JPH10209640A

JPH10209640A - 多層セラミック基板の製造方法

Info

Publication number: JPH10209640A
Application number: JP1990297A
Authority: JP
Inventors: Seiji Ishida; 誠治石田
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 1997-01-17
Filing date: 1997-01-17
Publication date: 1998-08-07

Abstract

(57)【要約】【課題】多層セラミック基板の積層順及び積層方向並び
に裏表を見誤ることなく積層でき、積層した後でも容易
に積層順を確認でき、しかも間違いを発見した場合も無
駄を最小限に抑えることができる多層セラミック基板の
製造方法を提供する。【解決手段】多層セラミック基板を、いくつかの積層ブ
ロックに分けて、シート積層順マークに従ってセラミッ
クグリーンシートを積層して積層ブロックを形成する工
程と、ブロック積層順マークに従って積層ブロックを積
層して多層シート積層体を形成する工程と、を有する多
層セラミック基板の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は複数のセラミックグ
リーンシートを積層してなる多層セラミック基板の製造
方法に関する。

【０００２】

【従来技術】一般に半導体デバイス等の電子部品を搭載
するのに用いる多層セラミック基板の製造工程を以下に
示す。アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₅）、シリカ（ＳｉＯ₂）、マ
グネシア（ＭｇＯ）、等のセラミックに、ブチラールあ
るいはセルロースなどの有機結合材及びこれらの有機結
合材の溶剤として、トリクロールエチレン、プタノー
ル、パークロールエチレン等を加えて十分ボールミル混
合する。この混合工程により、セラミック粉末は有機結
合材と均一に混合され、所定の粘度を有するスリップと
なる。このスリップを、キャスティングにより所定の厚
さを有するセラミックグリーンシートとなる。このよう
に複数のセラミックグリーンシート（以下、単にグリー
ンシートとも言う）を積層した多層シート積層体を得た
後、この多層シート積層体を焼成し、焼結一体化させて
多層セラミック基板を製造している。

【０００３】従来は、このような多層シート積層体１を
形成する際には、グリーンシートの方向、もしくは表裏
面が反転したりしないように、図１に示すように各グリ
ーンシートの所定面隅部の基準位置に円孔２を設けた
り、あるいは図２に示すように、隅部に切り欠き３を設
けたりして、位置合せ用の目印として用いていた。

【０００４】さらに、グリーンシートの積層順の間違い
を避け、しかも、万一積層順の間違いが起こった場合に
も間違い箇所を検知する方法として、所定順序に積層す
ると、積層順を示す切り欠き（または、孔）が下層から
上層へ徐々に大きくなっていくように、全グリーンシー
トにそれぞれ大きさの違う切り欠き（または、孔）を設
け、図３に示すような階段状の積層順検知部４を形成し
て、積層順を確認するものも提案されている（特開平４
−７７６６３）。

【０００５】

【発明が解決しようとする問題点】しかし、図１や図２
に示すような方法では、円孔２や切り欠き３は単に位置
合せ用の目印にすぎない。このため、類似した形状に加
工されたグリーンシートを積層する場合は、順番を誤り
なく積層することが困難であり、また、積層した後にお
いても誤りを発見することが困難であった。

【０００６】また、図３に示すように、すべてのグリー
ンシートに大きさの違う切り欠きや孔を設けて積層後に
単一の積層順検知部４を形成する場合は、グリーンシー
トが上層になればなるほど切り欠きや孔が大きくなって
しまう。図４は、１２層のグリーンシート（１ａ〜ｌ）
からなる多層シート積層体１の断面図であるが、このよ
うに単一の積層順検知部のみを用いた場合、セラミック
基板が多層になると、上層に位置する切り欠きまたは孔
が極めて大きくなってしまう。したがって、基板内に検
知部を設ける場合は、基板の配線密度が高いと設置場所
の確保が難しく、そのために基板を大きくすることにな
る。グリーンシートの余白部に積層順検知窓４を設ける
場合であっても、場所の確保が難しくなり、グリーンシ
ートのサイズを大きくすることになる。また、一つの積
層順検知窓４で積層順を確認しようとすると、多層のグ
リーンシートからなる多層シート積層体１においては検
知部が深くなり、目視や画像認識による確認が困難であ
った。さらに、全層を積層した後に積層順を確認する
と、積層順の間違いがわかっても、全層が不良品とな
り、無駄が多いという問題点があった。

