JPH10208848A - イオン発生装置用放電電極 - Google Patents
イオン発生装置用放電電極Info
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- JPH10208848A JPH10208848A JP905597A JP905597A JPH10208848A JP H10208848 A JPH10208848 A JP H10208848A JP 905597 A JP905597 A JP 905597A JP 905597 A JP905597 A JP 905597A JP H10208848 A JPH10208848 A JP H10208848A
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- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のイオン発生装置は、大電流が流れるの
を防止するための抵抗またはインピーダンスが放電電極
とは別個に放電バーの内部に設置されていたため、イオ
ン発生装置本体の設置場所の変更や放電電極に印加する
印加電圧の大きさに応じて、前記抵抗またはインピーダ
ンスを変更若しくは交換するのに不便であり、コストも
かかった。 【解決手段】 本発明のイオン発生装置用放電電極は、
イオンを発生する放電部材１と、電気抵抗としての役割
を果たす機能部材２と、イオン発生装置本体に取り付け
るためのコネクタである接続部材３から構成され、前記
放電部材１、機能部材２、接続部材３は、この順序にし
たがって直列に電気的に接続されていることを特徴とす
る。
を防止するための抵抗またはインピーダンスが放電電極
とは別個に放電バーの内部に設置されていたため、イオ
ン発生装置本体の設置場所の変更や放電電極に印加する
印加電圧の大きさに応じて、前記抵抗またはインピーダ
ンスを変更若しくは交換するのに不便であり、コストも
かかった。 【解決手段】 本発明のイオン発生装置用放電電極は、
イオンを発生する放電部材１と、電気抵抗としての役割
を果たす機能部材２と、イオン発生装置本体に取り付け
るためのコネクタである接続部材３から構成され、前記
放電部材１、機能部材２、接続部材３は、この順序にし
たがって直列に電気的に接続されていることを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム等
で使用されるイオン発生装置の放電電極に関する。
で使用されるイオン発生装置の放電電極に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、物体が帯電していると、空気中
の微粒子を静電吸着してしまう。そこで、ＬＳＩ等の半
導体製造工程において、ウエハ表面に上記微粒子が付着
するのを防止するために、イオン発生装置を用いてウエ
ハ及びクリーンルーム内部全体の静電気を除去してい
る。
の微粒子を静電吸着してしまう。そこで、ＬＳＩ等の半
導体製造工程において、ウエハ表面に上記微粒子が付着
するのを防止するために、イオン発生装置を用いてウエ
ハ及びクリーンルーム内部全体の静電気を除去してい
る。
【０００３】従来のイオン発生装置の構成図を図５に示
す。イオン発生装置は、イオンを発生する放電電極１０
１と、イオン発生装置本体である放電バー１０２と、前
記放電電極１０１に高圧ケーブル１０４、抵抗１０５を
介して直流（ＤＣ型）または交流（ＡＣ型）の電圧を印
加する電源１０３とから構成される。
す。イオン発生装置は、イオンを発生する放電電極１０
１と、イオン発生装置本体である放電バー１０２と、前
記放電電極１０１に高圧ケーブル１０４、抵抗１０５を
介して直流（ＤＣ型）または交流（ＡＣ型）の電圧を印
加する電源１０３とから構成される。
【０００４】放電バー１０２は、クリーンルームの天井
等のクリーンエアーの吹きだし孔に配置される。電源１
０３により放電電極１０１に正又は負の高電圧を印加す
ると、放電電極１０１の先端部に負又は正のイオンが発
生する。このイオンを上記吹き出されたクリーンエアー
によって搬送し、図示していないウエハ等に衝突させ
る。これによって、ウエハ等を電気的に中和させるよう
になっている。
等のクリーンエアーの吹きだし孔に配置される。電源１
０３により放電電極１０１に正又は負の高電圧を印加す
ると、放電電極１０１の先端部に負又は正のイオンが発
生する。このイオンを上記吹き出されたクリーンエアー
によって搬送し、図示していないウエハ等に衝突させ
る。これによって、ウエハ等を電気的に中和させるよう
になっている。
【０００５】放電電極１０１は、ウエハと同じ材料であ
るポリシリコンなどで構成される。これは、イオン発生
