには後述の第３シリンドリカルレンズ２５を第２シリ
ンドリカルレンズ２４に対して９０度、位相が偏向する
ように配置することで、光ディスク１１の直径方向に直
交するマーク２８の幅方向に沿って、当該マーク２８の
端部２８ａを図５に示すように直線状に成形することが
できる。即ち、図６に示すように、シリンドリカルレン
ズ１３から出射されたレーザ光１７は、厚さの薄いカラ
イドレンズ２６にて点線３１に示すように上記先細り形
状の端部２８ａに相当する部分が排除され、又点線３２
に示すようにマーク２８の長さ方向に沿った部分が成形
される。尚、点線３１は、マーク２８の上記幅方向に平
行であり。点線３２は上記長さ方向に平行である。さら
に、図８に示すように第２シリンドリカルレンズ２４の
出射光３０は、第３シリンドリカルレンズ２５にて点線
３４に示すようにさらにマーク２８の長さ方向に端部に
相当する部分が排除される。尚、上記点線３４はマーク
２８の上記幅方向に平行であり、図６及び図８に示す矢
印３５が示す方向は、光ディスク１１の直径方向に相当
する。

【００２０】カライドレンズ２６から出射されたＹＡＧ
レーザ光２９が入射される第２シリンドリカルレンズ２
４は、上記レーザ光２９について、第２シリンドリカル
レンズ２４と、光ディスク１１との間で結像光学系を構
成するように配置される。即ち、図４に示すように、第
２シリンドリカルレンズ２４の焦点値をf２、カライド
レンズ２６の出射端面２６ｂと第２シリンドリカルレン
ズ２４との距離をV、第２のシリンドリカルレンズ２４
と光ディスク１１との距離をVIとすると、おおむね１／
f２＝（１／V）＋（１／VI）になるように、第２シリン
ドリカルレンズ２４を配置する。このように配置するこ
とにより、VII：I＝VI：Vとなるような、寸法Iを有する
マーク２８が形成される。又、第２シリンドリカルレン
ズ２４は、カライドレンズ２６が出射するレーザ光２９
の矩形形状について偏向することなく出射するように、
カライドレンズ２６に対して配置される。このような第
２シリンドリカルレンズ２４によって、カライドレンズ
２６の出射光２９は、図７においてマーク２８の長さ方
向に平行な点線３３にて示すように、マーク２８の幅方
向の端部が成形される。図７に示す矢印３５が示す方向
は、光ディスク１１の直径方向に相当する。よって、上
述のように、カライドレンズ２６及び第２シリンドリカ
ルレンズ２４にて、図３に示す端部１８ａに相当する、
マーク２８の端部２８ａを図５に示すように、光ディス
ク１１の直径方向に直交するマーク２８の幅方向に沿っ
て直線状に成形することができる。

【００２１】第３のシリンドリカルレンズ２５は、第２
のシリンドリカルレンズ２４と光ディスク１１との間に
配置され、又、第２のシリンドリカルレンズ２４に対し
て９０度、位相をずらして配置される。さらに、第３の
シリンドリカルレンズ２５は、その焦点位置が光ディス
ク１１のアルミ膜上になるように配置される。このよう
に配置される第３シリンドリカルレンズ２５は、マーク
２８の幅方向の寸法IIを定めるものである。又、第２の
シリンドリカルレンズ２４に対して９０度、位相をずら
して第３シリンドリカルレンズ２５を配置することで、
図８を参照し上述したように、マーク２８の上記端部２
８ａをマーク２８の幅方向に沿ってより直線状に成形す
ることができる。