【０００７】本発明は上述した従来の多層セラミック基
板の製造時における問題点を解決するためものであり、
その目的は、多層セラミック基板の積層順および積層方
向ならびに裏表を見誤ることなく積層でき、積層後にも
容易に確認できる無駄の少ない多層セラミック基板の製
造方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
複数のセラミックグリーンシートを所定順序で積層して
積層ブロックを製作する工程と、複数の積層ブロックを
所定順序で積層して多層シート積層体を製作する工程
と、を含む多層セラミック基板の製造方法であって、前
記複数のセラミックグリーンシートは、前記積層ブロッ
ク内での前記セラミックグリーンシートの積層順を示す
シート積層順マークと、前記多層シート積層体内での前
記積層ブロックの積層順を示すブロック積層順マーク
と、を有することを特徴とする多層セラミック基板の製
造方法を要旨とする。

【０００９】グリーンシートを複数枚積層してなる多層
セラミック基板を製造する際に、連続して積層されるグ
リーンシートを群に分け、それぞれの群ごとに積層して
積層ブロックを製作する工程と、複数の積層ブロックを
所定順序に積層して多層シート積層体を製作する工程と
の２工程に分けて積層する。

【００１０】このとき、グリーンシートには予め前記積
層ブロック内でのそのグリーンシートの積層順を示すシ
ート積層順マークと、そのグリーンシートの属する積層
ブロックの前記多層シート積層体内での積層順を示すブ
ロック積層順マークとを設けておき、積層ブロック製作
後及び多層シート積層体製作後にそれぞれ積層順の検知
部として用いる。シート積層順マークとしては、グリー
ンシート毎に形成した固有の形状や寸法の穴や切り欠
き、あるいは、印刷または打ち抜きによって形成した数
字・文字・記号等を用いるとよい。

【００１１】本発明によれば、シート積層順マークとブ
ロック積層順マークとに分けて設けることにより、前記
検知部が大きくなることがなく、各積層順マークの確認
を目視や画像認識でも簡単かつ効果的に行うことができ
る。また、シート積層順マークとブロック積層順マーク
とを別々に設けているので、上層シートの前記検知部等
が大きくなりすぎたりせず、強度を保つことができる。
また、グリーンシートの積層順の間違いが分かれば、そ
のグリーンシートの属する積層ブロックは不良になる
が、多層シート積層体全部を不良品にしなくて済むの
で、従来技術よりも無駄が少ない。

【００１２】請求項２記載の手段は、前記シート積層順
マークは、積層されるセラミックグリーンシートが上層
になるほど大きく形成された切り欠きまたは孔であっ
て、前記セラミックグリーンシートをそれぞれ所定の順
序で積層した際に、積層方向にすべてのセラミックグリ
ーンシートの上表面の一部が階段状に露出する検知部と
なるように形成されていることを特徴とする請求項１記
載の多層セラミック基板の製造方法を要旨とする。

【００１３】このような製造方法によれば、切り欠きま
たは孔の大きさの違いによって、各グリーンシートの積
層順を識別できる。さらに、積層後も上方からシート積
層順マークを見れば、所定の順序に積層されている場合
は階段状に検知部が形成されるのに対し、正しく積層さ
れないとその部分が階段状にならないので、容易に積層
順を確認できる。

【００１４】請求項３の発明は、前記シート積層順マー
クは、各積層ブロック内の最下層のセラミックグリーン
シートを除く第２層以上に備えることを特徴とする請求
項１または２のいずれかに記載の多層セラミック基板の
製造方法を要旨とする。

【００１５】この製造方法によれば、積層ブロック内の
最下層のグリーンシートには、検知部を設けない。した
がって、切り欠きまたは孔等によって検知部を形成する
場合は、ブロック内の最上層のグリーンシートの切り欠
きまたは孔の大きさが１層分即ち、一回り小さく形成で
きる。また、最下層のグリーンシートに切り欠きまたは
孔がないので、その分積層ブロックや多層シート積層体
の強度が増し、取り扱いが容易になる。さらに、シート
積層順マークが多層セラミック基板内に残る場合には、
基板の強度が向上する。

【００１６】また、検知部が重なり、基板の強度が低下
するのを防ぐ方法としては、図７に示したように、シー
ト積層順マークの形成場所をブロック毎にずらすことに
よってもある程度達成できる。この場合、シート積層順
マークは、他の積層ブロックに属するグリーンシートに
よって塞がれる。しかし、図６に示した例の方が、マー
クの大きさを一回り小さくでき、しかも積層ブロックの
最下層が塞がれているので積層ブロックの取り扱いが容
易であるという点で優れている。