に伴うスパッタリング現象により放電電極１０１の先端
部が除々に飛散するので、放電電極１０１をウエハと異
なる材料で構成すると、ウエハに不純物が混入するから
である。放電電極１０１は、放電バー１０２に設けられ
たソケット１０６に直接挿入される。
るポリシリコンなどで構成される。これは、イオン発生
に伴うスパッタリング現象により放電電極１０１の先端
部が除々に飛散するので、放電電極１０１をウエハと異
なる材料で構成すると、ウエハに不純物が混入するから
である。放電電極１０１は、放電バー１０２に設けられ
たソケット１０６に直接挿入される。
【０００６】放電バー１０２の内部に設けられた抵抗１
０５の役割は、以下の通りである。上述したように放電
電極１０１には高電圧が印加されるので、人間が放電電
極に直接触れると感電する。大電流が人体に流れると、
感電死に至ることもある。また、接地された導体を誤っ
て放電電極１０１に接触させると、大電流が流れ、放電
バー１０２、電源１０３を破損する恐れがある。そこ
で、接触時に大電流が流れるのを防止するため、抵抗率
の高い抵抗１０５（ＤＣ型の場合）を放電バー１０２の
内部に設け、当該抵抗１０５を介して電源１０３と放電
電極１０１とを接続する構成としている。なお、交流の
高電圧を放電電極１０１に印加するＡＣ型では、高抵抗
またはコンデンサ（図示していない）を放電バー１０２
の内部に設け、このインピーダンスを介して電源１０３
と放電電極１０１とを接続する構成とする。
０５の役割は、以下の通りである。上述したように放電
電極１０１には高電圧が印加されるので、人間が放電電
極に直接触れると感電する。大電流が人体に流れると、
感電死に至ることもある。また、接地された導体を誤っ
て放電電極１０１に接触させると、大電流が流れ、放電
バー１０２、電源１０３を破損する恐れがある。そこ
で、接触時に大電流が流れるのを防止するため、抵抗率
の高い抵抗１０５（ＤＣ型の場合）を放電バー１０２の
内部に設け、当該抵抗１０５を介して電源１０３と放電
電極１０１とを接続する構成としている。なお、交流の
高電圧を放電電極１０１に印加するＡＣ型では、高抵抗
またはコンデンサ（図示していない）を放電バー１０２
の内部に設け、このインピーダンスを介して電源１０３
と放電電極１０１とを接続する構成とする。
【０００７】しかし、放電バー１０２をクリーンルーム
の天井等の高所に取り付ける場合には、人間が放電電極
１０１に接触することはなく、接地された導体を放電電
極１０１に接触させる心配もない。したがって、前記抵
抗１０５またはインピーダンスを、電源１０３と放電電
極１０１の間に接続する必要はないばかりか、前記抵抗
１０５またはインピーダンスはイオンの発生量を低下さ
せるという弊害を招く。
の天井等の高所に取り付ける場合には、人間が放電電極
１０１に接触することはなく、接地された導体を放電電
極１０１に接触させる心配もない。したがって、前記抵
抗１０５またはインピーダンスを、電源１０３と放電電
極１０１の間に接続する必要はないばかりか、前記抵抗
１０５またはインピーダンスはイオンの発生量を低下さ
せるという弊害を招く。
【０００８】イオン発生装置のイオンの発生量は、電源
１０３によって放電電極１０１に印加する電圧を変える
ことによって制御する。したがって、イオンの発生量を
比較的少なくする場合には、印加する電圧が低いため、
前記抵抗１０５またはインピーダンスの値を低くして
も、接触時に大電流が流れることはない。そこで、放電
バー１０２の設置場所の変更、放電電極１０１に印加す
る印加電圧の大きさに応じて、抵抗１０５又はインピー
ダンスを変更、交換する必要が生じる。
１０３によって放電電極１０１に印加する電圧を変える
ことによって制御する。したがって、イオンの発生量を
比較的少なくする場合には、印加する電圧が低いため、
前記抵抗１０５またはインピーダンスの値を低くして
も、接触時に大電流が流れることはない。そこで、放電
バー１０２の設置場所の変更、放電電極１０１に印加す
る印加電圧の大きさに応じて、抵抗１０５又はインピー
ダンスを変更、交換する必要が生じる。
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のイオン
発生装置は、前記抵抗１０５又はインピーダンスが放電
電極１０１とは別個に放電バー１０２の内部に設置され
ているため、抵抗１０５又はインピーダンスを交換する
のに、放電バー１０２を分解しなければならず、不便で
あり、コストもかかった。また、予め所定の抵抗又はイ
ンピーダンスが内蔵されている放電バー１０２と交換す
ることは、ユーザにとって費用が増大する。
発生装置は、前記抵抗１０５又はインピーダンスが放電
電極１０１とは別個に放電バー１０２の内部に設置され
ているため、抵抗１０５又はインピーダンスを交換する