【００２２】このように構成される光ディスクマーキン
グ装置２の動作は、上述の光ディスクマーキング装置１
における動作と基本的に変わるところはないので、その
説明は省略する。光ディスクマーキング装置２では、光
ディスクマーキング装置１に比べてさらにカライドレン
ズ２６、第２シリンドリカルレンズ２４、第３シリンド
リカルレンズ２５を設けた。よって、光ディスクマーキ
ング装置１にて形成されるマーク１８の端部１８ａが先
細りの形成であるのに対して、カライドレンズ２６を設
けることで、マーク２８の上記幅方向の端縁を光ディス
ク１１の直径方向に平行に延在させることができ、さら
にマーク２８の端部２８ａを矩形状に成形することがで
き、マーク２８の全体にわたり均一のエネルギにて上記
アルミ膜のトリミングを行うことができる。さらに、カ
ライドレンズ２６及び第２シリンドリカルレンズ２４に
て構成する結像光学系にて、マーク２８の長さ方向の寸
法Iを決定することができる。さらに、第３シリンドリ
カルレンズ２５の焦点距離にてマーク２８の幅方向の寸
法IIを決定することができる。よって、マーク１８に比
べてより矩形形状に成形されたマーク２８を形成するこ
とができ、かつマーク２８の長さ方向の寸法Iを各マー
ク２８で均一化することができる。

【００２３】尚、第２シリンドリカルレンズ２４及び第
３シリンドリカルレンズ２５の代わりに、光ディスクマ
ーキング装置１における集光レンズ１４を配置してもよ
い。しかしながらこの場合には、形成されるマークの幅
方向の寸法IIを定めることはできるが、マークの上記端
部における先細りの形状は改善できない。

【００２４】又、光ディスクマーキング装置２では、第
２シリンドリカルレンズ２４の後に第３シリンドリカル
レンズ２５を配置する構成を採ったが、第３シリンドリ
カルレンズ２５の焦点位置を長くすることにより、第２
シリンドリカルレンズ２４と第３シリンドリカルレンズ
２５の配置位置を入れ換えてそれぞれを配置することが
できる。

【００２５】又、上述の光ディスクマーキング装置１及
び光ディスクマーキング装置２では、ともに、光学系を
固定し光ディスク１１を回転させる方法を採ったが、こ
れに限定されるものではない。即ち、図９に示すよう
に、光ディスクマーキング装置１においては集光レンズ
１４の焦点距離を維持したまま、レーザ発振器１０、シ
リンドリカルレンズ１３、及び集光レンズ１４を備え一
体的に構成した光学系４０と、光ディスク１１とを相対
的に光ディスク１１の周方向に沿って、上記回転装置１
９とは別構造の回転装置４１にて回転させてもよい。
又、光ディスクマーキング装置２においては、図９に示
すように、第３シリンドリカルレンズ２５の焦点距離を
維持し、かつカライドレンズ２６と第２シリンドリカル
レンズ２４との結像光学系における距離を維持したま
ま、レーザ発振器１０、シリンドリカルレンズ１３、カ
ライドレンズ２６、第２シリンドリカルレンズ２４、及
び第３シリンドリカルレンズ２５を備え一体的に構成し
た光学系４２と、光ディスク１１とを相対的に光ディス
ク１１の周方向に沿って、上記回転装置１９とは別構造
の回転装置４１にて回転させてもよい。

【００２６】又、上述の光ディスクマーキング装置１及
び光ディスクマーキング装置２では、ともに、完成後の
光ディスク１１に対して後加工によりマーク１８，２８
を形成することから、従来の信号読み取り装置を用いて
上記マークの有無を判定できる。よって、従来の読み取
り装置に新たな装置を付加することなく、光ディスクの
複製防止や、ソフトの製造管理に利用可能な、光ディス
クマーキングを形成するという有利な効果が得られる。

【００２７】又、上述の光ディスクマーキング装置１及
び光ディスクマーキング装置２では、ともに、完成後の
光ディスク１１に対してマーク１８，２８を形成した
が、ポリカーボネート材を設けていないアルミ膜が露出
した未完成の光ディスクに対して、上記アルミ膜にマー
ク１８，２８を形成することもできる。但しこの場合に
は、ポリカーボネート材によるレーザ光の吸収を考慮す
る必要がなくなることから、レーザ発振器１０から出射
されるレーザ光の波長を変更する必要がある。