【００１７】請求項４に記載の発明は、前記セラミック
グリーンシートを所定の順序で積層した際に、前記セラ
ミックグリーンシートにそれぞれ打ち抜き、もしくは印
刷により設けられたシート積層順マークが積層方向に露
出するように、シート積層順マークの上層に位置する部
分にそれぞれのシート積層順マーク毎に切り欠きもしく
は貫通孔からなる積層順確認窓を備えることを特徴とす
る請求項３記載の多層セラミック基板の製造方法を要旨
とする。

【００１８】この製造方法によれば、シート積層順マー
クの相対的な大きさの違いに頼らず、各グリーンシート
を積層した際にすべてのシート積層順マークを個別に確
認できるように積層するので、積層順を確認するのが容
易になる。また、前記積層順確認窓の数が各層によって
異なるため、グリーンシートを積層するときも、順序を
誤りにくい。さらに、積層順序確認窓の切り欠きまたは
孔の大きさを同じにすると、打ち抜き金具に安価な標準
サイズのものを用いることができる。

【００１９】請求項５記載の発明は、前記ブロック積層
順マークは、セラミックグリーンシートが属する積層ブ
ロックごとに同形、同位置に形成され、かつ上に積層さ
れる積層ブロックに属するセラミックシートほど大きく
形成された切り欠きまたは孔であって、前記積層ブロッ
クを所定の順序に積層した際に、積層方向に全積層ブロ
ックの上表面の一部が階段状に露出する検知部となるよ
うに形成されていることを特徴とする請求項１乃至４の
いずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法を要旨
とする。

【００２０】前記ブロック積層順マークは、１つの積層
ブロックに属する全グリーンシートについて共通の形状
及び位置で切り欠きもしくは孔を形成することによっ
て、積層ブロックにつき１つずつ形成される。そして、
積層ブロックを正しい順序で積層して多層シート積層体
を形成したときには、階段状の検知部が形成されるのに
対して、正しく積層されないと階段状とならない。した
がって、検知部を見れば、正しく積層されたかどうか容
易に確認できる。しかも、階段の数はブロックの数とな
り、それほど多い数とならないので、この点でも確認が
容易となる。

【００２１】請求項６記載の発明は、前記ブロック積層
順マークは、最下積層ブロックを除く第２積層ブロック
以上に形成することを特徴とする請求項１乃至５のいず
れかに記載の多層セラミック基板の製造方法を要旨とす
る。

【００２２】この製造方法によれば、最下層の積層ブロ
ックは、ブロック積層順マークを設けない。したがっ
て、切り欠きまたは孔等によってブロック積層順マーク
を形成する場合は、多層シート積層体内の最上の積層ブ
ロック内のグリーンシートのブロック積層順マークの大
きさが１ブロック分即ち、一回り小さく形成できる。ま
た、最下の積層ブロック内のグリーンシートに切り欠き
または孔がないので、その分積層ブロックや多層シート
積層体の強度が増し、取り扱いが容易になる。さらに、
ブロック積層順マークが多層セラミック基板内に残る場
合には、基板の強度が向上する。

【００２３】請求項７記載の発明は、前記セラミックグ
リーンシートを所定の順序で積層した際に、前記積層順
マークが少しずつずれて重なり、斜め方向に積層順検知
窓を形成するように、各セラミックグリーンシートに略
同じ大きさの切り欠きもしくは孔からなるシート積層順
マークを設けることを特徴とする請求項１記載の多層セ
ラミック基板の製造方法を要旨とする。