のに、放電バー１０２を分解しなければならず、不便で
あり、コストもかかった。また、予め所定の抵抗又はイ
ンピーダンスが内蔵されている放電バー１０２と交換す
ることは、ユーザにとって費用が増大する。
【０００９】そこで本発明は、簡易かつ効果的に回路内
の抵抗又はインピーダンスを変更することができるイオ
ン発生装置用放電電極を提供しようとするものである。
の抵抗又はインピーダンスを変更することができるイオ
ン発生装置用放電電極を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、イオンを発生する放電部材
と、電気抵抗としての役割を果たす機能部材と、イオン
発生装置本体に取り付けるためのコネクタである接続部
材から構成され、前記放電部材、機能部材、接続部材
は、この順序にしたがって直列に電気的に接続されてい
ることを特徴とする。
め、請求項１記載の発明は、イオンを発生する放電部材
と、電気抵抗としての役割を果たす機能部材と、イオン
発生装置本体に取り付けるためのコネクタである接続部
材から構成され、前記放電部材、機能部材、接続部材
は、この順序にしたがって直列に電気的に接続されてい
ることを特徴とする。
【００１１】請求項２記載の発明は、イオンを発生する
放電部材と、強誘電体からなる機能部材と、イオン発生
装置本体に取り付けるためのコネクタである接続部材か
ら構成され、前記放電部材、機能部材、接続部材は、こ
の順序にしたがって直列に電気的に接続されていること
を特徴とする。
放電部材と、強誘電体からなる機能部材と、イオン発生
装置本体に取り付けるためのコネクタである接続部材か
ら構成され、前記放電部材、機能部材、接続部材は、こ
の順序にしたがって直列に電気的に接続されていること
を特徴とする。
【００１２】請求項３記載の発明は、請求項１記載のイ
オン発生装置用放電電極において、前記機能部材が炭化
珪素セラミックスであることを特徴とする。
オン発生装置用放電電極において、前記機能部材が炭化
珪素セラミックスであることを特徴とする。
【００１３】請求項４記載の発明は、請求項２記載のイ
オン発生装置用放電電極において、前記機能部材がチタ
ン酸バリウムセラミックスであることを特徴とする。
オン発生装置用放電電極において、前記機能部材がチタ
ン酸バリウムセラミックスであることを特徴とする。
【００１４】請求項５記載の発明は、請求項１、２、３
または４記載のイオン発生装置用放電電極において、前
記放電部材と前記機能部材とを接続し、機能部材と前記
接続部材とを接続する導電性を有するパイプの形状を、
軸方向に沿った断面形状がＨ形になるようにしたことを
特徴をする。
または４記載のイオン発生装置用放電電極において、前
記放電部材と前記機能部材とを接続し、機能部材と前記
接続部材とを接続する導電性を有するパイプの形状を、
軸方向に沿った断面形状がＨ形になるようにしたことを
特徴をする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は、本発明の第１の実施形態を示し
た外観図である。本実施形態は、放電部材１、機能部材
２と接続部材３から構成される。上記各部材１、２、３
は、上記順序にしたがって導電性を有する接着剤４によ
り接着される。したがって、上記各部材は、直列に電気
的に接続される。
態を説明する。図１は、本発明の第１の実施形態を示し
た外観図である。本実施形態は、放電部材１、機能部材
２と接続部材３から構成される。上記各部材１、２、３
は、上記順序にしたがって導電性を有する接着剤４によ
り接着される。したがって、上記各部材は、直列に電気
的に接続される。
【００１６】以下、上記各部材の作用を説明する。放電
部材１は、放電電極５の先端部であり、イオンを効率的
に発生させるため先端を尖らせる。放電部材１の材料と
しては、従来技術で説明した理由から、ポリシリコン等
が用いられる。
部材１は、放電電極５の先端部であり、イオンを効率的
に発生させるため先端を尖らせる。放電部材１の材料と
しては、従来技術で説明した理由から、ポリシリコン等
が用いられる。
【００１７】接続部材３は、放電電極５を放電バー１０
２に設けられたソケット１０６（図５参照）に挿入する
コネクタとしての役割を果たす。導電性を有し、かつ折
れにくいことが要求される。例えば、ステンレスであ
る。
２に設けられたソケット１０６（図５参照）に挿入する
コネクタとしての役割を果たす。導電性を有し、かつ折
れにくいことが要求される。例えば、ステンレスであ
る。
【００１８】機能部材２は、回路が短絡した場合に大電
流が流れるのを防止するために設けられたものであり、
抵抗（ＤＣ型）またはインピーダンス（ＡＣ型）として
の役割を果たす。機能部材２を構成する材料は、高抵抗