【００２８】

【発明の効果】以上詳述したように本発明の第１態様の
光ディスクマーキング装置及び第４態様の光ディスクマ
ーキング方法によれば、矩形形状のマークを光ディスク
に形成するためシリンドリカルレンズにて矩形形状のレ
ーザ光を作成するようにしたことより、各光ディスクに
それぞれ異なるパターンを形成する場合においても、上
記パターンを構成するそれぞれのマークの矩形形状の品
質にばらつきを生じさせることはない。

【００２９】又、本発明の第２態様の光ディスクマーキ
ング装置及び第５態様の光ディスクマーキング方法によ
れば、結像光学系、第３シリンドリカルレンズをさらに
備え、光ディスクの直径方向に直交するマークの幅方向
に沿って、上記直径方向に位置する上記マークの端縁を
直線状に成形するとともに上記直径方向に沿った上記マ
ークの長さ方向の寸法（I）及び上記マークの幅方向の
寸法（II）を定めるようにした。よって、第１態様の光
ディスクマーキング装置及び第４態様の光ディスクマー
キング方法に比べて、さらに、形成されるマークをより
矩形形状に成形することができ、上記パターンを構成す
るそれぞれのマークの矩形形状の品質にばらつきを生じ
させることはない。

【００３０】又、本発明の第３態様の光ディスクでは、
形成されるマークの矩形形状に品質のばらつきがなくな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態の光ディスクマーキング
装置の構成を示す図である。