【００２４】この方法で用いるシート積層順マークは、
同じ大きさの切り欠きもしくは孔からなるが、形成場所
を少しずつずらすので、積層後に切り欠きもしくは孔が
重なった部分によって、積層方向に斜めの検知孔が形成
される。前記検知孔は、一層でも積層順を間違えると、
遮断されたり、極端に狭くなったりするので、積層後に
容易にかつ素早く積層順を確認できる。また、この場
合、切り欠きまたは孔はすべて同じ大きさであるので、
打ち抜き金具が安価で済む。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
について、図５〜図９を参照しつつ説明する。図５
(a)、(b)は１２層からなる多層シート積層体１４を４層
ずつの３つの積層ブロック１１、１２、１３に分けてそ
れぞれにシート積層順マーク１５及びブロック積層順マ
ーク１６を設けて積層した状態を示す断面図である。多
層シート積層体１４を積層形成するには以下のようにす
る。すなわち、まず、それぞれ４層のグリーンシート
（１１ａ〜ｄ、１２ａ〜ｄ、１３ａ〜ｄ）をシート積層
順マーク１５に従い積層して、積層ブロック１１、１
２、１３を形成する（５(a)参照）。積層後に、各ブロ
ック上方から検知穴Ａ〜Ｃを覗き、階段状にシートが露
出していることを確認する。次いで、各積層ブロック１
１、１２、１３をブロック積層順マーク１６に従って積
層する（図５(b)参照）。積層した後に、検知穴Ｄによ
り階段状に積層ブロックが露出していることを確認し、
正しい順序で積層された多層シート積層体１４が形成さ
れる。

【００２６】このように積層順マークをシート積層順マ
ーク１５とブロック積層順マーク１６との２種類に分け
た場合、最上層（１３ｄ）になっても、積層順検知部は
図４の第３層（１ｃ）のものと同等の大きさでよく、図
４の最上層（１ｌ）ようにシート積層順マークが極端に
大きくなることはない。したがって、セラミックグリー
ンシート上で検知部のスペースも十分確保でき、また、
グリーンシートの強度も増す。

【００２７】次いで、図６は、それぞれ積層ブロック２
１、２２、２３内の最下層の第１層グリーンシート２１
ａ、２２ａ、２３ａを除く上方第２層以上（２１ｂ〜
ｄ、２２ｂ〜ｄ、２３ｂ〜ｄ）のグリーンシートにシー
ト積層順マーク２５を設け、さらに、最下の第１積層ブ
ロック２１を除く第２積層ブロック以上（２２、２３）
にブロック積層順マーク２６を設けた例を示す断面図で
ある。

【００２８】積層ブロック２１、２２、２３内におい
て、第１層セラミックグリーンシート２１ａ、２２ａ、
２３ａには、シート積層順マーク２５を形成しなくても
積層順の確認は可能である。この場合、２１ｂ〜ｄ、２
２ｂ〜ｄ、２３ｂ〜ｄに設けるシート積層順マークの大
きさは、１層分即ち１回り小さくてよい。また、各積層
ブロック２１、２２、２３内の最下層のグリーンシート
（２１ａ、２２ａ、２３ａ）に切り欠きまたは孔がない
ので、その分、積層ブロック２１、２２、２３の強度が
増し、取り扱いが容易になる。

【００２９】また、同様にブロック積層順マーク２６を
第２積層ブロック以上（２２、２３）に形成すると、第
１積層ブロック２１にブロック積層順マーク２６を設け
なかった分だけ上層のブロック積層順マークが小さくな
る。

【００３０】なお、上記実施例において、積層順検知部
の階段部は、すべての積層順検知部の両側に形成してあ
るが、少なくとも一部に階段部が形成されていれば良
く、図示した形状に何ら限定されない。

【００３１】次いで、本願発明の第２の実施の形態につ
いて、図８(a)〜(c)を参照しつつ説明する。本願発明の
第２の実施の形態は、積層ブロック４１内の各グリーン
シート毎に固有のシート積層順マーク４５ａ〜ｃを形成
し、各シート積層順マーク４５ａ〜ｃの上層のグリーン
シートには、シート積層順マーク４５ａ〜ｃをシートで
塞がないで積層後確認できるように、上層のグリーンシ
ート４１ｂ〜ｄには円孔（積層順確認窓４７ａ〜ｃ）を
設けた例である。図８(a)は４層のセラミックグリーン
シートからなる積層ブロック４１を示している。グリー
ンシート第１〜３層（４１ａ〜ｃ）にはそれぞれ積層順
を示す固有の小穴（シート積層順マーク４５ａ〜ｃ）が
開けられており、その個数はグリーンシートの積層順を
示している。さらに、セラミックグリーンシート第２〜
４層（４１ｂ〜ｄ）には、それぞれの下層にあるシート
積層順マーク４５ａ〜ｃを覆わないように積層順確認窓
４７ａ〜ｃが開けられている。図８(b)は、図８(a)に示
したシート積層順マーク４５ａ〜ｃ及び積層順確認窓４
７ａ〜ｃ付近の部分断面図である。図８(c)は、各セラ
ミックグリーンシート４１ａ〜ｄに形成されたシート積
層順マーク４５ａ〜ｃと積層順確認窓４７ａ〜ｃをブロ
ック上方から見た図である。