（１ＭΩ〜１０００ＭΩ）又は大きな静電容量（１０ｐ
Ｆ〜１０００ｐＦ）を有することが要求される。
流が流れるのを防止するために設けられたものであり、
抵抗（ＤＣ型）またはインピーダンス（ＡＣ型）として
の役割を果たす。機能部材２を構成する材料は、高抵抗
（１ＭΩ〜１０００ＭΩ）又は大きな静電容量（１０ｐ
Ｆ〜１０００ｐＦ）を有することが要求される。
【００１９】上記機能部材２を構成する材料のほとんど
は、セラミックスである。セラミックスは硬脆材料であ
るため、ソケット１０６に挿入する接続部をセラミック
スで構成すると、力が加わり、折れる場合がある。そこ
で、機能部材２とは別個に、折れにくい材料で構成した
前記接続部材３を設け、機能部材２を前記放電部材１と
接続部材３との間にはさむ構造としている。
は、セラミックスである。セラミックスは硬脆材料であ
るため、ソケット１０６に挿入する接続部をセラミック
スで構成すると、力が加わり、折れる場合がある。そこ
で、機能部材２とは別個に、折れにくい材料で構成した
前記接続部材３を設け、機能部材２を前記放電部材１と
接続部材３との間にはさむ構造としている。
【００２０】高抵抗率を有する機能部材２の材料として
は、炭化珪素セラミックスがある。炭化珪素セラミック
スは、製造条件によって、抵抗率を１０-2Ωｍ程度から
１０ 8Ωｍ程度まで制御し、製造することができる。
は、炭化珪素セラミックスがある。炭化珪素セラミック
スは、製造条件によって、抵抗率を１０-2Ωｍ程度から
１０ 8Ωｍ程度まで制御し、製造することができる。
【００２１】大きな静電容量を得るためには、機能部材
２を高誘電率の誘電体すなわち強誘電体で構成する。強
誘電体の材料としては、チタン酸バリウムセラミックス
がある。チタン酸バリウムセラミックスは、大きな誘電
率を持たせることが可能であり、製造条件によって、比
誘電率を１０2程度から１０5程度まで制御し、製造する
ことができる。したがって、機能部材２をチタン酸バリ
ウムセラミックスで構成することにより、放電部材１と
接続部材３との間の静電容量を３桁の範囲で制御するこ
とが可能となる。
２を高誘電率の誘電体すなわち強誘電体で構成する。強
誘電体の材料としては、チタン酸バリウムセラミックス
がある。チタン酸バリウムセラミックスは、大きな誘電
率を持たせることが可能であり、製造条件によって、比
誘電率を１０2程度から１０5程度まで制御し、製造する
ことができる。したがって、機能部材２をチタン酸バリ
ウムセラミックスで構成することにより、放電部材１と
接続部材３との間の静電容量を３桁の範囲で制御するこ
とが可能となる。
【００２２】周知のように、抵抗値Ｒは、Ｒ＝ρ×Ｌ／
Ｓで与えられる。本実施形態において、ρは機能部材２
の抵抗率、Ｌは機能部材２の円柱の軸方向の長さ、Ｓは
機能部材２の円柱底面の面積である。したがって、所定
の抵抗値Ｒを得るためには、機能部材２の長さＬ、面積
Ｓを精度よく加工する必要がある。
Ｓで与えられる。本実施形態において、ρは機能部材２
の抵抗率、Ｌは機能部材２の円柱の軸方向の長さ、Ｓは
機能部材２の円柱底面の面積である。したがって、所定
の抵抗値Ｒを得るためには、機能部材２の長さＬ、面積
Ｓを精度よく加工する必要がある。
【００２３】同様に、静電容量Ｃは、Ｃ＝ε0εs×Ｓ／
Ｌで与えられる。ここで、ε0は真空中の誘電率であ
り、εsは機能部材２の比誘電率、Ｌ、Ｓは上述した通
りである。したがって、所定の静電容量Ｃを得るために
は、機能部材２の長さＬ、面積Ｓを精度よく加工する必
要がある。
Ｌで与えられる。ここで、ε0は真空中の誘電率であ
り、εsは機能部材２の比誘電率、Ｌ、Ｓは上述した通
りである。したがって、所定の静電容量Ｃを得るために
は、機能部材２の長さＬ、面積Ｓを精度よく加工する必
要がある。
【００２４】図２は、本発明の第２の実施形態を示した
構成図である。第２の実施形態では、放電部材１と機能
部材２、機能部材２と接続部材３とを接続するのに導電
性を有する接続パイプ６を用いる。接続パイプ６は、各
部材１、２、３を電気的に接続し、かつ各部材を保持す
る役割を果たす。
構成図である。第２の実施形態では、放電部材１と機能
部材２、機能部材２と接続部材３とを接続するのに導電
性を有する接続パイプ６を用いる。接続パイプ６は、各
部材１、２、３を電気的に接続し、かつ各部材を保持す
る役割を果たす。
【００２５】図３は、第２の実施形態の縦断面図であ
る。上述したように、機能部材２が所定の抵抗値Ｒ又は
静電容量Ｃを得るために、機能部材２の長さＬ、面積Ｓ
を精度よく加工する必要がある。しかし、図３から明ら
かなように、接続パイプ６の位置が上方向又は下方向に
ずれると、機能部材２の実効的な長さが変化してしま
い、所定の抵抗値又は静電容量が得られないという不都
合が生じる。