【図２】 本発明の他の実施形態の光ディスクマーキン
グ装置の構成を示す図である。

【図３】 図１に示す光ディスクマーキング装置にて形
成されたマークを示す図である。

【図４】 図２に示す光ディスクマーキング装置におけ
る結像光学系における各レンズ間の寸法を示す図であ
る。

【図５】 図２に示す光ディスクマーキング装置にて形
成されたマークを示す図である。

【図６】 図２に示す第１シリンドリカルレンズの出射
光の光束の断面形状である。

【図７】 図２に示すカライドレンズの出射光の光束の
断面形状である。

【図８】 図２に示す第２シリンドリカルレンズの出射
光の光束の断面形状である。

【図９】 図１及び図２に示す光ディスクマーキング装
置において、光ディスクを固定し光学系を回転される場
合を示す図である。

【図１０】 従来の光ディスクマーキング装置の構成を
示す図である。

【符号の説明】

１，２…光ディスクマーキング装置、１０…レーザ発振
器、１１…光ディスク、１３…シリンドリカルレンズ、
１４…集光レンズ、１６…制御装置、１８…マーク、１
９…回転装置、２２…駆動装置、２４…第２シリンドリ
カルレンズ、２５…第３シリンドリカルレンズ、２６…
カライドレンズ、２８…マーク。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エネルギビーム光源（１０）の出射光に
   て光ディスクの反射膜をトリミングすることで矩形形状
   のマークを上記反射膜に形成する光ディスクマーキング
   装置であって、 上記エネルギビーム光源の出射光をほぼ矩形形状の光と
   して出射するシリンドリカルレンズ（１３）と、 上記シリンドリカルレンズの出射光にて上記マークを形
   成するために、上記シリンドリカルレンズの出射光を上
   記反射膜上に合焦する集光レンズ（１４）と、 上記エネルギビーム光源、上記シリンドリカルレンズ、
   及び上記集光レンズを有する光学系、並びに上記光ディ
   スクを、上記光ディスクの中心を回転中心として、上記
   光ディスクの周方向へ相対的に回転させる回転装置（１
   ９）と、 それぞれの光ディスクにそれぞれ異なる上記マークの配
   列を形成するため、上記回転装置による回転角に基づき
   間欠的に上記反射膜のトリミングを行わせる制御装置
   （１６）と、を備えたことを特徴とする光ディスクマー
   キング装置。
2. 【請求項２】 上記光ディスクの直径方向に沿った上記
   マークの長さ方向の寸法を調整するため、上記シリンド
   リカルレンズと上記集光レンズとの間の距離を調節する
   駆動装置（２２）をさらに備えた、請求項１記載の光デ
   ィスクマーキング装置。
3. 【請求項３】 エネルギビーム光源（１０）の出射光に
   て光ディスクの反射膜をトリミングすることで矩形形状
   のマークを上記反射膜に形成する光ディスクマーキング
   装置であって、 上記エネルギビーム光源の出射光をほぼ矩形形状の光と
   して出射する第１シリンドリカルレンズ（１３）と、 上記第１シリンドリカルレンズと上記光ディスクとの間
   に配置され、上記第１シリンドリカルレンズの出射光を
   より矩形形状に成形するとともに上記直径方向に沿った
   上記マークの長さ方向の寸法（I）を定める結像光学系
   レンズ（２６，２４）と、 上記結像光学系レンズと上記光ディスクとの間であって
   上記結像光学系レンズに対して９０度位相を偏向して配
   置され、かつ上記マークを形成するために上記光ディス
   クの反射膜上への合焦を行うとともに上記マークの幅方
   向の寸法（II）を定める第３シリンドリカルレンズ（２
   ５）と、 上記エネルギビーム光源、上記第１シリンドリカルレン
   ズ、上記結像光学系、及び上記第３シリンドリカルレン
   ズを有する光学系、並びに上記光ディスクを、上記光デ
   ィスクの中心を回転中心として上記光ディスクの周方向
   へ相対的に回転させる回転装置（１９）と、 それぞれの光ディスクにそれぞれ異なる上記マークの配
   列を形成するため、上記回転装置による回転角に基づき
   間欠的に上記反射膜のトリミングを行わせる制御装置
   （１６）と、を備えたことを特徴とする光ディスクマー
   キング装置。
4. 【請求項４】 上記結合光学系は、上記第１シリンドリ
   カルレンズの出射光を多重反射させ上記第１シリンドリ
   カルレンズの出射光をより矩形形状とする多重反射レン
   ズ（２６）と、上記多重反射レンズの出射光が入射され
   上記光ディスクの直径方向に直交する上記マークの幅方
   向に沿って上記マークの端縁を直線状に形成して上記マ
   ークの長さ方向の寸法を定める第２シリンドリカルレン
   ズ（２４）と、を備えた、請求項３記載の光ディスクマ
   ーキング装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれかに記
   載の光ディスクマーキング装置にて光ディスクの反射膜
   にマークが形成された光ディスク。
6. 【請求項６】 エネルギビーム光源（１０）の出射光に
   て光ディスクの反射膜をトリミングすることで矩形形状
   のマークを上記反射膜に形成する光ディスクマーキング
   方法であって、 シリンドリカルレンズ（１３）にて上記エネルギビーム
   光源の出射光をほぼ矩形形状の光とし、 上記シリンドリカルレンズの出射光にて上記マークを形
   成するために、上記シリンドリカルレンズの出射光を上
   記反射膜上に合焦し、 それぞれの光ディスクにそれぞれ異なる上記マークの配
   列を形成するため、上記光ディスクの周方向へ間欠的に
   上記反射膜のトリミングを行わせる、ことを特徴とする
   光ディスクマーキング方法。
7. 【請求項７】エネルギビーム光源（１０）の出射光にて
   光ディスクの反射膜をトリミングすることで矩形形状の
   マークを上記反射膜に形成する光ディスクマーキング方
   法であって、 シリンドリカルレンズ（１３）にて上記エネルギビーム
   光源の出射光をほぼ矩形形状の光として出射し、 上記シリンドリカルレンズの出射光を多重反射させてよ
   り矩形形状に成形するとともに光ディスクの直径方向に
   沿った上記マークの長さ方向の寸法（I）を定め、 上記マークを形成するために上記光ディスクの反射膜上
   への合焦を行うとともに上記マークの幅方向の寸法（I
   I）を定め、 それぞれの光ディスクにそれぞれ異なる上記マークの配
   列を形成するため、上記光ディスクの周方向へ間欠的に
   上記反射膜のトリミングを行わせる、ことを特徴とする
   光ディスクマーキング方法。
8. 【請求項８】 上記光ディスクへのマークの形成は、上
   記反射膜が保護層にて覆われた完成後の光ディスクに対
   して後加工にて行われる、請求項６又は７記載の光ディ
   スクマーキング方法。