【００３２】なお、本例では、小穴によるシート積層順
マーク４５ａ〜ｃを形成した例を示したが、その他にも
数字・文字・記号等を印刷、もしくはパンチングによっ
て設けシート積層順マークとして用いることができる。
特に、小穴によるシート積層順マークは、打ち抜き金型
に同型のものを組み合わせて用いるために、金型を標準
化でき、コストを低減できる。これに対して、数字・文
字・記号等を印刷で設けた場合は、小穴の数を計数しな
くても一見して積層ミスが判る。さらに、シート積層順
マーク４５の色を互いに異なるものとすると、インクの
色によって、識別を容易にすることができる。

【００３３】次に、本願発明の第３の実施の形態につい
て、図９(ａ)〜(ｂ)を参照しつつ説明する。ここでは、
各グリーンシート５０ａ〜ｄにそれぞれ大きさが同じで
あるが設置箇所を少しずつずらして設けた切り欠きもし
くは孔からなるシート積層順マーク５５を設け、各グリ
ーンシート５０ａ〜ｄを所定の順序で積層し、前記シー
ト積層順マーク５５が少しずつずれて重なる積層順検知
窓５７を有する多層セラミック基板５０を示す。本実施
の形態においては、積層順が正しく積層された場合は、
斜め方向に積層順検知窓５７が形成される（図９(ａ)参
照）。ところが、積層順を間違えた場合には、該積層順
検知窓５７が遮断されるか、あるいは極端に狭くなる。
図９(ｂ)は、図９(ａ)の例での第２層グリーンシート５
２と第３層グリーンシート５３の積層順を間違えた積層
ブロック５９の例を示している。したがって、上述のよ
うに、積層後に積層順検知窓５７を覗いて正しく形成さ
れているか否かを確認することによって、簡単に積層ブ
ロック内のグリーンシートの積層順の正否を確認でき
る。

【００３４】この方法によれば、シート積層順マーク５
５は、すべて同じ大きさで形成できるので、上層になっ
てもシート積層順マークを大きくする必要がなく、シー
ト積層順マークを形成するスペース確保の問題は生じな
い。また、金型が１種類で良いので、金型の費用が安価
で済む。さらに、単純に積層順検知孔５７の有無、ある
いは大きさだけで正しく積層されたか確認できるので、
目視によっても極めて容易かつ確実に確認作業を行うこ
とができる。

【００３５】なお、図９(c)に示すように、シート積層
順マーク５５の横にブロック積層順マーク５６を形成す
ると良い。シート積層順マーク５５はすべての同じ大き
さなので、形成個所の若干の違いだけでは、積層前にそ
れぞれの積層順を単独では識別し難い場合があるが、ブ
ロック積層順マーク５６は当該積層ブロック５１に属す
るグリーンシート５１ａ〜ｄではすべて同じ場所に形成
されてので、シート積層順マーク５５とブロック積層順
マーク５６の距離５８の長短を判別することによって、
積層前でも積層順を容易に確認できるようになるからで
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】基準位置に円孔２を設けた従来の多層シート積
層体１の斜視図。

【図２】隅部に切り欠き３を設けた従来の多層シート積
層体１の斜視図。

【図３】全グリーンシートに大きさの異なる切り欠きを
設け、階段状の積層順検知部４を形成した従来の多層シ
ート積層体１の斜視図。

【図４】図３に示す多層シート積層体１の断面図。

【図５】(a)シート積層順マーク１５とブロック積層順
マーク１６とを形成した各積層ブロック１１、１２、１
３の部分断面図。(b)ブロック積層順マーク１６に従
い、(a)の積層ブロック１１、１２、１３を積層した多
層シート積層体１４の部分断面図。

【図６】シート積層順マーク２５は、第２層以上のグリ
ーンシートにのみ形成し、また、ブロック積層順マーク
２６は、第２積層ブロック以上（２２、２３）にのみ形
成した多層シート積層体２４の部分断面図。