る。上述したように、機能部材２が所定の抵抗値Ｒ又は
静電容量Ｃを得るために、機能部材２の長さＬ、面積Ｓ
を精度よく加工する必要がある。しかし、図３から明ら
かなように、接続パイプ６の位置が上方向又は下方向に
ずれると、機能部材２の実効的な長さが変化してしま
い、所定の抵抗値又は静電容量が得られないという不都
合が生じる。
【００２６】そこで、本発明の第３の実施形態は、導電
性を有する接続パイプ７の形状を軸方向に沿った断面形
状がＨ形になるようにした。図４に本発明の第３の実施
形態の縦断面図を示す。図４から明らかなように、各部
材は接続パイプ７の底面に固定されるため、接続パイプ
７の位置がずれることはなく、機能部材２の実効的な長
さは不変である。したがって、機能部材２は、所定の抵
抗値又は静電容量を得ることができる。
性を有する接続パイプ７の形状を軸方向に沿った断面形
状がＨ形になるようにした。図４に本発明の第３の実施
形態の縦断面図を示す。図４から明らかなように、各部
材は接続パイプ７の底面に固定されるため、接続パイプ
７の位置がずれることはなく、機能部材２の実効的な長
さは不変である。したがって、機能部材２は、所定の抵
抗値又は静電容量を得ることができる。
【００２７】なお、図１から図４に示した実施形態にお
いては、機能部材２の外径を他の部材１、３の外径と同
様に表示しているが、これに限られるものではない。機
能部材２の外径（外径の加工は、長さの加工と比較して
高精度にできる）を変更することによって、所定の抵抗
値または静電容量を得ることができる。
いては、機能部材２の外径を他の部材１、３の外径と同
様に表示しているが、これに限られるものではない。機
能部材２の外径（外径の加工は、長さの加工と比較して
高精度にできる）を変更することによって、所定の抵抗
値または静電容量を得ることができる。
【００２８】
【発明の効果】以上のように請求項１または３記載の発
明によれば、イオン発生装置本体の設置場所の変更、放
電電極に印加する印加電圧の大きさに応じて、本発明の
放電電極を交換するだけで、簡易かつ効果的に回路内の
抵抗を変更することができる。
明によれば、イオン発生装置本体の設置場所の変更、放
電電極に印加する印加電圧の大きさに応じて、本発明の
放電電極を交換するだけで、簡易かつ効果的に回路内の
抵抗を変更することができる。
【００２９】請求項１、２、３、４または５記載の発明
によれば、イオン発生装置本体の設置場所の変更、放電
電極に印加する印加電圧の大きさに応じて、本発明の放
電電極を交換するだけで、簡易かつ効果的に回路内のイ
ンピーダンスを変更することができる。
によれば、イオン発生装置本体の設置場所の変更、放電
電極に印加する印加電圧の大きさに応じて、本発明の放
電電極を交換するだけで、簡易かつ効果的に回路内のイ
ンピーダンスを変更することができる。
【００３０】請求項５記載の発明によれば、接続パイプ
の位置がずれることはなく、機能部材に求められる所定
の抵抗値又はインピーダンスを得ることができる。
の位置がずれることはなく、機能部材に求められる所定
の抵抗値又はインピーダンスを得ることができる。
【図１】本発明の第１の実施形態を示す外観図である。
【図２】本発明の第２の実施形態を示す構成図である。
【図３】第２の実施形態の縦断面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態を示す縦断面図であ
る。
る。
【図５】従来のイオン発生装置の構成図である。
１ 放電部材 ２ 機能部材 ３ 接続部材 ４ 接着剤 ５ 放電電極 ６ 接続パイプ ７ 接続パイプ
Claims (5)
- 【請求項１】 イオンを発生する放電部材と、電気抵抗
としての役割を果たす機能部材と、イオン発生装置本体
に取り付けるためのコネクタである接続部材から構成さ
れ、前記放電部材、機能部材、接続部材は、この順序に
したがって直列に電気的に接続されていることを特徴と
するイオン発生装置用放電電極。 - 【請求項２】 イオンを発生する放電部材と、強誘電体
からなる機能部材と、イオン発生装置本体に取り付ける
ためのコネクタである接続部材から構成され、前記放電
部材、機能部材、接続部材は、この順序にしたがって直
列に電気的に接続されていることを特徴とするイオン発
生装置用放電電極。 - 【請求項３】 請求項１記載のイオン発生装置用放電電
極において、 前記機能部材が炭化珪素セラミックスであることを特徴
とするイオン発生装置用放電電極。 - 【請求項４】 請求項２記載のイオン発生装置用放電電
極において、 前記機能部材がチタン酸バリウムセラミックスであるこ
とを特徴とするイオン発生装置用放電電極。 - 【請求項５】 請求項１、２、３または４記載のイオン
発生装置用放電電極において、 前記放電部材と前記機能部材とを接続し、機能部材と前