【図７】シート積層順マーク３５の形成個所が、各積層
ブロック毎に異なっている多層シート積層体３４の部分
断面図。

【図８】(a)小穴からなるシート積層順マーク４５ａ〜
ｃを積層後に積層順確認孔４７ａ〜ｃを通して検知する
ことができる積層ブロック４１の部分斜視図。(b)シー
ト積層順マーク４５と積層順確認窓４７ａ〜ｃの形成個
所の部分断面図。(c)積層ブロック４１のシート積層順
マーク４５ａ〜ｃの部分を上面から積層順確認窓４７ａ
〜ｃを通して見た図。

【図９】(a)シート積層順マーク５５によって、積層順
検知窓５７を形成した積層ブロック５０の部分断面図。
(b)第２層５２と第３層５３との積層順を誤り、積層順
検知窓５７が遮断された例の部分断面図。(c)シート積
層順マーク５５とブロック積層順マーク５６との距離５
８の差異によって積層前に積層順を確認する例を示す部
分断面図。

【符号の説明】

１、１４、２４、３４、：多層シート積層体２：円孔３：切り欠き４：積層順検知部５、１５、２５、３５、５５：シート積層順マーク６、１６、２６、５６：ブロック積層順マーク１１、２１、３１：第１積層ブロック１２、２２、３２：第２積層ブロック１３、２３、３３：第３積層ブロック４１、５０、５１：積層ブロック４５ａ〜ｃ：シート積層順マーク（小穴）４７ａ〜ｃ：積層順確認窓１ａ〜ｌ、１１ａ〜ｄ、１２ａ〜ｄ、１３ａ〜ｄ、２１
ａ〜ｄ、２２ａ〜ｄ、２３ａ〜ｄ、４１ａ〜ｄ、５０ａ
〜ｄ、５１ａ〜ｄ：セラミックグリーンシート５８：シート積層順ブロック５５とブロック積層順マー
ク５６の距離

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のセラミックグリーンシートを所定順
序で積層して積層ブロックを製作する工程と、複数の積層ブロックを所定順序で積層して多層シート積
層体を製作する工程と、を含む多層セラミック基板の製造方法であって、前記複
数のセラミックグリーンシートは、前記積層ブロック内での前記セラミックグリーンシート
の積層順を示すシート積層順マークと、前記多層シート積層体内での前記積層ブロックの積層順
を示すブロック積層順マークと、を有することを特徴とする多層セラミック基板の製造方
法。
【請求項２】前記シート積層順マークは、積層されるセ
ラミックグリーンシートが上層になるほど大きく形成さ
れた切り欠きまたは孔であって、前記セラミックグリーンシートをそれぞれ所定の順序で
積層した際に、積層方向にすべてのセラミックグリーン
シートの上表面の一部が階段状に露出する検知部となる
ように形成されていることを特徴とする請求項１記載の
多層セラミック基板の製造方法。
【請求項３】前記シート積層順マークは、各積層ブロッ
ク内の最下層のセラミックグリーンシートを除く第２層
以上に備えることを特徴とする請求項１または２のいず
れかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項４】前記セラミックグリーンシートを所定の順
序で積層した際に、前記セラミックグリーンシートにそ
れぞれ打ち抜き、もしくは印刷により設けられたシート
積層順マークが積層方向に露出するように、シート積層
順マークの上層に位置する部分にそれぞれのシート積層
順マーク毎に切り欠きもしくは貫通孔からなる積層順確
認窓を備えることを特徴とする請求項３記載の多層セラ
ミック基板の製造方法。
【請求項５】前記ブロック積層順マークは、セラミック
グリーンシートが属する積層ブロックごとに同形、同位
置に形成され、かつ上に積層される積層ブロックに属す
るセラミックシートほど大きく形成された切り欠きまた
は孔であって、前記積層ブロックを所定の順序に積層した際に、積層方
向に全積層ブロックの上表面の一部が階段状に露出する
検知部となるように形成されていることを特徴とする請
求項１乃至４のいずれかに記載の多層セラミック基板の
製造方法。
【請求項６】前記ブロック積層順マークは、最下積層ブ
ロックを除く第２積層ブロック以上に形成することを特
徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の多層セラミ
ック基板の製造方法。
【請求項７】前記セラミックグリーンシートを所定の順
序で積層した際に、前記積層順マークが少しずつずれて
重なり、斜め方向に積層順検知窓を形成するように、各
セラミックグリーンシートに略同じ大きさの切り欠きも
しくは孔からなるシート積層順マークを設けることを特
徴とする請求項１記載の多層セラミック基板の製造方
法。