記接続部材とを接続する導電性を有するパイプの形状
を、軸方向に沿った断面形状がＨ形になるようにしたこ
とを特徴とするイオン発生装置用放電電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP905597A JPH10208848A (ja) | 1997-01-22 | 1997-01-22 | イオン発生装置用放電電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP905597A JPH10208848A (ja) | 1997-01-22 | 1997-01-22 | イオン発生装置用放電電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10208848A true JPH10208848A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=11709953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP905597A Withdrawn JPH10208848A (ja) | 1997-01-22 | 1997-01-22 | イオン発生装置用放電電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10208848A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003097556A1 (en) * | 2002-05-17 | 2003-11-27 | Humanscience Technology Co., Ltd | The manufacturing method of silicon carbide sinter with titanium ions thin film |
| US6781136B1 (en) | 1999-06-11 | 2004-08-24 | Lambda Co., Ltd. | Negative ion emitting method and apparatus therefor |
| WO2006027894A1 (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-16 | Yugen Kaisha Beauty Clinical | 美容装置 |
| JP2006108101A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Illinois Tool Works Inc <Itw> | ガスイオナイザ用カーバイド材料から形成されるかまたはその材料でコーティングされるエミッタ電極 |
| JP2007037969A (ja) * | 2005-05-11 | 2007-02-15 | Beauty Clinical:Kk | 美容装置 |
| JP2010091268A (ja) * | 2000-12-27 | 2010-04-22 | Sharp Corp | 冷蔵庫 |
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-
1997
- 1997-01-22 JP JP905597A patent/JPH10208848A/ja not_active Withdrawn
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| US8067892B2 (en) | 2004-10-01 | 2011-11-29 | Illinois Tool Works Inc. | Method of forming a corona electrode substantially of chemical vapor deposition silicon carbide and a method of ionizing gas using the same |
| JP2007037969A (ja) * | 2005-05-11 | 2007-02-15 | Beauty Clinical:Kk | 美容装置 |
| JP2013200967A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Techno Ryowa Ltd | イオナイザー電極 |
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|---|---|---|---|
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